JP2009082966A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2009082966A5
JP2009082966A5 JP2007258141A JP2007258141A JP2009082966A5 JP 2009082966 A5 JP2009082966 A5 JP 2009082966A5 JP 2007258141 A JP2007258141 A JP 2007258141A JP 2007258141 A JP2007258141 A JP 2007258141A JP 2009082966 A5 JP2009082966 A5 JP 2009082966A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pattern
light
adjustment
irradiation
conversion parameter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007258141A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5090121B2 (ja
JP2009082966A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2007258141A priority Critical patent/JP5090121B2/ja
Priority claimed from JP2007258141A external-priority patent/JP5090121B2/ja
Priority to TW097134855A priority patent/TWI422452B/zh
Priority to CNA2008101669582A priority patent/CN101403822A/zh
Priority to KR1020080096603A priority patent/KR101513107B1/ko
Publication of JP2009082966A publication Critical patent/JP2009082966A/ja
Publication of JP2009082966A5 publication Critical patent/JP2009082966A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5090121B2 publication Critical patent/JP5090121B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2007258141A 2007-10-01 2007-10-01 調整装置、レーザ加工装置、調整方法、および調整プログラム Expired - Fee Related JP5090121B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007258141A JP5090121B2 (ja) 2007-10-01 2007-10-01 調整装置、レーザ加工装置、調整方法、および調整プログラム
TW097134855A TWI422452B (zh) 2007-10-01 2008-09-11 Adjustment device, laser processing device, adjustment method and adjustment program
CNA2008101669582A CN101403822A (zh) 2007-10-01 2008-09-28 调整装置、激光加工装置、调整方法以及调整程序
KR1020080096603A KR101513107B1 (ko) 2007-10-01 2008-10-01 조정 장치, 레이저 가공 장치, 조정 방법, 및 조정 프로그램

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007258141A JP5090121B2 (ja) 2007-10-01 2007-10-01 調整装置、レーザ加工装置、調整方法、および調整プログラム

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009082966A JP2009082966A (ja) 2009-04-23
JP2009082966A5 true JP2009082966A5 (enExample) 2010-11-11
JP5090121B2 JP5090121B2 (ja) 2012-12-05

Family

ID=40537886

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007258141A Expired - Fee Related JP5090121B2 (ja) 2007-10-01 2007-10-01 調整装置、レーザ加工装置、調整方法、および調整プログラム

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5090121B2 (enExample)
KR (1) KR101513107B1 (enExample)
CN (1) CN101403822A (enExample)
TW (1) TWI422452B (enExample)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5451238B2 (ja) * 2009-08-03 2014-03-26 浜松ホトニクス株式会社 レーザ加工方法
JP5791908B2 (ja) * 2011-01-18 2015-10-07 オリンパス株式会社 調整装置、レーザ加工装置および調整方法
KR101310452B1 (ko) * 2011-08-25 2013-09-24 삼성전기주식회사 어레이 타입 공간변조기를 이용한 레이저가공방법
US20130140286A1 (en) * 2011-12-06 2013-06-06 Herbert Chidsey Roberts, III Systems and methods for internal cavity formation using laser manipulation
CN102879905B (zh) * 2012-09-13 2015-10-28 北京国科世纪激光技术有限公司 一种用于观察光斑方位变换的装置和光束整形方法
JP6128822B2 (ja) 2012-12-05 2017-05-17 オリンパス株式会社 光学装置
KR102117608B1 (ko) * 2013-08-14 2020-06-02 삼성디스플레이 주식회사 밀봉 장치, 밀봉 장치를 포함하는 기판 밀봉 장치 및 기판 밀봉 방법
US10618131B2 (en) 2014-06-05 2020-04-14 Nlight, Inc. Laser patterning skew correction
DE102014213518A1 (de) * 2014-07-11 2016-01-14 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren, Bearbeitungsmaschine und Computerprogrammprodukt zum bildbasierten Platzieren von Werkstückbearbeitungsvorgängen
JP6620976B2 (ja) * 2015-09-29 2019-12-18 株式会社東京精密 レーザー加工装置及びレーザー加工方法
US11179807B2 (en) 2015-11-23 2021-11-23 Nlight, Inc. Fine-scale temporal control for laser material processing
US10434600B2 (en) 2015-11-23 2019-10-08 Nlight, Inc. Fine-scale temporal control for laser material processing
JP6689631B2 (ja) * 2016-03-10 2020-04-28 浜松ホトニクス株式会社 レーザ光照射装置及びレーザ光照射方法
DE112017001209T5 (de) * 2016-03-10 2018-12-13 Hamamatsu Photonics K.K. Laserlicht-Bestrahlungsvorrichtung und Laserlicht-Bestrahlungsverfahren
US10423015B2 (en) 2016-09-29 2019-09-24 Nlight, Inc. Adjustable beam characteristics
JP6768444B2 (ja) * 2016-10-14 2020-10-14 浜松ホトニクス株式会社 レーザ加工装置、及び、動作確認方法
US11173548B2 (en) 2017-04-04 2021-11-16 Nlight, Inc. Optical fiducial generation for galvanometric scanner calibration
CN107186364B (zh) * 2017-07-11 2024-02-02 华侨大学 无机械运动实现精确激光切割轨迹和显微细胞切割方法
WO2019014937A1 (zh) 2017-07-21 2019-01-24 易思维 (天津) 科技有限公司 用于汽车生产线上激光焊保护镜片的缺陷检测方法和装置
JP7105639B2 (ja) 2018-07-05 2022-07-25 浜松ホトニクス株式会社 レーザ加工装置
JP7283918B2 (ja) * 2019-02-20 2023-05-30 株式会社ディスコ 加工装置
CN110497088B (zh) * 2019-08-31 2020-05-19 大连理工大学 基于曲面映射的柔性共形天线激光加工误差控制方法
CN113290313B (zh) * 2020-02-19 2023-10-31 深圳市创客工场科技有限公司 激光加工控制方法、装置及激光加工设备
JP7566640B2 (ja) * 2021-01-04 2024-10-15 株式会社東芝 処理装置、溶接システム、処理方法、プログラム、及び記憶媒体
CN114289858B (zh) * 2021-11-18 2023-07-07 富联裕展科技(深圳)有限公司 调试和监控方法、装置、设备及计算机可读存储介质

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3180194B2 (ja) * 1991-07-25 2001-06-25 日立ビアメカニクス株式会社 レーザ加工機
JP2823750B2 (ja) * 1992-09-02 1998-11-11 三菱電機株式会社 レーザマーキング装置
JP2002001562A (ja) * 2000-06-16 2002-01-08 Ricoh Microelectronics Co Ltd 光加工方法及びその装置並びに記録媒体
JP2004109565A (ja) * 2002-09-19 2004-04-08 Olympus Corp 標本観察システム及び標本観察システムの調整方法
TWI279278B (en) * 2006-01-13 2007-04-21 Hs Comp Co Ltd Method of edge-directed cutting fabric with laser
JP5119728B2 (ja) * 2007-05-08 2013-01-16 ソニー株式会社 レーザ加工装置の較正方法及びレーザ加工装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009082966A5 (enExample)
Ekstrand et al. Autoexposure for three-dimensional shape measurement using a digital-light-processing projector
JP6054576B2 (ja) 測定対象物の少なくとも１つの仮想画像を生成する方法及び装置
JP2011229620A5 (enExample)
JP2013120092A5 (enExample)
US8792000B2 (en) Image capturing apparatus, image displaying method and recording medium, image displaying program being recorded thereon
JPWO2018056199A1 (ja) 距離測定システム、距離測定方法およびプログラム
WO2009078617A3 (en) Surface shape measuring system and surface shape measuring method using the same
JP2012148302A5 (enExample)
JP2015524727A5 (enExample)
JP6402500B2 (ja) 鮮明度測定装置、及び測定方法
JP5673017B2 (ja) 振動測定システム、振動測定装置および振動測定方法
JP2009254428A5 (enExample)
JP2013092465A (ja) 三次元表面検査装置および三次元表面検査方法
JP2005351871A5 (enExample)
CN103983341B (zh) 一种高精度激光散斑微振动测量系统及测量方法
JP2015511405A5 (enExample)
JP2011002416A (ja) 三次元形状測定装置
JP2012141252A (ja) 三次元形状測定装置
JP2012112779A5 (enExample)
JP2017102637A5 (enExample)
KR101436403B1 (ko) 정현파 격자를 이용한 섀도우모아레 방법 및 이를 이용한 측정 장치
CN116991046B (zh) 一种基于空间编码照明的芯片套刻测量装置及其方法
JP2014135562A5 (enExample)
JP2009210509A (ja) ３次元形状測定装置および３次元形状測定コンピュータプログラム