JP2009100375A - ２回回転ｙカット板からなる水晶振動子 - Google Patents

Abstract

【課題】設計・製造を容易にして振動特性を良好に維持した２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子を提供する。
【解決手段】Ｚ′軸及び前記Ｘ′軸からそれぞれγ度傾斜して互いに直交する軸を応力感度零軸とし、応力感度零軸の互いに直交する中心から放射状に分割される４つの領域に強勢な振動変位を有する２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子において、応力感度零軸の互いに直交する中心部の厚みを大きくし、中心部から前記水晶片の外周部に向かって四角錐状とする稜線部Ｐを形成し、応力感度零軸間の４つの領域における、互いに直交する中心から各４つの領域を二等分する中央領域の垂直方向の断面厚みを大きくし、中央領域から両側となる応力感度軸に向かって徐々に厚みの小さくなる傾斜面を形成した構成とする。
【選択図】図１

Description

本発明は２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子を技術分野とし、特に振動特性を安定にして設計・製造を容易にしたＳＣカット板からなる水晶振動子（以下、ＳＣカット振動子とする）に関する。

（発明の背景）
２回回転カット板からなる代表的なＳＣカット振動子は、特に応力感度特性や熱衝撃特性に優れる。このことから、例えば通信機器のうちでも諸条件に対して周波数偏差の厳しい基地局用の高安定用とした水晶発振器に取り込まれる。その一方で、結晶軸(ＸＹＺ）のＹ軸を２回回転とすることから、設計・製造が困難な一面がある。

（従来技術の一例）
第９図（ａｂ）及び第１０図は一従来例としてのＳＣカット板の切断方位を説明する図である。

ＳＣカット振動子は、水晶の結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に直交する所謂Ｙカット板とした水晶片１の主面を、Ｘ軸を中心としてＹ軸からＺ軸方向への左回転としてα度回転する「第９図（ａ）」。これによって、新たに生じた軸をＹ′、Ｚ′軸とする。さらに、Ｚ′軸を中心としてＸ軸からＹ′軸方向への左回転としてβ度回転してなる「第９図（ｂ）」。これによって、新たに生じた軸をＸ′Ｙ″とする。なお、Ｚ軸をβ度回転した後、新たなＸ′軸をα度回転しても同じである。

要するに、結晶軸（ＸＹＺ）のＸ軸を中心としてＹ軸、Ｚ軸をα度回転し、さらにＺ′軸を中心としてＸ軸、Ｙ′軸をβ度回転し、これらの回転による新たな結晶軸（Ｘ′Ｙ″Ｚ′）のＹ″に主面が直交して切断される水晶板が２回転Ｙカット板と称される（第１０図）。この場合、水晶片１の主面がＸ′Ｚ′軸による平面、厚みがＹ″軸となる。

そして、ＳＣカット板では、Ｘ軸（Ｘ′軸）及びＺ′軸（Ｚ軸）を中心とした回転角α度及びβ度の基準角を３３度及び２２度とする。但し、回転角α度及びβ度は例えば温度特性との関係から適宜選択され、ここでの基準角とする３３度及び２２度はＳＣカット板の目安となる概ねの切断角度である。

ＳＣカット板からなる水晶片１の両主面には、第１１図に示したように厚みすべり振動を励起する励振電極２が形成される。厚みすべ振動は水晶片１の厚みに応じた共振周波数を有し、水晶片１の厚みが小さいほど共振周波数は高くなる。水晶片１の外周部には励振電極２から後述の引出電極３が延出する。

このようなものでは、２回回転としたＳＣカット板の結晶構造に依存し、Ｚ′軸から左回転としてγ度回転した軸、及びこれに直交した軸即ちＸ′軸からγ度回転した軸が応力感度零軸Ｚ′（γ）、Ｘ′（γ）となる（前第１１図）。なお、応力感度零軸とは水晶片１の両端側に応力が生じても周波数変化が零を含んで最小となる軸を指す。ＳＣカット板では応力感度零軸Ｚ′（γ）となるＺ′からの回転角γの基準角は概ね８度となる。

このことから、水晶片１の平面形状を例えば正方形とした場合、互いに直交する応力感度零軸Ｚ′（γ）、Ｘ′（γ）を正方形の対角線上とする（第１２図）。そして、例えば引出電極３を一方の応力感度零軸Ｚ′（γ）となる一組の対角部に延出して、図示しない機構によって保持して２点保持とする。さらには、他方の応力感度零軸Ｘ′（γ）となる他組の対角部をも保持し、衝撃に対して強度を高める４点保持とする。

なお、水晶片１の各４角部は振動領域となる中央領域の励振電極２から最も離れた位置となって、中央領域での振動特性に与える影響を少なくできる。したがって、引出電極３を水晶片１の角部に延出して同角部を保持する。また、水晶片１を円形とした場合は、応力感度零軸の位置が不明となるが、矩形の場合は角部によって明確になるので、保持作業を容易にする。

これらの場合、厚みすべり振動は、観測結果によれば、例えば第１３図に示したように、灰色で示す職振動変位分布となる。すなわち、互いに直交する応力感度零軸Ｚ′（γ）、Ｘ′（γ）で分割され、中央領域における垂直及び水平方向の両側（上下左右）となる４つの領域に強勢な振動変位を有する。

これらの強勢な４箇所での振動変位はほぼ同様な大きさで、各振動変位の黒点で示す中心を結ぶ線は、概ね一点鎖線で示す正方形になる。逆に言えば、４箇所の振動変位箇所を避けた対角方向に直交する線上が、振動変位に影響を与えないことから、前述した応力感度零軸Ｚ′（γ）、Ｘ′（γ）になる。

そして、振動周波数が例えば２０ＭＨｚ以下の低周波域では、厚み振動の振動エネルギーを閉じ込めてクリスタルインピーダンス（以下、ＣＩとする）を小さくすべく、例えば一主面をコンベックス（プラノコンベックス）状に加工する。また、水晶片１は両角部あるいは４角部を保持された状態で、図示しない容器内に密閉封入される。
特開平４−１３８７０８号公報 特開２０００−４０９３７号公報 特開２００４−９６５６８号公報

（従来技術の問題点）
しかしながら、上記構成のＳＣカット振動子では、前述したように応力感度特性や熱衝撃特性等の振動特性を良好とするものの、ＳＣカットとする２回回転の切断角度や、水晶片１を矩形状としてＺ′軸やＸ′軸から８度傾斜した位置を角部とする面内切断に敏感に反応し、僅かな切断誤差によって振動特性が大きく変化する。例えば変曲点を約９０℃とした三次曲線となる周波数温度特性を変化させたり、クリスタルインピーダンス（ＣＩ）を悪化させたりする。

なお、水晶片１は正方形のみならず、例えば円形や長方形とした場合でも、Ｚ′軸やＸ′軸から８度傾斜した位置での保持位置に敏感に反応する。したがって、ＳＣカットとする２回回転の切断角度や保持位置の僅かなズレによって、周波数温度特性やＣＩ等の振動特性が大きく変化する。

これらの場合、観測結果では、前述した４箇所での振動変位分布が通常の対称性をもった配置とは異なり、例えば第１４図に示したように振動変位の位置や大小が異なって非対称になる。これらのことから、特に正方形とした場合は、水晶片１の面内切断や切断角度に起因して、特にＳＣカット振動子の設計・製造を困難にして生産性を低下する問題があった。

（発明の目的）
本発明は設計・製造を容易にして振動特性を良好に維持した２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子を提供することを目的とする。

本発明は、特許請求の範囲（請求項１）に示したように、水晶の結晶軸（ＸＹＺ）のＸ軸を中心にＹ軸及びＺ軸をα度回転してＹ′軸及びＺ′軸とし、前記Ｚ′軸を中心に前記Ｘ軸及びＹ′軸をβ度回転してＸ′軸及びＹ″軸としてなる結晶軸（Ｘ′Ｙ″Ｚ′）の前記Ｙ″軸に主面が直交した水晶片を有し、前記水晶片は前記Ｚ′軸及び前記Ｘ′軸からそれぞれγ度傾斜して互いに直交する軸を応力感度零軸とし、前記応力感度零軸の互いに直交する中心から放射状に分割される４つの領域に強勢な振動変位を有する２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子において、前記応力感度零軸の互いに直交する中心部の厚みを大きくし、前記中心部から前記水晶片の外周部に向かって四角錐状とする稜線部を形成し、前記四角錐状の頂角に対向する底辺を設けたとき、前記底辺に沿った前記水晶片の断面厚みが前記水晶片の中央領域では大きく、前記水晶片の両端側に向かって除々に小さくなる
構成とする。

このような構成であれば、互いに直交する応力感度零軸間の４つの領域での強勢な振動変位は、各応力感度軸間の厚みを大きくした各４つの中央領域に閉じ込められる。したがって、各４つの領域での振動変位は２回回転Ｙカットとする切断角度や保持位置に多少のズレがあっても、振動変位の漏洩が抑制される。

逆に言えば、切断角度や保持位置に多少のズレがあっても、４つの振動変位は厚みの大きい中央領域に閉じ込められて、各振動変位との間での相互干渉を防止する。これらのことから、例えば振動変位の漏洩によるＣＩの劣化や、相互干渉による周波数温度特性の変動を防止できる。したがって、設計・製造を容易にして振動特性を良好にした２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子を提供できる。

（実施態様項）
本発明の請求項２では、請求項１において、前記水晶片の前記稜線部は前記互いに直交する応力感度零軸とする。これにより、四角錐状とした各４つの傾斜面はそれぞれの頂角を二等分する中心線に対して直交する線上での垂直方向の断面厚みは隣接する各傾斜面の厚みより大きくなる。したがって、請求項１で規定する各４つの領域を二等分する中央領域の厚みを大きくして応力感度軸に向かって徐々に厚みの小さくなる傾斜面を形成できる。

例えば後述する請求項３での水晶片を正方形とした場合を考えると、三角形状となる各傾斜面の頂角を二等分する中心線に対して直交する線は、各頂角の対向する外周辺（底辺）と水平方向になる。したがって、外周辺と平行な線上での断面厚みは隣接する傾斜面よりも大きくなる。

同請求項３では、請求項１において、前記水晶片の前記稜線部は前記互いに直交する応力感度零軸の中心から見てからそれぞれ４５度回転し、前記応力感度零軸間を二等分する応力感度中間軸とする。これにより、応力感度中間軸での断面厚みを大きくするので、請求項２と同様に、各４つの領域を二等分する中央領域の厚みを大きくして応力感度軸に向かって徐々に厚みの小さくなる傾斜面を形成できる。

同請求項４では、請求項２において、前記水晶片は平面形状が正方形であって、前記互いに直交する応力感度零軸は前記正方形の対角方向とする。これにより、水晶片の対角方向が応力感度零軸であることを明確に認識できるとともに、例えば４角部を保持して強度を高められる。

同請求項５では、請求項１において、前記水晶片の主面における頭頂部は前記四角錐の傾斜面よりも緩やかな平坦面状に加工される。これにより、四角錐状とした際の中心に対する非対称性等を調整できる。また、平坦面の大きさを制御して振動周波数（共振周波数）を容易に調整できる。

同請求項６又は７では、請求項１において、前記２回回転Ｙカット板は前記θ度及び前記α度の基準角をそれぞれ３３度及び２２度としたＳＣカット板、又は３４度及び１９度としたＩＴカット板とし、前記γ度の基準角はいずれも８度とする。これにより、２回回転Ｙカット板を明確にする。

第１図は本発明の第１実施形態を説明する２回回転Ｙカット板としたＳＣカット振動子の特に水晶片の図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。

ＳＣカット振動子は、前述したように結晶軸（ＸＹＺ）のＸ軸及びＺ軸からの回転角（基準角）α、βを２２度及び３３度としてＹ軸が２回回転した結晶軸（Ｘ′Ｙ″Ｚ′）とし、水晶片１の主面がＹ″軸に対して直交してなる「前第１０図参照」。水晶片１の平面形状はここでも正方形として、Ｚ′軸及びＸ′軸からそれぞれγ度（８度）傾斜した各対角線上を応力感度零軸Ｚ′（γ）、Ｘ′（γ）とする。

そして、この実施形態では、ＳＣカット板とした水晶片１の一主面を、中心部（頭頂部）の頂角から各４辺の底辺に対して幅が除々に広がる三角形状の傾斜面及び傾斜面間に稜線部Ｐを有する四角錐状とする。この場合、水晶片１の中心は応力感度軸の直交する中心（交点）と一致する。水晶片１の三角形状の各傾斜面（４面）は各外周辺（底辺）に対して直交する方向で曲率が同じ曲面状とし、これに伴い稜線部Ｐも曲線状とする。そして、水晶片１の各４辺の端面は基本的に同一の厚みを有する。

ここでは、例えば第２図に示したように、半円筒状とした研磨板４の内周面に正方形とした水晶片１の一主面を当接して押圧する（二重矢印の垂直方向）。水晶片１の４辺は研磨板４の幅及び長さ方向に一致する。そして、水晶片１の一主面を押圧しながら、一重矢印で示すように、研磨板４を幅方向に遥動してさらには長さ方向に移動する。

これらの研磨板４と水晶片１との相対的な移動によって、先ず、水晶片１の一主面における水平方向（幅方向）を研磨板４の内周に沿った凸となる曲面状にする。ここでは、一定の厚みを残して主面のみの研磨とする。次に、水晶片１を９０度回転し、一定の厚みを残して同様に研磨し、正方形の水平方向（幅方向）及び垂直方向(長さ方向)の断面が凸となる曲面状にする。

これらの互いに直交する水平及び垂直方向からの曲面状の研磨によって、水晶片１の中心部を頂点とした、二等辺三角形の傾斜面を各４面に有する四角錐状を得る。この場合、各傾斜面は中心部から頂角に対する各外周辺（底辺）に向かって、研磨板４の内周に倣った曲率を有する曲面状とする。勿論、稜線部Ｐも曲面になるが、曲率は研磨板４の曲率よりも緩くなる。

その後、水晶片１の両主面には、述した励振電極２及び引出電極３が形成される。ここでも、励振電極２は円状として、引出電極３は一方の応力感度零軸Ｚ′（γ）となる一組の対角部に延出される「前第１１図参照」。そして、一方の応力感度零軸Ｚ′（γ）となる一組の対角部あるいは他方の応力感度零軸Ｚ′（γ）となる他組の対角部をも保持して振動子容器内に密閉封入される。

このような構成であれば、第３図（ａ）の点線（等高線）で示したように、水晶片１の主面における中心を同心とした点線で示す正方形の線上が、垂直方向の断面厚みの等しい領域になる。したがって、四角錐状とした水晶片１の各傾斜面の頂角に対する外周辺（底辺）に平行な線上の垂直方向の断面は、例えばＡ−Ａ線での断面は第３図（ｂ）になる。

すなわち、四角錐状とする各三角形状の傾斜面を横断する幅方向内での断面厚みは同一となる。そして、稜線部Ｐを境界として隣接する傾斜面では除々に厚みが小さくなる断面となる。したがって、Ａ−Ａ線での断面は中央領域の厚みを大きくし、稜線部Ｐを境界とした両側を傾斜となる所謂ベベル形状とする。

一方、四角錐状とした水晶片１の各稜線部Ｐは互いに直交する応力感度零軸Ｚ′（γ）、Ｘ′（γ）とする。したがって、各応力感度零軸Ｚ′（γ）、Ｘ′（γ）の間とした４つの強勢な振動変位は各４面の傾斜面に生ずる。そして、これらの各傾斜面（４箇所）の強勢な振動変位は、各傾斜面の外周辺に平行な線上の断面をベベル形状としたので、その振動エネルギー（振動変位）が強制的に閉じ込められる。

要するに、水晶片１における四角錐状の稜線部Ｐは各断面における中央領域の厚みを大きくして両側の断面厚みが除々に小さくなる境界条件となる。したがって、第４図に示したように、各稜線部Ｐの間となる４箇所での強勢な振動変位を閉じ込め、これら４つの振動変位の棲み分けを明確にする。

これらのことから、ＳＣカットの切断角度や、正方形の対角方向を応力感度零軸Ｚ′（γ）、Ｘ′（γ）とする面内切断にズレがあっても（保持位置にズレがあっても）、振動変位分布に依存した周波数温度特性やＣＩ等の振動特性を良好に維持できる。そして、振動特性を良好に維持する設計・製造を容易にできる。

なお、第１実施形態においては、中心部を点あるいは平面状として四角錐状とする方向に加工した後、例えば第５図（ａｂ）に示したように水晶片１の頭頂部５を平坦面状にしてもよい。これらは、四角錐状とする方向に加工した後、例えば平面あるいは曲率の小さい球面とした図示しない研磨板に水晶片１の中心部を当接して研磨する。

これらの加工によって、水晶片１の頭頂部５を平面状「第５図（ａ）」、あるいは曲率の小さい球面状「同図（ｂ）」とする。この場合、頭頂部５は四角錐の傾斜面よりも緩やかな平坦面状であればよい。これにより、例えば加工時における四角錐状の中心に対する幾何学的あるいは質量的な非対称性等を調整し、振動特性をさらに良好にできる。

さらには、例えば水晶片１の厚みに基づく振動周波数は目標周波数の規格値よりも予め低く設定する。そして、頭頂部５を平坦状として厚みを小さくすることによって振動周波数を高くして、目標周波数の規格値内に調整する。これらは後述の第２実施形態でも同様である。

（第２実施形態）
第６図（ａｂｃ）は本発明の第２実施形態を説明する図で、同図（ａ）はＳＣカット振動子の特に水晶片の図、同図（ｂ）は同平面図、同図（ｃ）はＡ−Ａ方向の断面図である。なお、前実施形態と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。

第１実施形態では正方形とした対角方向に稜線部Ｐを設けたが、第２実施形態では水晶片１の二組の対向辺の各組の対向辺を二等分する中心線上を稜線部Ｐとする。例えば前述した半円筒状の研磨板４の幅となる曲率方向を水晶片１の一方の対角方向とし、研磨板４の長さ方向を水晶片１の他方の対角方向として研磨する。この場合でも、正方形の各対角方向を互いに直交する応力感度零軸Ｚ′（γ）、Ｘ′（γ）とする。

この場合、水晶片１の同一厚みとなる点線で示す等高線は、各組の対向辺を二等分する中心線（稜線部Ｐ）上を４角部とした正方形となる「第６図（ｂ）」。したがって、各頂角に対する外周辺（底辺）に平行な例えばＡ−Ａ線での断面は中心線上の稜線部Ｐを最大厚みとして両側が除々に小さくなる傾斜面となる。

このような構成であっても、第１実施形態と同様に、互いに直交する応力感度零軸Ｚ′（γ）、Ｘ′（γ）間となる４つの領域の振動変位は、各組の対向辺を二等分する中心線上の厚みの大きい中央領域に閉じ込められる。したがって、ＳＣカットの切断角度や、面内切断にズレがあっても、振動特性を良好に維持する設計・製造を容易にできる。

なお、この実施形態において、例えば第７図に示したように、水晶片１中央領域の稜線部Ｐを曲面状に仕上げて所謂コンベックス状にすることもできる。例えば水晶片１の中心を横断する方向での稜線部Ｐに倣った曲率より小さい曲率以下（鈍角）の球面状とした研磨板で、水晶片１を回転させることによって稜線部Ｐの領域のみを研磨することによって形成できる。

さらには、任意の加工手段によって稜線部領域のみを曲面状とすることもできる。これらによって、四角錐状の隣接する傾斜面が交わって境界となる稜線部を滑らかにし、各４辺（各４面）の中央領域とした厚みの大きい領域に振動を閉じ込めるとともに、境界条件を除去して振動を容易にすることができる。

（他の事項）
上記実施形態では水晶片１は正方形として応力感度零軸Ｚ′（γ）、Ｘ′（γ）をいずれも対角方向としたが、応力感度軸Ｚ′（γ）、Ｘ′（γ）を各組の対向辺を二等分線上としてもよい。この場合でも、応力感度零軸Ｚ′（γ）、Ｘ′（γ）の両端となる各組の対向辺の中央部が保持部とする。

また、水晶片１は正方形のみならず、例えば第８図に示したように円形状であっても、あるいは図示しない長方形とした矩形状であっても基本的に適用できる。これらの場合でも、四角錐状の頂角に対して底辺（Ａ−Ａ線）を設けたとき、底辺に沿った水晶片１の断面厚みが中央領域では大きく、両端側に向かって除々に小さくなる。

そして、二回回転Ｙカット板はＳＣカット板に限らず、例えば結晶軸（ＸＹＺ）から回転した結晶軸（Ｘ′Ｙ″Ｚ′）軸の回転角α及びβの回転角を３４度及び１９度ＩＴカット板でも同様に適用できる。なお、ＩＴカット板の応力感度零軸はＳＣカット板と同様にＺ′軸から８度及びこれに直交するＸ′から８度になる。また、ＳＣカット板やＩＴカット板のみならず、これら以外でも同様の振動変位分布を有する２回回転Ｙカット板であれば適用できる。

本発明の第１実施形態を説明するＳＣカット振動子（特に水晶片）の図である。 本発明の一実施形態の水晶片の加工方法を説明する図である。 本発明の作用を説明する図で、同図（ａ）はＳＣカット振動子の平面図、同図（ｂ）はＡ−Ａ断面図である。 本発明の作用を説明するＳＣカット振動子の平面図である。 本発明の第１実施形態での他の例を説明する図で、同図（ａｂ）ともに水晶片の図である。 本発明の第２実施形態を説明する図で、同図（ａ）はＳＣカット振動子の特に水晶片の図、同図（ｂ）は平面図、同図（ｃ）はＡ−Ａ方向の断面図である。 本発明の第２実施形態の他の例を説明する水晶片の断面図である。 本発明のさらに他の例を説明する水晶片の平面図である。 一従来例としてのＳＣカット板の切断方位を説明する図である。 一従来例としてのＳＣカット板の切断方位を説明する図である。 一従来例を説明するＳＣカット振動子の平面図である。 一従来例を説明するＳＣカット振動子の平面図である。 一従来例を説明するＳＣカット振動子の平面図である。 一従来例の問題点を説明するＳＣカット振動子の平面図である。

符号の説明

１ 水晶片、２ 励振電極、３ 引出電極、４ 研磨板、５ 頭頂部（中心部）。

Claims (7)

1. 水晶の結晶軸（ＸＹＺ）のＸ軸を中心にＹ軸及びＺ軸をα度回転してＹ′軸及びＺ′軸とし、前記Ｚ′軸を中心に前記Ｘ軸及びＹ′軸をβ度回転してＸ′軸及びＹ″軸としてなる結晶軸（Ｘ′Ｙ″Ｚ′）の前記Ｙ″軸に主面が直交した水晶片を有し、
   前記水晶片は前記Ｚ′軸及び前記Ｘ′軸からそれぞれγ度傾斜して互いに直交する軸を応力感度零軸とし、前記応力感度零軸の互いに直交する中心から放射状に分割される４つの領域に強勢な振動変位を有する２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子において、
   前記応力感度零軸の互いに直交する中心部の厚みを大きくし、前記中心部から前記水晶片の外周部に向かって四角錐状とする稜線部を形成し、
   前記四角錐状の頂角に対向する底辺を設けたとき、前記底辺に沿った前記水晶片の断面厚みが前記水晶片の中央領域では大きく、前記水晶片の両端側に向かって除々に小さくなることを特徴とする２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子。
2. 請求項１において、前記水晶片の前記稜線部は前記互いに直交する応力感度零軸である
   水晶振動子。
3. 請求項１において、前記水晶片の前記稜線部は前記互いに直交する応力感度零軸の中心から見てからそれぞれ４５度回転し、前記応力感度零軸間を二等分する応力感度中間軸である水晶振動子。
4. 請求項２において、前記水晶片は平面形状が正方形であって、前記互いに直交する応力感度零軸は前記正方形の対角方向である水晶振動子。
5. 請求項１において、前記水晶片の主面における頭頂部は、前記四角錐の傾斜面よりも少なくとも緩やかな平坦面状とした水晶振動子。
6. 請求項１において、前記２回回転Ｙカット板は前記α度及び前記β度の基準角をそれぞれ３３度及び２２度とし、前記γ度の基準角は８度としたＳＣカット板である水晶振動子。
7. 請求項１において、前記２回回転Ｙカット板は前記α度及び前記β度の基準角をそれぞれ３４度及び１９度とし、前記γ度の基準角は８度としたＩＴカット板である水晶振動子。