JP2009111077A - 固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】作製しやすい井戸型構造の導波層を有する固体撮像素子を提供する。
【解決手段】固体撮像素子は、透明膜からなり入射光を光電変換領域6に導く第1、第2の導波層3、5を備え、周囲の第1の導波層3の屈折率に対して、中央の第2の導波層5の屈折率を高くしてある。そして、第2の導波層5は、入射光の入射方向上流側の第1の屈折率部5aと、下流側の第1の屈折率部5aより屈折率の低い第2の屈折率部5bで構成される。
【選択図】図2
【解決手段】固体撮像素子は、透明膜からなり入射光を光電変換領域6に導く第1、第2の導波層3、5を備え、周囲の第1の導波層3の屈折率に対して、中央の第2の導波層5の屈折率を高くしてある。そして、第2の導波層5は、入射光の入射方向上流側の第1の屈折率部5aと、下流側の第1の屈折率部5aより屈折率の低い第2の屈折率部5bで構成される。
【選択図】図2
Description
本発明は、撮像系で使用される固体撮像素子に関するものである。
固体撮像素子においては、以下の条件を満たすことが性能を向上させる上で重要である。
(1)光を効率よく光センサ部に集める。
(2)隣の画素との干渉を低減する。
(1)光を効率よく光センサ部に集める。
(2)隣の画素との干渉を低減する。
従来の固体撮像素子では、上記2つの条件を達成するために、光センサ部上方に形成されている透明膜(導波層)において、光センサ部直上(中心部)に周辺よりも屈折率の高い透明膜を形成し、性能向上を図っている(特許文献1参照)。以後このような構造を井戸型構造と呼び、特に、光センサ部直上の周辺よりも屈折率の高い透明膜領域を井戸型構造内部領域と呼ぶ。
井戸型構造を形成することで、本来、光センサ部に到達しない光を、井戸型構造内部領域とその周辺部の屈折率の低い透明膜領域の間にある屈折率境界で反射させることができ、光センサ部に導くことができるようになる。その結果、受光量、受光効率を向上させると共に、隣の画素への干渉を低減させることができる。
図5は、光センサレイの上面図である。また、図6は、光センサレイと光センサアレイに入射する入射光の関係を示す図である。
光センサレイ101に入る入射光102は、中央の固体撮像素子に対しては、入射角度が小さく、光の損失は少ない。しかし、図6に示すように、光センサレイ101の端の固体撮像素子に対しては、入射光102の最大入射角度θは40°近くになり、光の損失を招くと共に、隣接画素への干渉の原因となる。
図7は、従来例に係る固体撮像素子の構成図である。
固体撮像素子は、上記井戸型構造を採用している。固体撮像素子は、レンズ部111、カラーフィルタ層112、透明膜で構成される光の導波層(井戸層)113、115、光電変換領域(光センサ部)114、116を備える。
レンズ部111は、光の取り込み効率をよくするために光線入射方向に偏心している。カラーフィルタ層112は色分離を行う。導波層115(井戸型構造内部領域)は、導波層113に比べ屈折率を高くしてある。これにより、入射光117は、導波層115と導波層113の壁面に当たって反射し、導波層115側に戻ってくる。
このように、井戸型構造内部領域の屈折率を高くすることで、井戸型構造による光の閉じ込め効果は向上し、良好な結果を得ることが可能となった。
特開2003−298034号公報
しかしながら、このように理想的な特性を示す構成においてもプロセス上の問題がある。特に、高屈折率の物質を高アスペクト比(井戸が深い場合)の井戸層に埋めることは困難な場合が多く、埋め込んだ膜の膜質が均質でなかったり、膜が一部欠如したボイドのようなものが形成されることが問題となっている。
本発明の目的は、作製しやすい井戸型構造の導波層を有する固体撮像素子を提供することにある。
上記目的を達成するために、請求項1記載の固体撮像素子は、透明膜からなり入射光を光センサ部に導く第1、第2の導波層を備え、周囲の前記第1の導波層の屈折率に対して、中央の前記第2の導波層の屈折率を高くした固体撮像素子において、前記第2の導波層は、前記入射光の入射方向上流側の第1の屈折率部と、下流側の前記第1の屈折率部よりも屈折率の低い第2の屈折率部とで構成されることを特徴とする。
請求項2記載の固体撮像素子は、透明膜からなり入射光を光センサ部に導く第1、第2の導波層を備え、周囲の前記第1の導波層の屈折率に対して、中央の前記第2の導波層の屈折率を高くした固体撮像素子において、前記第2の導波層は、前記入射光の入射方向上流側から下流側に向かって屈折率が段階的に小さくなることを特徴とする。
請求項3記載の固体撮像素子は、透明膜からなり入射光を光センサ部に導く第1、第2の導波層を備え、周囲の前記第1の導波層の屈折率に対して、中央の前記第2の導波層の屈折率を高くした固体撮像素子において、前記第2の導波層は、前記入射光の入射方向上流側から下流側に向かって屈折率が連続的に小さくなることを特徴とする。
本発明によれば、作製しやすい井戸型構造の導波層を有する固体撮像素子を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る固体撮像素子の概略構成図である。
固体撮像素子は、上記井戸型構造を採用している。固体撮像素子は、レンズ部1、カラーフィルタ層2、透明膜で構成され、井戸型構造を有する光の第1の導波層(井戸層)3、第2の導波層(井戸層)5、光電変換領域(光センサ部)4、6を備える。
レンズ部1は、光の取り込み効率をよくするために光線入射方向に偏心している。カラーフィルタ層2は色分離を行う。
中央の第2の導波層5(井戸型構造内部領域)は、周囲の第1の導波層3に比べて屈折率を高くしてある。これにより、入射光8、9は、第2の導波層5と第1の導波層3の井戸層壁面10に当たって反射し、第2の導波層5側に戻ってくる。
ここで、図1において、角度の異なる光、入射光8と入射光9が入ってきた場合について考えてみる。入射光8と入射光9が井戸層壁面10に当たる角度は異なり、入射光8の方が入射光9より高角度(井戸層壁面10に対してより垂直に)で入射する。
つまり、入射光8と入射光9が入射する面では、全反射条件が異なってよいことを意味する。入射光8の場合では、井戸層壁面10への入射角度が大きいため、全反射条件を満たすために、第2の導波層5と第1の導波層3との屈折率差を大きく取る必要ある。
一方、入射光9の場合は、入射光8より井戸層壁面10への入射角度が小さいため、第2の導波層5と第1の導波層3との屈折率差は小さく取ることが可能となる。
本発明では、上記考えに基づき、井戸層壁面10への光の入射角度に従い、第2の導波層5の屈折率を制御する。
即ち、第2の導波層5の下部(光電変換領域側)は、屈折率の低い材料を埋め込み(使用し)、第2の導波層5の上部は、下部より屈折率の高い材料を埋め込む(使用する)。このことにより、プロセス上作製しやすく、かつ、第1、第2の導波層3、5内の反射特性が維持される。
ここで、一般的に、第1、第2の導波層(井戸層)3、5を構成する材質としては、窒化シリコンやSiON、樹脂などが考えられるが、窒化シリコンは屈折率が高いが、高アスペクト比の井戸層には埋め込みが困難である。SiONは窒化シリコンに酸素を混入したものであるが、窒化シリコンよりも井戸層の形成が容易である。但し、窒化シリコンよりも屈折率が低い点が問題となっていた。
本発明は、これらの問題点をクリアし、窒化シリコンとSiON層で、良好な井戸層を形成することが可能となる。
本発明の固体撮像素子を構成するためには、まず、井戸層壁面10への入射角度を予測することは必要である。
図2は、本発明の実施の形態に係る固体撮像素子の詳細構成図である。
図2に示すように、第2の導波層5は、上部の第1の屈折率部5aと、下部の第1の屈折率部5aより屈折率の低い第2の屈折率部5bとから構成されている。
ここで、上部とは入射光の入射方向上流側を言う。また下部とは、入射光の入射方向下流側を言う。
ここで、第1の屈折率部5aは、例えば、窒化シリコンを材料としている。また、第2の屈折率部5bは、例えばSiONを材料としている。カラーフィルタ層2と、第1、第2の導波層3、5の間には、平坦化層11がある。
尚、第2の導波層5を、上部の第1の屈折率部5aと、下部の第2の屈折率部5bとの2層から構成しているが、3層以上の構成としてもよい。また屈折率が、下方に行くに従い、段階的、あるいは連続的に低くなるような構成としてもよい。
斜めの入射光を、第1の屈折率部5a、第2の屈折率部5bに取り込みやすくするために、レンズ部1と、第1の屈折率部5a、第2の屈折率部5bの位置関係をずらした構成となっている。
この構成において、入射光21を入射角度θ1で入射すると、レンズ部1との屈折率差により屈折率n2層内では、入射光21は入射角度θ2で進行する。
さらに、第1の屈折率部5aでの屈折率n3との屈折率差により、屈折率n3層内では、入射光21は、入射角度θ3で進行し、再度に、第2の屈折率部5bの界面で屈折する。
入射光21は、第2の屈折率部5b(屈折率n4層)では入射角度θ4で進行し、最終的に井戸層壁面10に当たる。入射光21のレンズ部1内での横方向進行距離、及び壁面への入射角度は以下の式で記述される。第1の導波層3の屈折率はn5である。
横方向の移動距離は、
D=h2tanθ2+h3tanθ3+h4tanθ4
角度θはスネルの法則より求めることができる。
D=h2tanθ2+h3tanθ3+h4tanθ4
角度θはスネルの法則より求めることができる。
壁面への入射角度θ4とレンズ部1への入射角度θ1の関係は、
θ4 = arcsin((n1/n4)×sinθ1)
で求められる。
θ4 = arcsin((n1/n4)×sinθ1)
で求められる。
よって、レンズ部1の中央からD離れた壁面へ入射する入射光の入射位置は、
h4=(D−h2tanθ2−h3tanθ3)/tanθ4
により予測することができる。
h4=(D−h2tanθ2−h3tanθ3)/tanθ4
により予測することができる。
井戸層壁面10へ入射する位置と角度がわかることから、全反射条件として必要な角度が分かれば、任意の構成において、第2の導波層5の屈折率を制御することが可能となる。
井戸層壁面10の全反射条件について説明する。
図3は、図2における井戸層壁面10付近の拡大図である。
図3において、第2の導波層5の屈折率はn2である。第1の導波層3の屈折率はn1である。全反射角度θCはスネルの法則より求めることができる。尚、屈折率n1、n2は、図2の屈折率のn1、n2とは無関係である。
θC=90−arcsin(n2/n1)
となり、光の入射角θがθCよりも小さければ光は全反射される。
となり、光の入射角θがθCよりも小さければ光は全反射される。
以上説明しように、井戸層壁面10の全反射条件を妨げることなく、第2の導波層(井戸層)5の下部の屈折率を下げ、井戸層に埋め込み易い材料を選択することにより、ボイドなどの無い、安定でかつ高品質の固体撮像素子を作成することが可能となる。
加えて、SiON材料は線膨張係数がSiNよりもSiなどに近いため、製膜後の歪の入り方も小さくなる傾向を示す。よって、低歪で信頼性の高い固体撮像素子を供給することが可能となる。
図3において、屈折率は、n1=1.0(空気)、n2=1.6(SiONなど)、n3=1.88(SiN)、n4=1.6(SiON)、n5=1.43(SiO2膜)である。レンズ部1から第1、第2の導波層3、5までの厚さh2は、カラーフィルタ層2の厚さやプロセス上の制限から2.5μmとし、第1、第2の導波層3、5全体の厚さは電極配線などの関係から、2.5μmとした構成である。
レンズ部1シフト量は、0.9μmで、第1、第2の導波層3、5の幅が1.4μmであることから、井戸層壁面10とレンズの中央の距離Dは、1.6μmとなる。第1の屈折率部5aは、入射角度が大きいことから、なるべく屈折率の高い膜を用いた。その領域をh3=1.25μmとしている。
第2の屈折率部5bを、埋め込み易く、ストレスの小さな膜にした例である。この計算において、h4=0.1μmの点、つまり、屈折率n3の境界から0.1μmシフトした点の井戸層壁面10では、入射角度θ1=41°の入射光が、壁面への入射角度24°にて入射することになる。
h4=0.1μmの点での反射条件としては、
第1の導波層3の屈折率をn5=1.43としており、第2の導波層5の第2の屈折率部5bの屈折率n4を1.5とすると、全反射角は17°となる。しかしながら、これより小さな角度でなければ全反射条件は満たさないことから、光の漏れが発生してしまう。よって、n4=1.5は適切ではない。
第1の導波層3の屈折率をn5=1.43としており、第2の導波層5の第2の屈折率部5bの屈折率n4を1.5とすると、全反射角は17°となる。しかしながら、これより小さな角度でなければ全反射条件は満たさないことから、光の漏れが発生してしまう。よって、n4=1.5は適切ではない。
屈折率n4を1.6とすると、全反射角は26°となり全反射条件を満たす形となる。第2の導波層5全体を1.88という高屈折率で埋める必要が無いことがわかる。
このように、固体撮像素子において良好な光の閉じ込め特性を維持しようとした場合、一様に屈折率の高い第2の導波層5を形成する必要はない。形成しやすく、かつ屈折率の適切な層を下部に挿入することにより、第2の導波層5を容易に形成することができる。
図4は、個体撮像素子の入射角度特性を示す図である。
入射角度が偏っている理由としては、第2の導波層5が偏心しているために、ある程度傾いた角度で強度のピークが来るように設計されているからである。
図4のカーブにおいて、カーブ41は、第2の導波層5全体をSiN膜で埋めた場合で、屈折率が1.88の場合を示している。つまり、屈折率n3とn4の領域が屈折率1.88の材質となった場合である。
カーブ42は、下1/4を占める第2の屈折率部5bの屈折率を1.6とし、上3/4を占める第1の屈折率部5aの屈折率を1.88とした場合を示す。カーブ43は、下半分を占める第2の屈折率部5bの屈折率1.6とし、上半分を占める第1の屈折率部5aの屈折率を1.88とした場合を示す。カーブ42と43はほとんど重なっている。
カーブ44は、下3/4を占める第2の屈折率部5bの屈折率を1.6とし、上1/4を占める第1の屈折率部5aの屈折率を1.88とした場合を示す。
カーブ43とカーブ41とでそれほど大きな差はない。同様に、下1/4を占める第2の屈折率部5bの屈折率を1.6とした場合でも角度依存に問題はない。
一方、カーブ44では、高角度領域での強度低下が発生する。これは、高角度の入射光が井戸層壁面10に当たり、第2の屈折率部5bの屈折率が1.6と全反射条件を満たしていなかったため、井戸層壁面10で反射せず、漏れたためと考えている。ただ、これ以上の条件では高角度においても井戸層壁面10において十分な光の反射を得ることができている。
以上のように、井戸層壁面10への入射角度が小さな部分を低屈折率の材質(第2の屈折率部5b)に置き換えても、特性上の劣化はないことがわかる。
図3に示す第2の導波層5は、上述したように、第1の屈折率部5aと第2の屈折率5bの2層に分離されていたが、2層に限定されるものではなく、3層、4層でもよい。基本的には、第2の導波層5において、底部から上に向かって屈折率が大きくなっていく構成であればよい。
また、多層の極限としては、屈折率の連続構成がある。上述したように、屈折率が連続に形成されている場合でも本発明は実施可能である。
例えば、第2の導波層5の底部(第2の屈折率部5b)の屈折率を1.6のSiONとし、上に行くに従い、窒素Nの量をふやす形により、屈折率を順次大きくすることが可能である。
この場合においても、第2の導波層5の底部にSiONを埋め込むことが容易であり、かつストレスも小さな埋め込み膜が形成できる。また、入射光の入射角度が大きな上部(第1の屈折率部5a)では窒素の量を増やし、SiN膜を形成することにより、入射角度特性を落とすことなく本発明を実現することが可能となる。
尚、本発明では、第1の屈折率部5aの屈折率を1.88、第2の屈折率部5bの屈折率を1.6としたが、これに限るものではない。
第2の導波層5において、底部から上に向かって屈折率が大きくなっていく条件を満たす屈折率であればよい。また複素屈折率を示す媒質でも本発明は実施できる。
本発明は、カメラやビデオレコーダの固体撮像素子に関するものであるが、静止画像など、画像記録の多方面に渡り利用することができる。
1 レンズ部
2 カラーフィルタ層
3 第1の導波層
4 光電変換領域
5 第2の導波層
5a 第1の屈折率部
5b 第2の屈折率部
11 平坦化層
2 カラーフィルタ層
3 第1の導波層
4 光電変換領域
5 第2の導波層
5a 第1の屈折率部
5b 第2の屈折率部
11 平坦化層
Claims (4)
- 透明膜からなり入射光を光センサ部に導く第1、第2の導波層を備え、周囲の前記第1の導波層の屈折率に対して、中央の前記第2の導波層の屈折率を高くした固体撮像素子において、
前記第2の導波層は、前記入射光の入射方向上流側の第1の屈折率部と、下流側の前記第1の屈折率部よりも屈折率の低い第2の屈折率部とで構成されることを特徴とする固体撮像素子。 - 透明膜からなり入射光を光センサ部に導く第1、第2の導波層を備え、周囲の前記第1の導波層の屈折率に対して、中央の前記第2の導波層の屈折率を高くした固体撮像素子において、
前記第2の導波層は、前記入射光の入射方向上流側から下流側に向かって屈折率が段階的に小さくなることを特徴とする固体撮像素子。 - 透明膜からなり入射光を光センサ部に導く第1、第2の導波層を備え、周囲の前記第1の導波層の屈折率に対して、中央の前記第2の導波層の屈折率を高くした固体撮像素子において、
前記第2の導波層は、前記入射光の入射方向上流側から下流側に向かって屈折率が連続的に小さくなることを特徴とする固体撮像素子。 - 前記第1の導波層と前記第2の導波層の境界に形成される壁面が、前記入射光に対して、全反射条件を満たすことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の固体撮像素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007280588A JP2009111077A (ja) | 2007-10-29 | 2007-10-29 | 固体撮像素子 |
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JP2007280588A JP2009111077A (ja) | 2007-10-29 | 2007-10-29 | 固体撮像素子 |
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