JP2009086381A - グレートーンマスクの製造方法及びグレートーンマスク、並びにパターン転写方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基板上に、半透光膜と遮光膜とをこの順に有するグレートーンマスクブランクを用意し、該マスクブランクに第1のパターニングを施し、パターニングされた遮光膜及び露出した半透光膜を含む基板全面にレジスト膜を形成した後に第2のパターニングを施すことによって、該半透光膜と該遮光膜にそれぞれ所定のパターニングを施してグレートーンマスクとする。ここで、前記第1のパターニングの際の描画光に対する前記遮光膜の表面反射率と、前記第2のパターニングの際の描画光に対する前記半透光膜の表面反射率との差が、35%以下に調整されている。
【選択図】図2
Description
図1に示すグレートーンマスク20は、当該グレートーンマスク20の使用時に露光光を遮光(透過率が略0%)させる遮光部21と、透明基板24の表面が露出した露光光を透過させる透光部22と、透光部の露光光透過率を100%としたとき透過率を10〜80%程度に低減させる半透光部23とを有する。図1に示す半透光部23は、透明基板24上に形成された光半透過性の半透光膜で構成されているが、マスク使用時の露光条件下で解像限界を超える微細パターンが形成されて構成されてもよい。
そして、図1に示すレジストパターン33の膜のない部分で、被転写体30における例えば膜32A及び32Bに第1エッチングを実施し、レジストパターン33の膜厚の薄い部分をアッシング等によって除去しこの部分で、被転写体30における例えば膜32Bに第2エッチングを実施する。このようにして、1枚のグレートーンマスク20を用いて被転写体30上に膜厚の段階的に異なるレジストパターン33を形成することにより、従来のフォトマスク2枚分の工程が実施されることになり、マスク枚数が削減される。
このようなフォトマスクは、表示装置、特に液晶表示装置の薄膜トランジスタの製造に、極めて有効に適用される。例えば、遮光部21により、ソース、ドレイン部を形成し、半透光部23によって、チャネル部を形成することができる。
特に、グレートーンマスクの製造工程においては、通常2回以上の描画工程が必要となる。例えば、透光部と遮光部と半透光部(ここでは1種類の半透光部とする)を形成するためには、遮光膜と半透光膜にそれぞれ所定のパターニングを施す必要があるため、フォトレジストを用いた、二回のフォトリソ工程が必要になる。2種類以上の透過率をもつ半透光膜を用いた、マルチトーンマスクの場合には、更に描画回数が増える場合もある。
従って、膜の反射率に応じて、描画時のエネルギーを変更することが考えられる。しかしながら、グレートーンマスクにおいては、その用途に応じて、様々な透過率のものが求められるため、その膜組成は多岐にわたり、それらに対して最適な描画条件を求め、描画条件を設定することは、著しく煩雑であり、不効率である。
(構成1)被転写体に対する露光光の照射量を部位によって選択的に低減し、被転写体上のフォトレジストに、残膜値の異なる部分を含む所望の転写パターンを形成するグレートーンマスクであって、透光部、遮光部、および露光光の一部を透過する半透光部を有するグレートーンマスクの製造方法において、透明基板上に、半透光膜と遮光膜とをこの順に有するグレートーンマスクブランクを用意し、該マスクブランクに第1のパターニングを施し、パターニングされた遮光膜及び露出した半透光膜を含む基板全面にレジスト膜を形成した後に第2のパターニングを施すことによって、該半透光膜と該遮光膜にそれぞれ所定のパターニングを施してグレートーンマスクとし、前記第1のパターニングの際の描画光に対する前記遮光膜の表面反射率と、前記第2のパターニングの際の描画光に対する前記半透光膜の表面反射率との差が、35%以下に調整されていることを特徴とするグレートーンマスクの製造方法。
透明基板上に、遮光膜を形成したグレートーンマスクブランクに、第1のパターニングを施し、パターニングされた遮光膜を含む基板全面に半透光膜を形成し、該半透光膜形成後に第2のパターニングを施すことによって、該半透光膜と該遮光膜にそれぞれ所定のパターニングを施してグレートーンマスクとし、
前記第1のパターニングの際の描画光に対する前記遮光膜の表面反射率と、前記第2のパターニングの際の描画光に対する前記半透光膜の表面反射率との差が、35%以下に調整されていることを特徴とするグレートーンマスクの製造方法。
(構成4)前記半透光膜は、前記グレートーンマスクを使用する際に適用する露光光に対する表面反射率が10%以上となるように調整されていることを特徴とする構成1乃至3のいずれか一に記載のグレートーンマスクの製造方法。
(構成6)前記半透光膜の、前記第2のパターニングの際の描画光に対する表面反射率は、30%以下となるように調整されていることを特徴とする構成5に記載のグレートーンマスクの製造方法。
(構成8)前記遮光膜は、組成の異なる膜の積層によってなるもの、又は、膜厚方向に組成傾斜したものであることを特徴とする構成1乃至7のいずれか一に記載のグレートーンマスクの製造方法。
(構成9)前記グレートーンマスクは、365nm〜436nmの範囲の所定域を含む露光光に対して用いるものであることを特徴とする構成1乃至8のいずれか一に記載のグレートーンマスクの製造方法。
(構成11)所定線幅に対する線幅ばらつきが、±0.35μm以内であることを特徴とする構成10に記載のグレートーンマスク。
(構成12)所定線幅に対する線幅ばらつきが、±0.20μm以内であることを特徴とする構成11に記載のグレートーンマスク。
また、本発明によるグレートーンマスクの製造方法では、透明基板上に、遮光膜を形成したグレートーンマスクブランクに、第1のパターニングを施し、パターニングされた遮光膜を含む基板全面に半透光膜を形成し、該半透光膜形成後に第2のパターニングを施すことによって、該半透光膜と該遮光膜にそれぞれ所定のパターニングを施してグレートーンマスクとし、前記第1のパターニングの際の描画光に対する前記遮光膜の表面反射率と、前記第2のパターニングの際の描画光に対する前記半透光膜の表面反射率との差が、35%以下に調整されている。
また、得られたグレートーンマスクを用いて被転写体へのパターン転写をすることにより、線幅精度の高い、電子デバイスを提供することができる。
[第1の実施の形態]
図2は、本実施の形態によるグレートーンマスクの製造工程を示す断面図である。本実施の形態においては、遮光部、透光部、及び半透光部を備えた、TFT基板製造用のグレートーンマスクを用いる。
本実施の形態に使用するグレートーンマスクブランクは、透明基板24上に、例えばモリブデンシリサイドを含む半透光膜26と、例えばクロムを主成分とする遮光膜25がこの順に形成され、その上にレジストを塗布してレジスト膜27が形成されている(図2(a)参照)。遮光膜25の材質としては、上記Crを主成分とする材料の他、Si、W、Alなどが挙げられる。本実施の形態においては、遮光部の透過率は、上記遮光膜25と後述の半透光膜26の積層によって決定され、それぞれの膜材質と膜厚との選定によって、総和として光学濃度3.0以上に設定される。
以上の本実施の形態により得られる、マスクパターンのCDが精度良く形成され、またパターン転写時の迷光の影響を低減できる上記グレートーンマスクを用いて、図1のような被転写体30へのパターン転写を行うことにより、被転写体上に高精度の転写パターン(レジストパターン33)を形成できる。
なお、図1及び図2に示す遮光部21、透光部22、及び半透光部23のパターン形状はあくまでも代表的な一例であって、本発明をこれに限定する趣旨ではないことは勿論である。
上記半透光膜26の材質としては、クロム化合物、Mo化合物、Si、W、Al等が挙げられ、クロム化合物としては、酸化クロム(CrOx)、窒化クロム(CrNx)、酸窒化クロム(CrOxN)、フッ化クロム(CrFx)や、これらに炭素や水素を含むものがあり、Mo化合物としては、MoSixのほか、MoSiの窒化物、酸化物、酸化窒化物、炭化物などが含まれる。また、形成されるマスク上の半透光部の透過率は、上記半透光膜26の膜材質と膜厚との選定によって設定される。ここでは、図2(c)において、半透光膜26上の遮光膜25をエッチングするため、好ましくは、半透光膜と遮光膜に、エッチャントに対するエッチング選択性があることが有利であるため、半透光膜の素材には、Mo化合物が好ましく、MoSix(透過率50%)を用いた。
また、ここで上記半透光膜26の描画光に対する表面反射率は、面内において45%以下となるように調整されていることが好ましく、30%以下となるように調整されていることが特に好ましい。
これにより、描画光に対する膜の反射率の相違によるCD変動の影響を低減することが可能になるため、結果としてマスクパターンのCDを所望値に正確に再現でき、パターンの微細化の要求に応じた所定の標準規格を達成することが容易になる。また、得られたグレートーンマスクを用いて被転写体へのパターン転写をする際、露光光の反射による迷光の影響をも低減することが可能である。
図3は、本実施の形態によるグレートーンマスクの製造工程を示す断面図である。本実施の形態でも、遮光部、透光部、及び半透光部を備えた、TFT基板製造用のグレートーンマスクを用いる。
使用するマスクブランクは、透明基板24上に、例えばクロムを主成分とする遮光膜25が形成され、その上にレジストを塗布してレジスト膜27が形成されている(図3(a)参照)。遮光膜25の材質としては、上記Crを主成分とする材料の他、Si、W、Alなどが挙げられる。本実施の形態においては、遮光部の透過率は、上記遮光膜25と後述の半透光膜26の積層によって決定され、それぞれの膜材質と膜厚との選定によって、総和として光学濃度3.0以上に設定される。
なお、本実施の形態においては、以下に説明するように、上記遮光膜25のパターンを形成した後に、該遮光膜パターンを含む基板全面に半透光膜を形成する。
描画後に現像を行うことにより、遮光部及び透光部に対応するレジストパターン27を形成する(図3(b)参照)。
半透光膜26は、透明基板24の露光光の透過量に対し10〜80%程度の透過量、より好ましくは20〜60%の透過率を有するものである。
本実施の形態ではスパッタ成膜による酸化クロムを含む半透光膜(露光光透過率40%)を採用した。
また、上記半透光膜26の描画光に対する表面反射率は、面内において45%以下となるように調整されている。
なお、本発明では、上記1度目の描画と2度目の描画とで波長の異なる描画光を用いる場合、1度目の描画に用いる描画光に対する前記遮光膜の表面反射率と、2度目の描画に用いる描画光に対する前記半透光膜の表面反射率との差が、35%以下に調整されていればよい。
図4は、描画の対象となるフォトマスクブランクの表面反射と、それに対するパターンのCDの関係を示したものである。ここでは、Cr遮光膜上にレジストを塗布し、レーザー描画によって実験を行ったが、他の材料の膜としてもよい。反射率が増加するとともに、形成されるパターンのCDが太くなる傾向がある。図4から換算すると、反射率1%の変動で、線幅は10nm変動することがわかる。
このような要件が満たされないグレートーンマスクを使用すると、一回目と二回目のフォトリソ工程によるCDに変動が生じ、二回目(半透光膜上のレジストに対する描画)時に、描画エネルギーが大きくなりすぎる傾向を生じる。
なお、膜の表面反射率の下限は、好ましくは、露光光に対して10%以上である。これは、露光機(マスクアライナ)上にマスクを投入した際、その存在や、その位置を検知するために、主表面に照射した光の反射光を用いることがあるためである。このようにすれば、半透光膜が露出した部分を用いて、マスクの確認、位置確認を行うことが可能である。
更に、本発明の半透光膜は、その表面反射率に多少の変動(ただし上記変動範囲を越えない)があったとしても、45%を越えないものとするのが好ましい。このため、フォトマスクブランクの検査が必要である。表面反射率の検査には、反射率測定器を使用し、面内の複数箇所において、描画光に相当する光を照射したときの表面反射率を測定し、上記基準を充足することを確認したものを使用する。
上述したとおり、本発明のグレートーンマスクは、薄膜トランジスタ(TFT)製造用のフォトマスクに、極めて有効に適用される。特にチャネル部の線幅は、TFTの動作高速化、小型化に伴い、益々小さくなる傾向があり、このような場合に、描画パターンの正確な転写が必須となるからである。従って、本発明の効果が顕著に発現する。
なお、本発明のグレートーンマスクは、一種類の半透光部を有するもののみでなく、複数の露光光透過率を有するマルチトーンマスクである場合も含み、更に、そのようなマスクを製造するために用いるグレートーンブランクをも含む。
21 遮光部
22 透光部
23 半透光部
24 透明基板
25 遮光膜
26 半透光膜
27,28 レジストパターン
30 被転写体
33 被転写体上のレジストパターン
Claims (13)
- 被転写体に対する露光光の照射量を部位によって選択的に低減し、被転写体上のフォトレジストに、残膜値の異なる部分を含む所望の転写パターンを形成するグレートーンマスクであって、透光部、遮光部、および露光光の一部を透過する半透光部を有するグレートーンマスクの製造方法において、
透明基板上に、半透光膜と遮光膜とをこの順に有するグレートーンマスクブランクを用意し、該マスクブランクに第1のパターニングを施し、パターニングされた遮光膜及び露出した半透光膜を含む基板全面にレジスト膜を形成した後に第2のパターニングを施すことによって、該半透光膜と該遮光膜にそれぞれ所定のパターニングを施してグレートーンマスクとし、
前記第1のパターニングの際の描画光に対する前記遮光膜の表面反射率と、前記第2のパターニングの際の描画光に対する前記半透光膜の表面反射率との差が、35%以下に調整されていることを特徴とするグレートーンマスクの製造方法。 - 被転写体に対する露光光の照射量を部位によって選択的に低減し、被転写体上のフォトレジストに、残膜値の異なる部分を含む所望の転写パターンを形成するグレートーンマスクであって、透光部、遮光部、および露光光の一部を透過する半透光部を有するグレートーンマスクの製造方法において、
透明基板上に、遮光膜を形成したグレートーンマスクブランクに、第1のパターニングを施し、パターニングされた遮光膜を含む基板全面に半透光膜を形成し、該半透光膜形成後に第2のパターニングを施すことによって、該半透光膜と該遮光膜にそれぞれ所定のパターニングを施してグレートーンマスクとし、
前記第1のパターニングの際の描画光に対する前記遮光膜の表面反射率と、前記第2のパターニングの際の描画光に対する前記半透光膜の表面反射率との差が、35%以下に調整されていることを特徴とするグレートーンマスクの製造方法。 - 前記第1のパターニングの際の描画光に対する前記遮光膜の表面反射率と、前記第2のパターニングの際の描画光に対する前記半透光膜の表面反射率の差が、20%以下に調整されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のグレートーンマスクの製造方法。
- 前記半透光膜は、前記グレートーンマスクを使用する際に適用する露光光に対する表面反射率が10%以上となるように調整されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載のグレートーンマスクの製造方法。
- 前記半透光膜の、前記第2のパターニングの際の描画光に対する表面反射率は、45%以下となるように調整されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一に記載のグレートーンマスクの製造方法。
- 前記半透光膜の、前記第2のパターニングの際の描画光に対する表面反射率は、30%以下となるように調整されていることを特徴とする請求項5に記載のグレートーンマスクの製造方法。
- 前記半透光膜と前記遮光膜のそれぞれのパターニングの際に、レジスト膜に対して用いる描画光は、いずれも400nm〜450nmの範囲内の所定波長の光であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一に記載のグレートーンマスクの製造方法。
- 前記遮光膜は、組成の異なる膜の積層によってなるもの、又は、膜厚方向に組成傾斜したものであることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一に記載のグレートーンマスクの製造方法。
- 前記グレートーンマスクは、365nm〜436nmの範囲の所定域を含む露光光に対して用いるものであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一に記載のグレートーンマスクの製造方法。
- 請求項1乃至9のいずれか一項に記載のグレートーンマスクの製造方法によって製造されたことを特徴とするグレートーンマスク。
- 所定線幅に対する線幅ばらつきが、±0.35μm以内であることを特徴とする請求項10に記載のグレートーンマスク。
- 所定線幅に対する線幅ばらつきが、±0.20μm以内であることを特徴とする請求項11に記載のグレートーンマスク。
- 請求項1乃至9のいずれかに記載の製造方法により得られるグレートーンマスク、又は、請求項10乃至12のいずれかに記載のグレートーンマスクを用いて、被転写体に露光光を照射する露光工程を有し、被転写体上に残膜値の異なる部分を含む所定の転写レジストパターンを形成することを特徴とするパターン転写方法。
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