JP2009066047A - 電磁スローリーク弁 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明では、従来と同様なムービングコイル型の電磁コイル部であるが、その電磁コイルの巻き数を気体流入口から近いほど少なくして、電磁コイルの巻き数に変化を加えたことで、可動軸が移動して気体流入口に近づくほど、その電磁力が強くなるような構成を達成し、完全遮蔽と微細な気体は行き制御の両方を効率良く満たすことを可能にした。
【選択図】図1
Description
本発明は、簡単な構成でありながら、完全遮蔽と微細な気体排気制御を可能にすることを目的とする。
電磁コイルは、永久磁石により発生する磁束と、電磁コイルに流れる電流と、磁束を受ける電磁コイルの長さとで決まる電磁力により可動部材を駆動し、電磁力は可動部材が移動することにより変化することを特徴とする。
すなわち、電磁力を発生させる電磁コイルの巻き数を気体流入口に近いほど少なくすることで、初期の状態では、電磁コイルの有効長さが短く、電磁力が弱くなるため、微細な気体排気制御が可能となり、逆に可動部材が移動して気体流入口へ近づくと、電磁コイルの有効長さが長くなり、完全遮蔽に必要な強い電磁力が発生する。このため、圧縮気体を漏らさないための完全遮蔽と、微細な気体排気制御を行うことが可能となる。
本発明の全体構成について、図1を用いて説明する。図1は、電磁スローリーク弁20の断面図を示している。図1の内管21は、その一方をチューブなどで繋がれて、チューブなどから送りこまれる気体を気体流入口22へと導く内管である。気体流入口22は、内管21を通って送りこまれる気体を、本体ケース24内へ導く流入口であり、一方が先端状に突起した構造となっている。これは、弾性部材であるオリフィスパッキン23が圧接される際に、気体が漏れないように、オリフィスパッキン23が食い込むようにするためである。この本体ケース24内に導かれた気体は気体流出口27を介して、外部へ排出される。弾性部材であるオリフィスパッキン23は、駆動部材である駆動軸25に接続され、駆動軸25の動きに同調して、気体流入口22の方向へ近づいたり離れたりして、開閉動作をする。また、オリフィスパッキン23は、例えばシリコンなどで形成され、表面には粗しが施されている。粗しとは、シリコンゴムの表面に、極小さな凹凸を形成させたもので、気体の流量を微量にコントロールすることができる。なお、このオリフィスパッキン23をシリコンなどで形成させた場合には、弾力性をもたせることができるため、気体流入口22に圧接される際、変形して食い込む形で駆動することができる。このような場合、気体の漏れを抑えるのに有効な手段となる。
F = Bg×L×I(式1)
Bgは、内ヨーク28と外ヨーク30との間のギャップ部に発生する磁束密度、Lは電磁コイル31の有効長さ、Iは電磁コイル31を流れる電流値を意味している。電磁コイル31の有効長さLは、永久磁石29より生じる磁束を受ける部分の長さであり、電磁コイル31全体の長さではない。式(1)は、電磁コイル31に流れる電流Iの向きと磁束密度Bgの向きが90度で交わる場合に成り立つ式である。図2(b)に示す電磁コイル31の電流Iは、紙面に対して、正面から奥に向かって流れている。このような場合、フレミングの左手の法則により、磁束密度Bg、及び電流Iの向きに垂直方向に電磁力(ローレンツ力)Fが発生する。この電磁力Fによって、電磁コイル31は、気体流入口22方向へ移動し、これによって、コイルホルダー26、駆動軸25、オリフィスパッキン23が移動することになる。オリフィスパッキン23は、移動後、図2(b)に示すように、気体流入口22を圧接し、気体の漏れを遮断する。
同時に電磁力Fも増える。図3(b)は、電磁コイル31の巻き数が2層の2回巻きで2倍になった状態を示している。このときの電磁力Fを電磁力F2とすると、F1の値よりもF2の方が2倍に大きくなったことになる。よって、流す電流は、小さい状態でも、電磁コイル31の位置が変化することで、巻き数が増加して、電磁力が大きくなる。加えて、巻き数を気体流入口22から近いほど少なくなっているため、気体流入口22へ移動するほど、電磁コイル31の有効長さが増すこととなり、結果的に完全遮蔽の力が強くなる。このような、構成によって完全遮蔽を満たすとともに、少ない電流で微細な気体排気制御が可能となる。
22 気体流入口
23 オリフィスパッキン
27 駆動軸
28 内ヨーク
29 永久磁石
30 外ヨーク
31 電磁コイル
Claims (3)
- 圧縮気体を流入させる気体流入口と、前記圧縮気体を外部へ流出させる気体流出口と、前記気体流入口に押し当てられる弾性部材と、該弾性部材を前記気体流入口へ移動させる可動部材と、該可動部材を前記気体流入口へ移動させるための電磁コイルおよび永久磁石と、該永久磁石から発生する磁束を前記電磁コイルへ導くヨークとを有し、前記可動部材の移動により前記気体流入口を開閉させて気体流量を制御する電磁スローリーク弁であって、
前記電磁コイルは、前記永久磁石により発生する磁束と、前記電磁コイルに流れる電流と、前記磁束を受ける前記電磁コイルの長さとで決まる電磁力により前記可動部材を駆動し、前記電磁力は前記可動部材が移動することにより変化する電磁スローリーク弁。 - 前記電磁力は、前記気体流入口に近づくにしたがって強くなることを特徴とする請求項1に記載の電磁スローリーク弁。
- 前記電磁コイルは、前記気体流入口に近づくにしたがってコイル巻き数が減少することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電磁スローリーク弁。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2007
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