JP2009129971A - Heat transfer apparatus - Google Patents

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一郎 鹿野
Ichiro Takahashi
一郎 高橋
Masanori Kaneko
真徳 金子
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heat transfer apparatus having a new structure which is excellent in the efficiency of heat transportation from a high temperature side heat source to a low temperature side heat source and which improves a function deterioration due to dryout. <P>SOLUTION: A heat transfer apparatus 10 has an evaporation container 15 comprising a heat conductive plate 12 for heating a liquid using a heat source, a fluid channel 13 formed on the heat conductive plate, a fluid inlet 14 for supplying the liquid to the fluid channel, and a steam recovery chamber 16 in communication with the outlet of the fluid channel. A pump function is exerted so that the liquid and the steam of the liquid are transported to the outlet of the fluid channel in one direction by using a change in volume when the liquid supplied to the fluid channel is heated to a temperature equal to or more than a boiling point by the heat conductive plate and evaporated. Dryout is prevented by forming a minute gap channel 18 in communication between the fluid channels on the heat conductive plate and securing a non boiling region in which the liquid is not evaporated. The minute gap channel is desirably formed such that the channel gives a minute gap h1 of ≤0.05 mm to the heat conductive plate. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は熱伝達装置に関し、より詳しくは、作動液体を加熱することによって高温側熱源から低温側熱源に効率的に熱を輸送することができる熱伝達装置に関する。外部からの動力で液体を駆動することも可能であるが、本発明の熱伝達装置は、特に、外部から動力を加えることなく作動液体を移動させるものとして好適に実施可能である。   The present invention relates to a heat transfer device, and more particularly to a heat transfer device that can efficiently transfer heat from a high temperature side heat source to a low temperature side heat source by heating a working liquid. Although it is possible to drive the liquid with power from the outside, the heat transfer device of the present invention can be suitably implemented particularly as moving the working liquid without applying power from the outside.

上記のような熱伝達装置は、たとえば、CPUやレーザダイオードなどの局所発熱体が多数配置されている電子機器において、その電子機器内部が過熱状態となることを防止するために用いられる。このような用途においては省スペース性も要求される。   The heat transfer device as described above is used, for example, in an electronic device in which a large number of local heating elements such as a CPU and a laser diode are arranged to prevent the inside of the electronic device from being overheated. In such applications, space saving is also required.

従来から採用されている省スペース性熱伝達装置としては、ヒートパイプなどの高温熱伝導体を組み込み、該高温熱伝導体の外側の金属による熱伝導とその内側の作動液体の熱伝達により局所発熱体から断面積の大きいヒートシンクまたはラジエータなどの放熱装置に熱を輸送し、該放熱装置を強制空冷で冷却する手法が主流である。   Conventionally adopted space-saving heat transfer devices include high-temperature heat conductors such as heat pipes, and local heat generation due to heat conduction by the metal outside the high-temperature heat conductor and heat transfer inside the working liquid. The mainstream is a method of transporting heat from a body to a heat radiating device such as a heat sink or a radiator having a large cross-sectional area and cooling the heat radiating device by forced air cooling.

しかしながら、上述した従来の熱伝達装置は、機械的動力を加えることなく熱を高温側熱源から低温側熱源に移送させることができても、熱輸送量が使用姿勢により変化したり、伝熱面の液体が蒸発してドライアウトすることによって熱輸送の機能が低下し、あるいは停止してしまうことがあった。   However, the above-described conventional heat transfer device can transfer heat from the high-temperature side heat source to the low-temperature side heat source without applying mechanical power, but the heat transport amount varies depending on the use posture, or the heat transfer surface When this liquid evaporates and drys out, the heat transport function may be degraded or stopped.

したがって、本発明の課題は、高温側熱源から低温側熱源への熱輸送効率が良く、しかも高寿命である新規な構成の熱伝達装置を提供することである。より詳しくは、熱を高温側熱源から低温側熱源に効率よく輸送することができる熱伝達装置を提供し、特に、使用姿勢による熱輸送量の変化とドライアウトによる機能低下の双方を改善すると共に、作動液体の蒸発によって液体を一方向に移動させるポンプ機能を持たせることによって省スペースで熱輸送量を増大させることができる熱伝達装置を提供することを課題とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a heat transfer device having a novel configuration that has good heat transport efficiency from a high temperature side heat source to a low temperature side heat source and has a long life. More specifically, the present invention provides a heat transfer device capable of efficiently transporting heat from a high-temperature side heat source to a low-temperature side heat source, and in particular, improves both the change in the amount of heat transport depending on the use posture and the deterioration of function due to dryout It is an object of the present invention to provide a heat transfer device capable of increasing the amount of heat transport in a space-saving manner by providing a pump function for moving the liquid in one direction by evaporation of the working liquid.

上記課題を解決することができる熱伝達装置について、発明者らは、沸点以上の温度に加熱された液体中に球状の粒子を伝熱面上に置いた場合、伝熱面と粒子の接点から少し(たとえば0.05mm程度)離れたところから安定して発泡し、接点を含むその内側領域では発泡しないという過去の報告(高橋・石川、機論(B)、61−554(1995)、1498)に注目した。ここでは、伝熱面から過熱液層、粒子へと熱流束が流入し、接点付近ではキャビティへの熱流束の回り込みが抑制されるため発泡しない領域となると説明されている。   Regarding the heat transfer device that can solve the above-mentioned problems, the inventors, when placing spherical particles on the heat transfer surface in a liquid heated to a temperature higher than the boiling point, from the contact point of the heat transfer surface and the particles. A past report (Takahashi and Ishikawa, theory (B), 61-554 (1995), 1498) that foams stably from a small distance (for example, about 0.05 mm) and does not foam in the inner region including the contact point. ). Here, it is described that the heat flux flows from the heat transfer surface to the superheated liquid layer and particles, and in the vicinity of the contact, the wraparound of the heat flux to the cavity is suppressed, so that the region does not foam.

この報告に基づき、発明者らは、いわゆる水平沸騰型マイクロチャネルヒートシンクにおいて、マイクロチャネルの他に微小間隙を持つ流体チャネルを設けることにより安定した沸騰伝熱を実現することができるものと考えて鋭意研究と実験を重ね、本発明を完成させた。   Based on this report, the inventors have earnestly thought that a stable boiling heat transfer can be realized in a so-called horizontal boiling type microchannel heat sink by providing a fluid channel having a minute gap in addition to the microchannel. Through research and experimentation, the present invention was completed.

すなわち、本発明による熱伝達装置は、熱源によって液体を加熱する熱伝導プレートと、該熱伝導プレート上に形成される流体チャネルと、流体チャネルに液体を供給する液体供給手段と、流体チャネルの出口に連通する蒸気回収室とを備える蒸発容器を有し、流体チャネルに供給された液体が熱伝導プレートにより沸点以上の温度に加熱されて蒸発したときの体積変化によって液体およびその蒸気を流体チャネルの出口に向けて一方向に移動させるようポンプ機能を発揮するものであって、該熱伝導プレート上において該流体チャネル間に連通する微小間隙チャネルを形成し、該微小間隙チャネルを作動液体が蒸発しない非沸騰領域として確保したことを特徴としている。   That is, the heat transfer device according to the present invention includes a heat conduction plate for heating a liquid by a heat source, a fluid channel formed on the heat conduction plate, a liquid supply means for supplying the fluid to the fluid channel, and an outlet of the fluid channel. A vapor recovery chamber that communicates with the liquid channel, and the liquid supplied to the fluid channel is heated to a temperature equal to or higher than the boiling point by the heat conduction plate to evaporate the liquid and its vapor through the fluid channel. A pump function is exerted so as to move in one direction toward the outlet, and a minute gap channel communicating between the fluid channels is formed on the heat conduction plate, and the working liquid does not evaporate in the minute gap channel. It is characterized by being secured as a non-boiling region.

本発明によれば、沸騰型マイクロチャネルヒートシンクとして構成されるような熱伝達装置において、流体チャネル間に連通する微小間隙チャネルを形成して、該微小間隙チャネルを作動液体が蒸発しない非沸騰領域として確保したので、ドライアウトを防止し、高温側熱源から低温側熱源への熱輸送効率を改善し且つ高寿命化することができる。   According to the present invention, in a heat transfer device configured as a boiling type microchannel heat sink, a microgap channel communicating between fluid channels is formed, and the microgap channel is used as a non-boiling region where the working liquid does not evaporate. Since it is ensured, dryout can be prevented, the efficiency of heat transport from the high temperature side heat source to the low temperature side heat source can be improved, and the life can be extended.

図1は本発明の一実施形態による熱伝達装置の要部概略構成図であり、図2はこれに準じた構成の熱伝達装置の一部破断分解斜視図である。この熱伝導装置10は、純水などの作動液体が供給される供給タンク11と、作動液体(以下「水」)を加熱する熱伝導プレート12と、熱伝導プレート12の上面に形成される流体チャネル13と、供給タンク11に供給された水を流体チャネル13に流入させるための液体流入口14とを備える蒸発容器15を有して構成されている。熱伝導プレート12の下方には発熱体(図示せず)が取り付けられ、熱伝導によって、流体チャネル13を流れる水をその沸点以上の温度に加熱し、沸騰・蒸発させる。なお、図2の熱伝達装置における符号19については図4に関して後述する。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a main part of a heat transfer device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a partially broken exploded perspective view of a heat transfer device having a configuration according to this. The heat conduction device 10 includes a supply tank 11 to which a working liquid such as pure water is supplied, a heat conduction plate 12 for heating the working liquid (hereinafter “water”), and a fluid formed on the upper surface of the heat conduction plate 12. It has an evaporation container 15 having a channel 13 and a liquid inlet 14 for allowing water supplied to the supply tank 11 to flow into the fluid channel 13. A heating element (not shown) is attached below the heat conduction plate 12, and the water flowing through the fluid channel 13 is heated to a temperature equal to or higher than its boiling point by heat conduction to boil and evaporate. In addition, the code | symbol 19 in the heat transfer apparatus of FIG. 2 is later mentioned regarding FIG.

蒸発容器15の幅方向両側には、流体チャネル13に連通する蒸気回収室16が設けられている。水が流体チャネル13を流れる間に熱伝導プレート12により加熱されて蒸発すると、そのときの体積変化により、水または水蒸気を流体チャネル13の入口(液体流入口14)から出口(蒸気回収室16)へと一方向に移動させるポンプ機能が発揮される。流体チャネル13は入口(液体流入口14)から出口(蒸気回収室16)に向けて徐々に流路幅が大きくなるように(図1(a)および図2参照)、また、入口(液体流入口14)の断面積より出口(蒸気回収室16に通じる開口)の断面積が大きくなるように設計される(図1(b)および図2参照)。   A vapor recovery chamber 16 communicating with the fluid channel 13 is provided on both sides in the width direction of the evaporation container 15. When water is heated and evaporated by the heat conducting plate 12 while flowing through the fluid channel 13, water or water vapor is discharged from the inlet (liquid inlet 14) of the fluid channel 13 to the outlet (vapor recovery chamber 16) due to the volume change at that time. The pump function that moves in one direction is demonstrated. The fluid channel 13 gradually increases in width from the inlet (liquid inlet 14) to the outlet (steam recovery chamber 16) (see FIG. 1 (a) and FIG. 2), and the inlet (liquid flow The cross-sectional area of the outlet (opening leading to the steam recovery chamber 16) is designed to be larger than the cross-sectional area of the inlet 14) (see FIGS. 1B and 2).

蒸発容器15の上蓋20は供給タンク11および蒸気回収室16を閉じるように設けられるが、供給タンク11に連通する液体供給口21および蒸気回収室16に連通する蒸気排出口22が備えられている。蒸気回収室16で回収された蒸気は蒸気排出口22から蒸発容器15の外部に放出され、凝縮液化された後に液体供給口21から供給タンク11に供給される循環経路が形成される。   The upper lid 20 of the evaporation container 15 is provided so as to close the supply tank 11 and the vapor recovery chamber 16, but is provided with a liquid supply port 21 communicating with the supply tank 11 and a vapor discharge port 22 communicating with the vapor recovery chamber 16. . The steam recovered in the steam recovery chamber 16 is discharged from the steam outlet 22 to the outside of the evaporation container 15, and a circulation path is formed in which it is condensed and liquefied and then supplied from the liquid supply port 21 to the supply tank 11.

この熱伝導装置10では、流体チャネル13を形成するために熱伝導プレート12上に設けられているリブ17を熱伝導プレート12の上面から浮かせた状態にしてその間に微小間隙チャネル18を形成して、流体チャネル13と連通させている。リブ17と熱伝導プレート12の間に形成される微小間隙チャネル18の隙間h1は0.05mm以下であることが好ましく、たとえば0.03mmとする。一方、流体チャネル13の隙間h2は0.05mmよりも十分に大きければ特に限定的ではないが、たとえば約20mmである。したがって、図1(c)から明らかなように、リブ17の下面は、熱伝導プレート12との間に流体チャネル13が形成される部分が凹部となり、熱伝導プレート12との間に微小間隙チャネル18が形成される部分が凸部となる凹凸状に形成されている。   In this heat conduction device 10, the rib 17 provided on the heat conduction plate 12 is floated from the upper surface of the heat conduction plate 12 to form the fluid channel 13, and the minute gap channel 18 is formed therebetween. In fluid communication with the fluid channel 13. The gap h1 of the minute gap channel 18 formed between the rib 17 and the heat conducting plate 12 is preferably 0.05 mm or less, for example, 0.03 mm. On the other hand, the gap h2 of the fluid channel 13 is not particularly limited as long as it is sufficiently larger than 0.05 mm, but it is, for example, about 20 mm. Therefore, as is clear from FIG. 1C, the portion where the fluid channel 13 is formed between the lower surface of the rib 17 and the heat conducting plate 12 becomes a recess, and the minute gap channel is formed between the heat conducting plate 12 and the lower surface. The portion where 18 is formed is formed in a concavo-convex shape that becomes a convex portion.

供給タンク11に供給された水は、発熱体により加熱させられた熱伝導プレート12およびリブ17を介して一次的に加熱され、さらに液体流入口14から流体チャネル13に入り込んでさらに熱伝導プレート12上で加熱される。流体チャネル13は上述のようにリブ17の下方に設けられる微小間隙チャネル18に連通しているので、流体チャネル13を流れる水の一部は微小間隙チャネル18にも流入する。後述するように、熱伝導プレート12が水の沸点以上の過熱状態においても、微小間隙チャネル18においては水は蒸発しないという特性がある。すなわち、この微小間隙チャネル18は非沸騰領域として機能する。一方、熱伝導プレート12との間に十分な隙間h2が確保されている流体チャネル13においては、熱伝導プレート12が液体沸点以上の過熱状態にある場合、水が沸騰する沸騰領域となる。   The water supplied to the supply tank 11 is primarily heated through the heat conduction plate 12 and the rib 17 heated by the heating element, and further enters the fluid channel 13 from the liquid inlet 14 and further enters the heat conduction plate 12. Heated above. Since the fluid channel 13 communicates with the minute gap channel 18 provided below the rib 17 as described above, a part of the water flowing through the fluid channel 13 also flows into the minute gap channel 18. As will be described later, there is a characteristic that water does not evaporate in the minute gap channel 18 even when the heat conduction plate 12 is in an overheated state equal to or higher than the boiling point of water. That is, the minute gap channel 18 functions as a non-boiling region. On the other hand, in the fluid channel 13 in which a sufficient gap h2 is ensured between the heat conduction plate 12, when the heat conduction plate 12 is in an overheated state having a liquid boiling point or higher, the water becomes a boiling region.

上記の作用についてさらに詳しく説明すると、熱伝導プレート12とリブ17との隙間h1が微小である微小間隙チャネル18にある水は、熱伝導プレート12からの熱流束が気泡核に回り込むことができないため、蒸発することなく常に液体として存在し、非沸騰領域を実現させる。これは前記報告(高橋・石川、機論(B)、61−554(1995)、1498)から導かれる原理である。一方、熱伝導プレート12とリブ17との隙間h2が大きい流体チャネル13においては、熱伝導プレート12からの熱流束が気泡核に回り込むので、水が蒸発する沸騰領域となる。図3は、図1の熱伝導装置10を稼働させたときの水の沸騰・非沸騰状態を示し、網掛けを施した部分では蒸発が起こらずに水が液体として保持されている。図示のように、微小間隙チャネル18では蒸発が起こらずに水が液体として保持されており、この部分が非沸騰領域を実現していることが分かる。   The above action will be described in more detail. The water in the minute gap channel 18 in which the gap h1 between the heat conducting plate 12 and the rib 17 is minute cannot allow the heat flux from the heat conducting plate 12 to wrap around the bubble core. It always exists as a liquid without evaporating, realizing a non-boiling region. This is the principle derived from the above report (Takahashi / Ishikawa, Mechanism (B), 61-554 (1995), 1498). On the other hand, in the fluid channel 13 where the gap h2 between the heat conducting plate 12 and the rib 17 is large, the heat flux from the heat conducting plate 12 wraps around the bubble nuclei, so that it becomes a boiling region where water evaporates. FIG. 3 shows a boiling / non-boiling state of water when the heat conduction device 10 of FIG. 1 is operated, and water is held as a liquid without evaporation in the shaded portion. As shown in the figure, in the minute gap channel 18, water is held as a liquid without evaporation, and it can be seen that this portion realizes a non-boiling region.

一方、流体チャネル13の入口付近すなわち液体流入口14近くでは、常に液体が供給されている。また、液体流入口14近くで気液界面Lとして図3に示されるように蒸気泡と水との境界が存在し、この界面Lによって表面張力が発生するため、これによって液体は流体チャネル13内に吸引される。したがって、図3に網掛けで示すように、液体流入口14近くの流体チャネル13には液体が残り、液体流入口14から水が微小間隙チャネル18に入り込むことを担保している。   On the other hand, liquid is always supplied near the inlet of the fluid channel 13, that is, near the liquid inlet 14. Further, as shown in FIG. 3, there is a boundary between vapor bubbles and water as a gas-liquid interface L near the liquid inlet 14, and surface tension is generated by the interface L, so that the liquid flows into the fluid channel 13. Sucked into. Therefore, as shown by shading in FIG. 3, it is ensured that liquid remains in the fluid channel 13 near the liquid inlet 14, and water enters the minute gap channel 18 from the liquid inlet 14.

なお、流体チャネル13を流れる間に蒸発した蒸気泡が合体して大きく成長すると、水は液体流入口14と蒸気回収室16の双方に向けて移動しようとするが、上述のように液体流入口14近くに形成される気液界面Lでの表面張力によって蒸気が液体流入口14に逆流することが防止され、且つ、液体注入口14は蒸気回収室16より断面積が小さいので、蒸気泡の成長により発生した流れは流路抵抗により蒸気回収室16に向けて一方向に流れる。そして、十分に時間が経過すると、流体チャネル13内は実質的に蒸気で満たされることになり、蒸気回収室16から蒸気が流出する。   Note that when the vapor bubbles evaporated while flowing through the fluid channel 13 merge and grow large, water tends to move toward both the liquid inlet 14 and the vapor recovery chamber 16, but as described above, the liquid inlet 14 is prevented from flowing back to the liquid inlet 14 by the surface tension at the gas-liquid interface L formed near 14, and the liquid inlet 14 has a smaller cross-sectional area than the steam recovery chamber 16. The flow generated by the growth flows in one direction toward the steam recovery chamber 16 due to flow path resistance. When sufficient time has elapsed, the fluid channel 13 is substantially filled with steam, and the steam flows out of the steam recovery chamber 16.

言うまでもないことであるが、本発明は上記および図示の実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内において多種多様な実施形態を取り得る。たとえば、本発明の伝達装置に用いられる作動液体は典型的には水であるが、その他実施可能なあらゆる種類の液体を使用することができる。   Needless to say, the present invention is not limited to the embodiments described above and shown in the drawings, and can take various forms within the scope of the invention described in the claims. For example, the working liquid used in the transmission device of the present invention is typically water, but any other possible liquid type can be used.

また、作動液体を流体チャネル13および微小間隙チャネル18に流入させるための液体供給機構として、上記実施形態では液体流入口14を採用したが、図4に示すような構成を採用してもよい。図4に示す実施形態では、上記実施形態におけると同様に、供給タンク11から液体(水)を流体チャネル13の入口側に供給するための液体流入口14を設けるとともに、さらに加えて、微小間隙チャネル18の上方に設けられているリブ17を上下に貫通する液体流入穴19をリブ17の長さ方向に任意間隔で複数開口形成している。この実施形態によれば、供給タンク11内の水は、液体流入口14から流体チャネル13の入口側に供給されるとともに、複数の液体流入穴19から微小間隙チャネル18に対して直接的に供給されることになるので、微小間隙チャネル18に対する水供給がより確実に担保され、非沸騰領域の確保をより確実なものとすることができる。このような構成は、液体流入口14の直径が小さい場合に特に有効である。   Further, as the liquid supply mechanism for allowing the working liquid to flow into the fluid channel 13 and the minute gap channel 18, the liquid inflow port 14 is employed in the above embodiment, but a configuration as shown in FIG. 4 may be employed. In the embodiment shown in FIG. 4, a liquid inlet 14 for supplying liquid (water) from the supply tank 11 to the inlet side of the fluid channel 13 is provided as in the above embodiment, and in addition, a micro gap is provided. A plurality of liquid inflow holes 19 penetrating vertically through the ribs 17 provided above the channels 18 are formed at arbitrary intervals in the length direction of the ribs 17. According to this embodiment, the water in the supply tank 11 is supplied from the liquid inlet 14 to the inlet side of the fluid channel 13 and supplied directly from the plurality of liquid inlet holes 19 to the micro gap channel 18. As a result, the water supply to the minute gap channel 18 is more reliably ensured, and the non-boiling region can be ensured more reliably. Such a configuration is particularly effective when the diameter of the liquid inlet 14 is small.

なお、微小間隙チャネル18に対して直接的に水を供給するための液体流入穴19は、その直径が大きすぎると、液体流入穴19を通過する間に沸騰してしまうおそれがあるので、微小間隙チャネル18の隙間h1と同様、0.05mm以下の直径とすることが好ましい。   If the diameter of the liquid inflow hole 19 for supplying water directly to the micro gap channel 18 is too large, the liquid inflow hole 19 may boil while passing through the liquid inflow hole 19. Like the gap h1 of the gap channel 18, the diameter is preferably 0.05 mm or less.

本発明の一実施形態による熱伝達装置の概略構成図であり、(a)は長手方向断面図、(b)は(a)中b−b矢視断面図、(c)は(b)中c−c矢視断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic block diagram of the heat transfer apparatus by one Embodiment of this invention, (a) is longitudinal direction sectional drawing, (b) is bb arrow sectional drawing in (a), (c) is in (b). It is cc arrow sectional drawing. 図1に準じた構成の熱伝達装置を示す一部破断分解斜視図である。FIG. 2 is a partially broken exploded perspective view showing a heat transfer device configured according to FIG. 1. 図1の熱伝導装置を稼働させたときの水の沸騰・非沸騰状態を示す図である。図3(a)は図1(c)に対応し、図3(b)は図1(b)に対応している。It is a figure which shows the boiling / non-boiling state of water when the heat conduction apparatus of FIG. 1 is operated. 3 (a) corresponds to FIG. 1 (c), and FIG. 3 (b) corresponds to FIG. 1 (b). 本発明の他の実施形態による熱伝達装置の概略構成図であり、(a)は断面図、(b)は(a)中b−b矢視断面図である。It is a schematic block diagram of the heat transfer apparatus by other embodiment of this invention, (a) is sectional drawing, (b) is bb arrow sectional drawing in (a).

符号の説明Explanation of symbols

10 熱伝達装置
11 供給タンク
12 熱伝導プレート
13 流体チャネル
14 液体流入口
15 蒸発容器
16 蒸気回収室
17 リブ
18 微小間隙チャネル
19 液体流入穴
20 蒸発容器の上蓋
21 液体供給口
22 蒸気排出口
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Heat transfer apparatus 11 Supply tank 12 Heat conduction plate 13 Fluid channel 14 Liquid inflow port 15 Evaporation container 16 Vapor recovery chamber 17 Rib 18 Micro gap channel 19 Liquid inflow hole 20 Evaporation container top lid 21 Liquid supply port 22 Vapor discharge port

Claims (4)

熱源によって液体を加熱する熱伝導プレートと、該熱伝導プレート上に形成される流体チャネルと、流体チャネルに液体を供給する液体供給手段と、流体チャネルの出口に連通する蒸気回収室とを備える蒸発容器を有し、流体チャネルに供給された液体が熱伝導プレートにより沸点以上の温度に加熱されて蒸発したときの体積変化によって液体およびその蒸気を流体チャネルの出口に向けて一方向に移動させるようポンプ機能を発揮するものであって、該熱伝導プレート上において該流体チャネル間に連通する微小間隙チャネルを形成し、該微小間隙チャネルを液体が蒸発しない非沸騰領域として確保したことを特徴とする熱伝達装置。 Evaporation comprising a heat conduction plate for heating a liquid by a heat source, a fluid channel formed on the heat conduction plate, a liquid supply means for supplying the fluid to the fluid channel, and a vapor recovery chamber communicating with the outlet of the fluid channel The container has a container, and the liquid and its vapor are moved in one direction toward the outlet of the fluid channel by the volume change when the liquid supplied to the fluid channel is heated to a temperature higher than the boiling point by the heat conducting plate and evaporated. A pump gap function is provided, and a minute gap channel communicating between the fluid channels is formed on the heat conducting plate, and the minute gap channel is secured as a non-boiling region where liquid does not evaporate. Heat transfer device. 前記微小間隙チャネルは、熱伝導プレートとの間に0.05mm以下の微小隙間を与えるように形成されることを特徴とする、請求項1記載の熱伝達装置。 The heat transfer device according to claim 1, wherein the minute gap channel is formed so as to give a minute gap of 0.05 mm or less between the heat conduction plate. 前記液体供給手段は流体チャネルの入口に液体を供給することを特徴とする、請求項1または2記載の熱伝達装置。 3. The heat transfer device according to claim 1, wherein the liquid supply means supplies a liquid to an inlet of a fluid channel. 前記液体供給手段は微小間隙チャネルに液体を供給することを特徴とする、請求項1ないし3のいずれか記載の熱伝達装置。 The heat transfer device according to any one of claims 1 to 3, wherein the liquid supply means supplies a liquid to the minute gap channel.
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