JP2002289081A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2002289081A5 JP2002289081A5 JP2001089900A JP2001089900A JP2002289081A5 JP 2002289081 A5 JP2002289081 A5 JP 2002289081A5 JP 2001089900 A JP2001089900 A JP 2001089900A JP 2001089900 A JP2001089900 A JP 2001089900A JP 2002289081 A5 JP2002289081 A5 JP 2002289081A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- convex portion
- electrode
- electric field
- suppressed
- concentrated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Description
【００１７】
ところで、前記凸部１７は、他の部分（可動電極１２）に比べて対向する固定電極４に接近している。このため、静電引力が大きくなって電界が集中する。そして、周囲に有機物等の異物が存在すれば、この異物は電界の集中する凸部１７に引き寄せられて付着する。この場合、凸部１７の高さが変化して動作特性が不安定となる恐れがある。このため、図２に示すように、凸部１７に対向する部分には固定電極４を除去した非電極部１８が形成されている。但し、前記凸部１７を絶縁物、例えば酸化膜で形成すれば、発生する静電引力が抑制されるので、前記非電極部１８は必ずしも必要ではない。また、前記凸部１７を、例えば半円柱状に形成すれば、電界集中を抑制でき、異物を引き寄せにくい構造とすることができる。
ところで、前記凸部１７は、他の部分（可動電極１２）に比べて対向する固定電極４に接近している。このため、静電引力が大きくなって電界が集中する。そして、周囲に有機物等の異物が存在すれば、この異物は電界の集中する凸部１７に引き寄せられて付着する。この場合、凸部１７の高さが変化して動作特性が不安定となる恐れがある。このため、図２に示すように、凸部１７に対向する部分には固定電極４を除去した非電極部１８が形成されている。但し、前記凸部１７を絶縁物、例えば酸化膜で形成すれば、発生する静電引力が抑制されるので、前記非電極部１８は必ずしも必要ではない。また、前記凸部１７を、例えば半円柱状に形成すれば、電界集中を抑制でき、異物を引き寄せにくい構造とすることができる。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001089900A JP3651404B2 (ja) | 2001-03-27 | 2001-03-27 | 静電マイクロリレー、並びに、該静電マイクロリレーを利用した無線装置及び計測装置 |
| TW091105215A TW550616B (en) | 2001-03-27 | 2002-03-19 | Electrostatic micro-relay, radio device and measuring device using the electrostatic micro-relay, and contact switching method |
| KR10-2002-0015990A KR100455949B1 (ko) | 2001-03-27 | 2002-03-25 | 정전 마이크로 릴레이, 그 정전 마이크로 릴레이를 이용한무선장치, 계측장치 및 접점 개폐방법 |
| EP02252164.5A EP1246216B1 (en) | 2001-03-27 | 2002-03-26 | Electrostatic micro-relay, radio device and measuring device using the electrostatic micro-relay, and contact switching method |
| CNB021082308A CN1234144C (zh) | 2001-03-27 | 2002-03-27 | 静电微型继电器、无线电器件和测量器件及触点切换方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001089900A JP3651404B2 (ja) | 2001-03-27 | 2001-03-27 | 静電マイクロリレー、並びに、該静電マイクロリレーを利用した無線装置及び計測装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002289081A JP2002289081A (ja) | 2002-10-04 |
| JP2002289081A5 true JP2002289081A5 (ja) | 2005-02-17 |
| JP3651404B2 JP3651404B2 (ja) | 2005-05-25 |
Family
ID=18944757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001089900A Expired - Lifetime JP3651404B2 (ja) | 2001-03-27 | 2001-03-27 | 静電マイクロリレー、並びに、該静電マイクロリレーを利用した無線装置及び計測装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1246216B1 (ja) |
| JP (1) | JP3651404B2 (ja) |
| KR (1) | KR100455949B1 (ja) |
| CN (1) | CN1234144C (ja) |
| TW (1) | TW550616B (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004046019A1 (es) * | 2002-11-19 | 2004-06-03 | Baolab Microsystems S.L. | Relé miniaturizado y sus usos correspondientes |
| DE102004010150B9 (de) * | 2004-02-27 | 2012-01-26 | Eads Deutschland Gmbh | Hochfrequenz-MEMS-Schalter mit gebogenem Schaltelement und Verfahren zu seiner Herstellung |
| JP4540443B2 (ja) | 2004-10-21 | 2010-09-08 | 富士通コンポーネント株式会社 | 静電リレー |
| JP2006147540A (ja) | 2004-10-22 | 2006-06-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気機械スイッチ |
| JP2014130767A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Omron Corp | 静電マイクロリレーおよびその製造方法 |
| KR101595453B1 (ko) | 2014-06-30 | 2016-02-19 | 대한민국 | 보안등의 고정식 차광기구 |
| KR101595456B1 (ko) | 2014-06-30 | 2016-02-19 | 대한민국 | 보안등의 가변식 차광기구 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5278368A (en) * | 1991-06-24 | 1994-01-11 | Matsushita Elec. Works, Ltd | Electrostatic relay |
| US6054659A (en) * | 1998-03-09 | 2000-04-25 | General Motors Corporation | Integrated electrostatically-actuated micromachined all-metal micro-relays |
| JP3852224B2 (ja) * | 1998-10-08 | 2006-11-29 | オムロン株式会社 | 静電マイクロリレー |
| JP3796988B2 (ja) * | 1998-11-26 | 2006-07-12 | オムロン株式会社 | 静電マイクロリレー |
-
2001
- 2001-03-27 JP JP2001089900A patent/JP3651404B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-03-19 TW TW091105215A patent/TW550616B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-03-25 KR KR10-2002-0015990A patent/KR100455949B1/ko active IP Right Grant
- 2002-03-26 EP EP02252164.5A patent/EP1246216B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-27 CN CNB021082308A patent/CN1234144C/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104918194B (zh) | 声响转换器 | |
| JPH0499024A (ja) | 静電吸着方法 | |
| JP2003052163A5 (ja) | ||
| JP2004117832A (ja) | ミラーデバイス、光スイッチ、電子機器およびミラーデバイス駆動方法 | |
| JP2002326197A (ja) | 非線形的復原力のバネを有するｍｅｍｓ素子 | |
| WO2004027832A3 (en) | Bending actuators and sensors constructed from shaped active materials and methods for making the same | |
| JP2002289081A5 (ja) | ||
| JP2011040385A (ja) | スイッチ構造 | |
| KR20160069715A (ko) | 접촉 대전 발전기 및 그 제조 방법 | |
| JP2009050135A (ja) | 微小アクチュエータ | |
| DE60111735D1 (de) | Selbstklebender film für eine anzeige | |
| EP1063658A3 (en) | Magnetic circuit | |
| GB0228421D0 (en) | Lipid carriers | |
| TW201026089A (en) | Assembly structure of planar speaker | |
| DE60226347D1 (de) | Nichtlineare magnetfeldverteilung in vakuumunterbrecherkontakten | |
| KR102195849B1 (ko) | 자기장을 이용하는 에너지 하베스팅 장치 | |
| JP2006253039A5 (ja) | ||
| CN110299263A (zh) | 一种微动开关 | |
| JP6081596B2 (ja) | 美容装置 | |
| JP2004193532A (ja) | 磁気吸着装置 | |
| EP1431985A3 (en) | Magnetic actuator | |
| WO2018100859A1 (ja) | 発電装置 | |
| KR20200095723A (ko) | 자석을 이용하는 에너지 하베스팅 장치 | |
| JP7283064B2 (ja) | マイクロ構造およびマイクロ構造の制御方法 | |
| SE0300991D0 (sv) | Device |