JP2009085640A - 座標入力装置、座標入力方法、座標入力プログラムおよびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】対象物の特定部分の座標を簡単な構成の装置によって容易に入力することができる座標入力装置および座標入力方法を提供する。
【解決手段】Ｙ軸方向に光線を照射する第１レーザー照射部６と、Ｘ軸方向に光線を照射する第２レーザー照射部７と、第１および第２レーザー照射部６・７の移動に関する指示を検査員から受け付ける指示受付部と、指示受付部が受け付けた指示に従い、第１レーザー照射部６をＸ軸方向に移動させ、第２レーザー照射部７をＹ軸方向に移動させる配置制御部とを備え、配置制御部は、第１および第２レーザー照射部６・７の配置が完了したことを検査員が確認した旨を示す配置完了情報を指示受付部２２が検査員から受け付けた時点の、第１および第２レーザー照射部６・７の位置をそれぞれ示す座標から欠陥絵素の座標を特定する。
【選択図】図１

Description

本発明は、対象物の表面に存在する注目箇所の座標を入力する座標入力装置および座標入力方法に関するものである。

液晶パネル等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）は、品質確保のため表示面内の微小な画素不良、走査線及び信号線の断線やショート、シミ・ムラなどを、点灯状態にて目視で検査を行い、欠陥部分がある場合には、レーザー照射などによりその欠陥部分の修正を行っている。

一般的に、検査の結果はＣＩＭ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）に登録され、それらの情報を元に生産の効率化およびリワーク工程が行われている。目視検査にて登録される情報は、被検査パネルのＩＤおよび機種などに加え、そのパネルの良品・不良品判定結果、不良の種類、および表示画面内の欠陥ごとの位置情報等である。

このような欠陥の種類および位置情報に基づき、欠陥部分の修正作業を行う。したがって、欠陥部分が検出された場合、その欠陥部分の修正作業性を向上させるため、欠陥部分の位置を正確に特定する必要がある。

このようなフラットディスプレイの目視検査装置における欠陥位置の特定に関する装置の一例が特許文献１および特許文献２に開示されている。

特許文献１の発明では、まず液晶パネルを検査台の所定位置にセットし、点灯を行い、目視により欠陥部分の検出を行う。そしてマウスにより検出された欠陥部分を囲む位置にリング状のポインタを移動させて欠陥部分存在領域を指定する。この時指定された欠陥部分存在領域の位置情報はコンピュータに記憶される。

次いで、液晶パネルを位置特定台に移載して所定位置にセットすることにより、前記欠陥部分存在領域の位置情報が駆動制御装置に入力され、駆動制御装置はこの位置情報に基づく位置制御信号をプローブ移動ユニットとＸＹロボとに出力する。

前記位置制御信号により、Ｘ軸領域点灯用プローブとＹ領域点灯用プローブとがプローブ移動ユニットによって前記欠陥部分存在領域に該当する接続位置にそれぞれ移動して液晶パネルの信号端子に接続されるとともに、ＸＹロボットによりカメラが前記欠陥部分存在領域を撮像できる位置に移動する。

この状態で、信号発生器を動作させると、液晶パネルのＸ軸、Ｙ軸領域点灯用プローブが接続された欠陥部分存在領域のみが点灯する。この点灯した欠陥部分存在領域はカメラにより撮像され、撮像された画像から画像処理により欠陥部分が特定され、液晶パネルのリワーク工程のための情報として記録される。

また、特許文献２の発明では、まず液晶パネルを点灯した状態で目視検査を行う。目視検査装置は、二次元的に移動自在な位置指定用マークを液晶パネル上に投影する手段を有しており、目視検査の結果検出された欠陥部分に対して、制御手段に接続された操作部材（マウス等）をオペレータが操作することにより、位置指定用マークを欠陥部分に移動させる。

この時液晶パネルに投影される画面は、液晶パネルの画面サイズに合致したものであり、その画面には位置指定用マーク（十字状画像）が含まれている。この位置指定用マークの位置情報に基づき欠陥部分が特定される。
特開平１０−３２５７８０号公報（１９９８年１２月８日公開） 特開２００１−１４７１７８号公報（２００１年５月２９日）

特許文献１に記載の発明では、正確に欠陥存在領域を指定しようとすると液晶パネルの縦横の信号端子に対応して点灯用プローブを設けなければならない。また、プローブのコンタクトに求められる精度も高く、精細で複雑な構成の装置となり、製造コストの削減が困難である。

当該発明では、その解決策として、欠陥部分存在領域を大まかに指定しておき、その後更に正確な欠陥部分の位置を特定しているため、操作性の面で手間がかかる、検査タクトが増大する、装置が大型化うするといった問題が生じる。

また、特許文献２に記載の発明は、液晶パネルの鉛直方向から位置指定用マークを含む画面を投影するため、目視検査を行いながら位置指定マークを欠陥部分に合わせることが困難である。

例えば、液晶パネルの絵素欠陥は、縦横のサイズが数十ｕｍ〜百数十ｕｍ程度であるため、正確に位置を特定しようとすると表示部から至近距離にて欠陥部分を見ながら位置合わせを行う必要がある。しかし、表示部の鉛直方向から位置指定用マークを含む画面を投影するため、至近距離から欠陥部分を見ながら位置合わせを行うのは困難である。それゆえ、特許文献２の発明では、オペレータは、欠陥部分の位置合わせを容易には行うことができない。

さらに、特許文献１および２に記載の発明は、欠陥部分の指定に一点のポインタ（リング状、十字状等形は問わない）を用いる。このような一点で欠陥部分を指定する場合、例えば、液晶パネルの絵素欠陥では、指定することができるが、走査線及び信号線の断線やショートによる線欠陥の位置指定を行うことが困難である。

本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、フラットパネルディスプレイ等の対象物の特定部分の座標を簡単な構成の装置によって容易に入力することができる座標入力装置および座標入力方法を提供することにある。また、上記対象物がフラットパネルディスプレイである場合には、当該フラットパネルディスプレイが有する線欠陥の位置を容易に特定できる座標入力装置および座標入力方法を提供することも本発明の目的である。

上記の課題を解決するために、本発明に係る座標入力装置は、対象物の表面に存在する注目箇所の座標を入力する座標入力装置であって、第１座標軸方向に光線を照射する第１光線照射手段と、上記第１座標軸方向に直交する第２座標軸方向に光線を照射する第２光線照射手段と、上記第１および第２光線照射手段の移動に関する指示をオペレータから受け付ける移動指示受付手段と、上記移動指示受付手段が受け付けた指示に従い、上記第１光線照射手段を上記第２座標軸方向に移動させる、または、上記第２光線照射手段を上記第１座標軸方向に移動させる、もしくはその両方を行う配置制御手段と、上記配置制御手段による第１および第２光線照射手段の配置が完了したことをオペレータが確認した旨を示す配置完了情報を当該オペレータから受け付ける配置完了情報受付手段と、上記配置完了情報受付手段が上記配置完了情報を受け付けた時点の、上記第１および第２光線照射手段の位置をそれぞれ示す座標から上記注目箇所の座標を特定する座標特定手段とを備えることを特徴としている。

本発明に係る座標入力方法は、対象物の表面に存在する注目箇所の座標を入力する座標入力装置における座標入力方法であって、第１座標軸方向に光線を照射する第１光線照射手段と、上記第１座標軸方向に直交する第２座標軸方向に光線を照射する第２光線照射手段との移動に関する指示をオペレータから受け付ける移動指示受付工程と、上記移動指示受付工程において受け付けた指示に従い、上記第１光線照射手段を上記第２座標軸方向に移動させる、または、上記第２光線照射手段を上記第１座標軸方向に移動させる、もしくはその両方を行う配置制御工程と、上記配置制御工程における第１および第２光線照射手段の配置が完了したことをオペレータが確認した旨を示す配置完了情報を当該オペレータから受け付ける配置完了情報受付工程と、上記配置完了情報受付工程において上記配置完了情報を受け付けた時点の、上記第１および第２光線照射手段の位置をそれぞれ示す座標から上記注目箇所の座標を特定する座標特定工程とを含むことを特徴としている。

上記の構成によれば、第１光線照射手段は、第１座標軸方向に光線を照射し、第２光線照射手段は、第１座標軸方向に直交する第２座標軸方向に光線を照射する。

移動指示受付手段は、第１および第２光線照射手段の移動に関する指示をオペレータから受け付け、配置制御手段は、移動指示受付手段が受け付けた指示に従い、第１光線照射手段を第２座標軸方向に移動させる、および／または、第２光線照射手段を第１座標軸方向に移動させる。

配置完了情報受付手段は、第１および第２光線照射手段の配置が完了したことをオペレータが確認した旨を示す配置完了情報をオペレータから受け付け、座標特定手段は、配置完了情報受付手段が配置完了情報を受け付けた時点の、第１および第２光線照射手段の位置をそれぞれ示す座標から注目箇所の座標を特定する。

それゆえ、第１および第２光線照射手段の位置に関する情報をオペレータから取得することにより注目箇所の座標を特定することができ、簡単な構成の座標入力装置を実現することができる。

換言すれば、オペレータは、第１および第２光線照射手段の位置を指定するという簡単な操作により注目箇所の座標を入力することができる。

また、上記配置完了情報受付手段は、上記配置完了情報として、第１配置完了情報と第２配置完了情報とを受け付け、上記座標特定手段は、上記配置完了情報受付手段が上記第１配置完了情報を受け付けた時点および上記第２配置完了情報を受け付けた時点の、第１および第２光線照射手段の位置をそれぞれ示す座標から上記注目箇所の座標の組を特定することが好ましい。

上記の構成によれば、座標特定手段は、配置完了情報受付手段が第１配置完了情報を受け付けた時点と、第２配置完了情報を受け付けた時点とにおいて、第１および第２光線照射手段の位置をそれぞれ示す座標から注目箇所の座標を特定することにより、注目箇所の座標の組を特定する。

それゆえ、注目箇所が線状である場合にも、当該注目箇所の座標を的確に特定することができる。

また、上記第１光線照射手段または上記第２光線照射手段もしくはその両方は、上記表面に対して垂直な方向から傾いた方向より上記光線を照射することが好ましい。

上記の構成によれば、第１光線照射手段および／または第２光線照射手段の光軸は、対象物の表面に対して垂直な方向から傾いている。換言すれば、対象物の表面と第１光線照射手段および／または第２光線照射手段の光軸とがなす角度は直角よりも小さい。

それゆえ、対象物の表面をオペレータが目視する場合でも、当該オペレータに光線があたる可能性を低減することができ、対象物の表面をオペレータが至近距離から目視することも可能となる。

上記座標入力装置は、上記第１光線照射手段または上記第２光線照射手段もしくはその両方の、上記表面に対する角度を調整する角度調整手段をさらに備えることが好ましい。

上記の構成によれば、角度調整手段は、第１光線照射手段および／または第２光線照射手段の、対象物の表面に対する角度を調整する。

それゆえ、対象物の表面と第１光線照射手段および／または第２光線照射手段の光軸とがなす角度を調整することができ、光線が対象物の表面に照射される位置および範囲を調整することができる。

また、上記第１光線照射手段または上記第２光線照射手段もしくはその両方は、異なる色の光線を出射する複数の光源を有しており、上記複数の光源を選択的に発光させる発光制御手段をさらに備えることが好ましい。

上記の構成によれば、発光制御手段は、第１光線照射手段および／または上記第２光線照射手段が有する、異なる色の光線を出射する複数の光源を選択的に発光させる。

それゆえ、周囲の環境または対象物の表面の色等に応じて、出射する光線の色を変更することができる。

なお、上記座標入力装置を動作させる座標入力プログラムであって、コンピュータを上記各手段として機能させるための座標入力プログラムおよび当該座標入力プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も本発明の技術的範囲に含まれる。

以上のように、本発明に係る座標入力装置は、第１座標軸方向に光線を照射する第１光線照射手段と、上記第１座標軸方向に直交する第２座標軸方向に光線を照射する第２光線照射手段と、上記第１および第２光線照射手段の移動に関する指示をオペレータから受け付ける移動指示受付手段と、上記移動指示受付手段が受け付けた指示に従い、上記第１光線照射手段を上記第２座標軸方向に移動させる、または、上記第２光線照射手段を上記第１座標軸方向に移動させる、もしくはその両方を行う配置制御手段と、上記配置制御手段による第１および第２光線照射手段の配置が完了したことをオペレータが確認した旨を示す配置完了情報を当該オペレータから受け付ける配置完了情報受付手段と、上記配置完了情報受付手段が上記配置完了情報を受け付けた時点の、上記第１および第２光線照射手段の位置をそれぞれ示す座標から上記注目箇所の座標を特定する座標特定手段とを備える構成である。

また、本発明に係る座標入力方法は、第１座標軸方向に光線を照射する第１光線照射手段と、上記第１座標軸方向に直交する第２座標軸方向に光線を照射する第２光線照射手段との移動に関する指示をオペレータから受け付ける移動指示受付工程と、上記移動指示受付工程において受け付けた指示に従い、上記第１光線照射手段を上記第２座標軸方向に移動させる、または、上記第２光線照射手段を上記第１座標軸方向に移動させる、もしくはその両方を行う配置制御工程と、上記配置制御工程における第１および第２光線照射手段の配置が完了したことをオペレータが確認した旨を示す配置完了情報を当該オペレータから受け付ける配置完了情報受付工程と、上記配置完了情報受付工程において上記配置完了情報を受け付けた時点の、上記第１および第２光線照射手段の位置をそれぞれ示す座標から上記注目箇所の座標を特定する座標特定工程とを含む構成である。

それゆえ、第１および第２光線照射手段の位置に関する情報をオペレータから取得することにより注目箇所の座標を特定することができ、簡単な構成の座標入力装置を実現することができるという効果を奏する。

本発明の実施の一形態について図１〜図１１に基づいて説明すれば、以下のとおりである。

本実施形態では、被検査体である液晶パネル（フラットパネルディスプレイ）の点灯検査を行う目視点灯検査装置１を例に挙げて説明を行う。しかし、本発明は種々の対象物の表面に存在する特定部分（注目箇所）の座標を入力する座標入力装置に関するものであり、その対象物（被検査体）は、液晶パネル以外の表示機器であってもよいし、その他の被検査体（例えば、シリコンウェハ）であってもよい。

（液晶パネルの欠陥）
次に、被検査体である液晶パネルの有する欠陥について説明する。

液晶パネルの点灯検査では、微小な点欠陥および線欠陥、シミ・ムラなどを検査対象としている。微小な点欠陥は、液晶パネルが表示信号に応じて駆動した時に、液晶パネルの表示素子を構成するＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｅｒ）の異常により、所望の輝度レベルより輝度の高い、または輝度の低い点が表示されることや、（ｉ）液晶層の間、（ii）偏光板群とＴＦＴ基板との間、（iii）偏光板群とＣＦ基板（カラーフィルタ基板）との間の微小異物により偏光状態が乱れて、同様に所望の輝度レベルより輝度の高い、または輝度の低い点が表示されることによって生じるものである。

図２に、ＴＦＴの異常により所望の輝度レベルより輝度の高い点（輝点欠陥）が表示されている例を示す。図２の（ａ）は液晶パネル３０の全面を示しており、この中に微小な点欠陥が含まれている。これを拡大したものが図２の（ｂ）であり、輝度の低い点（正常絵素３２）に混じって１つだけ輝度の高い点（欠陥絵素３１）が表示されている。

液晶パネル３０の１つの画素は、図２の（ｂ）の図中白枠に示すように３つのドットから構成され、これらのドットは一般的に、１つの画素内に赤（Ｒ）ドット、緑（Ｇ）ドット、青（Ｂ）ドットの３色から構成されている。以下では、ＲＧＢの各ドットを絵素と呼び、Ｒ、Ｇ、Ｂの３つのドットにより構成される１つの単位を画素と呼ぶ。

また、図３に、ＴＦＴの異常により、所望の輝度レベルより輝度の高い点が複数並んでいる状態を示す。

図３の（ａ）は液晶パネル３０の全面を示しており、この中に隣接している微小な点欠陥が複数含まれている。これはいわゆる線欠陥であり、前記ＴＦＴを駆動するドライバーの異常や信号線の断線・ショートなどにより、同様に所望の輝度レベルより輝度の高いもしくは輝度の低い線が表示されるものである。

これを拡大したものが図３の（ｂ）であり、輝度の低い点（正常絵素３２）に混じって輝度の高い点（欠陥絵素３１ａ〜ｅ）が並んでいる。なお、以降の説明に関しては、説明を簡略化するために、Ｒ、Ｇ、Ｂドットの図示は省略する。

（目視点灯検査工程の位置づけ）
シミ・ムラなどは、ＴＦＴ基板またはＣＦ基板の製造工程での薄膜の膜厚異常や、ＴＦＴ基板とＣＦ基板との間の液晶層のセルギャップの異常などにより発生する。

一般に、液晶パネルの点灯検査は、検査員（目視検査員）が目視により上記欠陥の検査を行っているが、近年のパネルサイズの拡大に伴い、微小な点欠陥を広大なパネル表示面より探し出すのに非常に多くの時間を要するようになっている。また、発見した欠陥の情報を正確に入力することも検査タクトを増大させる一因となっている。

検査工程の前の工程である「前工程」にて製作された液晶パネルは、「目視点灯検査工程」において、後述する目視点灯検査装置にて各種欠陥の目視検査が実施される。目視検査の検査結果により、その液晶パネルは、良品であるか、不良品であるかを判定される。良品であると判定された液晶パネルは「次工程」へと進み、不良品であると判定された液晶パネルに対しては、リワーク等が行われる。

また、「目視点灯検査工程」の前に「自動点灯検査工程」にて検査を行う場合がある。「自動点灯検査工程」では、搬入された液晶パネルに対して信号発生器により検査画面を表示させ、検査照明を照射しながら同検査画面を撮像用カメラで撮像し、画像処理装置により画像データを処理することによって、微小な点欠陥または線欠陥、シミ・ムラを検出する。検出された欠陥に関する情報は通信ネットワークを介して、以下に詳細に説明する「目視点灯検査工程」に配信される。

（目視点灯検査装置１の構成）
図１は「目視点灯検査工程」にて検査を実施するための目視点灯検査装置１の概略図である。図４は、制御装置２の構成を示す機能ブロック図である。

図１に示すように、被検査体である液晶パネル３０は、保持台車４０に固定され、搬送コンベア４１によって、目視点灯検査装置１内の所定の検査位置まで運ばれる。検査位置に配置された液晶パネル３０の前に検査員（オペレータ）が位置し、目視にて検査を実施する。

図１および４に示すように、目視点灯検査装置１は、制御装置２、信号発生器３、第１配置部４、第２配置部５、第１レーザー照射部（第１光線照射手段）６、第２レーザー照射部（第２光線照射手段）７、第１角度調整部（角度調整手段）８および第２角度調整部（角度調整手段）９を備えている。

信号発生器３は、液晶パネル３０に表示される、目視検査用の表示画面パターンを出力する。この信号発生器３は、複数種類の表示画面パターンを液晶パネル３０に点灯させることができる。

第１レーザー照射部６および第２レーザー照射部７は、液晶パネル３０の表示面に位置指定用マーカーを照射するものであり、異なる色の光線を出射する複数の光源を有している。

上記位置指定用マーカーとは、所定の長さを有する線状のマーカーであり、レーザー照射部から照射されるレーザー光線が液晶パネル３０に投影されることによって形成されるものである。図１では、第１レーザー照射部６によって投影される位置指定用マーカー１１および第２レーザー照射部７によって投影される位置指定用マーカー１２が、それぞれ点線で示されている。

すなわち、第１レーザー照射部６は、図１におけるＹ軸方向（第１座標軸方向）に沿って光線を照射し、第２レーザー照射部７は、図１におけるＸ軸方向（第２座標軸方向）に沿って光線を照射することにより、それぞれ線状のマーカーを液晶パネル３０に投影するものである。Ｘ軸方向とＹ軸方向とは互いに直交しているため、第１レーザー照射部６から出射されるレーザー光線と第２レーザー照射部７から出射されるレーザー光線とは直交する。

第１レーザー照射部６は、第１配置部４によって、図１におけるＸ軸方向に移動し、第２レーザー照射部７は、第２配置部５によって、図１におけるＹ軸方向に移動する。

第１配置部（移動手段）４および第２配置部（移動手段）５は、液晶パネル３０を載置するステージ等に固定されており、搬送される液晶パネル３０に対する相対位置が固定されている。第１配置部４は、Ｘ軸方向に延びるレールを有しており、当該レールに沿って第１レーザー照射部６を移動させる。また、第２配置部５は、Ｙ軸方向に延びるレールを有しており、当該レールに沿って第２レーザー照射部７を移動させる。

Ｘ軸とＹ軸とによって、１平面上の座標が決定され、液晶パネル３０は、Ｘ軸およびＹ軸によって規定される平面と略平行に配置されることが好ましい。また、液晶パネル３０の長手方向の辺は、Ｘ軸に対して略平行になるように配置され、液晶パネル３０の幅方向の辺は、Ｙ軸に対して略平行になるように配置されることが好ましい。

ただし、液晶パネル３０の表示画面の座標を特定できる配置であれば、Ｘ軸およびＹ軸に対する液晶パネル３０の相対位置は、上述のものでなくてもよい。

第１角度調整部８および第２角度調整部９は、検査位置にある液晶パネル３０の表示面に対する第１レーザー照射部６および第２レーザー照射部７の角度を調整する。この角度調整の詳細については、後述する。

なお、図１には示していないが、液晶パネル３０の背面には、液晶パネル３０を背面より照射するバックライト（検査用照明）３３（図６参照）が配置される。このバックライト３３は、制御装置２によって制御（オン／オフ）される。

（制御装置２の構成）
制御装置２は、目視点灯検査装置１に含まれる各装置を制御するものであり、図４に示すように、入力部２１、指示受付部（移動指示受付手段、配置完了情報受付手段）２２、点灯制御部２３、配置制御部（配置制御手段、座標特定手段）２４、記憶部２５、送受信部２６、角度調整制御部２７および発光制御部（発光制御手段）２８を備えている。

入力部２１は、検査員からの入力操作を受け付ける入力装置であり、例えば、キーボード、タッチパネル等である。

指示受付部２２は、入力部２１を介して入力された検査員の指示を受け付け、当該指示の内容に基づき、当該指示を対応する機能ブロックに伝達する。特に、指示受付部２２は、第１レーザー照射部６および第２レーザー照射部７の移動に関する指示、および、第１レーザー照射部６と第２レーザー照射部７との配置が完了したことを検査員が確認した旨を示す配置完了情報を検査員から受け付ける。

点灯制御部２３は、信号発生器３へ制御信号を送ることにより、液晶パネル３０に表示画面パターンを点灯させる。

配置制御部２４は、入力部２１を介して入力された検査員の指示に従い、第１配置部４および第２配置部５を制御することにより、第１レーザー照射部６および／または第２レーザー照射部７を検査員が意図する位置に配置する。換言すれば、配置制御部２４は、指示受付部２２が受け付けた指示に従い、第１レーザー照射部６をＸ座標軸方向に移動させる、または、第２レーザー照射部７をＹ座標軸方向に移動させる、もしくはその両方を行う。

さらに、配置制御部２４は、指示受付部２２が配置完了情報を受け付けた時点の、第１および第２レーザー照射部６・７の位置をそれぞれ示す座標から欠陥絵素の座標（ｘ、ｙ）を特定する。

記憶部２５は、欠陥情報、欠陥判定結果、第１レーザー照射部６および第２レーザー照射部７の位置（座標）等を格納するものであり、配置制御部２４等によって利用される。

送受信部２６は、通信ネットワーク４２を介して、「前工程」からの情報を受信したり、目視点灯検査の結果を送信したりする。

角度調整制御部２７は、第１角度調整部８および第２角度調整部９を制御することにより、液晶パネル３０の表示面に対する第１レーザー照射部６および第２レーザー照射部７の角度を調整する。

発光制御部２８は、第１レーザー照射部６および第２レーザー照射部７が有する複数の光源を選択的に発光させる。

（レーザー光線の種類）
次に、第１および第２レーザー照射部６・７が照射するレーザー光線（位置指定用マーカー）について説明する。図５は、位置指定用マーカーの一例を示す図である。

第１および第２レーザー照射部６・７が照射するレーザー光線は、例えばその照射範囲が図５に示すような線状になるものである。この線状に投影されたレーザー光線が、位置指定用マーカーとなる。位置指定用マーカーの長手方向の長さ（図５における「線長」）は、液晶パネル３０の幅に合わせて適宜調節されればよく、液晶パネル３０と第１レーザー照射部６（または第２レーザー照射部７）との間の距離を変更することにより変更できる。

また、スポット状に照射するレーザー光源を複数並べて照射範囲が線状になるように構成してもよい。この場合、位置指定用マーカーは、実線でなく点線であってもよい。

またレーザー光線の色については、特に限定されず、様々な色のレーザー光線を使用可能であるが、数種類の色のレーザーを並列に使用してもよい。

例えば、液晶パネルの点灯検査では、その表示画面をＲベタ画面（全面が赤色に点灯された画面）、Ｇベタ画面、Ｂベタ画面とし、Ｒ黒点、Ｇ黒点、Ｂ黒点を検査するものがある。この場合、Ｒベタ画面で発見されるＲ黒点に対して、赤色のレーザーを照射しても照射範囲が判別できない場合がある。そこで、Ｒベタ画面の場合には、赤色以外のレーザーを照射してその照射範囲を判別できるようにする。

このレーザー光源の切替えは、制御装置２の入力部２１を介して検査員が手動で行ってもよいし、制御装置２（発光制御部２８）が、液晶パネル３０に表示される表示画面パターンに基づいて自動的に光源を切替えてもかまわない。すなわち、発光制御部２８は、液晶パネル３０に表示される表示画面パターンに対応した色のレーザー光線をレーザー照射部に照射させる。

（レーザー光線の照射角度）
また、レーザーポインタや位置決め、計測などに使用されているレーザー光線は、人間の目で見ることができず、何か対象物に照射することにより見ることが可能となる。そこで、目視点灯検査装置１では、線状に照射するレーザー光線を、図６および図７に示すように、液晶パネル３０の斜め上から照射するようにする。換言すれば、第１レーザー照射部６および第２レーザー照射部７は、液晶パネル３０の表示画面に対して垂直な直線であって当該表示画面と交わる直線とは交差しない位置に配置されており、液晶パネル３０の表示画面に対して垂直な方向から傾いた方向よりレーザ光線を照射する。

これにより検査員が液晶パネル３０の表示画面を、その鉛直方向から見たときに表示画面上に照射範囲が見えるようになる。

図６は、第１および第２レーザー照射部６・７の角度を調整するための機構を示す図である。図７は、第１および第２レーザー照射部６・７の角度をより詳細に説明するための図である。

図６に示すように、第１および第２レーザー照射部６・７の液晶パネル３０に対する角度（換言すれば、第１および第２レーザー照射部６・７から照射されるレーザー光線の照射角度）は、第１角度調整部８および第２角度調整部９によって調整される。

より詳細には、検査員が角度を調整する指示を入力部２１に入力すると、角度調整制御部２７がその指示に従って、第１角度調整部８および第２角度調整部９を制御する。第１角度調整部８によって第１レーザー照射部６の、第２角度調整部９によって第２レーザー照射部７の角度がそれぞれ調整される。

なお、角度調整制御部２７は、このような角度調整を、検査対象の液晶パネル３０の種類または大きさ等に応じて自動的に調整してもよい。また、角度調整制御部２７は、第１レーザー照射部６または第２レーザー照射部７の一方のみの角度を調整してもよい。

図７に示すように、第１および第２レーザー照射部６・７から照射されるレーザー光線の広がり角度（図７にて「光源の照射角度」）は、光源によって一定である。レーザー光線は、液晶パネル３０の一方の端部（辺）から他方の端部（辺）まで照射されればよいが、そうである必要は必ずしもない。位置指定用マーカーが、液晶パネル３０に存在する欠陥部分を特定するのに適した長さを有するように、第１および第２レーザー照射部６・７の角度を調整すればよい。

ただし、安全上、位置指定用マーカーが、液晶パネル３０からはみ出ない（すなわち、液晶パネル３０の表示画面内に収まる）ことが好ましい。

位置指定用マーカーの長さは、上述したように、液晶パネル３０と第１および第２レーザー照射部６・７との間の距離（図７では、液晶パネル表面からの高さ）によっても変化するため、上記角度と上記距離とを組み合わせて、位置指定用マーカーの長さ（レーザー光線の照射範囲）を調整すればよい。

（目視点灯検査装置１における処理の流れ）
次に、目視点灯検査装置１における処理の流れの一例について、図８〜図１１を参照しつつ説明する。

（点欠陥の場合）
まず、点欠陥の座標を入力する場合の処理の流れについて説明する。図８は、点欠陥の座標を特定する処理を説明するための図である。図９は、点欠陥の座標を特定する処理の流れの一例を示すフローチャートである。図８は、表示画面を、当該表示画面に対して垂直な方向から見た図である。

図８に示すように、液晶パネル３０には点欠陥（欠陥絵素３１）が存在しているものとする。目視検査により欠陥を検出する手順は、一般的な目視点灯検査と同様である。

まず、目視点灯検査装置１では、搬入された液晶パネル３０に対して、信号発生器３により検査画面（表示画面パターン）を表示させる（図９にて、Ｓ１）。この信号発生器３０は、予め登録されている表示画面パターンを、入力部２１を介して取得した検査員の指示に従って液晶パネル３０に表示させる。また、制御装置２は、バックライト３３を制御することにより、目視検査に必要な検査照明を照射する。

次に、液晶パネル３０の表示画面に対して、検査員が目視により検査を行う。検査員は、制御装置２の入力部２１を操作することにより、検査画面（表示画面パターン）を切り替えつつ目視検査を行う。

ある検査画面で欠陥を発見した場合、検査員は、検査基準に基づき欠陥情報の入力を行う。個々の欠陥情報とは、欠陥種類、欠陥座標、表示画面パターン等の欠陥を特定するための情報である。

上記欠陥種類は、目視検査員が判定した欠陥の種類である。例えば、Ｒ絵素黒点やＧ絵素輝点、ソースライン欠陥などである。また、上記表示画面パターンは、その欠陥が発見されるに至った表示画面パターンの名称であり、例えば白ベタ画面や黒ベタ画面、Ｒベタ画面などである。

このように、検査員は、検査基準に基づき、その欠陥情報の入力と液晶パネル３０の判定結果の入力とを行う。すなわち、制御装置２は、入力部２１を介して、欠陥情報および判定結果を取得する（Ｓ２）。制御装置２は、取得した欠陥情報および判定結果を一旦記憶部２５に格納する。

なお、表示画面パターンを特定する情報は、検査員が手入力してもよいし、点灯制御部２３が、現在出力している表示画面パターンの情報を記憶部２５に格納するようにしてもよい。

次に、発光制御部２８は、検査員の指示または所定のプログラムに従って、第１レーザー照射部６および第２レーザー照射部７が有する複数の光源を選択的に点灯させる（Ｓ３）。

次に、角度調整制御部２７は、第１角度調整部８および第２角度調整部９を制御することにより、第１レーザー照射部６および第２レーザー照射部７の照射角度を調整する（Ｓ４）。角度調整制御部２７は、この角度調整を、検査員の指示に従って行ってもよいし、所定のプログラムに従って行ってもよい。

次に、配置制御部２４は、指示受付部２２が受け付けた検査員の指示に従って、位置指定用マーカー１１と位置指定用マーカー１２との交点が欠陥絵素３１に重なるように、第１レーザー照射部６および第２レーザー照射部７を移動させる（Ｓ５（移動指示受付工程、配置制御工程））。

このとき、指示受付部２２は、第１および第２レーザー照射部６・７の移動方向（例えば、Ｘ軸正方向か、負方向かという情報）および移動量（移動距離）に関する情報を受け付ける。なお、上記移動量は、数値として入力されてもよいし、移動を指示するキー等を押下している間に移動指示が連続的に出力される構成にしてもよい。

また、配置制御部２４は、第１照射部６の移動後のＸ座標（ｘ１）および第２レーザー照射部７の移動後のＹ座標（ｙ２）を記憶部２５に格納する。

上記交点が欠陥絵素３１に重なったことを確認すると、検査員は、第１レーザー照射部６および第２レーザー照射部７の配置が完了した旨を示す配置完了情報を、入力部２１を介して指示受付部２２に入力する。すなわち、指示受付部２２は、検査員から配置完了情報を取得する（Ｓ６（配置完了情報受付工程））。指示受付部２２は、取得した配置完了情報を配置制御部２４へ出力する。

配置制御部２４は、配置完了情報を受け取ると、その時点で記憶部２５に格納されている第１レーザー照射部６のＸ座標（ｘ１）と第２レーザー照射部７のＹ座標（ｙ２）とを組にして、欠陥絵素の位置を特定する座標である欠陥座標（ｘ１、ｙ２）を生成する（Ｓ７（座標特定工程））。

その後、配置制御部２４は、その欠陥座標と、その時点で検査対象となっている液晶パネル３０を特定する情報（液晶パネル３０のＩＤ）とを対応付けて、欠陥座標情報として記憶部２５に格納する（Ｓ８）。

制御装置２は、上記欠陥座標情報を、その他の欠陥情報および判定結果とともに、所定のタイミングで送受信部２６を介して、データベース４３へ送信する。

なお、ステップＳ２〜４の順番は、上述のものに限定されず、適宜変更してもよい。

（線欠陥の場合）
次に、液晶パネル３０に線欠陥が存在している場合の処理の流れの一例について、図１０〜図１１を参照しつつ説明する。図１０は、線欠陥の座標を特定する処理を説明するための図である。図１１は、線欠陥の座標を特定する処理の流れの一例を示すフローチャートである。図１０は、表示画面を、当該表示画面に対して垂直な方向から見た図である。

線欠陥の場合の処理は、点欠陥の場合とは異なり、配置完了情報を取得する処理を２回含んでいる。これは、線欠陥の場合には、線欠陥の両端部の座標を決定することに起因する。図１１に示すＳ１１からＳ１４までの処理は、図９に示すＳ１からＳ４までの処理と同様のため、その説明を省略する。

照射角度の調整が終わると、配置制御部２４は、検査員の指示に従って、図１０の（ａ）に示すように、位置指定用マーカー１１が線欠陥と重なるように第１レーザー照射部６を移動させ、位置指定用マーカー１２が線欠陥の一方の端部に重なるように（すなわち、入力開始位置に）第２レーザー照射部７を移動させる（Ｓ１５）。このとき、配置制御部２４は、第１および第２レーザー照射部６・７の移動後の座標を記憶部２５に格納する。

上記の移動が完了したことを確認すると、検査員は、その旨を示す第１配置完了情報を、入力部２１を介して指示受付部２２に入力する。すなわち、指示受付部２２は、検査員から第１配置完了情報を取得する（Ｓ１６）。指示受付部２２は、取得した第１配置完了情報を配置制御部２４へ出力する。

配置制御部２４は、第１配置完了情報を受け取ると、その時点で記憶部２５に格納されている第１レーザー照射部６のＸ座標と第２レーザー照射部７のＹ座標とを組にして、第１欠陥座標を生成する（Ｓ１７）。配置制御部２４は、生成した第１欠陥座標を記憶部２５に格納する。

その後、配置制御部２４は、検査員の指示に従って、図１０の（ｂ）に示すように、位置指定用マーカー１２が線欠陥の他方の端部に重なるように（すなわち、入力終了位置に）第２レーザー照射部７を移動させる（Ｓ１８）。このとき、配置制御部２４は、第２レーザー照射部７の移動後の座標を記憶部２５に上書き保存する。

上記の移動が完了すると、検査員は、その旨を示す第２配置完了情報を、入力部２１を介して指示受付部２２に入力する。すなわち、指示受付部２２は、検査員から第２配置完了情報を取得する（Ｓ１９）。指示受付部２２は、取得した第２配置完了情報を配置制御部２４へ出力する。

配置制御部２４は、第２配置完了情報を受け取ると、その時点で記憶部２５に格納されている第１レーザー照射部６のＸ座標と第２レーザー照射部７のＹ座標とを組にして、第２欠陥座標を生成する（Ｓ２０）。

その後、配置制御部２４は、第１および第２欠陥座標と、その時点で検査対象となっている液晶パネル３０のＩＤとを対応付けて、欠陥座標情報として記憶部２５に格納する（Ｓ２１）。

制御装置２は、上記欠陥座標情報を、その他の欠陥情報および判定結果とともに、所定のタイミングで送受信部２６を介して、データベース４３へ送信する。

以上のように、目視点灯検査装置１は、線欠陥の一方の端部の座標である第１欠陥座標と、線欠陥の他方の端部の座標である第２欠陥座標とを特定することにより、線欠陥の正確な欠陥座標を特定する。すなわち、指示受付部２２は、配置完了情報として、第１配置完了情報と第２配置完了情報とを受け付け、配置制御部２４は、指示受付部２２が第１配置完了情報を受け付けた時点および第２配置完了情報を受け付けた時点の、第１および第２レーザー照射部６・７の位置をそれぞれ示す座標から線欠陥の座標の組を特定する。

点欠陥の場合には、第１欠陥座標と第２欠陥座標とは同一になることから、点欠陥の場合の処理は、線欠陥の場合の処理の特殊なケースであると見なすことができる。それゆえ、線欠陥の場合の処理の流れで、点欠陥の座標を特定することもできる。

なお、配置制御部２４は、第１レーザー照射部６のＸ座標と、第２レーザー照射部７の２つのＹ座標（線欠陥の両端部のＹ座標）とを取得した後に、第１欠陥座標および第２欠陥座標を生成してもよい。

また、例えば、線欠陥が表示画面の端から端まで存在するような場合には、どちらか一方のレーザー照射部を使用しないようにして、もう一方のレーザー照射部にて欠陥座標を特定してもよい。この場合には、配置制御部２４は、線欠陥が表示画面の端から端まで存在していることを示す情報を、入力部２１を介して検査員から取得し、その情報と、移動させたレーザー照射部の座標とから線欠陥の座標を特定する。

（目視点灯検査装置１の効果）
以上のように、目視点灯検査装置１では、検査員は、２つのレーザー照射部の位置を指定するという簡単な操作を行うだけで欠陥絵素の位置を入力することができる。また、線欠陥が生じている場合でも、線欠陥の両端部の位置を入力することにより、当該線欠陥の位置を容易に入力することができる。

また、レーザー光線を、液晶パネル３０に対して垂直な方向ではなく、当該垂直な方向から傾いた方向（斜め上方向）から照射するため、レーザー光線が検査員に照射される可能性を低減できるとともに、検査員が至近距離から液晶パネル３０を目視検査することが可能となる。

（変更例）
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

上述の説明では、液晶パネル３０に対してレーザー光線を照射する構成を例に挙げたが、レーザー光線以外の光線を用いてもよい。例えば、スリット光またはコヒーレント光を用いてもよく、空気中で拡散しにくい（位置指定用マーカーがぼやけにくい）光線であればよい。

また、光路を視認できる光線であれば、液晶パネル３０に光線を投影せずに、液晶パネル３０の表示画面に対して平行な方向に光線を照射してもよい。斜めから目視しないと確認できない欠陥絵素がある場合でも、光線を点滅駆動させることにより、当該欠陥絵素の座標を入力することができる。

また、上述した目視点灯検査装置１（制御装置２）の各ブロック、特に配置制御部２４は、ハードウェアロジックによって構成してもよいし、次のようにＣＰＵを用いてソフトウェアによって実現してもよい。

すなわち、目視点灯検査装置１は、各機能を実現する制御プログラムの命令を実行するＣＰＵ（central processing unit）、上記プログラムを格納したＲＯＭ（read only memory）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（random access memory）、上記プログラムおよび各種データを格納するメモリ等の記憶装置（記録媒体）などを備えている。そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである目視点灯検査装置１の制御プログラム（座標入力プログラム）のプログラムコード（実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム）をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、上記目視点灯検査装置１に供給し、そのコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ）が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。

上記記録媒体としては、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー（登録商標）ディスク／ハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ−ＲＯＭ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ／ＣＤ−Ｒ等の光ディスクを含むディスク系、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード等のカード系、あるいはマスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ／ＥＥＰＲＯＭ／フラッシュＲＯＭ等の半導体メモリ系などを用いることができる。

また、目視点灯検査装置１を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。この通信ネットワークとしては、特に限定されず、例えば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、ＬＡＮ、ＩＳＤＮ、ＶＡＮ、ＣＡＴＶ通信網、仮想専用網（virtual private network）、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、例えば、ＩＥＥＥ１３９４、ＵＳＢ、電力線搬送、ケーブルＴＶ回線、電話線、ＡＤＳＬ回線等の有線でも、ＩｒＤＡやリモコンのような赤外線、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、８０２．１１無線、ＨＤＲ、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。

なお、本発明は、以下のようにも表現できる。

すなわち、本発明の欠陥座標入力装置は、２次元的に画素を配置したフラットパネルディスプレイの検査装置において、表示画面横側から表示画面横方向と平行に線状のレーザーを照射する手段と、上記レーザー照射手段を表示画面縦方向へ移動させる手段と、表示画面縦側から表示画面縦方向と平行に線状のレーザーを照射する手段と、上記レーザー照射手段を表示画面横方向へ移動させる手段と、上記レーザーを表示画面に対して斜め上方から照射する手段と、オペレータに上記２つのレーザーの交点位置を入力させる手段とを備えている。

上記欠陥座標入力装置は、オペレータに交点位置の入力開始位置と入力終了位置を操作させる手段をさらに備えていることが好ましい。

上記欠陥座標入力装置は、複数の色のレーザー源を搭載し、表示画面色に応じて使用するレーザーを選択する手段を備えていることが好ましい。

本発明の２次元的に画素を配置したフラットパネルディスプレイの検査方法において、表示画面横側から表示画面横方向と平行に線状のレーザーを照射する工程と、上記レーザー照射手段を表示画面縦方向へ移動させる工程と、表示画面縦側から表示画面縦方向と平行に線状のレーザーを照射する工程と、上記レーザー照射手段を表示画面横方向へ移動させる工程と、上記レーザーを表示画面に対して斜め上方から照射する工程と、オペレータに上記２つのレーザーの交点位置を入力させる工程とを含んでいる。

上記欠陥座標入力方法は、オペレータに交点位置の入力開始位置と入力終了位置を操作させる工程をさらに含んでいることが好ましい。

上記欠陥座標入力方法は、複数の色のレーザー源を搭載し、表示画面色に応じて使用するレーザーを選択する工程をさらに含んでいることが好ましい。

対象物の特定部分の座標を簡単な構成の装置によって容易に入力することができるため、種々の対象物における座標を入力するための座標入力装置として利用できる。

本発明の一実施形態に係る目視点灯検査装置の構成を示す概略図である。 液晶パネルに点欠陥が生じている状態を示す図である。 液晶パネルに線欠陥が生じている状態を示す図である。 制御装置の構成を示す機能ブロック図である。 位置指定用マーカーの一例を示す図である。 レーザー照射部の角度を調整するための機構を示す図である。 レーザー照射部の角度をより詳細に説明するための図である。 点欠陥の座標を特定する処理を説明するための図である。 点欠陥の座標を特定する処理の流れの一例を示すフローチャートである。 線欠陥の座標を特定する処理を説明するための図である。 線欠陥の座標を特定する処理の流れの一例を示すフローチャートである。

符号の説明

１ 目視点灯検査装置（座標入力装置）
６ 第１レーザー照射部（第１光線照射手段）
７ 第２レーザー照射部（第２光線照射手段）
２２ 指示受付部（移動指示受付手段、配置完了情報受付手段）
２４ 配置制御部（配置制御手段）
２７ 角度調整制御部（角度調節手段）
２８ 発光制御部（発光制御手段）
３０ 液晶パネル（対象物）
３１ 欠陥絵素（注目箇所）

Claims (8)

1. 対象物の表面に存在する注目箇所の座標を入力する座標入力装置であって、
   第１座標軸方向に光線を照射する第１光線照射手段と、
   上記第１座標軸方向に直交する第２座標軸方向に光線を照射する第２光線照射手段と、
   上記第１および第２光線照射手段の移動に関する指示をオペレータから受け付ける移動指示受付手段と、
   上記移動指示受付手段が受け付けた指示に従い、上記第１光線照射手段を上記第２座標軸方向に移動させる、または、上記第２光線照射手段を上記第１座標軸方向に移動させる、もしくはその両方を行う配置制御手段と、
   上記配置制御手段による第１および第２光線照射手段の配置が完了したことをオペレータが確認した旨を示す配置完了情報を当該オペレータから受け付ける配置完了情報受付手段と、
   上記配置完了情報受付手段が上記配置完了情報を受け付けた時点の、上記第１および第２光線照射手段の位置をそれぞれ示す座標から上記注目箇所の座標を特定する座標特定手段とを備えることを特徴とする座標入力装置。
2. 上記配置完了情報受付手段は、上記配置完了情報として、第１配置完了情報と第２配置完了情報とを受け付け、
   上記座標特定手段は、上記配置完了情報受付手段が上記第１配置完了情報を受け付けた時点および上記第２配置完了情報を受け付けた時点の、第１および第２光線照射手段の位置をそれぞれ示す座標から上記注目箇所の座標の組を特定することを特徴とする請求項１に記載の座標入力装置。
3. 上記第１光線照射手段または上記第２光線照射手段もしくはその両方は、上記表面に対して垂直な方向から傾いた方向より上記光線を照射することを特徴とする請求項１または２に記載の座標入力装置。
4. 上記第１光線照射手段または上記第２光線照射手段もしくはその両方の、上記表面に対する角度を調整する角度調整手段をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載の座標入力装置。
5. 上記第１光線照射手段または上記第２光線照射手段もしくはその両方は、異なる色の光線を出射する複数の光源を有しており、
   上記複数の光源を選択的に発光させる発光制御手段をさらに備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の座標入力装置。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の座標入力装置を動作させる座標入力プログラムであって、コンピュータを上記各手段として機能させるための座標入力プログラム。
7. 請求項６に記載の座標入力プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
8. 対象物の表面に存在する注目箇所の座標を入力する座標入力装置における座標入力方法であって、
   第１座標軸方向に光線を照射する第１光線照射手段と、上記第１座標軸方向に直交する第２座標軸方向に光線を照射する第２光線照射手段との移動に関する指示をオペレータから受け付ける移動指示受付工程と、
   上記移動指示受付工程において受け付けた指示に従い、上記第１光線照射手段を上記第２座標軸方向に移動させる、または、上記第２光線照射手段を上記第１座標軸方向に移動させる、もしくはその両方を行う配置制御工程と、
   上記配置制御工程における第１および第２光線照射手段の配置が完了したことをオペレータが確認した旨を示す配置完了情報を当該オペレータから受け付ける配置完了情報受付工程と、
   上記配置完了情報受付工程において上記配置完了情報を受け付けた時点の、上記第１および第２光線照射手段の位置をそれぞれ示す座標から上記注目箇所の座標を特定する座標特定工程とを含むことを特徴とする座標入力方法。