JP2009097349A - 真空ポンプの運転制御装置及び運転停止方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 10
- 238000007711 solidification Methods 0.000 abstract 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 abstract 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 34
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 5
- 230000001012 protector Effects 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/06—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for stopping, starting, idling or no-load operation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/28—Safety arrangements; Monitoring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
- F04C2270/05—Speed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
【解決手段】ケーシング2内に回転自在に配置されたポンプロータ1を備える真空ポンプの運転制御装置10において、ポンプロータ1の回転を制御するポンプロータ制御部15を備え、ポンプロータ制御部15は真空ポンプの運転停止時に所定タイミングパターンに沿ってポンプロータ1を正方向及び/又は逆方向に回転させた後に、該ポンプロータ1を停止する機能を備えた。
【選択図】図1
Description
図1及び図2は本発明に係る運転制御装置を用いる真空ポンプの構成例を示す図で、図1は断面図、図2は図1のI−I線断面図である。図示するように本真空ポンプは、一対のポンプロータ1と、ポンプロータ1が収容される排気室7を持つケーシング2と、ポンプロータ1を回転駆動するモータ3とを備えている。ケーシング2はガスを吸入する吸入口(図示せず)と、ガスを吐出する排気口(図示せず)とを備えている。各ポンプロータ1は、軸受5により回転自在に支持された2本の軸4にそれぞれ固定されている。
第2の実施形態で用いる真空ポンプの構成は、図1及び図2に示すものと同一であるので、その説明は省略する。図5はポンプロータ制御部15で制御されるモータ駆動回路の構成例を示す図である。図示するように、モータ駆動回路は、3相電源11と、漏電遮断器(ELB)12と、周波数変換器21とを備えている。3相電源11は漏電遮断器(ELB)12を介して周波数変換器21に接続され、周波数変換器21は、モータ3に接続されている。周波数変換器21は、整流器22と、モータ3を回転させる電流波形を生成するパワートランジスタ部23と、周波数変換器21を制御する周波数変換制御部24とを備えている。また周波数変換器21には、ポンプロータ1の回転及び停止動作を制御するポンプロータ制御部15が接続されている。
2 ケーシング
3 モータ
4 軸
5 軸受
6 タイミングギヤ
7 排気室
10 運転制御装置
11 3相電源
12 漏電遮断器(ELB)
13 電磁接触器
14 サーマルプロテクタ
15 ポンプロータ制御部
16 タイマー
21 周波数変換器
22 整流器
23 パワートランジスタ部
24 周波数変換制御部
Claims (7)
- ケーシング内に回転自在に配置されたポンプロータを備える真空ポンプの運転制御装置において、
前記ポンプロータの回転を制御するポンプロータ制御部を備え、
前記ポンプロータ制御部は前記真空ポンプの運転停止時にポンプ停止開始後、所定タイミングパターンに沿って前記ポンプロータを正方向及び/又は逆方向に回転させた後に、該ポンプロータを停止する機能を備えたことを特徴とする真空ポンプの運転制御装置。 - 請求項1に記載の真空ポンプの運転制御装置において、
前記ポンプロータの正方向及び/又は逆方向の回転速度は任意に設定されることを特徴とする真空ポンプの運転制御装置。 - 請求項1に記載の真空ポンプの運転制御装置において、
前記所定タイミングパターンは前記ポンプロータを規定時間ごとに運転、停止を繰り返すように設定していることを特徴とする真空ポンプの運転制御装置。 - 請求項1に記載の真空ポンプの運転制御装置において、
前記所定タイミングパターンは前記ポンプロータを規定時間ごとに運転、停止を繰り返すと共に、運転の際には正方向又は逆方向に回転するように設定していることを特徴とする真空ポンプの運転制御装置。 - 請求項1に記載の真空ポンプの運転制御装置において、
前記ポンプロータの回転速度を時間とともに一定割合で減じ、規定速度に達したら停止するように設定していることを特徴とする真空ポンプの運転制御装置。 - 請求項1に記載の真空ポンプの運転制御装置において、
前記ポンプロータの回転速度を時間とともに段階状に減じるように設定していることを特徴とする真空ポンプの運転制御装置。 - ケーシング内に回転自在に配置されたポンプロータを備える真空ポンプの運転停止方法において、
前記真空ポンプの運転停止時にポンプ停止開始後、所定タイミングパターンに沿って前記ポンプロータを正方向及び/又は逆方向に回転させた後、該ポンプロータを停止することを特徴とする真空ポンプの運転停止方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007267032A JP4987660B2 (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | 真空ポンプの運転制御装置及び運転停止方法 |
US12/249,285 US8172544B2 (en) | 2007-10-12 | 2008-10-10 | Operation control device for vacuum pump and method for stopping operation thereof |
EP08017845.2A EP2048365B2 (en) | 2007-10-12 | 2008-10-10 | Operation control device for vacuum pump and method for stopping operation thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007267032A JP4987660B2 (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | 真空ポンプの運転制御装置及び運転停止方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009097349A true JP2009097349A (ja) | 2009-05-07 |
JP4987660B2 JP4987660B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=40329087
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007267032A Active JP4987660B2 (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | 真空ポンプの運転制御装置及び運転停止方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8172544B2 (ja) |
EP (1) | EP2048365B2 (ja) |
JP (1) | JP4987660B2 (ja) |
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-
2007
- 2007-10-12 JP JP2007267032A patent/JP4987660B2/ja active Active
-
2008
- 2008-10-10 US US12/249,285 patent/US8172544B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-10-10 EP EP08017845.2A patent/EP2048365B2/en active Active
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US11396876B2 (en) | 2018-06-05 | 2022-07-26 | Ebara Corporation | Control device, control system, control method, recording medium and machine learning device |
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JP2022128522A (ja) * | 2018-12-28 | 2022-09-01 | 株式会社荏原製作所 | 真空ポンプ装置 |
JP7141332B2 (ja) | 2018-12-28 | 2022-09-22 | 株式会社荏原製作所 | 真空ポンプ装置 |
EP4198315A1 (en) | 2021-12-16 | 2023-06-21 | Ebara Corporation | Vacuum pump apparatus and method of operating the same |
KR20230092765A (ko) | 2021-12-16 | 2023-06-26 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 진공 펌프 장치 및 그 운전 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2048365A3 (en) | 2013-05-01 |
US8172544B2 (en) | 2012-05-08 |
EP2048365B1 (en) | 2014-05-07 |
US20090097984A1 (en) | 2009-04-16 |
JP4987660B2 (ja) | 2012-07-25 |
EP2048365A2 (en) | 2009-04-15 |
EP2048365B2 (en) | 2020-05-27 |
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A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20091027 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110805 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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