JP2009070749A - 超小型イオン源装置および集積型超小型イオン源装置 - Google Patents
超小型イオン源装置および集積型超小型イオン源装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】対向する二つのカソード電極6,7が、どちらかまたは両方にイオン引き出し用のメッシュ状の孔をシリコン基板1,3上に有している。アノード電極8が、各カソード電極6,7の中間部に配置され、中心部に開口があるシリコン基板2を有する。絶縁性のパイレックスガラス基板4,5が、各カソード電極6,7とアノード電極8間を絶縁する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態の超小型イオン源装置の構成を示す要部断面図である。図1に示すように、超小型イオン源装置は、カソード電極6を構成するためのシリコン基板1と、アノード電極8を構成するためのシリコン基板2と、もう一つのカソード電極7を構成するためのシリコン基板3と、カソード電極6とアノード電極8間を絶縁し放電空間を確保するための絶縁性であるところのパイレックス(登録商標)ガラス基板4と、もう一つのカソード電極7とアノード電極8間を絶縁し放電空間を確保するための絶縁性であるところのもう一つのパイレックスガラス基板5と、カソード電極6と、メッシュ状の開口があるもう一つのカソード電極7と、アノード電極8と、ガス導入口9とを有している。
図2乃至図4で示すように、本発明にかかわる超小型イオン源装置は、マイクロマシニングにより作製するので、シリコン基板を用いて多数を同時に作製することができ、安価で信頼性にも優れたものとなる。
4,5 パイレックスガラス基板
6,7 カソード電極
8 アノード電極
9 ガス導入口
10 直流電源
11 酸化シリコン膜
12 レジスト
Claims (4)
- 低気圧にてプラズマ放電を発生する一組のアノード電極およびカソード電極からなるプラズマ発生用電極を有する、イオン加工用の超小型イオン源であって、
どちらかまたは両方にイオン引き出し用のメッシュ状の孔をシリコン基板上に有している、対向する二つのカソード電極と、
各カソード電極の中間部に配置され、中心部に開口があるシリコン基板を有するアノード電極と、
各カソード電極とアノード電極間を絶縁する絶縁基板とを、
有することを特徴とする超小型イオン源装置。 - 各カソード電極は、シリコン基板にイオン引き出し用のメッシュ状の穴をシリコンエッチングにより形成し、しかる後に導電性金属薄膜をその表面に形成して形成され、
前記アノード電極は、各カソード電極の中間部にシリコン基板のエッチングにより孔を形成し、その周辺に導電性薄膜を形成することにより形成されていることを、
特徴とする請求項1記載の超小型イオン源装置。 - 請求項1または2記載の超小型イオン源装置をシリコン基板上に同時に多数形成して、各超小型イオン源装置の電極間電圧、ガス供給手段により各超小型イオン源装置に供給する放電電圧、ガス種、ガス圧をそれぞれ独立に制御することを、特徴とする集積型超小型イオン源装置。
- 前記ガス供給手段が水素ガス、希ガス、ハロゲンガス、酸素ガス、窒素ガス、あるいはハロゲン含有ガスの少なくとも一種類のガスを供給することを、特徴とする請求項3記載の集積型超小型イオン源装置。
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2007
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