JP2012030333A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. ホルダ部とデバイス部と、を有する構造体であって
   前記デバイス部は、一体的に形成された接着部と弾性部と支持部と、を備え、前記支持部は前記弾性部で前記接着部に対して弾性支持され、
   前記ホルダ部は、当該ホルダ部の周辺部より高い段差部を有し、
   前記接着部は、前記ホルダ部の前記周辺部に固定され、
   前記支持部は、弾性変形した前記弾性部の復元力により前記段差部に当接させられていることを特徴とする構造体。
2. 前記接着部と弾性部と支持部と、は、一体的に平板状の同一部材から形成されていることを特徴とする請求項１に記載の構造体。
3. 前記ホルダ部は複数の前記段差部を有し、前記デバイス部は複数の前記支持部を有し、
   前記複数の段差部は、前記周辺部に対して異なる高さ水準を有し、
   前記複数の支持部は、前記異なる高さ水準の段差部に当接させられていることを特徴とする請求項１または２に記載の構造体。
4. 前記デバイス部は、前記支持部で可動に支持された可動部と前記可動部を駆動するためのアクチュエータ部を有することを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の構造体。
5. 前記デバイス部は、前記支持部で可動に支持されたセンサ部を有することを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の構造体。
6. 基板から、接着部と支持部と弾性部と、を有するデバイス部を作成する工程と、
   当該ホルダ部の周辺部より高い段差部を有するホルダ部を作成する工程と、
   前記段差部と前記支持部とが接触可能になるように、前記デバイス部と前記ホルダ部とを位置調整する工程と、
   前記接着部を前記ホルダの前記周辺部に固定し、弾性変形した前記弾性部の復元力により前記段差部に前記支持部を当接させる工程と、
   を含むことを特徴とする構造体の固定方法。