JP2009091628A - Particle sticking preventive cover, vapor deposition system provided with the particle sticking preventive cover, and vapor deposition method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、パーティクル付着防止カバー、このパーティクル付着防止カバーを設けた蒸着装置及び蒸着方法に関する。 The present invention relates to a particle adhesion prevention cover, a vapor deposition apparatus provided with the particle adhesion prevention cover, and a vapor deposition method.
従来から、レンズ、プリズム等の被蒸着物の表面に反射防止膜などを蒸着する真空蒸着装置が知られている。このような真空蒸着装置では、真空に保たれた真空容器内に被蒸着物が投入され、るつぼの中にターゲットが載置されて、電子銃でターゲットに電子を照射することにより、ターゲットから蒸発した蒸着物質を被蒸着物に蒸着する。 2. Description of the Related Art Conventionally, a vacuum deposition apparatus that deposits an antireflection film or the like on the surface of an object to be deposited such as a lens or a prism is known. In such a vacuum deposition apparatus, an object to be deposited is placed in a vacuum container kept in a vacuum, a target is placed in a crucible, and the target is irradiated with electrons by an electron gun to evaporate from the target. The deposited material is deposited on the deposition object.
通常、被蒸着物は、真空容器内の上部に配置された基板ドームと呼ばれるドーム状(円錐状)の台板に載せられる。基板ドームには、被蒸着物に対応して孔が設けられている。ターゲットから発生した蒸着物質は、真空容器内で上方へ飛来し、基板ドームの孔を通過して、被蒸着物へ蒸着される。 Usually, the deposition object is placed on a dome-shaped (conical) base plate called a substrate dome disposed in the upper part of the vacuum vessel. The substrate dome is provided with holes corresponding to the deposition object. The vapor deposition material generated from the target flies upward in the vacuum vessel, passes through the hole of the substrate dome, and is deposited on the deposition target.
しかしながら、上述のような真空蒸着装置では、真空容器内で上方へ飛んだ蒸着物質が、真空容器内の天井、側壁部分に付着し、堆積するという問題がある。そして、蒸着の際に、堆積した蒸着物質が剥がれてパーティクル(ゴミ)として飛来すると、被蒸着物の蒸着面とは反対側の面に付着し、被蒸着物質の表面を汚染してしまうという問題がある。この場合、被蒸着物は加熱されており、また大気中に取り出すと状態が変化するため、付着したパーティクルを取り除くことは困難である。このため、レンズ、プリズムなどの被蒸着物が所望の特性を発揮できなくなり、歩留まりの低下によって製造コストが上昇するという問題がある。また、付着したパーティクルを除去するために多くの工数が必要となり、製造コストの上昇を招来する。 However, the above-described vacuum vapor deposition apparatus has a problem that the vapor deposition material flying upward in the vacuum vessel adheres to and accumulates on the ceiling and side walls of the vacuum vessel. And, when the deposited vaporized material is peeled off and flies as particles (dust) during vapor deposition, it adheres to the surface opposite to the vapor deposition surface of the material to be deposited and contaminates the surface of the material to be deposited. There is. In this case, the deposition object is heated, and the state changes when taken out to the atmosphere, so it is difficult to remove the adhered particles. For this reason, there exists a problem that deposition objects, such as a lens and a prism, cannot exhibit a desired characteristic, and a manufacturing cost rises by the fall of a yield. In addition, many man-hours are required to remove the adhered particles, resulting in an increase in manufacturing cost.
より詳細には、被蒸着物への均一な蒸着を目的として、基板ドームは回転駆動しており、真空容器内の上部には、基板ドームを回転駆動するための駆動機構が設けられている。また、真空容器内の上部には、被蒸着物を加熱するための加熱ヒータ、蒸着物質の膜厚を測定するための膜厚計などの構造物が設けられている。ターゲットから蒸発した蒸着物質は、これらの構造物に容易に付着してしまい、その堆積量が増えると下方へ落下して、被蒸着物の上面に付着してしまうという問題がある。また、堆積した蒸着物質の除去する際にも、これらの構造物が障害となり、除去のために装置の稼動を長期間停止することは製造コスト上の観点から現実的ではない。 More specifically, the substrate dome is rotationally driven for the purpose of uniform vapor deposition on the deposition target, and a drive mechanism for rotationally driving the substrate dome is provided in the upper part of the vacuum vessel. In addition, a structure such as a heater for heating the deposition object and a film thickness meter for measuring the film thickness of the deposition material is provided in the upper part of the vacuum vessel. The vapor deposition material evaporated from the target easily adheres to these structures, and when the amount of deposition increases, there is a problem that it falls downward and adheres to the upper surface of the deposition target. Further, when removing the deposited vapor deposition material, these structures become an obstacle, and it is not realistic from the viewpoint of manufacturing cost to stop the operation of the apparatus for a long time for the removal.
なお、特許文献1には、薄膜形成装置において、スパッタリング物質が所望の場所以外に被着することを回避するため、筒状のシールドを設けた構成が開示されている。また、特許文献2には、スパッタリング装置において、不活性ガスイオンが真空チャンバー内壁に衝突することによるゴミの発生を抑える構成が開示されている。しかしながら、いずれの手法においても、被蒸着物にパーティクルが付着する問題を根本的に解決することは困難である。 Note that Patent Document 1 discloses a configuration in which a cylindrical shield is provided in a thin film forming apparatus in order to avoid deposition of a sputtering substance at a place other than a desired place. Patent Document 2 discloses a configuration in a sputtering apparatus that suppresses generation of dust due to collision of inert gas ions with the inner wall of a vacuum chamber. However, in any method, it is difficult to fundamentally solve the problem of particles adhering to the deposition object.
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、真空蒸着装置内で発生するパーティクルによる被蒸着物の汚染を確実に抑えることが可能な、新規かつ改良されたパーティクル付着防止カバー、このパーティクル付着防止カバーを設けた蒸着装置及び蒸着方法を提供することにある。 Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is a novel that can reliably suppress contamination of an object to be deposited by particles generated in a vacuum deposition apparatus. Another object of the present invention is to provide an improved particle adhesion prevention cover, a vapor deposition apparatus and a vapor deposition method provided with the particle adhesion prevention cover.
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、被蒸着物が載置されて真空蒸着装置内に配置される基板ドームに装着されるパーティクル付着防止カバーであって、前記被蒸着物が載置された前記基板ドームの上部を覆うパーティクル付着防止カバーが提供される。 In order to solve the above-described problem, according to an aspect of the present invention, there is provided a particle adhesion prevention cover mounted on a substrate dome on which a deposition target is placed and placed in a vacuum deposition apparatus, A particle adhesion prevention cover is provided that covers an upper portion of the substrate dome on which an object is placed.
上記構成によれば、被蒸着物が載置されて真空蒸着装置内に配置される基板ドームに対して、パーティクル付着防止カバーが装着され、パーティクル付着防止カバーは、被蒸着物が載置された基板ドームの上部を覆うように構成される。従って、真空蒸着装置内で浮遊するパーティクルが被蒸着物に付着することを確実に抑えることができる。 According to the above configuration, the particle adhesion prevention cover is attached to the substrate dome on which the deposition object is placed and placed in the vacuum deposition apparatus, and the deposition object is placed on the particle adhesion prevention cover. It is comprised so that the upper part of a board | substrate dome may be covered. Therefore, it is possible to reliably suppress adhesion of particles floating in the vacuum deposition apparatus to the deposition target.
また、パーティクル付着防止カバーは、周辺部から下方に向けて延在し、下端が前記基板ドームの上面と当接する裾部を備えるものであってもよい。かかる構成によれば、周辺部から下方に向けて延在した裾部が基板ドームの上面と当接するため、基板ドームの側方から回り込むパーティクルが基板ドーム上に到達することを抑止できる。また、カバーが被蒸着物に接触して被蒸着物を傷付けることを防止するために、基板ドームとの間に蒸着物を設置するための空間を確保するスペーサとして機能する。 Further, the particle adhesion preventing cover may include a skirt that extends downward from the peripheral portion and has a lower end that comes into contact with the upper surface of the substrate dome. According to such a configuration, the skirt extending downward from the peripheral portion comes into contact with the upper surface of the substrate dome, so that particles that wrap around from the side of the substrate dome can be prevented from reaching the substrate dome. Further, in order to prevent the cover from coming into contact with the deposition object and damaging the deposition object, the cover functions as a spacer for securing a space for installing the deposition object between the substrate dome.
また、パーティクル付着防止カバーは、円形の開口部が設けられ、前記基板ドームの上面に取り付けられた円柱状の取付用治具の外周に設けられた段差部の上面に前記開口部の周辺部が載置されて、前記開口部が塞がれるものであってもよい。かかる構成によれば、基板ドームに対するパーティクル付着防止カバーの位置を精度良く規定するとともに、開口部からパーティクルが侵入することを確実に抑えることができる。 The particle adhesion prevention cover is provided with a circular opening, and a peripheral portion of the opening is formed on the upper surface of the stepped portion provided on the outer periphery of the cylindrical mounting jig attached to the upper surface of the substrate dome. It may be placed so that the opening is closed. According to this configuration, it is possible to accurately define the position of the particle adhesion prevention cover with respect to the substrate dome and to reliably prevent particles from entering from the opening.
また、パーティクル付着防止カバーは、前記取付用治具の段差部に前記周辺部が当接し、前記裾部の下端が前記基板ドームの上面と当接した状態で、自重により前記基板ドームに装着されるものであってもよい。かかる構成によれば、パーティクル付着防止カバーが自重により基板ドームに装着されるため、パーティクル付着防止カバーの着脱を容易に行うことができる。 In addition, the particle adhesion prevention cover is attached to the substrate dome by its own weight with the peripheral portion in contact with the stepped portion of the mounting jig and the lower end of the skirt portion in contact with the upper surface of the substrate dome. It may be a thing. According to this configuration, since the particle adhesion preventing cover is attached to the substrate dome by its own weight, the particle adhesion preventing cover can be easily attached and detached.
また、パーティクル付着防止カバーは、アルミニウム、又は樹脂材料を素材として構成されたものであってもよい。かかる構成によれば、パーティクル付着防止カバーを軽量かつ安価に構成することができる。 Further, the particle adhesion preventing cover may be made of aluminum or a resin material. According to this configuration, the particle adhesion prevention cover can be configured to be lightweight and inexpensive.
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、上記のパーティクル付着防止カバーを設けた蒸着装置が提供される。 Moreover, in order to solve the said subject, according to another viewpoint of this invention, the vapor deposition apparatus provided with said particle adhesion prevention cover is provided.
上記構成によれば、パーティクル付着防止カバーは、被蒸着物が載置された基板ドームの上部を覆うように構成されるため、蒸着装置内で浮遊するパーティクルが被蒸着物に付着することを確実に抑えることができる。 According to the above configuration, the particle adhesion prevention cover is configured to cover the upper part of the substrate dome on which the deposition object is placed, so that it is ensured that particles floating in the deposition apparatus adhere to the deposition object. Can be suppressed.
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、被蒸着物が載置された基板ドームの上部を覆うようにパーティクル付着防止カバーを被せ、前記基板ドーム及び前記パーティクル付着防止カバーを真空蒸着装置内に配置し、前記基板ドーム上の被蒸着物に蒸着物質を蒸着する蒸着方法が提供される。 In order to solve the above problem, according to another aspect of the present invention, a particle adhesion prevention cover is placed so as to cover an upper part of the substrate dome on which the deposition target is placed, and the substrate dome and the particle adhesion are covered. A deposition method is provided in which a prevention cover is disposed in a vacuum deposition apparatus, and a deposition material is deposited on an object to be deposited on the substrate dome.
上記構成によれば、被蒸着物が載置された基板ドームの上部がパーティクル付着防止カバーによって覆われ、基板ドーム及びパーティクル付着防止カバーが真空蒸着装置内に配置されて、基板ドーム上の被蒸着物に蒸着物質が蒸着される。従って、真空蒸着装置内で浮遊するパーティクルが被蒸着物に付着することを確実に抑えることができる。 According to the above configuration, the upper part of the substrate dome on which the deposition object is placed is covered with the particle adhesion prevention cover, and the substrate dome and the particle adhesion prevention cover are disposed in the vacuum deposition apparatus, A deposition material is deposited on the object. Therefore, it is possible to reliably suppress adhesion of particles floating in the vacuum deposition apparatus to the deposition target.
本発明によれば、真空蒸着装置内で発生するパーティクルによる被蒸着物の汚染を確実に抑えることが可能となる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to suppress reliably the contamination of the to-be-deposited object by the particle which generate | occur | produces in a vacuum evaporation system.
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。 Exemplary embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, in this specification and drawing, about the component which has the substantially same function structure, duplication description is abbreviate | omitted by attaching | subjecting the same code | symbol.
図1は、本発明の一実施形態に係る真空蒸着装置100を示す模式図である。真空蒸着装置100は、真空容器102を備えており、真空容器102内には被蒸着物200(例えば光学レンズ素子、プリズムなど、図1において不図示)が載置される基板ドーム104が配置されている。真空容器102にはポンプ106が接続されており、ポンプ106で真空容器102中のガスを掃気することで、真空容器102内が10−2Pa〜10−3Pa程度の真空状態に保たれている。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a
真空容器102内の下部には、るつぼ108と電子銃フィラメント110が設けられている。るつぼ108内にはターゲット112が載置され、ターゲット112を加熱することで、ターゲット112の材料が蒸発し、上方へ舞い上がる。また、ターゲット112の材料を蒸発させるため、電子銃フィラメント110から出射させた電子がターゲット112に照射される。
A
被蒸着物200としての光学レンズ素子、プリズムに蒸着される蒸着物質としては、反射防止膜等として用いられる、二酸化チタン(TiO2)、二酸化ジルコニウム(ZrO2)、二酸化シリコン(SiO2)、フッ化マグネシウム(MgF2)などの材料を挙げることができ、ターゲット112の材料としてこれらが用いられる。
Examples of the vapor deposition material deposited on the optical lens element and prism as the
るつぼ108の上部には、シャッター114が設けられている。シャッター114は、ターゲット112からの蒸着物質の蒸発量が定常状態になった後に開かれる。これにより、ターゲット112から蒸発した蒸着物質は、基板ドーム104の下面に向けて送られる。そして、後述する膜厚計116で測定された膜厚が所望の値に達すると、シャッター114が閉じられ、蒸着が完了する。
A
基板ドーム104はドーム状、または円錐状に構成され、基板ドーム104には複数の貫通孔104aが設けられている。貫通孔104aは、被蒸着物200に対応する形状とされている。被蒸着物200は、貫通孔104aを塞ぐようにして、基板ドーム104の上面に載置される。または、貫通孔104aに装着される治具を用いてもよい。この場合、治具には1または複数の被蒸着物200が載置され、これらの被蒸着物200に対応した貫通孔が治具に設けらる。基板ドーム104は、鉛直方向の中心軸に対して回転可能に構成され、真空容器102内には、基板ドーム104を回転させるための駆動力を伝達する機構(不図示)が設けられている。
The
真空容器102の上部には、膜厚計116が設けられている。膜厚計116は、投光部116a、受光部116b、モニターガラス116cを備え、投光部116aからモニターガラス116cへ投光された光は、モニターガラス116cで反射されて受光部116bで受光される。モニターガラス116cには、ターゲット112から蒸発した蒸着物質が付着する。膜厚計116は、投光部116aから投光した光を受光部116bで受光し、モニターガラス116cにおける反射率を測定することで、モニターガラス116cに蒸着された蒸着物質の膜厚を測定する。
A
また、真空容器102の上部には、真空容器102内を加熱して、被蒸着物200を所望の温度に調整するため、加熱用の熱線117が設けられている。
In addition, a
基板ドーム104上には、本実施形態にかかるドームカバー118が被せられるが、説明の便宜上、図1ではドームカバー118の図示を省略している。基板ドーム104は、ドームカバー118を被せた状態で真空容器102内から搬出され、また、真空容器102に搬入される。そして、真空容器102の外で基板ドーム104からドームカバー118を取り外すことで、基板ドーム104に蒸着前の被蒸着物200が載置され、また蒸着後の被蒸着物200が取り出される。
Although the
図2は、基板ドーム104にドームカバー118が被せられた状態を示す模式図であって、基板ドーム104及びドームカバー118を真空容器102内から搬出した状態を示している。また、図3は、ドームカバー118を示す斜視図である。
FIG. 2 is a schematic view showing a state in which the
図2に示すように、ドームカバー118は、基板ドーム104に対応するドーム形状、円錐形状とされ、その周縁には、下方に向かって延在する裾部118aが設けられている。裾部118aの下端は、基板ドーム104の上面に当接している。
As shown in FIG. 2, the
図3に示すように、ドームカバー118の中心には、開口118bが設けられている。図2に示すように、開口118bは、基板ドーム104に固定されて上方に突出した円柱状の取付用治具120に挿入されており、その周辺部は治具120の外周に設けられた段差部(段差面120b)の上面に当接している。これにより、開口部118bが塞がれるため、開口部からパーティクルが侵入することを確実に抑止できる。また、治具120の外径と開口118bの内径が嵌合するように構成してもよい。このように、取付用治具120は、ドームカバー118の開口118bを塞ぐとともに、ドームカバー118が被蒸着物に接触することを防止するスペーサーとしての機能を有している。
As shown in FIG. 3, an
図4は、基板ドーム104にドームカバー118が装着された状態を示す断面図であって、基板ドーム104の回転中心軸に沿った断面を示している。図4に示すように、基板ドーム104の中心には、基板ドーム104と一体の治具取付部104bに対して、治具120がネジ122によって取り付けられている。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state where the
図4に示すように、治具120の下端には、基板ドーム104との当接部120aが設けられている。当接部120aは基板ドーム104の上面に対応した円錐面とされており、治具取付部104bに治具120を取り付けた状態では、当接部120aが基板ドーム104の上面に当接する。
As shown in FIG. 4, a
また、治具120の外周には段差面120bが設けられている。治具120の外周にドームカバー118の開口118bを挿入して、ドームカバー118を基板ドーム104上に載置すると、開口118bの周辺部が段差面120bに当接するとともに、周縁の裾部118aの先端が基板ドーム104の上面に当接する。ここで、治具120の当接面120aから段差面120bまでの高さと、ドームカバー118の裾部118aの高さを略同一とすることで、図4に示すように、基板ドーム104とドームカバー118の間の空間の高さ方向のスペースを略均一にすることができる。なお、図4に示すように、ドームカバー118の裾部118a以外の部分は円錐面で構成されており、加工を容易に行うことができる。
A
これにより、基板ドーム104とドームカバー118の間には、ほぼ密閉された空間が形成され、被蒸着物200の上面はドームカバー118によって覆われた状態となる。
Thereby, a substantially sealed space is formed between the
従って、真空容器102の天井部分、側壁部分に付着した蒸着物質が離脱して、下方へ落下した場合であっても、落下したパーティクルはドームカバー118の上面に付着するので、被蒸着物200にパーティクルが付着してしまうことを確実に抑えることができる。
Therefore, even when the vapor deposition material attached to the ceiling part and the side wall part of the
また、裾部118aの先端が基板ドーム104の上面に当接し、開口118bの周辺部が段差面120bに当接することによって、基板ドーム104の上面とドームカバー118の下面との間に所定の間隔を確保することができる。従って、被蒸着物200の形状に応じて、被蒸着物200とドームカバー118との間に必要なスペースを確保することができる。
Further, the tip of the
また、ドームカバー118の裾部118aが基板ドーム104の側部を完全に覆っているため、真空容器102内の気流によって、横方向から基板ドーム104上に向かって回り込むパーティクルを確実に遮断することができる。従って、横方向から飛来したパーティクルが基板ドーム104上の被蒸着物200に付着することを確実に抑止できる。
Further, since the
また、基板ドーム104の中心部では、ドームカバー118の開口118bの周辺部が治具120の段差面120b上に当接しており、治具120の当接部120aが基板ドーム104の上面に当接しているため、飛来したパーティクルが中心部から基板ドーム104上の被蒸着物200に付着してしまうことを確実に抑止できる。
Further, at the center of the
更に、ドームカバー118は、基板ドーム104の真空容器102への搬入時及び搬出時にも基板ドーム104上に被せられているため、真空容器102内のパーティクルによる汚染のみならず、搬入、搬出時における汚染も確実に抑えることが可能である。
Furthermore, since the
ここで、実際の製造現場において、ドームカバー118を使用した場合における製品の不良率と、ドームカバー118を使用しなかった場合の不良率を比較すると、ドームカバー118を使用した場合は、パーティクル付着による不良率をほぼ0%に低減することが可能であった。特に、真空蒸着装置100内でのパーティクル付着による不良率は、ほぼ0に低減することができた。
Here, when the defective rate of the product when the
本実施形態において、ドームカバー118は、その自重により基板ドーム104上に載置されている。従って、基板ドーム104及びドームカバー118を真空容器102内から搬出した際に、基板ドーム104上からドームカバー118を容易かつ瞬時に取り外すことができる。従って、基板ドーム104上に被蒸着物を載置する際、または基板ドーム104上から被蒸着物を取り出す際の、ドームカバー118の取り付け、取り外しに要する作業時間は極めて短時間であり、このドームカバー118を用いても工程時間は僅かに延長するだけで良い。なお、ドームカバー118の上面に一対の把手を設けておくと、着脱の際の作業性をより高めることができる。
In the present embodiment, the
基板ドーム104は、例えば厚さ3mm〜5mm程度のアルミニウム、鉄、ステンレスなどの金属から構成される。また、ドームカバー118は、例えば厚さ1mm程度のアルミニウムなどの金属、またはプラスチックなどの樹脂材料から構成される。ドームカバー118の材質は、真空中でガスを発生しないものであれば、蒸着の際の真空容器102内の温度に応じて適宜選ぶことができる。被蒸着物がガラスの場合、真空容器102内は200℃〜400℃以上まで加熱されるため、この場合は、金属製のドームカバー118を用いることが望ましい。一方、被蒸着物がプラスチックなどの樹脂材料の場合、真空容器102内は60℃程度の温度であるため、この場合は、樹脂材料のドームカバー118を用いることができる。
The
以上説明したように本実施形態によれば、被蒸着物が載置される基板ドーム104上にドームカバー118を被せて、被蒸着物の上部を覆うようにしたため、真空蒸着装置100内に浮遊するパーティクルが被蒸着物に付着することを確実に抑えることができる。従って、被蒸着物の特性がパーティクルによって劣化してしまうことを確実に抑えることができる。
As described above, according to the present embodiment, the
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。 As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to the example which concerns. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the claims, and these are naturally within the technical scope of the present invention. Understood.
100 真空蒸着装置
104 基板ドーム
118 ドームカバー
118a 裾部
118b 開口
120 取付用治具
200 被蒸着物
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記被蒸着物が載置された前記基板ドームの上部を覆うことを特徴とする、パーティクル付着防止カバー。 A particle adhesion prevention cover mounted on a substrate dome on which an object to be deposited is placed and placed in a vacuum deposition apparatus,
A particle adhesion preventing cover, which covers an upper part of the substrate dome on which the deposition object is placed.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016069714A (en) * | 2014-10-01 | 2016-05-09 | 新日鐵住金株式会社 | Substrate holder, and film deposition apparatus equipped with the same |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04232264A (en) * | 1990-08-21 | 1992-08-20 | Leybold Ag | Coating apparatus of substrate |
JPH1180927A (en) * | 1997-09-03 | 1999-03-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Vacuum deposition method and apparatus therefor |
JP2002038253A (en) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Futaba Corp | Deposition shield and vacuum film-formation equipment therewith |
JP2003064470A (en) * | 2001-08-22 | 2003-03-05 | Sanyo Electric Co Ltd | Electron beam vapor deposition apparatus and treating method of wafer |
-
2007
- 2007-10-09 JP JP2007263750A patent/JP4989406B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04232264A (en) * | 1990-08-21 | 1992-08-20 | Leybold Ag | Coating apparatus of substrate |
JPH1180927A (en) * | 1997-09-03 | 1999-03-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Vacuum deposition method and apparatus therefor |
JP2002038253A (en) * | 2000-07-25 | 2002-02-06 | Futaba Corp | Deposition shield and vacuum film-formation equipment therewith |
JP2003064470A (en) * | 2001-08-22 | 2003-03-05 | Sanyo Electric Co Ltd | Electron beam vapor deposition apparatus and treating method of wafer |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016069714A (en) * | 2014-10-01 | 2016-05-09 | 新日鐵住金株式会社 | Substrate holder, and film deposition apparatus equipped with the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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A711 | Notification of change in applicant |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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