JP2009117696A - 電気化学キャパシタ用電極及び電気化学キャパシタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導電基材上に製膜担持させた、ルテニウム、および酸化ルテニウムを主体とする空隙層であって、該空隙層の空隙率が表面から該導電基材方向に向けて小さくなっていることを特徴とする電気化学キャパシタ用電極及び電気化学キャパシタ。
【選択図】なし
Description
本発明で用いることのできる、ルテニウム、および酸化ルテニウムは、一般的に、酸化ルテニウムは無水物と水和物とに大きく区分される。スーパーキャパシタ用酸化ルテニウム電極において、レドックス反応を効率よく起こすためには、酸化ルテニウムを微粒子にする必要がある。そのため、平均一次粒子径は40nm以下が好ましく、さらに好ましくは、20nm以下が求められている。
本発明の空隙層においては、ルテニウム、および酸化ルテニウムに加えてバナジウム、モリブデン、ニッケル、クロム、マンガン、鉄、銅、亜鉛もしくはタングステンから選ばれる1種または2種以上の元素を含有してもよい。合金中のルテニウムの含有量は10〜50質量%であることが好ましく、20〜40質量%であることが、さらに好ましい。ルテニウムの含有量が10質量%未満では、エネルギー密度が低下してしまう。また、ルテニウムの含有量が50質量%より多いと、ルテニウム粒子の凝集が顕著になりやすく、電解しても粗大なルテニウム粒子が残ってしまうことがあり、多孔質構造にならず、高容量が得られなくなるおそれがある。
本発明に係る導電基材は、チタン、タンタル、炭素及びシリコンから選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。これらの導電基材を用いることにより、RuO2との接着性を維持することができる。炭素材料としては、例えば、アセチレンブラック、ファーネスブラック、チャンネルブラックなどのカーボンブラックや天然黒鉛、人造黒鉛、活性炭、炭素繊維、カーボンナノチューブなどの炭素粉末があげられる。
本発明の電気化学キャパシタ用電極の空隙層は、大気圧プラズマ法を用いて製膜することが好ましい。
R1 xMR2 yR3 z
上記一般式(I)において、Mは金属、R1はアルキル基、R2はアルコキシ基、R3はβ−ジケトン錯体基、β−ケトカルボン酸エステル錯体基、β−ケトカルボン酸錯体基及びケトオキシ基(ケトオキシ錯体基)から選ばれる基であり、金属Mの価数をmとした場合、x+y+z=mであり、x=0〜m、またはx=0〜m−1であり、y=0〜m、z=0〜mで、何れも0または正の整数である。R1のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等を挙げることができる。R2のアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、3,3,3−トリフルオロプロポキシ基等を挙げることができる。またアルキル基の水素原子をフッ素原子に置換したものでもよい。R3のβ−ジケトン錯体基、β−ケトカルボン酸エステル錯体基、β−ケトカルボン酸錯体基及びケトオキシ基(ケトオキシ錯体基)から選ばれる基としては、β−ジケトン錯体基として、例えば、2,4−ペンタンジオン(アセチルアセトンあるいはアセトアセトンともいう)、1,1,1,5,5,5−ヘキサメチル−2,4−ペンタンジオン、2,2,6,6−テトラメチル−3,5−ヘプタンジオン、1,1,1−トリフルオロ−2,4−ペンタンジオン等を挙げることができ、β−ケトカルボン酸エステル錯体基として、例えば、アセト酢酸メチルエステル、アセト酢酸エチルエステル、アセト酢酸プロピルエステル、トリメチルアセト酢酸エチル、トリフルオロアセト酢酸メチル等を挙げることができ、β−ケトカルボン酸として、例えば、アセト酢酸、トリメチルアセト酢酸等を挙げることができ、またケトオキシとして、例えば、アセトオキシ基(またはアセトキシ基)、プロピオニルオキシ基、ブチリロキシ基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基等を挙げることができる。これらの基の炭素原子数は18以下が好ましい。また直鎖または分岐のもの、また水素原子をフッ素原子に置換したものでもよい。有機金属化合物の中では、分子内に少なくとも一つ以上の酸素を有するものが好ましい。このようなものとしてR2のアルコキシ基を少なくとも一つを含有する有機金属化合物、またR3のβ−ジケトン錯体基、β−ケトカルボン酸エステル錯体基、β−ケトカルボン酸錯体基及びケトオキシ基(ケトオキシ錯体基)から選ばれる基を少なくとも一つ有する金属化合物が好ましい。
〔電気化学キャパシタ用電極1の作製〕
(空隙層の形成)
下記の大気圧プラズマ法(ダイレクト型大気圧プラズマ放電処理装置)により、図2に記載の導電基材5b上に、空隙層を形成した(プラズマCVD法DPと称す)。
図3に記載のダイレクト型の大気圧プラズマ放電処理装置を使用し、下記の製膜条件で空隙層を形成した。
電源:SEREN社製高周波電源、100kHz 5W/cm2
〈電極条件〉
第2電極(図3の41)の角形電極は、30mm角状の中空のチタンパイプに対し、誘電体としてセラミック溶射加工を行い製作した。
電極巾:300mm
印加電極温度:90℃
第2電極間スリットギャップ:1.0mm
電極間ギャップ:1.0mm
〈ガス条件〉
ビス(エチルシクロペンタジエニル)ルテニウム、およびトリス(ジピバロメチルメタネート)クロミウム、をバブリングにより気化させた。
トリス(ジピバロメチルメタネート)クロミウム:アルゴンガス4slm、230℃
また、
放電ガス:アルゴン、50slm
反応促進ガス:水素、0.3slm
〈移動架台電極(図3の47)〉
材質:SUS316L
移動架台電極の温度:250℃
移動架台電極に、導電性基材46として、0.1mm厚のチタン基板表面上に配置して、連続的に100mm/secの条件で往復走査処理を行い、厚さ3μmの空隙層を形成し、電気化学キャパシタ用電極1を作製した。
電源条件を、100kHzのもと、処理開始のもと5W/cm2から開始し、連続して放電強度を弱くしながら、空隙層を形成した以外は、実施例1と同様条件にて加工を行い、電気化学キャパシタ用電極2を作製した。厚さ3μmの空隙層を形成し終えた際の放電強度は3.5W/cm2であった。
下記の大気圧プラズマ法(リモート型大気圧プラズマ放電処理装置)により、図1に記載の導電基材46上に、空隙層を形成した(プラズマCVD法PJと称す)。
図1に記載のリモート型の大気圧プラズマ放電処理装置を使用し、下記の製膜条件で透明導電層を形成した。
電源:SEREN社製高周波電源、100kHz 5W/cm2
〈電極条件〉
[電極1(図1に記載の41a)]
角形電極41aは、30mm角状の中空のチタンパイプに対し、誘電体としてセラミック溶射加工を行い製作した。
電極巾:300mm
印加電極温度:90℃
[電極2(図1に記載の41b)]
電極41bは、厚み4mmのチタン板に対し、誘電体としてセラミック溶射加工を行い製作した。更に、図4に記載のように電極41b冷却部材として20mm角状の中空のチタンパイプを取り付けた。
移動架台−電極間ギャップ:1.0mm
〈ガス条件〉
ビス(エチルシクロペンタジエニル)ルテニウム、およびトリス(ジピバロメチルメタネート)クロミウム、をバブリングにより気化させた。
トリス(ジピバロメチルメタネート)クロミウム:アルゴンガス3slm、230℃
また、
放電ガス:窒素、200slm
補助ガス:酸素、0.3slm
〈移動架台電極(図1の47)〉
材質:SUS316L
移動架台電極の温度:250℃
移動架台電極に、導電性基材46として、0.1mm厚のチタン基板表面上に配置して、連続的に100mm/secの条件で往復走査処理を行い、厚さ3μmの空隙層を形成し、電気化学キャパシタ用電極3を作製した。
ルテニウム化合物原料として三塩化ルテニウム・三水和物(小島化学薬品(株)製)0.3molとn−ブタノール100mlとを混合し、温度100℃で1時間、加熱還流した後、多重結合を有する疎水性溶媒であるベンゼン50mlを添加し、約80℃の温度で2時間、加熱還流して、電極活物質前駆体溶液を調製した。調製した電極活物質前駆体溶液100mlに、活性炭粉末(1200m2/g、大阪ガス製kタイプ)3gを浸漬させ、超音波を120分間印加させて含浸させた。該活性炭粉末を、空気中200℃で60分間熱処理して、電気化学キャパシタ用電極4を得た。
硝酸ルテニウム溶液(田中貴金属工業(株)製、Ru含有量50g/L)50mlに、活性炭粉末(1200m2/g、大阪ガス製kタイプ)3gを浸漬させ、超音波を240分間印加させて、含浸させた。該活性炭粉末を、110℃で乾燥後、窒素雰囲気下600℃で60分間熱処理して、電気化学キャパシタ用電極5を得た。
電気化学キャパシタ用電極6をエアロゾルスプレー熱分解法を用いて作製した。前駆溶液は、エタノール溶媒に溶解された0.1M/lのRuCi3/xH2Oを用いた。
得られた電気化学キャパシタ用電極1〜3の断層SEM写真を撮影し、その画像より空隙層上部(表層側)と下部(導電基材側)の空隙率を算出し、結果を表1に示した。尚、電気化学キャパシタ用電極4〜6は空隙層の上部も下部も空隙率が同じであった。
〔電気化学キャパシタの作製〕
得られた電気化学キャパシタ用電極1〜6を用いて、図4に示す形状の電気化学キャパシタ1〜6を作製した。電気化学キャパシタ1〜3及び6は、電解液1M/l硫酸を含浸させて用いた。
電気化学キャパシタに、5mAの定電流を印加させて充電を行い、0.7Vに到達した後、5mAにて定電流放電させ、放電電力から、セルの静電容量を測定し、単位重量あたりの比静電容量を算出し、結果を表2に示した。
2 セパレータ
3 ガスケット
4 導電基材(集電体)
21 大気圧プラズマ放電処理装置
22 放電ガスを含むガス
23 混合ガス
24、25 流路
27 電極冷却用部材
31 電源
41、41a、41b 電極
42 誘電体
43 放電空間
44 中空構造
45 混合空間
46 基材
47 移動ステージ、移動ステージ電極
48 廃ガス排気流路
49 廃ガス流路形成部材
100 液晶表示パネル
101、106 偏光板
A 上側基板
B 下側基板
C、D、E 電極ユニット
G ガス
Claims (6)
- 導電基材上に製膜担持させた、ルテニウム、および酸化ルテニウムを主体とする空隙層であって、該空隙層の空隙率が表面から該導電基材方向に向けて小さくなっていることを特徴とする電気化学キャパシタ用電極。
- 導電基材上に製膜担持させた、ルテニウム、および酸化ルテニウムを主体とする空隙層であって、該空隙層が大気圧プラズマ法を用いて製膜したことを特徴とする電気化学キャパシタ用電極。
- 前記大気圧プラズマ法を用いて製膜した空隙層の空隙率が表面から該導電基材方向に向けて小さくなっていることを特徴とする請求項2記載の電気化学キャパシタ用電極。
- 前記導電基材が、チタン、タンタル、炭素及びシリコンから選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の電気化学キャパシタ用電極。
- 前記空隙層が、更に、バナジウム、モリブデン、ニッケル、クロム、マンガン、鉄、銅、亜鉛もしくはタングステンから選ばれる1種または2種以上の元素が含有されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の電気化学キャパシタ用電極。
- 請求項1〜5のいずれか1項記載の電気化学キャパシタ用電極の1対を対面させ、該対面させた電気化学キャパシタ用電極の間に、イオン透過性セパレータを介在させ、更に、電解質溶液を含浸させることを特徴とする電気化学キャパシタ。
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