JP2009061575A - 非接触型アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【課題】駆動電圧が低く、長寿命な非接触型アクチュエータを提供する。
【解決手段】基板10上に配置され、板30とブッシング31とを具備する非接触型アクチュエータに関する。電圧が外部から印加されると、板30は基板10の吸着によって曲げられるが基板と接触はしない。板30が基板の静電力と対抗する際に反力が生じる。電圧が解除されると、この反力と板が曲がった状態から当初の状態に回復する際に生じる弾性張力によって板とブッシングの跳ね動作を生じ、アクチュエータのステップ動作をもたらす。板と基板間に摩擦はないことから比較的小さな電圧駆動できる、したがって消費電力も最小で済むので、消費電流と装置の表面損傷を低減でき、長寿命化を図ることができる。
【選択図】図3
【解決手段】基板10上に配置され、板30とブッシング31とを具備する非接触型アクチュエータに関する。電圧が外部から印加されると、板30は基板10の吸着によって曲げられるが基板と接触はしない。板30が基板の静電力と対抗する際に反力が生じる。電圧が解除されると、この反力と板が曲がった状態から当初の状態に回復する際に生じる弾性張力によって板とブッシングの跳ね動作を生じ、アクチュエータのステップ動作をもたらす。板と基板間に摩擦はないことから比較的小さな電圧駆動できる、したがって消費電力も最小で済むので、消費電流と装置の表面損傷を低減でき、長寿命化を図ることができる。
【選択図】図3
Description
本発明は、非接触アクチュエータ、特に、板が基板に吸着される際、板へ曲げ剛性を付与することによって板が基板に接触するのを防止し、摩擦抵抗を低減し、駆動電圧を低減し、且つ、装置の表面損傷を低減することによって、長寿命化を図ることができる非接触型アクチュエータに関する。
微小ファン構造は自己組織化技術により製造される微小ファン羽根と、ロータとして微小アクチュエータを用いる微小モータとを具備し、微小アクチュエータの駆動概念を図1に示す。
微小アクチュエータ構造は、通常はシリコン基板からなりかつシリコン基板の表面に約0.6mmの膜厚を有する窒化シリコン絶縁膜を設けた基板10と、基板10上に設けられ板20とブッシング21とを有するアクチュエータとを具備する。上記微小アクチュエータ構造において、板20は基板10に対して並行であり、且つ、ブッシング21は板20の先端に、図1(a)に示すように基板10に対して直交するように連結されている。
板20とブッシング21によって容量構造が形成されると、静電力が板10に生じる。従って、正のバイアス電圧が外部から板20に印加されると、板20は静電力によって基板10に吸着され、板20の後端は図1(b)に示すように、基板10に接触する。
正のバイアス電圧が上昇して始動電圧に達すると、板20の後端と基板10間の摩擦はブッシング21と基板10間の摩擦より小さいので、板20が折り曲げられ、板20の後端と基板10間に大面積の接触を生じ、板20は図1(c)に示すように弾性張力を保持する。
印加電圧が解除されると、板20の後端と基板10間の摩擦がブッシング21と基板10間の摩擦より大きくなる。その結果、保持した弾性張力が瞬間的に解除されるので、アクチュエータは、図1(d)に示すように作動しかつ変位する。
負のバイアス電圧がさらに印加されると、板20はさらに基板10によって吸着され、上記した運動を繰り返す。従って、板20は連続して基板10上で駆動される。
このようなアクチュエータの動作工程において、アクチュエータと基板10との間には2つの接触面が存在する。即ち、板20の後端と基板10間の接触面と、ブッシング21と基板10間の接触面である。アクチュエータに弾性張力を付与するための条件は、アクチュエータと基板10間に印加される正の(或いは負の)電圧が、ブッシング21と基板10間の摩擦を、板20の後端と基板10間の摩擦より大きくするために、十分大きい値でなければならないということである。しかし、そのような条件では、高駆動電圧、高電力消費、及び、装置の表面損傷といった問題点が不可避的に生じる。
本発明は上記した事態に鑑みなされたものであり、本発明は、駆動電圧を低減し、消費電力と装置の表面損傷を低減し、長寿命化を図ることができる非接触型アクチュエータを提供することを目的とする。
非接触型アクチュエータは基板上に配置され、少なくとも板とブッシングとを具備する。
正の(負の)バイアス電圧がアクチュエータと基板間に外部から印加されると、静電力によって生じる基板の吸着によって板が曲げられるが、板は、基板と接触しない。従って、アクチュエータは、ブッシングと基板間に1つの接触面を有するのみであり、板と基板間の接触による摩擦を生じない。本発明は、板が曲がった状態から当初の状態まで回復する際、静電力に対抗するため板自体によって生じる反力と弾性張力とから生じる跳ね動作を行うために、比較的低い電圧しか必要とせず、且つ、最小の電流しか消費しない。
本発明の目的、特徴及び効果の理解をより高めるために、本発明の好ましい実施例を、図面を参照して、詳細に列挙して説明する。
図2を参照して説明すると、アクチュエータは基板10上に配置され、板30と、ブッシング31と、少なくとも2つの支持ビーム32と、少なくとも2つの摺動座部33と、少なくとも2つのレール34とを具備する。
少なくとも2つのレール34は基板10上に配置され、且つ、2つの平行な直線から成るパターンや、2つの同心円からなるパターンのように、等間隔を開けた直線状パターン、又は、曲線状パターンに形成されている。
少なくとも2つの摺動座部33が上記下2つのレール34に沿って設けられており、これらの摺動座部33間に支持ビーム32が架設されている。少なくとも2つの支持ビーム32が板30に連結されており、支持ビーム32と摺動座部33及び板30のそれぞれとが交差する角部は面取りされている。
さらに図3を参照して説明すると、板30は基板10と並行に配置されており、ブッシング31が板30の先端に連結され、且つ、図3(a)に示すように、基板10に対して垂直となっている。
外部から正のバイアス電圧が印加されると、板30の後端が静電力によって生じる基板の吸着によって曲げられるが、図3(b)に示すように、板30の後端は基板10と接触しない。
正のバイアス電圧が上昇し始動電圧に達すると、ブッシング31と基板10は1つの接触面のみで接触するので、図3(c)に示すように、板30に静電気に対抗するための反力と弾性張力を生じさせるためには、比較的小さな電圧でよく、且つ、消費電力も最小でよい。
印加電圧が解除されると、板30が曲げられた状態から当初の状態まで復元する際に板30に保有される反力及び弾性張力は瞬時に解放される。この反発力によって板30とブッシング31が跳躍し、図3(d)に示すようなアクチュエータのステップ動作を生じる。
更に、負のバイアス電圧が同様に印加されると、板30は基板10によって吸着され、上記した動作を繰り返す。板30は基板10と接触しないので、基板10上で連続動作を行うことができる。
正の(負の)バイアス電圧が印加されると、静電力による効果によって板30は基板10によって吸着されるが、基板10には接触しない。従って、静電圧に対抗するために、板30に反力及び弾性張力を生じるためには、比較的小さな電圧でよく、且つ、電流も最小でよい。印加電圧が解除されると、板30が保有する弾性張力の反発力によって、跳ね動作を行い、アクチュエータのステップ動作を生じる。
要約すると、本発明は上記した効果を確実に奏する。上記した本発明の特徴は、同様な製品に対して、新規性及び進歩性を有するのみならず、産業上の利用性を有する。
本発明を、現時点において最も実際的で、且つ、好ましい実施例を参照して説明してきたが、本発明は上記した実施例に何ら限定されるものでないことは言うまでもない。逆に、本発明は、添付の特許請求範囲に記載の発明の要旨及び範囲内において各種の変形例と変容例が考えられるものであり、本発明はそのような変形例と変容例とを包含するように広義に解釈されるものである。
10 基板
30 板
31 ブッシング
32 支持ビーム
33 摺動座部
34 レール
30 板
31 ブッシング
32 支持ビーム
33 摺動座部
34 レール
Claims (4)
- 基板上に配置され、且つ、板とブッシングとを具備する非接触型アクチュエータであって、外部から正或いは負の力を前記アクチュエータと前記基板間に印加した際、前記板の後端が前記基板の吸着によって折り曲げられるが、前記板は、前記基板と接触しないように形成され、且つ、前記力を解放することによって前記板が曲がった状態から当初の状態に回復する際に生じる反発力によって、前記アクチュエータはステップ動作を行うことを特徴とする非接触型アクチュエータ。
- 少なくとも2つのレールが基板上に配置され、各レールに沿って摺動座部が配置され、かつ、各摺動座部から支持ビームが伸延し、同支持ビームが前記板に連結されることを特徴とする請求項1記載の非接触型アクチュエータ。
- 前記2つのレールは、等間隔を開けた直線状パターン、又は、曲線状パターンの一つから選択されたものであることを特徴とする請求項2記載の非接触型アクチュエータ。
- 前記支持ビームと、前記摺動座部と前記板との各交差部に形成される角部は面取りされていることを特徴とする請求項2記載の非接触型アクチュエータ。
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