JP2009111614A - 振動トランスデューサおよび振動トランスデューサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バックキャビティの開口を形成している基板と、前記基板上の膜からなり導電性を有し前記開口を覆うダイヤフラムと、前記ダイヤフラム上の膜からなり導電性を有し前記ダイヤフラムに対向する対向部と前記対向部から放射状に伸びる複数の接合部とを備えるプレートと、前記接合部に接合され、前記ダイヤフラムと前記プレートとの間に空隙層を挟んで前記ダイヤフラムから絶縁しながら前記プレートを支持し、前記空隙層を囲む環状端面を備える絶縁支持層と、前記プレートの少なくとも一部を構成している膜からなり、前記絶縁支持層に接合されるとともに前記環状端面の内側に突出して前記プレートを囲み、前記空隙層を間に挟んで前記ダイヤフラムに対向しているカバーと、を備え、前記ダイヤフラムが前記プレートに対して振動する振動トランスデューサ。
【選択図】図1
Description
本発明によると、プレートの少なくとも一部を構成している膜からなるとともに、プレートに対向していないダイヤフラムの領域に対向するカバーを備える。すなわち本発明によると、プレートに覆われていないダイヤフラムの領域は、ダイヤフラムの上に形成されている膜からなるカバーによって覆われる。ダイヤフラムとカバーとの間には、ダイヤフラムとプレートとの間に形成されている空隙層があるため、カバーはダイヤフラムの振動を妨げることなくダイヤフラムを覆うことができる。スリットによってカバーはダイヤフラムから電気的に切り離されているため、カバーとダイヤフラムとが寄生容量を形成しない配線が可能である。そしてプレートとカバーとを切り離しているスリットの幅を狭くすることにより、ダイヤフラムとプレートの間の空隙層への異物の進入を防止することができる。
この方法によると、プレートとカバーとをエッチングマスクとして用いて絶縁支持層を形成することができるため、マスクの数を低減し、製造コストを低減することができる。
そしてプレートとカバーとに形成される通孔は、エッチャントを通す程度の大きさがあればよいため、振動トランスデューサの機能を損なう大きさの固体異物が通らない程度に小さくすることができる。
ダイヤフラムを中央部と複数の腕部とを備える放射形状にすることによって、ダイヤフラムの剛性を低減し、感度を高めることができる。さらにダイヤフラムの隣り合う腕部の間において絶縁支持層によってプレートの接合部を支持することによって、プレートが絶縁支持層に掛け渡される距離を短くし、プレートの剛性を高めることができる。プレートの剛性が高まると、ダイヤフラムとプレートとに印加するバイアス電圧を高めることができるため、振動トランスデューサの感度を高めることができる。
図1は本発明の一実施形態であるコンデンサマイクロホン1のMEMS構造部であるセンサチップを示し、図2はその模式的な断面を示し、図3はその膜の積層構造を示している。図18および図19はその一部の詳細な断面を示している。図1においてハッチングは下層導電膜120が形成されている領域を示している。コンデンサマイクロホン1はセンサチップと、電源回路および増幅回路を備えた図示しない回路チップと、これらを収容する図示しないパッケージとから構成される。
以上、コンデンサマイクロホン1のMEMS構造部の機械構造について説明した。
図4は回路チップとセンサチップとが接続されることにより構成される回路を示している。ダイヤフラム123には回路チップに備わるチャージポンプCPによって安定したバイアス電圧が印加される。このバイアス電圧が高いほど感度が高くなるがダイヤフラム123とプレート162とのスティクションが起きやすくなるためプレート162の剛性は重要である。
次に図5から図17に基づいてコンデンサマイクロホン1の製造方法を説明する。
尚、本発明の技術的範囲は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。たとえばプレート162とカバー161との間のスリットの幅は一定である必要はなく、スリットの幅が一部で広がっていてもよい。すなわち、図20に示すようにプレート162とカバー161との間の間隙にスリット状でない部分があってもよく、少なくともカバー支持部132の環状端面132aの内側にカバー161が突出し、プレート162とカバー161との間の間隙が一部でスリット状に狭まっていればよい。
Claims (4)
- バックキャビティの開口を形成している基板と、
前記基板上の膜からなり導電性を有し前記開口を覆うダイヤフラムと、
前記ダイヤフラム上の膜からなり導電性を有し前記ダイヤフラムに対向する対向部と前記対向部から放射状に伸びる複数の接合部とを備えるプレートと、
前記接合部に接合され、前記ダイヤフラムと前記プレートとの間に空隙層を挟んで前記ダイヤフラムから絶縁しながら前記プレートを支持し、前記空隙層を囲む環状端面を備える絶縁支持層と、
前記プレートの少なくとも一部を構成している膜からなり、前記絶縁支持層に接合されるとともに前記環状端面の内側に突出して前記プレートを囲み、前記空隙層を間に挟んで前記ダイヤフラムに対向しているカバーと、
を備え、
前記プレートと前記カバーとはスリットによって電気的に切り離され、
前記ダイヤフラムが前記プレートに対して振動することにより前記ダイヤフラムと前記プレートとで形成される静電容量が変化する、
振動トランスデューサ。 - 請求項1に記載の振動トランスデューサを製造する方法であって、
通孔であるプレート孔を複数有する前記プレートと通孔であるカバー孔を複数有する前記カバーとを形成し、
前記絶縁支持層となる膜の一部を前記プレートおよび前記カバーをマスクとして用いる等方性エッチングで除去することにより、前記空隙層を形成するとともに残部からなる前記絶縁支持層を形成する、
ことを含む振動トランスデューサの製造方法。 - 前記プレートと前記カバーには、等方性エッチングにより前記空隙層と前記絶縁支持層とを同時に形成するためのエッチャントが通る通孔が複数形成されている、
請求項1に記載の振動トランスデューサ。 - 前記ダイヤフラムは、前記対向部に対向する中央部と前記中央部から外側に放射状に延びる複数の腕部とを備え、
前記接合部は、隣り合う前記腕部の間において前記絶縁支持層によって支持される、
請求項1または3に記載の振動トランスデューサ。
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