JP2009105352A - Operation device, and component mounting device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an operation device and a component mounting device whose components can be easily maintained. <P>SOLUTION: When an operator stops operation of the component mounting device and maintains components of the component mounting device, for example, when the operator wants to maintain first, second and third conveying mechanisms 2, 3 and 4 conveying a substrate, the operator is able to perform the maintenance by entering a work space S formed in a component mounting device body 1 without moving to the back side of the component mounting device. Further, when the operator wants to maintain right and left, and front and rear wafer tables 6 in the work space S, first and second beams 20 and 22, first and second mounting heads 25 and 28 fitted with suction nozzles 24 and 27 and recognition cameras 29 and 30, a replacing mechanism 35, an elevator mechanism 36, etc., the operator is able to perform the maintenance by entering the work space S. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、作業ヘッドにより、被作業部材上に所定作業を行う作業装置や、実装ヘッドにより部品供給部から部品を取り出して、被実装部材上に実装する部品実装装置に関する。   The present invention relates to a working device that performs a predetermined work on a work member by a work head, and a component mounting device that takes out a component from a component supply unit by the mounting head and mounts the component on the mounted member.

この種の作業装置の1つである部品実装装置は、例えば特許文献1などに開示されているが、ベアチップなどの部品を吸着保持するボンディングノズルを複数有する実装ヘッドを備え、X軸方向移動、Y軸方向移動及びθ回転する載置台上のウェハから実装ヘッドのボンディングノズルが部品をピックアップし、部品を搬送シュートによって搬送されてきた被実装部材である実装基板或いはリードフレーム上に実装する。   A component mounting apparatus, which is one of this type of working device, is disclosed in, for example, Patent Document 1, but includes a mounting head having a plurality of bonding nozzles that suck and hold components such as bare chips, and moves in the X-axis direction. A bonding nozzle of a mounting head picks up a component from a wafer on a mounting table that moves in the Y-axis direction and rotates by θ, and the component is mounted on a mounting substrate or lead frame that is a mounted member that has been transported by a transport chute.

そして、一般にこの種の部品実装装置においては、部品を供給する部品供給部、被実装部材を搬送する搬送部などのメンテナンスを行う場合には、この部品実装装置の、例えば矩形の外形の外側から行われている。
特開2004−363607号公報
In general, in this type of component mounting apparatus, when performing maintenance such as a component supply unit that supplies components and a conveyance unit that conveys a mounted member, the outside of the rectangular outer shape of the component mounting device, for example, Has been done.
JP 2004-363607 A

しかしながら、メンテナンスは部品実装装置外形の外側からしか行うことができず、作業者が部品実装装置の前側のメンテナンスを終えると、次にわざわざ裏側に回って行う場合もあって、甚だ面倒であったり、ときに裏側を建物の壁に隣接して設置する場合もあってメンテナンスがしにくい場合もある。   However, maintenance can only be performed from the outside of the component mounting device, and once the operator finishes the maintenance on the front side of the component mounting device, it may be troublesome to turn to the back side, which can be very cumbersome. Sometimes, the back side is installed adjacent to the wall of the building, which makes maintenance difficult.

そこで本発明は、装置の各構成要素のメンテナンスが容易に行える作業装置及び部品実装装置を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a working apparatus and a component mounting apparatus that can easily maintain each component of the apparatus.

このため第1の発明は、作業ヘッドにより、被作業部材上に所定作業を行う作業装置において、作業者が装置内部にまで入り込める作業スペースを形成したことを特徴とする。   For this reason, the first invention is characterized in that in the working device that performs a predetermined work on the work member, a working space is formed by which the worker can enter the device.

第2の発明は、実装ヘッドにより部品供給部から部品を取り出して、被実装部材上に実装する部品実装装置において、作業者が装置内部にまで入り込める作業スペースを形成したことを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in a component mounting apparatus in which a component is taken out from a component supply unit by a mounting head and mounted on a member to be mounted, a work space that allows an operator to enter the apparatus is formed.

第3の発明は、第2の発明において、前記部品供給部を左右に備え、その部品供給部間に前記作業スペースを形成したことを特徴とする。   According to a third aspect, in the second aspect, the component supply unit is provided on the left and right, and the work space is formed between the component supply units.

第4の発明は、第2の発明において、前記部品供給部を装置前部の左右にそれぞれ複数備えると共に前記被実装部材を搬送する搬送機構を後部に備え、左右の部品供給部間に前記作業スペースを形成したことを特徴とする。   According to a fourth invention, in the second invention, a plurality of the component supply units are provided on the left and right sides of the front part of the apparatus, and a transport mechanism for transporting the mounted member is provided on the rear part. A space is formed.

第5の発明は、第2の発明において、前記部品供給部を左右及び前後に備え、その左右の部品供給部間に前記作業スペースを形成したことを特徴とする。   According to a fifth invention, in the second invention, the component supply section is provided on the left and right and front and rear sides, and the work space is formed between the left and right component supply sections.

本発明は、装置の各構成要素のメンテナンスが容易に行える作業装置及び部品実装装置を提供することができる。   The present invention can provide a working apparatus and a component mounting apparatus that can easily maintain each component of the apparatus.

以下、添付図面を参照して、作業ヘッドにより、被作業部材上に所定作業を行う作業装置として、接着剤等の塗布ヘッドを備えた第1の作業ステージと、それぞれが実装ヘッドを備えた複数の第2の作業ステージとを備えた部品実装装置の実施形態について説明する。この部品実装装置は、各種電子部品を被実装部材であるプリント基板或いはリードフレームなどに実装する。   Hereinafter, referring to the accompanying drawings, as a working device for performing a predetermined work on a work member by a work head, a first work stage having an application head such as an adhesive and a plurality of each having a mounting head An embodiment of a component mounting apparatus including the second work stage will be described. This component mounting apparatus mounts various electronic components on a printed circuit board or a lead frame that is a mounted member.

図1は部品実装装置の概略平面図であり、部品実装装置本体1には、各部品が実装される被実装部材である基板a、b及びcを独立してX軸方向に搬送する3つの搬送手段である第1、第2及び第3搬送機構(搬送手段)2、3及び4が設けられている。   FIG. 1 is a schematic plan view of a component mounting apparatus. The component mounting apparatus main body 1 includes three substrates a, b, and c, which are mounted members on which each component is mounted, independently transporting in the X-axis direction. First, second and third transport mechanisms (transport means) 2, 3 and 4 are provided as transport means.

そして、第1、第2及び第3の搬送機構(搬送手段)2、3及び4は、それぞれ接着剤の塗布部である第1の作業ステージ(A)、部品実装部である複数の第2の作業ステージ(B)、(C)を備えている。   The first, second and third transport mechanisms (transport means) 2, 3 and 4 are a first work stage (A) which is an adhesive application unit and a plurality of second components which are component mounting units, respectively. The work stages (B) and (C) are provided.

また、5は多数の部品が集合した部品群であるダイシングされた左右の前後の半導体ウェハ(以下、「ウェハ」といい、このウェハから取出されるダイなどの部品を以下「部品」という。)であり、このウェハ5は部品実装装置の左右それぞれに前後方向に配置されている。6は左右の前後のウェハ5が貼付されたシートが取付けられたウェハリング7(部品保持冶具である)を支持する前後のウェハテーブルである。   Further, reference numeral 5 denotes a diced left and right semiconductor wafers (hereinafter referred to as “wafer”), which is a group of parts in which a large number of parts are gathered, and a part such as a die taken out from this wafer is hereinafter referred to as “part”. The wafer 5 is disposed in the front-rear direction on each of the left and right sides of the component mounting apparatus. Reference numeral 6 denotes a front and rear wafer table for supporting a wafer ring 7 (which is a component holding jig) to which a sheet having left and right front and rear wafers 5 attached is attached.

また、部品実装装置本体1の前側(図1の下側)中間位置には、それぞれが後述する第1ビーム20及び第2ビーム22の移動方向に沿って設けられた右の前後のウェハテーブル6と左の前後ウェハテーブル6との間に作業スペースSが形成できるように、部品実装装置本体1内の中央が切除されて凹部10が形成される。即ち、作業者は部品実装装置本体1内にまで形成された作業スペースS内に入り込んで、各種メンテナンスを行うことができる。   Further, at the front (lower side in FIG. 1) intermediate position of the component mounting apparatus main body 1, the right front and rear wafer tables 6 provided along the moving directions of the first beam 20 and the second beam 22 described later, respectively. The center in the component mounting apparatus main body 1 is cut out to form a recess 10 so that a work space S can be formed between the left and right front and rear wafer tables 6. That is, the worker can enter the work space S formed up to the component mounting apparatus main body 1 and perform various maintenance.

そして、11は第1ガイドであり、この第1ガイド11は長手方向が基板a、b及びcの搬送方向と直角に交差する方向に延びて部品実装装置本体1に支持されている。この第1ガイド11には、塗布(作業)ヘッド12がリニアモータ13によってスライド自在に支持されている。この塗布ヘッド13には、例えば粘性が高い接着剤を吐出する塗布ノズル14と、基板認識カメラ15とが設けられている。この認識カメラ15は第1、第2及び第3の搬送機構(搬送手段)2、3及び4により搬送される基板a、b及びcに設けられている図示しないマークを撮像する。   Reference numeral 11 denotes a first guide. The first guide 11 is supported by the component mounting apparatus main body 1 extending in a direction in which the longitudinal direction intersects the substrate a, b and c in the direction perpendicular to the conveyance direction. An application (work) head 12 is slidably supported on the first guide 11 by a linear motor 13. For example, the coating head 13 is provided with a coating nozzle 14 that discharges a highly viscous adhesive and a substrate recognition camera 15. The recognition camera 15 captures images of marks (not shown) provided on the substrates a, b, and c that are transported by the first, second, and third transport mechanisms (transport means) 2, 3, and 4.

また、18及び19は第2及び第3ガイドであり、この第2、第3ガイド18、19は長手方向が基板a、b及びcの搬送方向と直角に交差する方向に延びて部品実装装置本体1に支持されている。そして、第2ガイド18には第1ビーム20がその長手方向と直交する方向にリニアモータ21の運転によりリニアガイド17A、17Aを介してスライド自在に渡され、第3ガイド19には第2ビーム22がその長手方向と直交する方向にリニアモータ23の運転によりリニアガイド(図示せず)を介してスライド自在に渡されている。   Reference numerals 18 and 19 denote second and third guides. The second and third guides 18 and 19 extend in a direction in which the longitudinal direction intersects perpendicularly with the conveying direction of the substrates a, b and c, and the component mounting apparatus. It is supported by the main body 1. Then, the first beam 20 is slid to the second guide 18 through the linear guides 17A and 17A by the operation of the linear motor 21 in the direction orthogonal to the longitudinal direction, and the second beam is passed to the third guide 19. 22 is slidably passed through a linear guide (not shown) by operation of the linear motor 23 in a direction perpendicular to the longitudinal direction.

そして、第1ビーム20の後側面には、吸着ノズル24を備えた第1実装ヘッド(搭載ヘッド)25がリニアモータ26によりこの第1ビーム20に沿ってX軸方向(基板a、b及びcの搬送方向と同方向)にスライド自在に設けられている。そして、第2ビーム22の後側面には、吸着ノズル27を備えた第2実装ヘッド(搭載ヘッド)28がリニアモータ49によりこの第2ビーム22に沿ってX軸方向(基板a、b及びcの搬送方向と同方向)にスライド自在に設けられている。   A first mounting head (mounting head) 25 having a suction nozzle 24 is disposed on the rear side surface of the first beam 20 along the first beam 20 by the linear motor 26 (substrates a, b, and c). In the same direction as the transport direction). On the rear side surface of the second beam 22, a second mounting head (mounting head) 28 having a suction nozzle 27 is placed along the second beam 22 by the linear motor 49 in the X-axis direction (substrates a, b and c). In the same direction as the transport direction).

前記第1実装ヘッド25には右の前後のウェハテーブル6から部品を取り出す複数の吸着ノズル24が設けられ、この第1実装ヘッド25の端部に各ウェハテーブル6上の個々の部品を撮像する認識カメラ29が設けられ、また前記第2実装ヘッド28には左の前後のウェハテーブル6から部品を取り出す複数の吸着ノズル27が設けられ、この第2実装ヘッド28の端部に各ウェハテーブル6上の個々の部品を撮像する認識カメラ30が設けられている。   The first mounting head 25 is provided with a plurality of suction nozzles 24 for taking out components from the front and rear wafer tables 6 on the right, and images the individual components on each wafer table 6 at the end of the first mounting head 25. A recognition camera 29 is provided, and the second mounting head 28 is provided with a plurality of suction nozzles 27 for taking out components from the left and right wafer tables 6, and each wafer table 6 is provided at the end of the second mounting head 28. A recognition camera 30 is provided for imaging the individual components above.

32及び33は各ウェハテーブル6に対応して右方及び左方に設けられる4つのウェハ供給装置で、ウェハリング7(部品保持冶具である)を複数段出し入れ可能に収納するマガジン34と、ウェハテーブル6上のウェハリング7とマガジン34内のウェハリング7とを後述する交換機構35により交換するために、鉛直方向に移動可能とするエレベータ機構36とを備えている。   32 and 33 are four wafer supply devices provided on the right and left sides corresponding to each wafer table 6, a magazine 34 for storing a wafer ring 7 (which is a component holding jig) in a plurality of stages, and a wafer. In order to exchange the wafer ring 7 on the table 6 and the wafer ring 7 in the magazine 34 by an exchange mechanism 35 described later, an elevator mechanism 36 that is movable in the vertical direction is provided.

前記エレベータ機構36は、前記マガジン34を載置支持する載置板37と、この載置板37の下面に設けられ、図示しないガイドによって案内される複数のガイド棒38と、駆動モータ(図示せず)の運転によりベアリング39が回動して上下するネジ軸40とから構成される。   The elevator mechanism 36 has a mounting plate 37 for mounting and supporting the magazine 34, a plurality of guide bars 38 provided on the lower surface of the mounting plate 37 and guided by guides (not shown), and a drive motor (not shown). 1), the bearing 39 is rotated and moved up and down.

次に、前記交換機構35は、前記第1ビーム20と第2ビーム22の下面にそれぞれこの第1、第2ビーム20、22に沿って設けられて、各ウェハテーブル6上のウェハリング7と対応するマガジン34内のウェハリング7とを交換するためのものである。即ち、駆動モータ41によりネジ軸42が回動してナット43がX方向に移動することにより、このナット43に固定された支持部材44に固定されたチャック部材(保持部材)45が各ウェハテーブル6と対応するマガジン34との間を往復する。このため、前記往復移動に伴って、一対の爪46を備えたチャック部材45がウェハリング7を把持したり、その把持を解除したりすることにより、各ウェハテーブル6上のウェハリング7と対応するマガジン34内のウェハリング7との交換が可能となる。   Next, the exchange mechanism 35 is provided along the first and second beams 20 and 22 on the lower surfaces of the first beam 20 and the second beam 22, respectively. This is for exchanging the wafer ring 7 in the corresponding magazine 34. That is, when the screw shaft 42 is rotated by the drive motor 41 and the nut 43 moves in the X direction, the chuck member (holding member) 45 fixed to the support member 44 fixed to the nut 43 is moved to each wafer table. 6 to and from the corresponding magazine 34. For this reason, the chuck member 45 having the pair of claws 46 grips the wafer ring 7 or releases the grip as the reciprocating movement is performed, thereby corresponding to the wafer ring 7 on each wafer table 6. The wafer ring 7 in the magazine 34 to be exchanged can be exchanged.

以上のように、前記交換機構35を前記第1ビーム20と第2ビーム22の下面にそれぞれ設けたので、わざわざ交換機構35を取付けるための構造物が不要であり、しかも交換機構35を各ビームの下面に設けたので前記第1ビーム20と第2ビーム22の下方の空間を有効に利用できる。   As described above, since the exchange mechanism 35 is provided on the lower surfaces of the first beam 20 and the second beam 22, a structure for attaching the exchange mechanism 35 is not necessary. The space below the first beam 20 and the second beam 22 can be used effectively.

次に、以下、上述した部品実装装置の運転について説明する。基板aが第1搬送機構(搬送手段)2によりX方向に移動し、また塗布ヘッド12がリニアモータ13の運転によりY軸方向に移動することにより、塗布ヘッド12の下方に位置した基板aに、塗布ノズル14から接着剤を吐出して塗布する。   Next, the operation of the above-described component mounting apparatus will be described below. The substrate a is moved in the X direction by the first transport mechanism (transport means) 2, and the coating head 12 is moved in the Y-axis direction by the operation of the linear motor 13, so that the substrate a positioned below the coating head 12 is moved. Then, an adhesive is discharged from the application nozzle 14 and applied.

この塗布工程において、最初に、制御装置からの信号に基づいて第1搬送機構(搬送手段)2が作動して基板aがX軸方向に移動する。また、リニアモータ13の運転により塗布ヘッド12が基板aの上方に移動し、この基板aの位置決めマーク上方に位置した基板認識カメラ15が位置決めマークを撮像する。そして、撮像結果に基づいて認識処理装置が認識処理し、制御装置が基板aの位置を認識する。その後、基板aが第1搬送機構(搬送手段)2により図1の左方向に移動すると共に塗布ヘッド12がリニアモータ13の運転により図1の上下方向に移動することにより、塗布ヘッド12が基板aの上方に位置し、予め設定されている塗布位置と認識された基板aの位置とに基づいて、基板aを■方向に次第に
移動すると共に、塗布ヘッド12がY軸方向に移動して下降し、塗布ノズル14が接着剤を吐出し、基板a上に塗布する。以後、基板a上の各塗布位置に塗布ノズル14が位置するように、第1搬送機構(搬送手段)2及びリニアモータ13が運転され、基板aが■軸方向に次第に移動すると共に、塗布ヘッド15がY軸
方向に移動し、塗布ノズル14が昇降して接着剤を基板aの上面に順次塗布する。
In this coating process, first, the first transport mechanism (transport means) 2 is operated based on a signal from the control device, and the substrate a moves in the X-axis direction. Further, the operation of the linear motor 13 moves the coating head 12 above the substrate a, and the substrate recognition camera 15 positioned above the positioning mark on the substrate a images the positioning mark. Then, the recognition processing device performs recognition processing based on the imaging result, and the control device recognizes the position of the substrate a. Thereafter, the substrate a is moved in the left direction in FIG. 1 by the first transport mechanism (transport means) 2 and the coating head 12 is moved in the vertical direction in FIG. Based on the preset application position and the recognized position of the substrate a, the substrate a is gradually moved in the direction ■ and the application head 12 is moved in the Y-axis direction and lowered. Then, the application nozzle 14 discharges the adhesive and applies it onto the substrate a. Thereafter, the first transport mechanism (transport means) 2 and the linear motor 13 are operated so that the coating nozzles 14 are positioned at the respective coating positions on the substrate a, and the substrate a gradually moves in the axis direction and the coating head. 15 moves in the Y-axis direction, and the coating nozzle 14 moves up and down to sequentially apply the adhesive onto the upper surface of the substrate a.

また、前記基板aへの塗布工程中に、第2搬送機構3上の基板bは作業ステージ(B)において、第1実装ヘッド25の吸着ノズル24により部品が装着される。即ち、第1ビーム20がリニアモータ21の運転によりY軸方向に移動すると共に、第1実装ヘッド25がリニアモータ26の運転により第1ビーム20に沿ってX軸方向に移動する。そして、第1実装ヘッド25のX軸方向及びY軸方向の移動により、先ず認識カメラ29が右の前後のいずれかのウェハ5のピックアップする部品の上方に位置し、ピックアップする部品を撮像して、その撮像及び認識結果に基づいて、制御装置がその部品の位置を認識する。   In addition, during the application process to the substrate a, the substrate b on the second transport mechanism 3 is mounted with components by the suction nozzle 24 of the first mounting head 25 on the work stage (B). That is, the first beam 20 moves in the Y-axis direction by the operation of the linear motor 21, and the first mounting head 25 moves in the X-axis direction along the first beam 20 by the operation of the linear motor 26. Then, by the movement of the first mounting head 25 in the X-axis direction and the Y-axis direction, first, the recognition camera 29 is positioned above the component to be picked up on any one of the wafers 5 on the right and the front, and images the component to be picked up. Based on the imaging and recognition results, the control device recognizes the position of the component.

この認識結果に基づいて、リニアモータ21及び26が運転し、吸着ノズル24の下方にウェハ5のピックアップされる部品が位置し、第1実装ヘッド25の吸着ノズル24が昇降して電子部品を吸着保持して取り出す。以後、リニアモータ21及び26が運転し、第1実装ヘッド25が水平方向に移動し、第1実装ヘッド25が第1部品認識カメラ31Aの上方を通過し、基板bの上方へ移動する。   Based on the recognition result, the linear motors 21 and 26 are operated, the component to be picked up from the wafer 5 is positioned below the suction nozzle 24, and the suction nozzle 24 of the first mounting head 25 is moved up and down to suck the electronic component. Hold and take out. Thereafter, the linear motors 21 and 26 operate, the first mounting head 25 moves in the horizontal direction, and the first mounting head 25 passes above the first component recognition camera 31A and moves above the board b.

そして、第1実装ヘッド25が第1部品認識カメラ31Aの上方を通過するときに第1部品認識カメラ31Aにより撮像された部品の撮像結果、即ち吸着ノズル24に吸着された部品の位置及び姿勢に基づいて制御装置が動作し、リニアモータ21及び26が運転し、第1実装ヘッド25がX軸方向及びY軸方向に移動し、吸着ノズル24が実装位置の上方に位置して下降し基板bの上に部品が実装される。以後、第1実装ヘッド25がウェハ5の上方と基板bの上方との間を往復移動し、順次基板b上に部品が実装される。すなわち、作業ステージ(A)で基板aへの接着剤塗布工程と、作業ステージ(B)での基板bへの部品実装工程とが並行して行われる。   Then, when the first mounting head 25 passes over the first component recognition camera 31A, the imaging result of the component imaged by the first component recognition camera 31A, that is, the position and orientation of the component sucked by the suction nozzle 24 is obtained. Based on this, the control device operates, the linear motors 21 and 26 are operated, the first mounting head 25 is moved in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the suction nozzle 24 is lowered above the mounting position to lower the substrate b. The component is mounted on top. Thereafter, the first mounting head 25 reciprocates between the upper side of the wafer 5 and the upper side of the substrate b, and components are sequentially mounted on the substrate b. That is, the adhesive application process to the substrate a at the work stage (A) and the component mounting process to the board b at the work stage (B) are performed in parallel.

また、基板aへの塗布工程中に、第3搬送機構4上の基板cは作業ステージ(C)において、第2実装ヘッド28の吸着ノズル27により部品が装着される。即ち、第2ビーム22がリニアモータ23の運転によりY軸方向に移動すると共に、第2実装ヘッド28がリニアモータ49の運転により第2ビーム22に沿ってX軸方向に移動する。そして、第2実装ヘッド28のX軸方向及びY軸方向の移動により、先ず認識カメラ30が左の前後のいずれかのウェハ5のピックアップする部品の上方に位置し、ピックアップする部品を撮像して、その撮像及び認識結果に基づいて、制御装置がその部品の位置を認識する。   Further, during the coating process on the substrate a, the substrate c on the third transport mechanism 4 is mounted with components by the suction nozzle 27 of the second mounting head 28 on the work stage (C). That is, the second beam 22 moves in the Y axis direction by the operation of the linear motor 23, and the second mounting head 28 moves in the X axis direction along the second beam 22 by the operation of the linear motor 49. Then, by the movement of the second mounting head 28 in the X-axis direction and the Y-axis direction, the recognition camera 30 is first positioned above the component to be picked up on any of the left and right wafers 5 and images the component to be picked up. Based on the imaging and recognition results, the control device recognizes the position of the component.

この認識結果に基づいて、リニアモータ23及び49が運転し、吸着ノズル27の下方にウェハ5のピックアップされる部品が位置し、第2実装ヘッド28の吸着ノズル27が昇降して電子部品を吸着保持して取り出す。以後、リニアモータ23及び49が運転し、第2実装ヘッド28が水平方向に移動し、第2実装ヘッド28が第2部品認識カメラ31Bの上方を通過し、基板cの上方へ移動する。   Based on the recognition result, the linear motors 23 and 49 are operated, the component to be picked up from the wafer 5 is positioned below the suction nozzle 27, and the suction nozzle 27 of the second mounting head 28 is moved up and down to suck the electronic component. Hold and take out. Thereafter, the linear motors 23 and 49 operate, the second mounting head 28 moves in the horizontal direction, and the second mounting head 28 passes above the second component recognition camera 31B and moves above the board c.

そして、第2実装ヘッド28が第2部品認識カメラ31Bの上方を通過するときに第2部品認識カメラ31Bにより撮像された部品の撮像結果、即ち吸着ノズル27に吸着された部品の位置及び姿勢に基づいて制御装置が動作し、リニアモータ23及び49が運転し、第2実装ヘッド28がX軸方向及びY軸方向に移動し、吸着ノズル27が実装位置の上方に位置して下降し基板cの上に部品が実装される。以後、第2実装ヘッド28がウェハ5の上方と基板cの上方との間を往復移動し、順次基板c上に部品が実装される。   Then, when the second mounting head 28 passes above the second component recognition camera 31B, the imaging result of the component imaged by the second component recognition camera 31B, that is, the position and orientation of the component sucked by the suction nozzle 27 is obtained. Based on this, the control device is operated, the linear motors 23 and 49 are operated, the second mounting head 28 is moved in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the suction nozzle 27 is lowered above the mounting position to lower the substrate c. The component is mounted on top. Thereafter, the second mounting head 28 reciprocates between the upper side of the wafer 5 and the upper side of the substrate c, and components are sequentially mounted on the substrate c.

即ち、作業ステージ(A)で基板aへの接着剤塗布工程と、作業ステージ(B)での基板bへの部品実装工程と、作業ステージ(C)での基板cへの部品実装工程とが並行して行われる。   That is, an adhesive application process to the substrate a at the work stage (A), a component mounting process to the substrate b at the work stage (B), and a component mounting process to the substrate c at the work stage (C). Done in parallel.

その後、作業ステージ(A)での塗布工程が終了すると、基板aは第1搬送機構2により作業ステージ(B)に移動し、また作業ステージ(B)及び(C)での実装工程が終了すると、基板bは第2搬送機構3により作業ステージ(C)に及び基板cは第3搬送機構4により作業ステージ(D)に移動する。作業ステージ(D)に位置した基板cは、作業者により第3搬送機構4より取り出される。   Thereafter, when the coating process at the work stage (A) is completed, the substrate a is moved to the work stage (B) by the first transport mechanism 2, and when the mounting process at the work stages (B) and (C) is completed. The substrate b is moved to the work stage (C) by the second transport mechanism 3, and the substrate c is moved to the work stage (D) by the third transport mechanism 4. The substrate c positioned on the work stage (D) is taken out from the third transport mechanism 4 by the operator.

次に、ウェハテーブル6上のウェハリング7と対応するマガジン34内のウェハリング7との交換作業を行うべく、図示しない指示装置で指示した場合のウェハリング7の交換作業について説明する。   Next, a description will be given of the replacement operation of the wafer ring 7 when an instruction device (not shown) instructs to replace the wafer ring 7 on the wafer table 6 with the wafer ring 7 in the corresponding magazine 34.

先ず、対応するエレベータ機構36が駆動して、駆動モータの運転によりベアリング39が回動してネジ軸40が上下し、ウェハリング7を収納していない段が出し入れ高さ位置となるようにマガジン34を移動させる。そして、交換機構35の駆動モータ41の運転によりネジ軸42を回動させてナット43をX方向に移動させることにより、このナット43に固定された支持部材44に固定されたチャック部材45を各ウェハテーブル6に対応するマガジン34にまで第2ガイド18の開口18Aを介して移動させ、チャック部材45に保持されたウェハテーブル6から外されたウェハリング7を一対の爪46を開いて前記マガジン34に収納させる。   First, the corresponding elevator mechanism 36 is driven, the bearing 39 is rotated by the operation of the drive motor, the screw shaft 40 is moved up and down, and the stage that does not store the wafer ring 7 is placed in and out of the magazine. 34 is moved. Then, by rotating the screw shaft 42 by the operation of the drive motor 41 of the exchange mechanism 35 and moving the nut 43 in the X direction, the chuck member 45 fixed to the support member 44 fixed to the nut 43 is changed to each of the chuck members 45. The magazine 34 is moved to the magazine 34 corresponding to the wafer table 6 through the opening 18A of the second guide 18, and the wafer ring 7 removed from the wafer table 6 held by the chuck member 45 is opened by a pair of claws 46 to open the magazine. 34.

次いで、駆動モータ41を運転させてチャック部材45を少し後退させた後、衝突の問題が無くなったマガジン34をエレベータ機構36の駆動により上下させて、新しいウェハリング7が出し入れ高さ位置となるように移動させる。そして、チャック部材45を少し前進させて一対の爪46を閉じることにより新しいウェハリング7を把持する。   Next, after the drive motor 41 is operated and the chuck member 45 is slightly retracted, the magazine 34, which has no collision problem, is moved up and down by the drive of the elevator mechanism 36 so that the new wafer ring 7 is put in and out. Move to. Then, the chuck member 45 is moved forward a little to close the pair of claws 46 so that the new wafer ring 7 is gripped.

そして、駆動モータ41を運転させてチャック部材45を後退させて、ウェハテーブル6上方にチャック部材45に把持された新しいウェハリング7を位置させた後、一対の爪46を開いて新しいウェハリング7をウェハテーブル6上に落下させる。   Then, the drive motor 41 is operated to retract the chuck member 45 to position the new wafer ring 7 held by the chuck member 45 above the wafer table 6, and then open the pair of claws 46 to open the new wafer ring 7. Is dropped onto the wafer table 6.

この後、作業者はこの新しいウェハリング7をウェハテーブル6に取り付け固定して、部品の取り出しに備える。   Thereafter, the operator attaches and fixes the new wafer ring 7 to the wafer table 6 to prepare for taking out the parts.

なお、前記ウェハテーブル6を第1ビーム20又は第2ビーム22の移動方向に沿って複数設けた場合にも、第1ビーム20又は第2ビーム22を移動させてウェハリング7の交換を行うことができ、複数のウェハテーブル6にも容易に対応することができる。   Even when a plurality of the wafer tables 6 are provided along the moving direction of the first beam 20 or the second beam 22, the wafer ring 7 is exchanged by moving the first beam 20 or the second beam 22. Therefore, it is possible to easily cope with a plurality of wafer tables 6.

また、前後方向に複数設けたウェハテーブル6毎に、交換機構35を設ける必要が無く、機構の簡略化が図れ、また装置の前後方向の寸法を極力小さくして省スペース化が図れる。   Further, it is not necessary to provide an exchange mechanism 35 for each wafer table 6 provided in the front-rear direction, the mechanism can be simplified, and the size of the apparatus in the front-rear direction can be reduced as much as possible to save space.

次に、部品実装装置の運転を停止して、作業者が当該部品実装装置の各構成要素のメンテナンスする場合について、説明する。例えば、基板を搬送する第1、第2及び第3搬送機構2、3、4をメンテナンスしたい場合には、作業者は部品実装装置の裏側に回らなくとも、部品実装装置本体1内にまで形成された作業スペースS内に入り込んで、行うことができる。また、作業スペースSの左右の前後のウェハテーブル6や、第1及び第2ビーム20、22や、吸着ノズル24、27及び認識カメラ29、30が取付けられた第1及び第2実装ヘッド25、28や、交換機構35やエレベータ機構36などをメンテナンスしたい場合には、作業者は作業スペースS内に入り込んで行うことができる。   Next, a case will be described in which the operation of the component mounting apparatus is stopped and an operator performs maintenance on each component of the component mounting apparatus. For example, when it is desired to maintain the first, second and third transport mechanisms 2, 3, 4 for transporting the board, the operator does not rotate to the back side of the component mounting apparatus, but forms it in the component mounting apparatus main body 1. Can be carried out by entering the work space S. Further, the front and rear wafer tables 6 on the left and right of the work space S, the first and second beams 20 and 22, the first and second mounting heads 25 to which the suction nozzles 24 and 27 and the recognition cameras 29 and 30 are attached, 28, the maintenance mechanism 35, the elevator mechanism 36, and the like can be maintained by the operator entering the work space S.

以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。   Although the embodiments of the present invention have been described above, various alternatives, modifications, and variations can be made by those skilled in the art based on the above description, and the present invention is not limited to the various embodiments described above without departing from the spirit of the present invention. It encompasses alternatives, modifications or variations.

部品実装装置の平面図である。It is a top view of a component mounting apparatus. 右の交換機構、マガジンなどの正面図である。It is a front view, such as a right exchange mechanism and a magazine. 第1実装ヘッド及びビームなどの左側面図である。It is a left side view of the first mounting head and the beam.

符号の説明Explanation of symbols

1 部品実装装置本体
2、3、4 第1、第2及び第3搬送機構
6 ウェハテーブル
10 凹部
20、22 第1及び第2ビーム
24、27 吸着ノズル
25、28 第1及び第2実装ヘッド
29、30 認識カメラ
35 交換機構
36 エレベータ機構
S 作業スペース
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Component mounting apparatus main body 2, 3, 4 1st, 2nd and 3rd conveyance mechanism 6 Wafer table 10 Recessed part 20, 22 1st and 2nd beam 24, 27 Adsorption nozzle 25, 28 1st and 2nd mounting head 29 , 30 Recognition camera 35 Exchange mechanism 36 Elevator mechanism S Work space

Claims (5)

作業ヘッドにより、被作業部材上に所定作業を行う作業装置において、作業者が装置内部にまで入り込める作業スペースを形成したことを特徴とする作業装置。   A working device for performing a predetermined work on a work member by a working head, wherein a working space is formed in which a worker can enter the device. 実装ヘッドにより部品供給部から部品を取り出して、被実装部材上に実装する部品実装装置において、作業者が装置内部にまで入り込める作業スペースを形成したことを特徴とする部品実装装置。   A component mounting apparatus in which a component is taken out from a component supply unit by a mounting head and mounted on a member to be mounted, and a working space is formed in which an operator can enter the apparatus. 前記部品供給部を左右に備え、その部品供給部間に前記作業スペースを形成したことを特徴とする請求項2に記載の部品実装装置。   The component mounting apparatus according to claim 2, wherein the component supply unit is provided on the left and right, and the work space is formed between the component supply units. 前記部品供給部を装置前部の左右にそれぞれ複数備えると共に前記被実装部材を搬送する搬送機構を後部に備え、左右の部品供給部間に前記作業スペースを形成したことを特徴とする請求項2に記載の部品実装装置。   3. The apparatus according to claim 2, wherein a plurality of the component supply units are provided on the left and right sides of the front part of the apparatus, a transfer mechanism for transferring the mounted member is provided on the rear side, and the working space is formed between the left and right component supply units. The component mounting apparatus described in 1. 前記部品供給部を左右及び前後に備え、その左右の部品供給部間に前記作業スペースを形成したことを特徴とする請求項2に記載の部品実装装置。   The component mounting apparatus according to claim 2, wherein the component supply unit is provided on the left and right and front and rear, and the work space is formed between the left and right component supply units.
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