JP2009123795A - 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 処理室内に設けられた金属部材の腐食を抑制する。
【解決手段】 基板上に高誘電率膜を形成する処理を行う処理室と、高誘電率膜を形成するための処理ガスを処理室内に供給する処理ガス供給系と、処理室内に付着した高誘電率膜を含む堆積物を除去するフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスを処理室内に供給するクリーニングガス供給系と、を有し、処理室内には金属部材が設けられ、金属部材の少なくともクリーニングガスが接触する表面にはDLC膜が形成されている。
【選択図】図5
【解決手段】 基板上に高誘電率膜を形成する処理を行う処理室と、高誘電率膜を形成するための処理ガスを処理室内に供給する処理ガス供給系と、処理室内に付着した高誘電率膜を含む堆積物を除去するフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスを処理室内に供給するクリーニングガス供給系と、を有し、処理室内には金属部材が設けられ、金属部材の少なくともクリーニングガスが接触する表面にはDLC膜が形成されている。
【選択図】図5
Description
本発明は、基板を処理する半導体装置の製造方法、及び基板処理装置に関する。
高密度化が進むDRAM等の半導体装置では、薄膜化されたゲート絶縁膜におけるゲートリーク電流を抑制するため、また、キャパシタの容量を増大させるため、ゲート絶縁膜やキャパシタ絶縁膜として高誘電率膜(高誘電率絶縁膜)が用いられるようになってきた。
高誘電率膜を形成する際には、低温での形成が可能であること、形成される膜の表面が平坦であること、下地の凹凸部に対する被覆性や充填性が高いこと等が要求される他、膜内への異物の混入が少ないことが要求される。高誘電率膜は、基板を搬入した処理室内に処理ガスを供給することにより形成されるが、高誘電率膜を形成する際に、処理室の内壁や処理室内の基板支持具等の部材にも高誘電率膜を含む堆積物が付着し、付着した堆積物が処理室の内壁等から剥離して高誘電率膜中に混入してしまう可能性がある。そのため、異物の混入を抑制するには、堆積物からなる膜の膜厚が一定の膜厚に到達する毎に、堆積物をエッチングにより除去することで処理室内や処理室内部の部材をクリーニングする必要があった。
堆積物をエッチングする方法としては、処理室を構成する反応管を取り外して洗浄液に浸漬するウエットエッチング法や、処理室内に励起したエッチングガスを供給するドライエッチング法が知られている。近年、反応管を取り外す必要のないドライエッチング法が用いられるようになってきた。ドライエッチング法としては、プラズマによりエッチングガスを励起する方法と、熱によりエッチングガスを励起する方法とが知られている。前者は、プラズマ密度の均一性やバイアス電圧による制御の容易性の観点から枚葉式装置で行われることが多く、後者は、バッチ式の縦型装置で行われることが多い。特に、プラズマにより励起したハロゲン系ガスを用いるドライエッチング法が活発に研究されており、非特許文献1には、BCl3/N2プラズマによるHfO2膜のエッチング方法について、非特許文献2には、BCl3/Cl2プラズマによるHfO2及びZrO2膜のエッチング方法について、非特許文献3、4には、BCl3/O2プラズマによるHfO2膜のエッチング方法についてそれぞれ開示されている。また、特許文献1〜3にも、BCl3を用いたエッチング方法がそれぞれ開示されている。
K.J.Nordheden and J.F.Sia, J.Appl.Phys.,Vol.94,(2003)2199 Sha.L.,Chang.P.J., J.Vac.Sci.Technol.A22(1),(2004)88 北川智洋、斧高一、大沢正典、羽坂智、井上實, 大陽日酸技報 No.24(2005) T.Kitagawa,K.Nakamura,K.Osari,K.Takahashi,K.Ono,M.Oosawa,S.Hasaka,M.Inoue:Jpn.J.Appl.Phys.45(10),L297−L300(2006) 特開2004−146787号公報
特開2006−179834号公報
特開2006−339523号公報
K.J.Nordheden and J.F.Sia, J.Appl.Phys.,Vol.94,(2003)2199 Sha.L.,Chang.P.J., J.Vac.Sci.Technol.A22(1),(2004)88 北川智洋、斧高一、大沢正典、羽坂智、井上實, 大陽日酸技報 No.24(2005) T.Kitagawa,K.Nakamura,K.Osari,K.Takahashi,K.Ono,M.Oosawa,S.Hasaka,M.Inoue:Jpn.J.Appl.Phys.45(10),L297−L300(2006)
しかしながら、上述のドライエッチング法では、堆積物をエッチングする際に、処理室内に設けられた金属部材の表面が腐食してしまう場合があった。金属部材の表面が腐食すると、基板上や処理室内において金属汚染が発生し、高誘電率膜の膜質が低下し、デバイス特性、歩留まり、信頼性等が悪化してしまう場合があった。
金属部材の表面の腐食を抑制するため、金属部材の表面に金属汚染防止用の金属酸化膜あるいは金属フッ化膜を予め形成しておく方法も考えられる。しかしながら、金属酸化膜あるいは金属フッ化膜を形成しても、クリーニングガスとしてBCl3等のハロゲン系ガスを含むガスを用いた場合には、金属汚染防止に十分な効果が得られない場合があった。
そこで本発明は、処理室内に設けられた金属部材の腐食を抑制することが可能な基板処理装置、及び半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様によれば、基板上に高誘電率膜を形成する処理を行う処理室と、前記高誘電率膜を形成する処理ガスを前記処理室内に供給する処理ガス供給系と、前記処理室内に付着した前記高誘電率膜を含む堆積物を除去するフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスを前記処理室内に供給するクリーニングガス供給系と、を有し、前記処理室内には金属部材が設けられ、前記金属部材の少なくとも前記クリーニングガスが接触する表面にはDLC膜が形成されている基板処理装置が提供される。
本発明の他の態様によれば、表面にDLC膜が形成された金属部材を内部に有する処理室内に基板を搬入する工程と、前記処理室内に処理ガスを供給して基板上に高誘電率膜を形成する処理を行う工程と、処理後の基板を前記処理室内から搬出する工程と、前記処理室内にフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスを供給して前記処理室内に付着した前記高誘電率膜を含む堆積物を除去する工程と、を有する半導体装置の製造方法が提供される。
本発明にかかる半導体装置の製造方法及び基板処理装置によれば、処理室内に設けられた金属部材の腐食を抑制することが可能となる。
上述の通り、従来のドライエッチング法では、堆積物をエッチングする際に、処理室内に設けられた金属部材の表面が腐食してしまい、基板上や処理室内において金属汚染が発生してしまう場合があった。そこで発明者等は、金属部材の腐食を抑制する方法について鋭意研究を行った。その結果、処理室内に設けられた金属部材の少なくともクリーニングガスが接触する表面に、後述するDLC(Diamond−like Carbon)膜を形成することで、金属部材の腐食を抑制できるとの知見を得た。また、DLC膜による金属部材の腐食抑制効果は、クリーニングガスとして塩素系ガスや臭素系ガス等のフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを含むガスを用いる場合に特に効果があるとの知見を得た。なお、ハロゲン系ガスとはハロゲン元素を含むガスを意味しており、フッ素系ガス、塩素系ガス、臭素系ガスとは、それぞれフッ素原子を含むガス、塩素原子を含むガス、臭素原子を含むガスのことを意味している。
そして、かかる知見に基づいて、基板上に高誘電率膜を形成する処理を行う処理室と、前記高誘電率膜を形成するための処理ガスを前記処理室内に供給する処理ガス供給系と、前記処理室内に付着した前記高誘電率膜を含む堆積物を除去するフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスを前記処理室内に供給するクリーニングガス供給系と
、を有し、前記処理室内には金属部材が設けられ、前記金属部材の少なくとも前記クリーニングガスが接触する表面にはDLC膜が形成されている基板処理装置を発明するに到った。
、を有し、前記処理室内には金属部材が設けられ、前記金属部材の少なくとも前記クリーニングガスが接触する表面にはDLC膜が形成されている基板処理装置を発明するに到った。
また、かかる知見に基づいて、表面にDLC膜が形成された金属部材を内部に有する処理室内に基板を搬入する工程と、前記処理室内に処理ガスを供給して基板上に高誘電率膜を形成する処理を行う工程と、処理後の基板を前記処理室内から搬出する工程と、前記処理室内にフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスを供給して前記処理室内に付着した前記高誘電率膜を含む堆積物を除去する工程と、を有する半導体装置の製造方法を発明するに到った。
以下に、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置が有する処理室内におけるエッチングのメカニズムについて説明する。なお、以下の説明において、処理室内には堆積物としてHfO2が付着しており、また、クリーニングガス供給系からはフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスとして塩素系ガスであるBCl3を含むクリーニングガスが供給されるように構成されているものとする。また、処理室内に設けられた金属部材は、Ni,Cr,Fe元素を含むSUS等の金属から構成されているものとする。
堆積物としてのHfO2を、フッ素系ガス以外のハロゲン系ガスとして塩素系ガスや臭素系ガスを含むクリーニングガスによりエッチングするには、Hf−O結合の切断、Hfの塩化物や臭化物のような蒸気圧の高い反応生成物の生成、かかる反応生成物の脱離といったプロセスを進行させる必要がある。かかる脱離プロセスを進行させるには、Hf−O結合を切断させるために、Hf−O結合よりも大きな結合エネルギー(Bond strength)を有する新たな結合を生成させることが必要となる。
図7に、各種結合エネルギーの一覧を示す(出典:Lide.D.R.ed.CRC Handbook of Chemistry and Physics,79thed.,Boca Raton,FL,CRC Press,1998)。図7によれば、Hf−Oの結合エネルギーは8.30eVと大きいことから、HfO2はエッチングによる除去が比較的困難な材料といえる。これに対して、クリーニングガスとして例えばホウ素を含む塩素系ガスであるBCl3を含むガスを用いた場合には、B−Oの結合エネルギーは8.38eVであってHf−Oの結合エネルギーよりも大きく、Hf−O結合を切断させることができ、上述のプロセスを進行させることが可能となる。
HfO2が付着した処理室内に、熱またはプラズマにより励起したBCl3を含むクリーニングガスを供給した場合、以下の(1)式に示すように、BCl3からClがリリースされる。そして、HfO2を構成するHf−O結合からOが引き抜かれてB−O結合が形成されるとともに、反応生成物として揮発性の高いHfCl4、BOCl、(BOCl)3が生成され、かかる反応生成物が揮発(脱離)することによりエッチング反応が進行することになる。
HfO2+2BCl3 → HfO2+2BCl+4Cl → HfCl4+2(BOCl) ・・・(1)
HfO2+2BCl3 → HfO2+2BCl+4Cl → HfCl4+2(BOCl) ・・・(1)
なお、上述のエッチング反応の進行中において、例えばBCl2のような表面反応抑制種(堆積種)BClxが生成され、BxCly保護膜がHfO2の表面に形成され、エッチング反応の進行を抑制してしまう場合がある。このような場合、HfO2に供給するBCl3に、酸素含有ガスとして例えばO2を少量混合することにより、エッチング反応の進行を加速させることができる。すなわち、以下の(2)式に示すように、BCl2とO2との反応により、揮発性の高いBOClや(BOCl)3が生成され、表面反応抑制種BClxの密度が減少してBxCly保護膜の形成が抑制されるとともに、HfO2に対
するBClやClの効果が大きくなり、エッチング反応が加速されることとなる。
2BCl2+O2 → BOCl+BCl+2Cl ・・・(2)
するBClやClの効果が大きくなり、エッチング反応が加速されることとなる。
2BCl2+O2 → BOCl+BCl+2Cl ・・・(2)
ここで、BCl3を含むクリーニングガスを処理室内に付着したHfO2に供給すると、処理室内に設けられた金属部材の表面にもクリーニングガスが供給されてしまう。この場合、仮に金属部材の表面に金属汚染防止用の金属酸化膜や金属フッ化膜が形成されていても、金属酸化膜あるいは金属フッ化膜までもがエッチングされてしまうことになる。
金属部材がNi,Cr,Fe元素を含む金属から形成されている場合、金属部材の表面に形成された金属酸化膜は、Ni−O,Cr−O,Fe−O結合等により構成されていることになる。しかしながら、図7に示すように、これらの結合エネルギーは順に3.95,4.44,4.04eVであって、いずれもB−Oの結合エネルギー8.38eVよりも小さい。そのため、金属酸化膜にクリーニングガスが供給されると、クリーニングガス中のBによって、Ni−O,Cr−O,Fe−O結合からOが引き抜かれてしまう。また、Ni−O,Cr−O,Fe−O結合の結合エネルギーは、いずれもHf−Oの結合エネルギー8.30eVよりも小さいため、Hf−O結合からOが引き抜かれるよりも先に、Ni−O,Cr−O,Fe−O結合からOが引き抜かれてしまう。すなわち、Ni−O,Cr−O,Fe−O結合により構成される金属酸化膜は、BCl3を含むクリーニングガスに対して、HfO2よりもエッチング耐性が弱い材料であるといえる。
また、上述の金属部材の表面に形成された金属フッ化膜は、Ni−F,Cr−F結合等により構成されていることになる。しかしながら、図7に示すように、これらの結合エネルギーは順に4.45,4.61eVであって、いずれもB−Fの結合エネルギー7.84eVよりも小さい。そのため、金属フッ化膜にクリーニングガスが供給されると、クリーニングガス中のBによって、Ni−F,Cr−F結合からFが引き抜かれてしまう。すなわち、Ni−F,Cr−F結合により構成される金属フッ化膜は、BCl3を含むクリーニングガスに対して、エッチング耐性が弱い材料であるといえる。
これに対して、本実施形態にかかる基板処理装置では、処理室内における金属部材の少なくともクリーニングガスが接触する表面にDLC膜が形成されている。
DLC膜とは、炭素(C)で構成される非晶質(アモルファス)のカーボン膜のことである。DLC膜は、炭素同士の結合状態が、ダイヤモンド構造(sp3)とグラファイト構造(sp2)との両方から構成されている。DLC膜は、ダイヤモンド成分(sp3結合成分)が多いと耐性が向上し、逆に、グラファイト成分(sp2結合成分)が多いと耐性は低下する。すなわち、強固な結合であるダイヤモンド結合が多い程エッチングされ難く、グラファイト成分が多い程エッチングされる率が高くなる。
ラマン分光法はこれらの構造特定や結晶性の評価に有効な分析方法である。ダイヤモンドはsp3混成軌道を有する共有結晶で、格子振動バンドが1350cm−1付近に観測されるが、グラファイトはsp2混成軌道による6員環網状平面の炭素層が積層したもので、格子振動バンドが1580cm−1付近に観測される。DLCはsp3構造を多く含むアモルファスカーボンで、DバンドとGバンドの面積比IG/IDを算出しsp3性を見ることができる。Dバンドのピーク強度が強いほどsp3性が高いことになる。今回の評価に用いたDLC膜をラマン分析したところ、IG/IDは1.15となった(図8(a)参照)。このピーク強度比からsp2およびsp3に対するsp3の組成比(比率)sp3/(sp2+sp3)を求めてみると0.45となる。後述する電気化学試験による腐食性評価等の結果とDLC膜の組成を考慮するとsp3/(sp2+sp3)が0.4以上であることが望ましいことが判明した。なお、DLC膜のラマン分析に関してIG/IDからsp3を求める方法については下記の文献を参考とした(図8(b)参照)。
“A. C. Ferrari, J. Robertson: Physical Review B, Vol. 61 (2000) 14095”
“A. C. Ferrari, J. Robertson: Physical Review B, Vol. 61 (2000) 14095”
DLC膜においては、HfO2や金属酸化膜に対するエッチングとは異なり、BによるOの引き抜きは起こらない。BCl3によるDLC膜のエッチングは、BCl3から解離した活性化ClによるC−C結合への攻撃により生じるが、図7によればC−C結合の結合エネルギーは6.29eVであるのに対し、C−Cl結合の結合エネルギーは4.11eVである。そのため、DLC膜はBCl3と極めて反応しにくい材料であって、BCl3によってDLC膜をエッチングすることは困難である。すなわち、処理室内における金属部材の少なくともクリーニングガスが接触する表面にDLC膜を形成することで、処理室内における金属部材の腐食を抑制させ、金属汚染を抑制させることが可能となる。
なお、上記説明では、塩素系ガスであるBCl3を例に取り上げて述べてきたが、フッ素系ガスであるF2、臭素系ガスであるBBr3などのハロゲン系ガスについて考えてみる。図7より、C−F結合の結合エネルギーは5.7eV、C−Br結合の結合エネルギーは2.9eVである。C−F結合の結合エネルギーはC−C結合の結合エネルギーと近く、BCl3やBBr3に比べればF2によるエッチングの方がC−C結合に対する攻撃の度合いが大きいと言える。すなわち、F2によりDLC膜がエッチングされる可能性は、BCl3やBBr3によりDLC膜がエッチングされる可能性に比べ、遥かに大きいと言える。一方、C−Br結合の結合エネルギーはC−C結合に比べればかなり小さい値となっているので、BBr3によるDLC膜のエッチングの可能性はかなり小さいと考えられる。従って、DLC膜はF2などのフッ素系エッチングガスに対してはエッチング耐性の点で金属汚染防止用の膜としては適当であるとは言えず、ハロゲン系エッチングガスの中でもBCl3やBBr3などの塩素系、臭素系エッチングガスに対しては金属汚染防止用の膜として適当であると言える。そこで本発明では、クリーニングガス(エッチングガス)として塩素系ガス、臭素系ガス、すなわちフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを用いることとした。
図1に、DLC膜の耐腐食性を評価した電気化学試験(分極曲線測定試験)の結果を示す。電気化学試験においては、PH2程度の塩酸(HCl)水溶液中に、金属試料片とPt片とをそれぞれ電極として対向するように設置し、これらの電極間に電圧を加え、分極曲線を測定した。金属試料片としては、コーティングを施していないSUS316(SUS316)、コーティングを施していないハステロイ(Hastelloy)(登録商標)、DLC膜でコーティングしたSUS316(DLC/SUS316)、DLC膜でコーティングしたハステロイ(DLC/Hastelloy)、表面にNiP膜及びNiF膜を順にコーティングしたSUS316(NiF/NiP/SUS316)の5種類を用意し、各試料の被測定面(7×7mm)以外を絶縁性塗料によりマスキングした。DLC膜のsp3比率(sp3/(sp2+sp3))は0.4〜0.45とし、膜厚は0.8〜3μmとした。なお、図1の横軸は白金(Pt)電極と金属試料片電極との間にかかる電圧を示しており、縦軸はそのときの電流密度を示している。図1に示すように、各金属試料片の腐食電流密度は、順に2.5×10−8,5.0×10−8,1.0×10−9,1.0×10−9,8.0×10−9A/cm2となった。すなわち、DLC膜でコーティングした試料(DLC/SUS316、DLC/Hastelloy)は、コーティングを施していないSUS316に比べて1/25の腐食電流密度となり、表面にNiP膜及びNiF膜を順にコーティングしたSUS316(NiF/NiP/SUS316)に比べて1/8の腐食電流密度となった。そして、各金属試料片の腐食速度も、順に0.26,0.49.0.01,0.01,0.08nm/yearとなった。すなわち、DLC膜はクリーニングガスに対する耐腐食性に最も優れていることがわかった。
また、発明者等は、上述の各金属試料片に対するBCl3およびO2によるエッチング
の評価を行った。具体的には、上述の各金属試料片と同様の試料片を用意し、各試料片を評価用装置の処理室内に収容し、この処理室内にBCl3およびO2を供給してサーマルエッチングを行った。なお、サーマルエッチングの条件は、HfO2膜等の高誘電率膜をエッチング可能な条件とし、具体的には、エッチング温度:300〜550℃、エッチング圧力:13.3〜66500Pa、BCl3供給流量:0.1〜10slm、O2供給流量:0.1〜10slmの範囲内の値とした。
の評価を行った。具体的には、上述の各金属試料片と同様の試料片を用意し、各試料片を評価用装置の処理室内に収容し、この処理室内にBCl3およびO2を供給してサーマルエッチングを行った。なお、サーマルエッチングの条件は、HfO2膜等の高誘電率膜をエッチング可能な条件とし、具体的には、エッチング温度:300〜550℃、エッチング圧力:13.3〜66500Pa、BCl3供給流量:0.1〜10slm、O2供給流量:0.1〜10slmの範囲内の値とした。
エッチング評価の結果、コーティングを施していないSUS316(SUS316)や、表面にNiP膜及びNiF膜を順にコーティングしたSUS316(NiF/NiP/SUS316)等の試料片については腐食が見られたのに対し、DLC膜をコーティングした試料片については腐食が見られなかった。本評価により、DLC膜、特にsp3/(sp2+sp3)が0.4以上のDLC膜は、BCl3およびO2等のフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを含むエッチングガスに対する耐性が最も高く、耐腐食性に最も優れていることを確認することができた。また、DLC膜の膜厚は少なくとも0.8μm以上であればよいことも確認できた。なお、DLC膜が薄すぎる場合はエッチングガスによる金属部材の腐食、金属汚染を十分に抑制することができない。逆に、DLC膜が厚すぎる場合、例えば膜厚が5μmを超える場合には、ストレス(熱、膜)によるDLC膜へのクラックの発生、DLC膜の剥がれの問題が生じる。よって、DLC膜の膜厚は0.8μm以上5μm以下とするのが好ましい。
また、発明者等は、DLC膜の耐酸化性についても鋭意研究を行った。具体的には、TG−DTA(Thermogravimetry/Differential Thermal Analysis)装置を用いて、DLC膜を表面に形成したSiウエハからなる試料を砕いて大気雰囲気下で加熱しつつ、その重量変化を測定した。なお、DLC膜のsp3/(sp2+sp3)は0.4〜0.45とし、膜厚は0.8〜3μmとした。図2に、DLC膜の耐酸化性に関する評価結果を示す。図2の横軸は試料の温度を示しており、縦軸は試料の重量を示している。図2によれば、550℃までは試料の重量が除々に増大し、550℃を超える温度で試料の重量が低下することがわかった。試料の重量の増大は、Siが大気中の酸素(O)と反応してSiO2が形成されることにより生じるものと考えられ、試料の重量の減少は、炭素(C)が大気中の酸素(O)と反応してCOとなり飛んでいくことにより生じるものと考えられる。すなわち、DLC膜の酸素含有雰囲気下での耐熱温度は550℃以下ということが分かる。以上のことから、発明者等は、DLC膜を形成した金属部材の表面温度を550℃以下とすることが好ましいとの知見を得た。
以下に、本発明の実施例を、図面を参照しながら説明する。
(1)基板処理装置の構成
まず、図3、図4を用いて、半導体装置の製造工程における基板処理工程を実施する基板処理装置101の構成例について説明する。図3は、本発明の実施例にかかる基板処理装置101の斜透視図であり、図4は、本発明の実施例にかかる基板処理装置101の側面透視図である。
まず、図3、図4を用いて、半導体装置の製造工程における基板処理工程を実施する基板処理装置101の構成例について説明する。図3は、本発明の実施例にかかる基板処理装置101の斜透視図であり、図4は、本発明の実施例にかかる基板処理装置101の側面透視図である。
図3および図4に示すように、本実施例にかかる基板処理装置101は筐体111を備えている。筐体111の正面壁111aの下方には、筐体111内をメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口103が設けられている。正面メンテナンス口103には、正面メンテナンス口103を開閉する正面メンテナンス扉104が設けられている。シリコン等からなるウエハ(基板)200を筐体111内外へ搬送するには、複数のウエハ200を収納するウエハキャリア(基板収納容器)としてのカセッ
ト110が使用される。正面メンテナンス扉104には、カセット110を筐体111内外へ搬送する開口であるカセット搬入搬出口(基板収納容器搬入搬出口)112が、筐体111内外を連通するように設けられている。カセット搬入搬出口112は、フロントシャッタ(基板収納容器搬入搬出口開閉機構)113によって開閉されるように構成されている。カセット搬入搬出口112の筐体111内側には、カセットステージ(基板収納容器受渡し台)114が設けられている。カセット110は、図示しない工程内搬送装置によってカセットステージ114上に載置され、また、カセットステージ114上から筐体111外へ搬出されるように構成されている。
ト110が使用される。正面メンテナンス扉104には、カセット110を筐体111内外へ搬送する開口であるカセット搬入搬出口(基板収納容器搬入搬出口)112が、筐体111内外を連通するように設けられている。カセット搬入搬出口112は、フロントシャッタ(基板収納容器搬入搬出口開閉機構)113によって開閉されるように構成されている。カセット搬入搬出口112の筐体111内側には、カセットステージ(基板収納容器受渡し台)114が設けられている。カセット110は、図示しない工程内搬送装置によってカセットステージ114上に載置され、また、カセットステージ114上から筐体111外へ搬出されるように構成されている。
カセット110は、工程内搬送装置によって、カセット110内のウエハ200が垂直姿勢となり、カセット110のウエハ出し入れ口が上方向を向くように、カセットステージ114上に載置される。カセットステージ114は、カセット110を筐体111の後方に向けて縦方向に90°回転させ、カセット110内のウエハ200を水平姿勢とさせ、カセット110のウエハ出し入れ口を筐体111内の後方を向かせることが可能なように構成されている。
筐体111内の前後方向の略中央部には、カセット棚(基板収納容器載置棚)105が設置されている。カセット棚105は、複数段、複数列にて複数個のカセット110を保管するように構成されている。カセット棚105には、後述するウエハ移載機構125の搬送対象となるカセット110が収納される移載棚123が設けられている。また、カセットステージ114の上方には、予備カセット棚107が設けられ、予備的にカセット110を保管するように構成されている。
カセットステージ114とカセット棚105との間には、カセット搬送装置(基板収納容器搬送装置)118が設けられている。カセット搬送装置118は、カセット110を保持したまま昇降可能なカセットエレベータ(基板収納容器昇降機構)118aと、カセット110を保持したまま水平移動可能な搬送機構としてのカセット搬送機構(基板収納容器搬送機構)118bと、を備えている。これらカセットエレベータ118aとカセット搬送機構118bとの連続動作により、カセットステージ114、カセット棚105、予備カセット棚107、移載棚123の間で、カセット110を搬送するように構成されている。
カセット棚105の後方には、ウエハ移載機構(基板移載機構)125が設けられている。ウエハ移載機構125は、ウエハ200を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置(基板移載装置)125aと、ウエハ移載装置125aを昇降させるウエハ移載装置エレベータ(基板移載装置昇降機構)125bと、を備えている。なお、ウエハ移載装置125aは、ウエハ200を水平姿勢で保持するツイーザ(基板保持体)125cを備えている。これらウエハ移載装置125aとウエハ移載装置エレベータ125bとの連続動作により、ウエハ200を移載棚123上のカセット110内からピックアップして後述するボート(基板保持具)217へ装填(チャージング)したり、ウエハ200をボート217から脱装(ディスチャージング)して移載棚123上のカセット110内へ収納したりするように構成されている。
筐体111の後部上方には、処理炉202が設けられている。処理炉202の下端部には開口が設けられ、かかる開口は炉口シャッタ(炉口開閉機構)147により開閉されるように構成されている。なお、処理炉202の構成については後述する。
処理炉202の下方には、ボート217を昇降させて処理炉202内外へ搬入搬出させる昇降機構としてのボートエレベータ(基板保持具昇降機構)115が設けられている。ボートエレベータ115の昇降台には、連結具としてのアーム128が設けられている。
アーム128上には、ボート217を垂直に支持するとともに、ボートエレベータ115によりボート217が上昇したときに処理炉202の下端部を気密に閉塞する蓋体としてのシールキャップ219が水平姿勢で設けられている。
アーム128上には、ボート217を垂直に支持するとともに、ボートエレベータ115によりボート217が上昇したときに処理炉202の下端部を気密に閉塞する蓋体としてのシールキャップ219が水平姿勢で設けられている。
ボート217は複数本の保持部材を備えており、複数枚(例えば、50枚〜150枚程度)のウエハ200を、水平姿勢で、かつその中心を揃えた状態で垂直方向に整列させて多段に保持するように構成されている。
カセット棚105の上方には、供給ファンと防塵フィルタとを備えたクリーンユニット134aが設けられている。クリーンユニット134aは、清浄化した雰囲気であるクリーンエアを筐体111の内部に流通させるように構成されている。
また、ウエハ移載装置エレベータ125bおよびボートエレベータ115側と反対側である筐体111の左側端部には、クリーンエアを供給するよう供給フアンと防塵フィルタとを備えたクリーンユニット(図示せず)が設置されている。図示しない前記クリーンユニットから吹き出されたクリーンエアは、ウエハ移載装置125a、ボート217を流通した後に、図示しない排気装置に吸い込まれて、筐体111の外部に排気されるように構成されている。
(2)基板処理装置の動作
次に、本発明の実施例にかかる基板処理装置101の動作について説明する。
次に、本発明の実施例にかかる基板処理装置101の動作について説明する。
まず、カセット110がカセットステージ114上に載置されるに先立って、カセット搬入搬出口112がフロントシャッタ113によって開放される。その後、カセット110が、工程内搬送装置によってカセット搬入搬出口112から搬入され、ウエハ200が垂直姿勢となり、カセット110のウエハ出し入れ口が上方向を向くように、カセットステージ114上に載置される。その後、カセット110は、カセットステージ114によって、筐体111の後方に向けて縦方向に90°回転させられる。その結果、カセット110内のウエハ200は水平姿勢となり、カセット110のウエハ出し入れ口は筐体111内の後方を向く。
次に、カセット110は、カセット搬送装置118によって、カセット棚105ないし予備カセット棚107の指定された棚位置へ自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、カセット棚105ないし予備カセット棚107から移載棚123に移載されるか、もしくは直接移載棚123に搬送される。
カセット110が移載棚123に移載されると、ウエハ200は、ウエハ移載装置125aのツイーザ125cによって、ウエハ出し入れ口を通じてカセット110からピックアップされ、ウエハ移載装置125aとウエハ移載装置エレベータ125bとの連続動作によって移載室124の後方にあるボート217に装填(チャージング)される。ボート217にウエハ200を受け渡したウエハ移載機構125は、カセット110に戻り、次のウエハ200をボート217に装填する。
予め指定された枚数のウエハ200がボート217に装填されると、炉口シャッタ147によって閉じられていた処理炉202の下端部が、炉口シャッタ147によって開放される。続いて、シールキャップ219がボートエレベータ115によって上昇されることにより、ウエハ200群を保持したボート217が処理炉202内へ搬入(ローディング)される。ローディング後は、処理炉202にてウエハ200に任意の処理が実施される。かかる処理については後述する。処理後は、ウエハ200およびカセット110は、上述の手順とは逆の手順で筐体111の外部へ払出される。
(3)処理炉の構成
次に、図5、図6を用いて、前述した基板処理装置101の有する処理炉202の構成について説明する。図5は、本実施例にかかる基板処理装置101の有する処理炉202の縦断面図である。図6は、図5に示す処理炉202のA−A線断面図である。
次に、図5、図6を用いて、前述した基板処理装置101の有する処理炉202の構成について説明する。図5は、本実施例にかかる基板処理装置101の有する処理炉202の縦断面図である。図6は、図5に示す処理炉202のA−A線断面図である。
図5に示すように、処理炉202は加熱手段(加熱機構)としてのヒータ207を有する。ヒータ207は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース(図示せず)に支持されることにより垂直に据え付けられている。
ヒータ207の内側には、ヒータ207と同心円状に反応管としてのプロセスチューブ203が配設されている。プロセスチューブ203は、例えば石英(SiO2)または炭化シリコン(SiC)等の耐熱性材料からなり、上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されている。プロセスチューブ203の筒中空部には、基板としてのウエハ200上に高誘電率膜を形成する処理を行う処理室201が形成されている。処理室201は、ウエハ200をボート217によって水平姿勢で垂直方向に多段に整列した状態で収容可能に構成されている。
プロセスチューブ203の下方には、プロセスチューブ203と同心円状にマニホールド(炉口フランジ部)209が配設されている。マニホールド209は、例えばステンレス等からなり、上端および下端が開口した円筒形状に形成されている。マニホールド209は、プロセスチューブ203に係合しており、プロセスチューブ203を支持するように設けられている。なお、マニホールド209とプロセスチューブ203との間にはシール部材としてのOリング220aが設けられている。マニホールド209がヒータベースに支持されることにより、プロセスチューブ203は垂直に据え付けられた状態となっている。プロセスチューブ203とマニホールド209とにより反応容器が形成される。
マニホールド209には、高誘電率材料としての高誘電率膜を形成するための成膜ガスを処理室201内に供給する成膜ガス供給系と、処理室201内に付着した高誘電率膜を含む堆積物を除去するためのクリーニングガスを処理室201内に供給するクリーニングガス供給系と、がそれぞれ接続されている。成膜ガス供給系は、成膜ガスとして、成膜原料及び酸化剤を処理室201内に供給するように構成されている。また、クリーニングガス供給系は、クリーニングガスとして、エッチングガスであるハロゲン系ガス及び添加ガスを処理室201内に供給するように構成されている。
具体的には、マニホールド209には、第1ガス導入部としての第1ノズル233aと第2ガス導入部としての第2ノズル233bとが、それぞれ処理室201内に連通するように接続されている。第1ノズル233a、第2ノズル233bには、それぞれ第1ガス供給管232a、第2ガス供給管232bが接続されている。また、第1ガス供給管232a、第2ガス供給管232bには、それぞれ第3ガス供給管232c、第4ガス供給管232dが接続されている。このように、処理室201へは複数種類、ここでは4種類のガスを供給するガス供給経路として、4本のガス供給管232a、232b、232c、232dと、2本のノズル233a、233bが設けられている。第1ガス供給管232aと第2ガス供給管232bとにより成膜ガス供給系が構成され、第3ガス供給管232cと第4ガス供給管232dとによりクリーニングガス供給系が構成される。
第1ガス供給管232aには、上流方向から順に、流量制御器(流量制御手段)である第1マスフローコントローラ241a、気化器250、及び開閉弁である第1バルブ243aが設けられている。第1マスフローコントローラ241aは、成膜原料としての常温で液体である液体原料の液体流量を制御する液体マスフローコントローラとして構成され
ている。また、第1ガス供給管232aの第1バルブ243aよりも下流側には、不活性ガスを供給する第1不活性ガス供給管234aが接続されている。この第1不活性ガス供給管234aには、上流方向から順に、流量制御器(流量制御手段)である第3マスフローコントローラ241c、及び開閉弁である第3バルブ243cが設けられている。また、第1ガス供給管232aの先端部(下流端部)には、上述の第1ノズル233aが接続されている。第1ノズル233aは、処理室201を構成しているプロセスチューブ203の内壁とウエハ200との間における円弧状の空間に、プロセスチューブ203の下部より上部の内壁に沿って、また、ウエハ200の積載方向に沿って設けられている。第1ノズル233aの側面には、ガスを供給する供給孔である第1ガス供給孔248aが設けられている。この第1ガス供給孔248aは、下部から上部にわたってそれぞれ同一の開口面積を有し、更に同じ開口ピッチで設けられている。
ている。また、第1ガス供給管232aの第1バルブ243aよりも下流側には、不活性ガスを供給する第1不活性ガス供給管234aが接続されている。この第1不活性ガス供給管234aには、上流方向から順に、流量制御器(流量制御手段)である第3マスフローコントローラ241c、及び開閉弁である第3バルブ243cが設けられている。また、第1ガス供給管232aの先端部(下流端部)には、上述の第1ノズル233aが接続されている。第1ノズル233aは、処理室201を構成しているプロセスチューブ203の内壁とウエハ200との間における円弧状の空間に、プロセスチューブ203の下部より上部の内壁に沿って、また、ウエハ200の積載方向に沿って設けられている。第1ノズル233aの側面には、ガスを供給する供給孔である第1ガス供給孔248aが設けられている。この第1ガス供給孔248aは、下部から上部にわたってそれぞれ同一の開口面積を有し、更に同じ開口ピッチで設けられている。
第2ガス供給管232bには、上流方向から順に、流量制御装置(流量制御手段)である第2マスフローコントローラ241b、開閉弁である第2バルブ243bが設けられている。また、第2ガス供給管232bの第2バルブ243bよりも下流側には、不活性ガスを供給する第2不活性ガス供給管234bが接続されている。この第2不活性ガス供給管234bには、上流方向から順に、流量制御装置(流量制御手段)である第4マスフローコントローラ241d、及び開閉弁である第4バルブ243dが設けられている。また、第2ガス供給管232bの先端部(下流端部)には、上述の第2ノズル233bが接続されている。第2ノズル233bは、処理室201を構成しているプロセスチューブ203の内壁とウエハ200との間における円弧状の空間に、プロセスチューブ203の下部より上部の内壁に沿って、また、ウエハ200の積載方向に沿って設けられている。第2ノズル233bの側面には、ガスを供給する供給孔である第2ガス供給孔248bが設けられている。この第2ガス供給孔248bは、下部から上部にわたってそれぞれ同一の開口面積を有し、更に同じ開口ピッチで設けられている。
第1ガス供給管232aの第1不活性ガス供給管234aとの接続部よりも下流側には、上述の第3ガス供給管232cが接続されている。この第3ガス供給管232cには、上流方向から順に、流量制御器(流量制御手段)である第5マスフローコントローラ241e、及び開閉弁である第5バルブ243eが設けられている。
第2ガス供給管232bの第2不活性ガス供給管234bとの接続部よりも下流側には、上述の第4ガス供給管232dが接続されている。この第4ガス供給管232dには、上流方向から順に、流量制御器(流量制御手段)である第6マスフローコントローラ241f、及び開閉弁である第6バルブ243fが設けられている。
第1ガス供給管232aからは、例えば、高誘電率材料からなる高誘電率膜を形成するための成膜原料としてハフニウム有機物材料であるTEMAH(Hf[(C2H5)(CH3)N]4、テトラキスエチルメチルアミノハフニウム)を気化したハフニウム原料ガスが、第1マスフローコントローラ241a、気化器250、第1バルブ243a、第1ノズル233aを介して処理室201内に供給される。
また、第2ガス供給管232bからは、例えば、酸化剤としてのオゾンガス(O3)が、第2マスフローコントローラ241b、第2バルブ243b、第2ノズル233bを介して処理室201内に供給される。
また、第3ガス供給管232cからは、例えば、クリーニングガス(エッチングガス)としてのハロゲン系ガスである三塩化ホウ素ガス(BCl3)が、第5マスフローコントローラ241e、第5バルブ243e、第1ガス供給管232a、第1ノズル233aを介して処理室201内に供給される。
また、第4ガス供給管232dからは、例えば、クリーニングガス(エッチングガス)としてのハロゲン系ガスの添加剤としての酸素ガス(O2)が、第6マスフローコントローラ241f、第6バルブ243f、第2ガス供給管232b、第2ノズル233bを介して処理室201内に供給される。
なお、これらのガスを処理室201内に供給する際、同時に、第1不活性ガス供給管234aから、第3マスフローコントローラ241c、第3バルブ243cを介して第1ガス供給管232a内に不活性ガスを供給するようにしてもよいし、また、第2不活性ガス供給管234bから、第4マスフローコントローラ241d、第4バルブ243dを介して第2ガス供給管232b内に不活性ガスを供給するようにしてもよい。不活性ガスの供給により、上記各ガスの希釈や、不使用配管のパージを行うことができる。
マニホールド209には、処理室201内の雰囲気を排気する排気管231が設けられている。排気管231の下流側、すなわちマニホールド209との接続側の反対側には、圧力検出器としての圧力センサ245および圧力調整器としてのAPC(Auto Pressure Controller)バルブ242を介して、真空排気装置としての真空ポンプ246が接続されている。そのため、排気管231は、処理室201内の圧力が所定の圧力(真空度)となるよう真空排気し得るように構成されている。なお、APCバルブ242は、弁を開閉して処理室201の真空排気・真空排気停止ができ、更に弁開度を調節することにより処理室201内の圧力調整が可能なように構成された開閉弁である。
上述したように、マニホールド209の下方には、マニホールド209の下端開口を気密に閉塞可能な炉口蓋体としてのシールキャップ219が設けられている。シールキャップ219は、マニホールド209の下端に垂直方向下側から当接されるようになっている。シールキャップ219は、例えばステンレス等の金属からなり、円盤状に形成されている。シールキャップ219の上面には、マニホールド209の下端と当接するシール部材としてのOリング220bが設けられている。シールキャップ219の処理室201と反対側には、ボート217を回転させる回転機構267が設けられている。回転機構267の回転軸255は、シールキャップ219を貫通してボート217に接続されている。回転機構267を作動(回転)させることで、ボート217およびウエハ200を回転させるように構成されている。シールキャップ219は、プロセスチューブ203の外部に垂直に設置された昇降機構としてのボートエレベータ115によって垂直方向に昇降されるように構成されている。ボートエレベータ115を昇降させることで、ボート217を処理室201に対し搬入搬出することが可能なように構成されている。
基板保持具としてのボート217は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなり、上述したように、複数枚のウエハ200を水平姿勢でかつ互いに中心を揃えた状態で整列させて多段に保持するように構成されている。なお、ボート217の下部には、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなる断熱部材218が設けられており、ヒータ207からの熱がシールキャップ219側に伝わりにくくなるよう構成されている。なお、断熱部材218は、石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなる複数枚の断熱板と、これらを水平姿勢で多段に支持する断熱板ホルダとにより構成されていてもよい。
図6に示すように、プロセスチューブ203内には、温度検出器としての温度センサ263が設けられている。この温度センサ263により検出された温度情報に基づき、ヒータ207への通電具合を調整することで処理室201内の温度が所望の温度分布となるようになっている。
なお、本実施例にかかる処理炉202内やガス流通経路内にはマニホールド209、シールキャップ219、回転軸255、排気管231、APCバルブ242等の金属部材が設けられ、金属部材の少なくともクリーニングガスが接触する表面にはDLC膜290が形成されている。具体的には、マニホールド209の内側表面、シールキャップ219の表面、回転軸255の表面、排気管231及びAPCバルブ242の内面等には、例えばBCl3などのハロゲン系ガスに対し耐腐食性を有する上述のDLC(Diamond−like Carbon)膜290がコーティングされている。なお、本実施例ではsp3/(sp2+sp3)が0.4以上、膜厚が0.8μm以上のDLC膜を用いている。また、マニホールド209、シールキャップ219、排気管231には、それぞれ温度調節部270a,270b,270cが設けられている。温度調節部270aはマニホールド209の温度を、温度調節部270bはシールキャップ219及び回転軸255の温度を、温度調節部270cは排気管231及びAPCバルブ242の温度を調整するように構成されている。温度調節部270a,270b,270cは、例えば、サブヒータや冷却水循環装置(チラー)等により構成されている。
また、本実施例にかかる処理炉202は、制御部(制御手段)であるコントローラ280を備えている。コントローラ280は、第1〜第6のマスフローコントローラ241a、241b、241c、241d、241e、241f、第1〜第6のバルブ243a、243b、243c、243d、243e、243f、気化器250、APCバルブ242、ヒータ207、温度調節部270a,270b,270c、真空ポンプ246、回転機構267、ボートエレベータ115等に接続されている。コントローラ280は、第1〜第6のマスフローコントローラ241a、241b、241c、241d、241e、241fの流量調整、第1〜第6のバルブ243a、243b、243c、243d、243e、243fの開閉動作、気化器250の気化動作、APCバルブ242の開閉及び圧力調整動作、ヒータ207の温度調整、温度調節部270a,270b,270cによる金属部材の温度調節、真空ポンプ246の起動・停止、回転機構267の回転速度調節、ボートエレベータ115の昇降動作等を制御するように構成されている。
(4)高誘電率膜の形成方法、及びクリーニング方法
次に、上述の基板処理装置101の処理炉202を用いて半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、処理室201内でウエハ200上に高誘電率材料からなる高誘電率膜を形成する方法、および、処理室201内をクリーニングする方法について説明する。成膜方法としては、成膜原料としてハフニウム有機物材料であるTEMAHを用い、酸化剤としてオゾンガス(O3)を用い、ALD(Atomic Layer Deposition)法により、ウエハ200上に高誘電率膜として酸化ハフニウム膜(HfO2、ハフニア)を成膜する例について説明する。また、クリーニング方法としては、クリーニングガスとしてBCl3ガスとO2ガスとを用いて、熱化学反応により処理室201内をクリーニングする例について説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置101を構成する各部の動作は、コントローラ280により制御される。
次に、上述の基板処理装置101の処理炉202を用いて半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、処理室201内でウエハ200上に高誘電率材料からなる高誘電率膜を形成する方法、および、処理室201内をクリーニングする方法について説明する。成膜方法としては、成膜原料としてハフニウム有機物材料であるTEMAHを用い、酸化剤としてオゾンガス(O3)を用い、ALD(Atomic Layer Deposition)法により、ウエハ200上に高誘電率膜として酸化ハフニウム膜(HfO2、ハフニア)を成膜する例について説明する。また、クリーニング方法としては、クリーニングガスとしてBCl3ガスとO2ガスとを用いて、熱化学反応により処理室201内をクリーニングする例について説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置101を構成する各部の動作は、コントローラ280により制御される。
まず、処理室201内でウエハ200上に高誘電率材料からなる高誘電率膜を成膜する方法について説明する。
ALD(Atomic Layer Deposition)法は、ある成膜条件(温度、時間等)の下で、成膜に用いる少なくとも2種類の原料となる反応性ガスを1種類ずつ交互に基板上に供給し、1原子単位で基板上に吸着させ、表面反応を利用して成膜を行う手法である。このとき、膜厚の制御は、反応性ガスを供給するサイクル数で行う。例えば、成膜速度が1Å/サイクルとすると、20Åの膜を形成する場合、20サイクル行う。以下、これを具体的に説明する。
まず、上述のように、表面にDLC膜290が形成された金属部材を内部に有する処理室201内に、基板としてのウエハ200を搬入する。具体的には、複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、図5に示すように、複数枚のウエハ200を保持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201に搬入(ボートローディング)される。この状態で、シールキャップ219は、Oリング220bを介してマニホールド209の下端をシールした状態となる。
処理室201内が所望の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ246によって真空排気される。この際、処理室201内の圧力は圧力センサ245で測定され、この測定された圧力に基づきAPCバルブ242がフィードバック制御される。また、処理室201内が所望の温度となるようにヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電具合がフィードバック制御される。続いて、回転機構267によりボート217が回転されることで、ウエハ200が回転される。
その後、処理室201内に処理ガスを供給してウエハ200上に高誘電率膜を形成する処理を行う。具体的には、後述する4つのステップを順次実行する。なお、ボート217、すなわちウエハ200は回転させなくてもよい。
(ステップ1)
第1ガス供給管232aの第1バルブ243a、第1不活性ガス供給管234aの第3バルブ243cを開き、第1ガス供給管232aに成膜原料としてのTEMAHを、第1不活性ガス供給管234aにキャリアガスとしての不活性ガス(N2)を流す。不活性ガスは、第1不活性ガス供給管234aから流れ、第3マスフローコントローラ241cにより流量調整される。TEMAHは、第1ガス供給管232aから流れ、液体マスフローコントローラである第1マスフローコントローラ241aにより液体状態で流量調整され、気化器250で気化された後、流量調整された不活性ガスと混合されて、第1ノズル233aの第1ガス供給孔248aから処理室201内に供給されつつ、排気管231から排気される。この時、APCバルブ242を適正に調整して、処理室201内の圧力を13.3〜1330Paの範囲であって、例えば300Paに維持する。液体マスフローコントローラである第1マスフローコントローラ241aで制御するTEMAHの供給量は、0.01〜0.1g/minの範囲であって、例えば0.05g/minとする。TEMAHにウエハ200を晒す時間は、30〜180秒間の範囲であって、例えば60秒とする。このとき、ヒータ207の温度は、ウエハ200の温度が180〜250℃の範囲であって、例えば250℃になるよう設定する。TEMAHを処理室201内に供給することで、TEMAHがウエハ200上の下地膜などの表面部分と表面反応し、化学吸着する。
第1ガス供給管232aの第1バルブ243a、第1不活性ガス供給管234aの第3バルブ243cを開き、第1ガス供給管232aに成膜原料としてのTEMAHを、第1不活性ガス供給管234aにキャリアガスとしての不活性ガス(N2)を流す。不活性ガスは、第1不活性ガス供給管234aから流れ、第3マスフローコントローラ241cにより流量調整される。TEMAHは、第1ガス供給管232aから流れ、液体マスフローコントローラである第1マスフローコントローラ241aにより液体状態で流量調整され、気化器250で気化された後、流量調整された不活性ガスと混合されて、第1ノズル233aの第1ガス供給孔248aから処理室201内に供給されつつ、排気管231から排気される。この時、APCバルブ242を適正に調整して、処理室201内の圧力を13.3〜1330Paの範囲であって、例えば300Paに維持する。液体マスフローコントローラである第1マスフローコントローラ241aで制御するTEMAHの供給量は、0.01〜0.1g/minの範囲であって、例えば0.05g/minとする。TEMAHにウエハ200を晒す時間は、30〜180秒間の範囲であって、例えば60秒とする。このとき、ヒータ207の温度は、ウエハ200の温度が180〜250℃の範囲であって、例えば250℃になるよう設定する。TEMAHを処理室201内に供給することで、TEMAHがウエハ200上の下地膜などの表面部分と表面反応し、化学吸着する。
(ステップ2)
第1ガス供給管232aの第1バルブ243aを閉じ、TEMAHの供給を停止する。このとき、排気管231のAPCバルブ242は開いたままとし、真空ポンプ246により処理室201内を20Pa以下となるまで排気し、残留したTEMAHガスを処理室201内から排除する。このときN2等の不活性ガスを処理室201内へ供給すると、残留したTEMAHガスを排除する効果が更に高まる。
第1ガス供給管232aの第1バルブ243aを閉じ、TEMAHの供給を停止する。このとき、排気管231のAPCバルブ242は開いたままとし、真空ポンプ246により処理室201内を20Pa以下となるまで排気し、残留したTEMAHガスを処理室201内から排除する。このときN2等の不活性ガスを処理室201内へ供給すると、残留したTEMAHガスを排除する効果が更に高まる。
(ステップ3)
第2ガス供給管232bの第2バルブ243b、第2不活性ガス供給管234bの第4バルブ243dを開き、第2ガス供給管232bに酸化剤としてのO3を、第2不活性ガス供給管234bにキャリアガスとしての不活性ガス(N2)を流す。不活性ガスは、第2不活性ガス供給管234bから流れ、第4マスフローコントローラ241dにより流量
調整される。O3は第2ガス供給管232bから流れ、第2マスフローコントローラ241bにより流量調整され、流量調整された不活性ガスと混合されて、第2ノズル233bの第2ガス供給孔248bから処理室201内に供給されつつ、排気管231から排気される。この時、APCバルブ242を適正に調整して、処理室201内の圧力を13.3〜1330Paの範囲であって、例えば70Paに維持する。第2マスフローコントローラ241bで制御するO3の供給量は、0.1〜10slmの範囲であって、例えば0.5slmとする。なお、O3にウエハ200を晒す時間は、1〜300秒間の範囲であって、例えば40秒とする。このときのウエハ200の温度が、ステップ1のTEMAHガスの供給時と同じく180〜250℃の範囲であって、例えば250℃となるようヒータ207の温度を設定する。O3の供給により、ウエハ200の表面に化学吸着したTEMAHとO3とが表面反応して、ウエハ200上にHfO2膜が成膜される。
第2ガス供給管232bの第2バルブ243b、第2不活性ガス供給管234bの第4バルブ243dを開き、第2ガス供給管232bに酸化剤としてのO3を、第2不活性ガス供給管234bにキャリアガスとしての不活性ガス(N2)を流す。不活性ガスは、第2不活性ガス供給管234bから流れ、第4マスフローコントローラ241dにより流量
調整される。O3は第2ガス供給管232bから流れ、第2マスフローコントローラ241bにより流量調整され、流量調整された不活性ガスと混合されて、第2ノズル233bの第2ガス供給孔248bから処理室201内に供給されつつ、排気管231から排気される。この時、APCバルブ242を適正に調整して、処理室201内の圧力を13.3〜1330Paの範囲であって、例えば70Paに維持する。第2マスフローコントローラ241bで制御するO3の供給量は、0.1〜10slmの範囲であって、例えば0.5slmとする。なお、O3にウエハ200を晒す時間は、1〜300秒間の範囲であって、例えば40秒とする。このときのウエハ200の温度が、ステップ1のTEMAHガスの供給時と同じく180〜250℃の範囲であって、例えば250℃となるようヒータ207の温度を設定する。O3の供給により、ウエハ200の表面に化学吸着したTEMAHとO3とが表面反応して、ウエハ200上にHfO2膜が成膜される。
(ステップ4)
成膜後、第2ガス供給管232bの第2バルブ243bを閉じ、O3の供給を停止する。このとき、排気管231のAPCバルブ242は開いたままとし、真空ポンプ246により処理室201内を20Pa以下となるまで排気し、残留したO3を処理室201内から排除する。このとき、N2等の不活性ガスを処理室201内へ供給すると、残留したO3を排除する効果が更に高まる。
成膜後、第2ガス供給管232bの第2バルブ243bを閉じ、O3の供給を停止する。このとき、排気管231のAPCバルブ242は開いたままとし、真空ポンプ246により処理室201内を20Pa以下となるまで排気し、残留したO3を処理室201内から排除する。このとき、N2等の不活性ガスを処理室201内へ供給すると、残留したO3を排除する効果が更に高まる。
上述したステップ1〜4を1サイクルとし、このサイクルを複数回繰り返すことにより、ウエハ200上に所定膜厚のHfO2膜を成膜することができる。
所定膜厚のHfO2膜を成膜した後、処理室201内を真空引きし、その後、処理室201内にN2等の不活性ガスを供給しつつ排気して、処理室201内をパージする。処理室201内をパージした後、処理室201内がN2等の不活性ガスに置換されるとともに、処理室201内の圧力が常圧に復帰される。
その後、処理後のウエハ200を処理室201内から搬出する工程を実施する。具体的には、ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降されて、マニホールド209の下端が開口されるとともに、処理済のウエハ200がボート217に保持された状態でマニホールド209の下端からプロセスチューブ203の外部に搬出(ボートアンローディング)される。その後、処理済のウエハ200はボート217より取出される(ウエハディスチャージ)。
次に、処理室201内をクリーニングする方法について説明する。
上記成膜を繰り返すと、プロセスチューブ203の内壁等に膜が付着するが、この内壁等に付着した膜の膜厚が所定の厚さに達した時点で、プロセスチューブ203内のクリーニングが行われる。クリーニングは次のように行われる。
まず、空のボート217、すなわちウエハ200を装填していないボート217が、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201に搬入(ボートローディング)される。この状態で、シールキャップ219は、Oリング220bを介してマニホールド209の下端をシールした状態となる。
次いで、処理室201内が所望の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ246によって真空排気される。この際、処理室201内の圧力は圧力センサ245で測定され、この測定された圧力に基づきAPCバルブ242がフィードバック制御される。また、処理室201内が所望の温度となるようにヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づき
ヒータ207への通電具合がフィードバック制御される。また、マニホールド209、シールキャップ219、回転軸255、排気管231、APCバルブ242等の金属部材の温度が所定の温度、具体的には550℃以下の温度となるように、温度調節部270a,270b,270cによって温度調節される。続いて、回転機構254によりボート217が回転される。なお、ボート217は回転させなくてもよい。
ヒータ207への通電具合がフィードバック制御される。また、マニホールド209、シールキャップ219、回転軸255、排気管231、APCバルブ242等の金属部材の温度が所定の温度、具体的には550℃以下の温度となるように、温度調節部270a,270b,270cによって温度調節される。続いて、回転機構254によりボート217が回転される。なお、ボート217は回転させなくてもよい。
次いで、処理室201内にハロゲン系ガスを含むクリーニングガスを供給して、処理室201内に付着した高誘電率膜を含む堆積物を除去する。
具体的には、まず、第3ガス供給管232cの第5バルブ243eを開き、第3ガス供給管232cにクリーニングガス、すなわちエッチングガスとしてのハロゲン系ガスであるBCl3を流す。BCl3は、第3ガス供給管232cから流れ、第5マスフローコントローラ241eにより流量調整され、第1ガス供給管232aを通り、第1ノズル233aの第1ガス供給孔248aから処理室201内に供給される。
エッチングガスは、100%から20%程度にN2等の不活性ガスで希釈した濃度で用いてもよく、エッチングガスを希釈して使用する場合には、第1不活性ガス供給管234aの第3バルブ243cをも開とする。不活性ガスは、第1不活性ガス供給管234aから流れ、第3マスフローコントローラ241cにより流量調整される。BCl3は、第3ガス供給管232cから流れ、第5マスフローコントローラ241eにより流量調整され、流量調整された不活性ガスと第1ガス供給管232aにおいて混合されて、第1ノズル233aの第1ガス供給孔248aから処理室201内に供給される。
また、エッチングガスとしてのハロゲン系ガスであるBCl3の添加剤としてO2を添加する場合は、第4ガス供給管232dの第6バルブ243fをも開とする。O2は、第4ガス供給管232dから流れ、第6マスフローコントローラ241fにより流量調整され、第2ガス供給管232bを通り、第2ノズル233bの第2ガス供給孔248bから処理室201内に供給される。O2は、処理室201内においてBCl3や不活性ガスと混合される。
このとき、処理室201内にBCl3やO2を連続的に供給しつつ、排気管231より連続的に排気するようにしてもよい。すなわち、APCバルブ242を開いた状態で、APCバルブ242により処理室201内の圧力を調整しながら、処理室201内にBCl3やO2を連続的に供給しつつ排気管231より連続的に排気するようにしてもよい。
また、処理室201内へのBCl3やO2の供給、排気管231からの排気を間欠的に行うようにしてもよい。すなわち、次のステップC1〜C4を1サイクルとして、このサイクルを所定回数繰り返すことでクリーニングを行うようにしてもよい。
(ステップC1)
APCバルブ242を開いた状態で処理室201内を真空排気する。処理室201内の圧力が第1圧力に到達した後、APCバルブ242を閉じる。これにより排気系を封止する。
APCバルブ242を開いた状態で処理室201内を真空排気する。処理室201内の圧力が第1圧力に到達した後、APCバルブ242を閉じる。これにより排気系を封止する。
(ステップC2)
その状態、すなわちAPCバルブ242が閉じられ処理室201内の圧力が第1圧力となった状態で、第5バルブ243e、第6バルブ243fを開き、処理室201内へBCl3およびO2を一定時間供給する。このとき、第3バルブ243cを開き、処理室201内へN2等の不活性ガスを供給してエッチングガスを希釈するようにしてもよい。処理室201内の圧力が第2圧力となったところで第5バルブ243e、第6バルブ243f
を閉じ、処理室201内へのBCl3およびO2の供給を停止する。このとき、N2等の不活性ガスを供給していた場合は、第3バルブ243cも閉じ、処理室201内への不活性ガスの供給も停止する。これにより供給系を封止する。このとき、全てのバルブ、すなわち第1〜第6のバルブ243a、243b、243c、243d、243e、243fおよびAPCバルブ242が閉じられた状態となる。すなわち、ガス供給系および排気系が共に封止された状態となる。これにより、処理室201内が封止され、処理室201内にBCl3およびO2を封じ込めた状態となる。
その状態、すなわちAPCバルブ242が閉じられ処理室201内の圧力が第1圧力となった状態で、第5バルブ243e、第6バルブ243fを開き、処理室201内へBCl3およびO2を一定時間供給する。このとき、第3バルブ243cを開き、処理室201内へN2等の不活性ガスを供給してエッチングガスを希釈するようにしてもよい。処理室201内の圧力が第2圧力となったところで第5バルブ243e、第6バルブ243f
を閉じ、処理室201内へのBCl3およびO2の供給を停止する。このとき、N2等の不活性ガスを供給していた場合は、第3バルブ243cも閉じ、処理室201内への不活性ガスの供給も停止する。これにより供給系を封止する。このとき、全てのバルブ、すなわち第1〜第6のバルブ243a、243b、243c、243d、243e、243fおよびAPCバルブ242が閉じられた状態となる。すなわち、ガス供給系および排気系が共に封止された状態となる。これにより、処理室201内が封止され、処理室201内にBCl3およびO2を封じ込めた状態となる。
(ステップC3)
その状態、すなわち、ガス供給系および排気系を封止することで処理室201内を封止し、処理室201内にBCl3やO2を封入した状態を所定時間維持する。
その状態、すなわち、ガス供給系および排気系を封止することで処理室201内を封止し、処理室201内にBCl3やO2を封入した状態を所定時間維持する。
(ステップC4)
所定時間経過後、APCバルブ242を開き、排気管231を通して処理室201内の真空排気を行う。その後、第3バルブ243cまたは第4バルブ243dを開き、処理室201内にN2等の不活性ガスを供給しつつ排気管231より排気し、処理室201内のガスパージを行う。
所定時間経過後、APCバルブ242を開き、排気管231を通して処理室201内の真空排気を行う。その後、第3バルブ243cまたは第4バルブ243dを開き、処理室201内にN2等の不活性ガスを供給しつつ排気管231より排気し、処理室201内のガスパージを行う。
以上のステップC1〜C4を1サイクルとして、このサイクルを所定回数繰り返すことでサイクルエッチングによるクリーニングを行う。このように、クリーニングの際、APCバルブ242を一定時間閉じるステップと、APCバルブ242を一定時間開くステップと、を所定回数繰り返すようにする。すなわち、APCバルブ242の開閉を間欠的に所定回数繰り返すようにする。サイクルエッチングによるクリーニングによれば、1サイクルあたりのエッチング量を確認しておくことで、サイクル回数によりエッチング量を制御することができる。また、連続的にエッチングガスを流してクリーニングする方式に比べ、ガスの消費量を少なくすることができる。
処理室201内に導入されたBCl3やO2は、処理室201内全体に拡散し、処理室201内、すなわちプロセスチューブ203の内壁やボート217に付着した高誘電率膜を含む堆積物と接触する。このとき、堆積物とBCl3やO2との間に熱的な化学反応が生じ、反応生成物が生成される。生成された反応生成物は、排気管231から処理室201の外部へ排気される。このようにして、堆積物が除去(エッチング)され、処理室201内のクリーニングが行われる。
クリーニングガスの連続供給・排気によるクリーニングの場合、予め設定されたクリーニング時間が経過すると、処理室201内を真空引きし、その後、処理室201内にN2等の不活性ガスを供給しつつ排気し、処理室201内をパージする。処理室201内をパージした後、処理室201内がN2等の不活性ガスに置換される。
クリーニングガスの間欠供給・排気によるクリーニングの場合、予め設定された回数だけ上記サイクルが行われると、処理室201内を真空引きし、その後、処理室201内にN2等の不活性ガスを供給しつつ排気し、処理室201内をパージする。処理室201内をパージした後、処理室201内がN2等の不活性ガスに置換される。
なお、クリーニングガスの連続供給・排気によるクリーニングの場合、クリーニングの処理条件としては、処理温度300〜600℃、処理圧力13.3〜66500Pa、BCl3供給流量0.1〜10slm、O2供給流量0.1〜10slm、クリーニング時間1〜100min、が例示され、それぞれのクリーニング条件を、それぞれの範囲内のある値で一定に維持することでクリーニングがなされる。
また、クリーニングガスの間欠供給・排気によるクリーニングの場合、クリーニングの処理条件としては、処理温度300〜600℃、第1圧力1.33〜13300Pa、第2圧力13.3〜66500Pa、BCl3供給流量0.1〜10slm、O2供給流量0.1〜10slm、ガス供給時間0.1〜15min、ガス封入時間0.1〜15min、ガス排気時間0.1〜10min、サイクル数1〜100回、が例示され、それぞれのクリーニング条件を、それぞれの範囲内のある値で一定に維持することでクリーニングがなされる。
なお、いずれのクリーニングの場合も、処理室201内の温度(処理温度)としては300〜600℃の範囲内の値が例示されるが、金属部材の温度は、上述の通り550℃以下の温度とする。
処理室201内のクリーニングが完了したら、再び上述したウエハ200に対する高誘電率膜の成膜を実施する。すなわち、複数枚のウエハ200が装填されたボート217を処理室201内に搬入し、ステップ1〜4を繰り返してウエハ200上に高誘電率膜を形成し、処理後のウエハ200を装填したボート217を処理室201外へと搬出する。なお、かかる高誘電率膜の成膜を繰り返し、プロセスチューブ203の内壁等に付着した膜の膜厚が所定の厚さに達したら、再び上述のクリーニングを実施する。
(5)本実施例にかかる効果
本実施例において、処理室201内に導入されたBCl3やO2は、処理室201内やガス流通経路内に設けられた金属部材、すなわち、マニホールド209、排気管231、及びAPCバルブ242等の内面、シールキャップ219及び回転軸255等の表面とも接触する。しかしながら、これら金属部材の少なくともBCl3やO2と接触する表面には、BCl3やO2、すなわちフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスに対し耐腐食性のあるDLC膜がコーティングされている。上述のように、DLC膜、特にsp3/(sp2+sp3)が少なくとも0.4以上であるDLC膜は、BCl3やO2等のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスと極めて反応し難い材料であり、BCl3やO2等のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスによりエッチングされにくい材料である。それゆえ、フッ素を含まないハロゲン系ガスを含むクリーニングガスを用いたクリーニング時に、金属部材表面を十分に保護することができ、金属部材の腐食、それに起因する金属汚染を防止することができる。
本実施例において、処理室201内に導入されたBCl3やO2は、処理室201内やガス流通経路内に設けられた金属部材、すなわち、マニホールド209、排気管231、及びAPCバルブ242等の内面、シールキャップ219及び回転軸255等の表面とも接触する。しかしながら、これら金属部材の少なくともBCl3やO2と接触する表面には、BCl3やO2、すなわちフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスに対し耐腐食性のあるDLC膜がコーティングされている。上述のように、DLC膜、特にsp3/(sp2+sp3)が少なくとも0.4以上であるDLC膜は、BCl3やO2等のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスと極めて反応し難い材料であり、BCl3やO2等のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスによりエッチングされにくい材料である。それゆえ、フッ素を含まないハロゲン系ガスを含むクリーニングガスを用いたクリーニング時に、金属部材表面を十分に保護することができ、金属部材の腐食、それに起因する金属汚染を防止することができる。
また、クリーニングガスの間欠供給・排気を行う場合、すなわち上述のステップC1〜C4を1サイクルとして、このサイクルを所定回数繰り返すことでクリーニングを行う場合には、1サイクルあたりのエッチング量を確認しておくことで、サイクル回数によりエッチング量を制御することができる。また、クリーニングガスの連続供給・排気によるクリーニングの場合に比べ、ガスの消費量を少なくすることができる。
<本発明の他の実施形態>
なお、上記実施例では、高誘電率膜としてHfO2膜(酸化ハフニウム膜)を成膜する例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えばこれ以外に、ZrO2膜(酸化ジルコニウム膜)、Al2O3膜(酸化アルミニウム膜)、HfSiO膜(ハフニウムシリケート膜)、ZrSiO膜(ジルコニウムシリケート膜)、AlSiO膜(アルミニウムシリケート膜)、HfSiON膜(窒化ハフニウムシリケート膜)、ZrSiON膜(窒化ジルコニウムシリケート膜)、HfAlO膜(ハフニウムアルミネート膜)、ZrAlO膜(ジルコニウムアルミネート膜)等の高誘電率膜を成膜する場合にも本発明を適用できる。
なお、上記実施例では、高誘電率膜としてHfO2膜(酸化ハフニウム膜)を成膜する例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えばこれ以外に、ZrO2膜(酸化ジルコニウム膜)、Al2O3膜(酸化アルミニウム膜)、HfSiO膜(ハフニウムシリケート膜)、ZrSiO膜(ジルコニウムシリケート膜)、AlSiO膜(アルミニウムシリケート膜)、HfSiON膜(窒化ハフニウムシリケート膜)、ZrSiON膜(窒化ジルコニウムシリケート膜)、HfAlO膜(ハフニウムアルミネート膜)、ZrAlO膜(ジルコニウムアルミネート膜)等の高誘電率膜を成膜する場合にも本発明を適用できる。
また、上記実施例では、ALD法により高誘電率膜を形成する例について説明したが、
本発明はこれに限定されない。例えば、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、特にMOCVD(Metal Organic Chemical
Vapor Deposition)法により高誘電率膜を形成する場合にも本発明を適用できる。
本発明はこれに限定されない。例えば、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、特にMOCVD(Metal Organic Chemical
Vapor Deposition)法により高誘電率膜を形成する場合にも本発明を適用できる。
また、上記実施例では、クリーニングの際に、処理室201内に付着した堆積物を熱化学反応により除去する例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、クリーニングの際に、処理室201内に付着した堆積物をプラズマ化学反応により除去する場合にも本発明を適用できる。
また、上記実施例では、クリーニングの際に、ハロゲン系ガスとしてBCl3を用いる例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えばこれ以外に、Cl2、BBr3、Br2等のハロゲン系ガスを用いる場合にも本発明を適用できる。
また、上記実施例では、クリーニングの際に、添加剤としてO2を用いる例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えばこれ以外に、添加剤としてO3、N2O、CO2等の酸素含有ガスを用いる場合にも本発明を適用できる。
また、上記実施例では、クリーニングの際に、BCl3等のハロゲン系ガスにO2等の添加剤を添加する例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、添加剤を添加することなく、ハロゲン系ガス単独でクリーニングする場合にも本発明を適用できる。
<本発明の好ましい態様>
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
本発明の一態様によれば、基板上に高誘電率膜を形成する処理を行う処理室と、前記高誘電率膜を形成するための処理ガスを前記処理室内に供給する処理ガス供給系と、前記処理室内に付着した前記高誘電率膜を含む堆積物を除去するフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスを前記処理室内に供給するクリーニングガス供給系と、を有し、前記処理室内には金属部材が設けられ、前記金属部材の少なくとも前記クリーニングガスが接触する表面にはDLC膜が形成されている基板処理装置が提供される。
好ましくは、前記フッ素系ガス以外のハロゲン系ガスが、塩素系ガスまたは臭素系ガスである。
また好ましくは、前記DLC膜のグラファイト成分(sp2)およびダイヤモンド成分(sp3)に対するダイヤモンド成分(sp3)の組成比(sp3/(sp2+sp3))が0.4以上である。
また好ましくは、前記処理室内に前記クリーニングガスを供給する際の前記金属部材の温度が550℃以下となるように調節する温度調節部を更に有する。
また好ましくは、前記ハロゲン系ガスが、硼素(B)とフッ素以外のハロゲン元素とを含むガスである。また、好ましくは、前記ハロゲン系ガスが、硼素(B)と塩素(Cl)とを含むガスである。また、好ましくは、前記ハロゲン系ガスが、BCl3である。
また好ましくは、前記クリーニングガスが、更に酸素含有ガスを含む。また、好ましくは、前記クリーニングガスが、更にO2を含む。また、好ましくは前記クリーニングガスが、硼素(B)とフッ素以外のハロゲン元素とを含むガスと、酸素含有ガスと、を含む。
また、好ましくは、前記クリーニングガスが、硼素(B)と塩素(Cl)とを含むガスと、酸素含有ガスと、を含む。また、好ましくは、前記クリーニングガスが、BCl3と、O2と、を含む。
また、好ましくは、前記クリーニングガスが、硼素(B)と塩素(Cl)とを含むガスと、酸素含有ガスと、を含む。また、好ましくは、前記クリーニングガスが、BCl3と、O2と、を含む。
また好ましくは、前記高誘電率膜が、ハフニウム(Hf)、ジルコニウム(Zr)、アルミニウム(Al)のうち少なくともいずれか一つの元素を含む膜である。また、好ましくは、前記高誘電率膜が、ハフニウム(Hf)、ジルコニウム(Zr)、アルミニウム(Al)のうち少なくともいずれか一つの元素を含む酸化膜である。
また好ましくは、前記金属部材は、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)、鉄(Fe)のうち少なくとも何れか1つの元素を含む。
本発明の他の態様によれば、表面にDLC膜が形成された金属部材を内部に有する処理室内に基板を搬入する工程と、前記処理室内に処理ガスを供給して基板上に高誘電率膜を形成する処理を行う工程と、処理後の基板を前記処理室内から搬出する工程と、前記処理室内にフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスを供給して前記処理室内に付着した前記高誘電率膜を含む堆積物を除去する工程と、を有する半導体装置の製造方法が提供される。
また好ましくは、少なくとも前記クリーニングガスを前記処理室内に供給する工程では、前記金属部材表面の温度を550℃以下とする。
101 基板処理装置
200 ウエハ(基板)
201 処理室
232a 第1ガス供給管(処理ガス供給系)
232b 第2ガス供給管(処理ガス供給系)
232c 第3ガス供給管(クリーニングガス供給系)
232d 第4ガス供給管(クリーニングガス供給系)
280 コントローラ
200 ウエハ(基板)
201 処理室
232a 第1ガス供給管(処理ガス供給系)
232b 第2ガス供給管(処理ガス供給系)
232c 第3ガス供給管(クリーニングガス供給系)
232d 第4ガス供給管(クリーニングガス供給系)
280 コントローラ
Claims (5)
- 基板上に高誘電率膜を形成する処理を行う処理室と、
前記高誘電率膜を形成する処理ガスを前記処理室内に供給する処理ガス供給系と、
前記処理室内に付着した前記高誘電率膜を含む堆積物を除去するフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスを前記処理室内に供給するクリーニングガス供給系と、を有し、
前記処理室内には金属部材が設けられ、前記金属部材の少なくとも前記クリーニングガスが接触する表面にはDLC膜が形成されている
ことを特徴とする基板処理装置。 - 前記フッ素系ガス以外のハロゲン系ガスが、塩素系ガスまたは臭素系ガスである
ことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 前記DLC膜のグラファイト成分(sp2)およびダイヤモンド成分(sp3)に対するダイヤモンド成分(sp3)の組成比(sp3/(sp2+sp3))が0.4以上である
ことを特徴とする請求項2記載の基板処理装置。 - 前記処理室内に前記クリーニングガスを供給する際の前記金属部材の温度が550℃以下となるように調節する温度調節部を更に有する
ことを特徴とする請求項3記載の基板処理装置。 - 表面にDLC膜が形成された金属部材を内部に有する処理室内に基板を搬入する工程と、
前記処理室内に処理ガスを供給して基板上に高誘電率膜を形成する処理を行う工程と、
処理後の基板を前記処理室内から搬出する工程と、
前記処理室内にフッ素系ガス以外のハロゲン系ガスを含むクリーニングガスを供給して前記処理室内に付着した前記高誘電率膜を含む堆積物を除去する工程と、を有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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