JP2009079784A - エアフィルタおよびそれを搭載したファンフィルタユニット - Google Patents

Abstract

【課題】エアフィルタ濾材の上流側に配置した機器の運転状態を上流側へ移動することなく下流側から容易に視認することができることを目的としている。
【解決手段】金属材料もしくは高分子材料によって形成されるエアフィルタ枠体１であって、エアフィルタ枠体１表面に圧力、熱、振動によって表面変化を起こす材料を設けた構成としている。このような構成によれば、エアフィルタ枠体１の上流側に配置した送風機・モータなどの動作によってエアフィルタ枠体１の表面が変化し、送風機・モータの運転状態を下流側から視認することができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体やフラットパネルディスプレイ等を製造する製造装置あるいはそれらの検査装置等において、清浄な空気を必要とする環境下で使用されるエアフィルタに関する。

従来、清浄空気を必要とされる空間であるクリーンルーム等の天井面に配設されるエアフィルタは、上流側の状況を下流側から容易に確認できることが求められている。図９に示すように、クリーンルームの天井面設備の運転状況を確認することができるクリーンユニット本体１０２のフィルタ支持装置として、エアフィルタ１０１を保持したクリーンユニット支持枠１０３に表示ユニット１０４（ＬＥＤランプなど）を組み込んだものが知られている（例えば特許文献１参照）。
特開平６−１９３９２９号公報

このような従来のフィルタ支持装置として上流にあるクリーンユニットの運転表示が組み込める支持枠が必要となり、施工面において特殊な支持枠を用いなければならない。また支持枠は表示可能な枠幅が必要であり、その枠幅に必要なコストがかかってしまうという課題があり、容易にフィルタ下流側から上流側の状況が確認できることが要求されている。

本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、下流側から上流側の状態が認識できる熱反応を有する部材からなる枠体にて構成されたことを特徴とするエアフィルタを提供することを目的としている。

本発明のエアフィルタは、上記の目的を達成するために、金属材料もしくは高分子材料によって形成されるエアフィルタ枠体であって、枠体表面が熱反応を有する部材であることを特徴とするエアフィルタ枠体である。

この手段により、エアフィルタ枠体の近くにモータなどの熱源を配置した場合、その熱源からの発熱を受けて、エアフィルタ枠体の表面が変化し、熱源の運転を視認することができる。

また他の手段は、金属材料もしくは高分子材料によって形成されるエアフィルタ枠体であって、枠体表面が圧力反応を有する部材であることを特徴とするエアフィルタ枠体である。

この手段により、エアフィルタ枠体の近くに送風機などを配置した場合、その送風機からの送風による圧力変化を受けて、エアフィルタ枠体の表面が変化し、送風機の運転を視認することができる。

また他の手段は、金属材料もしくは高分子材料によって形成されるエアフィルタ枠体であって、枠体表面が振動反応を有する部材であることを特徴とするエアフィルタ枠体である。

この手段により、エアフィルタ枠体の近くにモータなどの振動源を配置した場合、その振動源からの振動を受けて、エアフィルタ枠体の表面が変化し、振動源の運転を視認することができる。

また他の手段は、金属材料もしくは高分子材料によって形成されるエアフィルタ枠体であって、枠体表面の全部または一部に、感熱塗料を混練したことを特徴とするエアフィルタ枠体である。

この手段により、エアフィルタ枠体の近くにモータなどの熱源を配置した場合、その熱源からの発熱を受けて、エアフィルタ枠体の感熱塗料を混練した面が変化し、熱源の運転を視認することができる。

また他の手段は、金属材料もしくは高分子材料によって形成されるエアフィルタ枠体であって、枠体表面の全部または一部に、感圧塗料を混練したことを特徴とするエアフィルタ枠体である。

この手段により、エアフィルタ枠体の近くに送風機などを配置した場合、その送風機からの送風による圧力変化を受けて、エアフィルタ枠体の感圧塗料を混練した面が変化し、送風機の運転を視認することができる。

また他の手段は、前記のエアフィルタ枠体の端部を各々接合しロの字形状とし、前記枠体の内周壁面に波形状に折曲したエアフィルタ濾材を密に接合固定し所定形状で保持したエアフィルタである。

この手段により、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができ、ファンフィルタユニットなどの機器に組み込むことができるエアフィルタを提供することができる。

また他の手段は、ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流側にフィルタを有したファンフィルタユニットにおいて、エアフィルタ枠体の端部を各々接合しロの字形状とし、前記のエアフィルタ枠体の内周壁面に波形状に折曲したエアフィルタ濾材を密に接合固定し所定形状で保持したエアフィルタを備えたファンフィルタユニットである。

この手段により、エアフィルタの上流側の状態を下流側、すなわち、ファンフィルタユニットの吹出し側であるクリーン空間内から確認することできるファンフィルタユニットを得られる。

また他の手段は、ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流側にフィルタを有したファンフィルタユニットにおいて、フィルタは、金属材料もしくは高分子材料によって形成され、枠体表面が光透過性からなるエアフィルタ枠体の端部を各々接合しロの字形状とし、前記枠体の内周壁面に波形状に折曲したエアフィルタ濾材を密に接合固定し所定形状で保持したものであり、フィルタとファンモータユニットの間に発光により表示を行う表示手段を設けたことを特徴とするファンフィルタユニットである。

この手段により、エアフィルタの上流側の表示手段の発光状態が光透過性をもつ材料を透過し、下流側のフィルタ面にから確認することできるファンフィルタユニットを得られる。

また他の手段は、前記表示手段は、その発光色によってファンフィルタユニットの状態を示すことを特徴とするファンフィルタユニットである。

この手段により、ファンフィルタユニットの状態、すなわち、運転・停止、警報などの情報を確認することができるファンフィルタユニットを得られる。

また他の手段は、表示手段は、複数の光源を配列したものであり、点灯する光源の切替えによってファンフィルタユニットの状態を示すことを特徴とするのファンフィルタユニットである。

この手段により、ファンフィルタユニットの状態、すなわち、運転・停止、警報などの情報を確認することができるファンフィルタユニットを得られる。

本発明によれば、表面に状態変化によって情報表示を行うことができるエアフィルタ枠体を提供でき、特に、発熱を検知することが出来る熱反応性を有する枠体にて構成されたことを特徴とするエアフィルタ枠体を提供できる。

また、圧力（風圧、差圧など）を検知することができる圧力反応性を有する枠体にて構成されたことを特徴とするエアフィルタ枠体を提供できる。

また、振動を検知することができる振動反応性を有する枠体にて構成されたことを特徴とするエアフィルタ枠体を提供できる。

また、発熱を検知することができる感熱塗料を混練した枠体にて構成されたことを特徴とするエアフィルタ枠体を提供できる。

また、圧力（風圧、差圧など）を検知することができる感圧塗料を混練した枠体にて構成されたことを特徴とするエアフィルタ枠体を提供できる。

また、下流側から上流側の状態変化もしくは発熱もしくは振動もしくは圧力が視認できる構成されたことを特徴とするエアフィルタを提供できる。

また、下流側から上流側の状態変化もしくは発熱もしくは振動もしくは圧力が視認できるエアフィルタを備えた構成を特徴とするファンフィルタユニットを提供できる。

また、フィルタとファンモータユニットの間に発光により表示を行う表示手段を設けたことを特徴とするファンフィルタユニットを提供できる。

また、発光色によってファンフィルタユニットの状態を示すことを特徴とするファンフィルタユニットを提供できる。

また、点灯する光源の切替えによってファンフィルタユニットの状態を示すことを特徴とするファンフィルタユニットを提供できる。

本発明の請求項１記載の発明は、表示機能を有する材料が、熱反応を有する部材であることを特徴とするものであり、エアフィルタの近くにモータなどの熱源を配置した場合、その熱源からの発熱を受けて、エアフィルタの表面が変化し、熱源の運転を視認することができる。特に、エアフィルタの裏側（表側）に熱源を配置すると、反対側の表側（裏側）から熱源の運転を視認することができる。

本発明の請求項２記載の発明は、表示機能を有する材料が、圧力反応を有する部材であることを特徴とするものであり、エアフィルタの近くに送風機などを配置した場合、その送風機からの送風による圧力変化を受けて、エアフィルタの表面が変化し、送風機の運転を視認することができる。特に、エアフィルタの裏側（表側）に送風機を配置すると、反対側の表側（裏側）から送風機の運転を視認することができる。

本発明の請求項３記載の発明は、表示機能を有する材料が、振動反応を有する部材であることを特徴とするものであり、エアフィルタの近くにモータなどの振動源を配置した場合、その振動源からの振動を受けて、エアフィルタの表面が変化し、振動源の運転を視認することができる。特に、エアフィルタの裏側（表側）に振動源を配置すると、反対側の表側（裏側）から振動源の運転を視認することができる。

本発明の請求項４記載の発明は、金属材料もしくは高分子材料によって形成されるエアフィルタ枠体であって、枠体表面の全部または一部に、感熱塗料を混練したことを特徴とするものであり、エアフィルタ濾材の近くにモータなどの熱源を配置した場合、その熱源からの発熱を受けて、エアフィルタ濾材の感熱塗料を塗布した面が変化し、熱源の運転を視認することができる。特に、エアフィルタの裏側（表側）に熱源を配置すると、反対側の表側（裏側）から熱源の運転を視認することができる。

本発明の請求項５記載の発明は、金属材料もしくは高分子材料によって形成されるエアフィルタ枠体であって、枠体表面の全部または一部に、感圧塗料を混練したことを特徴とするものであり、エアフィルタ濾材の近くに送風機などを配置した場合、その送風機からの送風による圧力変化を受けて、エアフィルタ濾材の感熱塗料を塗布した面が変化し、送風機の運転を視認することができる。特に、エアフィルタの裏側（表側）に送風機を配置すると、反対側の表側（裏側）から送風機の運転を視認することができる。

本発明の請求項６記載の発明は、請求項１〜５いずれかに記載のエアフィルタ枠体の端部を各々接合しロの字形状とし、前記枠体の内周壁面に波形状に折曲したエアフィルタ濾材を密に接合固定し所定形状で保持したエアフィルタとし、下流側から上流側の状態変化もしくは発熱もしくは振動もしくは圧力が視認できる作用を有したものである。

本発明の請求項７記載の発明は、ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流側にフィルタを有したファンフィルタユニットにおいて、請求項６に記載のエアフィルタ枠体の端部を各々接合しロの字形状とし、前記枠体の内周壁面に波形状に折曲したエアフィルタ濾材を密に接合固定し所定形状で保持したエアフィルタを特徴とし、下流側から上流側の状態変化もしくは発熱もしくは振動もしくは圧力が視認できる作用を有するものであり、エアフィルタの上流側の状態を下流側、すなわち、ファンフィルタユニットの吹出し側であるクリーン空間内から確認することできるファンフィルタユニットを得られる。

本発明の請求項８記載の発明は、ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流側にフィルタを有したファンフィルタユニットにおいて、フィルタは、金属材料もしくは高分子材料によって形成され、枠体表面が光透過性からなるエアフィルタ枠体の端部を各々接合しロの字形状とし、前記枠体の内周壁面に波形状に折曲したエアフィルタ濾材を密に接合固定し所定形状で保持したものであり、フィルタとファンモータユニットの間に発光により表示を行う表示手段を設けたことを特徴とし、エアフィルタの上流側の表示手段の発光状態が、下流側のフィルタ面にから確認することできるファンフィルタユニットを得られる。

本発明の請求項９記載の発明は、発光色によってファンフィルタユニットの状態を示すことを特徴とするものであり、発光色によってファンフィルタユニットの状態を示し、運転・停止、警報などの情報をフィルタ表面で確認することができるファンフィルタユニットを得られる。

本発明の請求項１０記載の発明は、前記表示手段は、複数の光源を配列したものであり、点灯する光源の切替えによってファンフィルタユニットの状態を示し、運転・停止、警報などの情報をフィルタ表面で確認することができるファンフィルタユニットを得られる。

（実施の形態１）
図１に示すように、本発明のエアフィルタ枠体１は、金属材料もしくは高分子材料によって形成され、枠体表面が熱反応を有する部材２を設けた構成となっている。熱反応を有する部材２としては、熱に対して発色反応性の機能を有するシリカゲル、発色剤であるロイコ色素と顕色剤であるビスフェニールＡやβ―ナフトールのようなフェノール化合物の混合剤を用いてもよい。

上記構成において、エアフィルタ枠体１には、熱反応を有する部材２としてシリカゲルなどが設けてあるあるため、エアフィルタ枠体１の裏面側（表面側）にモータ等の発熱体を配置すると、モータの運転によりモータの温度が上昇し、この温度上昇により熱に対して発色反応性の機能を有する材料が反応するため、エアフィルタ枠体１の表面色によってモータの運転を視認することができる。

また、図２に示すように、圧力反応を有する部材３として、圧力変化に反応できる圧電素子（センサー）、ボルフェリンやフタロシアニンなどの複素環式化合物、ルテニウムやオスミウムなどの遷移金属錯体、白金ボルフェリン、バソフェナンスロリン・ルテニウム、ピレンを用いてもよい。この場合には、エアフィルタ枠体１を送風機の吹出し口近傍に配置する。この場合、送風機を運転すると、発生した風圧によって、圧力変化に反応できる圧電素子などが反応して、エアフィルタ枠体１の表面が変化し、送風機の運転を視認することができる。

また、図３に示すように、振動反応を有する部材４として、振動変化に反応できる加速度センサーなどを用いてもよく、枠体の機能を損なわないものであればよい。

（実施の形態２）
図４に示すように、エアフィルタ枠体１は、枠体表面の全部または一部に感熱塗料５を塗布または混練した構成となっている。感熱塗料５としては、発色剤であるロイコ色素と顕色剤であるビスフェニールＡやβ―ナフトールのようなフェノール化合物の混合剤を用い、濾材の機能を損なわないものであればよい。

上記構成において、エアフィルタ枠体１の表面に塗布または混練した感熱塗料５は、エアフィルタ枠体１の近傍の発熱体に反応して発色する。例えば、エアフィルタ枠体１の裏側（または表側）にモータなどの発熱体を配置し、そのモータを運転すると、その発熱によって感熱塗料５が発色し、モータの運転を確認することができる。

なお、感熱塗料５の代わりに、図５に示すように、圧力変化を検知できるボルフェリンやフタロシアニンなどの複素環式化合物、ルテニウムやオスミウムなどの遷移金属錯体、白金ボルフェリン、バソフェナンスロリン・ルテニウム、ピレンなどの感圧塗料６を用いてもよく、枠体の機能を損なわないものであればよい。この場合には、エアフィルタ枠体１は送風機の吹出し口などに配置することによって、送風機の運転を確認することができる。

（実施の形態３）
第３の実施の形態について、図６、７を用いて説明する。

図６に示すように、エアフィルタ７は、実施の形態１あるいは実施の形態２あるいは実施の形態３で示したエアフィルタ枠体１の端部を各々接合しロの字形状とし、前記枠体の内周壁面に波形状に折曲したエアフィルタ濾材８を密に接合固定し所定形状で保持した構成となっている。

次に、図７に示すように、このようなエアフィルタ７を用いたファンフィルタユニット１３を示す。図７に示すように、ファンフィルタユニット１３には、ファン９とモータ１０で構成されるファンモータユニット１１と、ファンモータユニット１１を内部に有するチャンバ１２と、チャンバ１２の下流側にエアフィルタ７が設けられている。この場合には、エアフィルタ枠体１には、モータ１０の発熱によって発色する感熱材料、あるいは、ファン９の送風による圧力に反応する感圧材料を用いたものが良い。エアフィルタ７は、モータ１０の発熱などを検知しやすいよう、ファン９、モータ１０の近傍に設けられる。

上記構成において、ファンフィルタユニット１３を運転すると、モータ１０およびファン９が回転し、モータ１０の熱（ファン９による送風）が発生する。エアフィルタ７は、このモータ１０の発熱（ファン９の送風による圧力）を検知して発色（あるいは変色）する。このため、ファンフィルタユニット１３の上流側へ移動して確認することなく、その下流側からファンフィルタユニット１３の運転状態をエアフィルタ７の変化によって視認することできる。

（実施の形態４）
第４の実施の形態について、図８を用いて説明する。第１〜第３の実施の形態と同じ構成については同一の番号をつけて詳細な説明を省略する。

図５に示すように、第４の実施の形態のファンフィルタユニット１３は、ファンモータユニット１１とエアフィルタ７との間に発光により表示を行う表示手段１４を備えた構成となっている。エアフィルタ枠体１は、その一部、あるいは全部を光を透過するような材料を加工したもので、端部を各々接合しロの字形状とし、前記枠体の内周壁面に波形状に折曲したエアフィルタ濾材８を密に接合固定し所定形状で保持した構成となっている。エアフィルタ枠体１の光を透過するような材料とは、アクリルやポリプロピレン、あるいは、ガラスを用いることができる。

上記構成において、表示手段１４は、ファンフィルタユニット１３の状態を表示する運転ランプ、あるいは警報ランプである。例えば、ファンフィルタユニット１３を運転することによって、表示手段１４の運転ランプが点灯する。点灯した表示手段１４の光は、エアフィルタ枠体１の光透過性材料によってよってエアフィルタ７の下流側に通過する。ファンフィルタユニット１３の下流側では、通過した光を視認することにより、ファンフィルタユニット１３の運転状態を視認することができる。このように、エアフィルタ枠体１に透明度を有した材料を用い、エアフィルタ７の上流側に、運転状態表示などを行うランプなどの表示手段１４を設けることにより、上流側のファン９・モータ１０の運転状態を下流側から確認することができる。このとき、エアフィルタ７やエアフィルタ枠体１に加工を施さずに表示機能を実現できるため、フィルタ上流側の浄化前の空気がそのまま下流側に漏れにくくなるという効果を有する。

表示手段１４はＬＥＤランプなどファンフィルタユニット１３の運転状況に連動して発光することができるものであればよい。

なお、表示手段１４は、ファンフィルタユニット１３の運転や停止などの運転状況に応じて点滅や発光色の変化や発光輝度を変化させることにより、より詳細な運転状況を把握することが可能となる。また、その表示手段１４を複数配列し、運転状況に応じて発光する光源を切り替えることで、ファンフィルタユニット１３の運転状況をより詳細でかつ、的確に把握することが可能となる。

フィルタを用いた空気調和装置全般に利用可能である。

同実施の形態１のエアフィルタ枠体の構成図 同実施の形態１のエアフィルタ枠体の構成図 同実施の形態１のエアフィルタ枠体の構成図 同実施の形態２のエアフィルタ枠体の構成図 同実施の形態２のエアフィルタ枠体の構成図 同実施の形態３のエアフィルタ枠体の構成図 同実施の形態３のファンフィルタユニットの断面図 同実施の形態４のファンフィルタユニットの断面図 従来のクリーンユニットのフィルタ支持装置を示す断面図

符号の説明

１ エアフィルタ枠体
２ 熱反応を有する部材
３ 圧力反応を有する部材
４ 振動反応を有する部材
５ 感熱塗料
６ 感圧塗料
７ エアフィルタ
８ エアフィルタ濾材
９ ファン
１０ モータ
１１ ファンモータユニット
１２ チャンバ
１３ ファンフィルタユニット
１４ 表示手段

Claims (10)

1. 金属材料もしくは高分子材料によって形成されるエアフィルタ枠体であって、枠体表面が熱反応を有する部材であることを特徴とするエアフィルタ枠体。
2. 金属材料もしくは高分子材料によって形成されるエアフィルタ枠体であって、枠体表面が圧力反応を有する部材であることを特徴とするエアフィルタ枠体。
3. 金属材料もしくは高分子材料によって形成されるエアフィルタ枠体であって、枠体表面が振動反応を有する部材であることを特徴とするエアフィルタ枠体。
4. 金属材料もしくは高分子材料によって形成されるエアフィルタ枠体であって、枠体表面の全部または一部に、感熱塗料を混練したことを特徴とするエアフィルタ枠体。
5. 金属材料もしくは高分子材料によって形成されるエアフィルタ枠体であって、枠体表面の全部または一部に、感圧塗料を混練したことを特徴とするエアフィルタ枠体。
6. 請求項１〜５いずれかに記載のエアフィルタ枠体の端部を各々接合しロの字形状とし、前記枠体の内周壁面に波形状に折曲したエアフィルタ濾材を密に接合固定し所定形状で保持したエアフィルタ。
7. ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流側にフィルタを有したファンフィルタユニットにおいて、請求項６記載のエアフィルタを備えたファンフィルタユニット。
8. ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流側にフィルタを有したファンフィルタユニットにおいて、フィルタは、金属材料もしくは高分子材料によって形成され、枠体表面が光透過性からなるエアフィルタ枠体の端部を各々接合しロの字形状とし、前記枠体の内周壁面に波形状に折曲したエアフィルタ濾材を密に接合固定し所定形状で保持したものであり、フィルタとファンモータユニットの間に発光により表示を行う表示手段を設けたことを特徴とするファンフィルタユニット。
9. 前記表示手段は、その発光色によってファンフィルタユニットの状態を示すことを特徴とする請求項８記載のファンフィルタユニット。
10. 前記表示手段は、複数の光源を配列したものであり、点灯する光源の切替えによってファンフィルタユニットの状態を示すことを特徴とする請求項８記載のファンフィルタユニット。

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