JP2009054369A - コンパクト放電光源装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 ランプカートリッジ、熱成分除去機構、光量調整、分光機構をそれぞれ着脱自在とし、容易に一体化して組立てることができ、小型且つ運搬、設置が容易な光源装置を提供する。
【解決手段】 光軸が調整されたランプホルダ２１とその放熱板１５、１６とを含むランプカートリッジ部２０、放電ランプ１０の出力光から赤外線領域の熱成分を除去するミラーモジュール部３０、出力する光量をリニアに調整する光量調整機構部４０、任意の波長領域を出力させるためのフィルタを選択できる分光選択機構部５０を放電光入力光路に沿って一体化して組立られていることを特徴とする。
【選択図】 図３

Description

本発明は、コンパクトな高出力のガス放電光源装置に関し、詳しくは水銀ランプ、キセノンランプなどのアーク放電による高輝度光源から効率よく光を取り出せ、且つ高電流に対する放熱板も含めて小型構造とすることができるランプホルダを用い、そのランプホルダをコンパクトで着脱自在とし、また、取出された光の熱成分を除去するフィルタを複数段重ねたミラーモジュールも着脱自在として組立てることが可能な利用効率の高いコンパクト放電光源装置に関する。

従来、放電光源装置は高輝度が得られる半面、装置をコンパクトにすることが難しいという問題があった。以下にその問題点を示す。

まず、ガス放電ランプ自体が大きな容積を必要とした。すなわち、特許文献１、２に記載されているように放電ランプは２極のリード線のガラス球体に製造され、そのガラス中での放電光はガラス球の外側周辺に配設された反射鏡すなわちリフレクタによりその放電光を一方向へ発光させる構成であった。

従って、ランプ放電空間の外側の空間に光を反射鏡により反射させる構成となりコンパクト化に不利である。

この解決のため、そのランプ放電空間の内側の放電空間の放電光を直接反射鏡膜により反射させる構成の放電ランプが公開されている。（非特許文献１参照）

従来の光源装置は、以上のような放電ランプを光源として、さらにその光源の熱成分赤外線波長領域を除去するために多層膜熱成分透過フィルタなどを放電ランプの光軸に合わせて設置する必要があった。

又、光源装置としては、その出力光を所定の光量に調整する機構、及びその出力光を所定の波長範囲に分光する機能などをそれぞれ光路上に設ける必要があった。

熱成分除去フィルタ部と光源ランプにこれらの機能を加えて組込んだ光源装置は大型となりコスト高であった。さらに、光源装置の光路を定めて各部分を組込む調整作業は容易ではなく調整時間が長くかかる問題があった。

特開２００５−３０２６８２号公報（第２頁、第１図） 特開２００７−６５５０７号公報（第２頁、第３図、図４） ＣＥＲＭＡＸ ＸＥＮＯＮ ＡＲＣ ＬＡＭＰＳ （ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ社の登録商標）（ｗｗｗ．ｐｅｒｋｉｎｅｌｍｅｒ．ｃｏｍ／ｏｐｔｏ）

前述した問題に鑑み、本発明のコンパクト放電光源装置は、以下の構成要素を組立基板ベースにそれぞれ受入機構を設け、それぞれ着脱自在とし、容易に一体化して組立てることができ、小型且つ運搬、設置が容易な光源装置を提供する。

（１）ランプカートリッジ構成要素
ガス放電空間内に反射鏡となる蒸着膜を形成した小型構造の高出力放電ランプを採用し、コンパクトなランプホルダに、その小型ランプ光軸を所定位置に治具を用いて水平に調整して固定可能とするランプホルダと、そのランプホルダに設けた放熱板を介して電極と供給電力端子を接続する電源コネクタとからなるランプカートリッジ部。

（２）ミラーモジュール構成要素
入力光の赤外線波長領域を透過し、その波長より短い波長領域を反射する多層膜熱成分透過フィルタのミラー面を複数段組合わせて配置したフィルタ部と、また透過した熱成分波長を吸収する光トラップと、さらに反射光の光束の発散を防止するための凹面鏡などからなるミラーモジュール部。

（３）光量調節機能の構成要素
光束を変化させない状態で、光量を連続的に変える構造であり、透明な円板の外周線上に沿って、光が透過する透過率をリニアに変化するようにクロムを厚みを変えて蒸着させ、その円板をモータなどで回転させる機構で、前記ミラーモジュール部からの光出力の出口窓と前記円板の外周縁面を対向させ、円板を回転させればその外周縁面が移動し、光出力は光束を変化させずにリニアに変化させる構造を有する光量調整機構部。

（４）分光機能の構成要素
ミラーモジュール部の光出力を入力するか、或いは光量調節機構部の光出力を入力するかして、その熱除去された冷波長領域の光のうち必要な波長範囲の光を光学干渉膜フィルタを用いて分光するもので、そのために、円板の外周周縁上に等間隔に配置し、その円板を回転して所定のフィルタ膜板を選択できる構造の分光選択機構部。

以上の構成要素（１）、（２）、（３）、（４）をそれぞれ着脱自在に一体化して容易に光路が一致し、組立てに時間がかからず低コストの装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するため本発明のコンパクト放電光源装置は、放電ガス空間内の光を反射させる回転曲面状の反射鏡膜を内周側に形成させ外周側は円筒形状とした絶縁部材からなるリフレクタと、そのリフレクタの円筒外周上の両端に位置し、それぞれ前記空間内の陰極、陽極に接続され前記リフレクタを取巻く円環状の陰極端子、陽極端子と、前記空間外部へ反射光を透過出力させるため、前記リフレクタ円周上で気密封止して接続した誘電体窓と、高電流のアーク放電空間における熱を放散させるため前記陰極端子、陽極端子にそれぞれ複数の放射状羽を接続した構造の２組の放熱板と、からなるコンパクトで高出力の放電ランプと、
前記反射鏡膜の光軸方向を水平にして所定位置に前記放電ランプ及び放熱板を調整固定できる絶縁性のランプホルダと、前記２組の放熱板の下側に接続されたマルチコンタクトバンド構造の着脱自在な電源コネクタ端子と、からなるランプカートリッジ部と、
その放電ランプ光源の赤外線波長領域を透過し、赤外線波長より短い波長領域を反射する多層膜熱成分透過フィルタのミラー面を対向させて、ランプ光源からの入力光が一方のフィルタから反射して、他方のフィルタへ入射するステップ一段の状態を順次交互にｎ（ｎは１以上の整数）段繰返せるように各段フィルタへの入射光角度を同一角度になる平行配列にした２枚組の対フィルタ部と、それら対フィルタ部の外側に位置して熱成分光を入射吸収する凹凸部を有する２個の光トラップ部と、から少なくともなるミラーモジュール部と、
着脱自在にそれぞれ所定位置に組込むと共にコネクタ端子受口を備えたランプカートリッジ部受入機構と、ミラーモジュール部受入機構とを設けた組立基板ベース部と、からなることを特徴とする。

また、前記ミラーモジュール部は、さらに前記対フィルタ部への第１段の入力光路及び最終段の出力光路からの光束の発散を防止し伝搬時の光量損失を少なくするため、前記第１段及び最終段の多層膜熱成分透過フィルタのミラー面を凹面鏡とすることを（それぞれの光路入力フィルタ面に設けた光集束用の凹面鏡部を備える）ことを特徴とする。

また、前記ミラーモジュール部からの熱成分が除去された光出力を入力し、光束を変化させずにその光の透過率をリニアに変化させて出力するため、透明円板周辺部に沿ってクロムの厚みを変えて蒸着した回転円板を設け、円周方向角度と光透過率の関係が所定の角度でリニアになるような光量調節機構部を前記ミラーモジュール部の出力側に備えることを特徴とする。

また、前記ミラーモジュール部からの熱成分が除去された光出力を入力し、その光に所定の分光を行うため、各種の光学干渉膜フィルタ板を円板周辺上に等間隔に配設し、円周方向に回転して所定のフィルタ膜板を選択できる分光選択機構部を前記ミラーモジュール部の出力側に備えることを特徴とする。

また、 前記放電ランプは水銀ランプ、水銀キセノンランプ、メタルハイドランプ或いはキセノンランプであることを特徴とする。

本発明は、光軸が調整されたランプホルダとその放熱板とを含めたランプカートリッジ部、熱除去用ミラーモジュール部、光量調節用の回転円板型フィルタ部、分光波長を選択する回転式分光部などを放電光入力光路に沿って一体化して組立てられた光源装置であり、コンパクト化と低コスト化を容易に図ることができる。

特に、ミラーモジュール部の光路には、多層膜熱成分透過フィルタのミラー面を凹面鏡を設け（集光用凹鏡レンズを設け）光束の発散を防ぐ構造として光量ロスを少なくした光源装置とする。また、この光源装置は、ミラーモジュール部を備えることにより出力光の熱成分を充分に小さくすることができるので、熱を嫌う試料面への光照射が可能となる。

ランプカートリッジ部は装置基板ベース部の受入（取付）機構に対して着脱自在な構造であるのでランプ寿命による交換が簡単で時間を要しない。また、ランプ交換後の光軸のズレを防ぎ出力性能の劣化をさせることがない。更に、ランプ破損、接触不良、短絡などの事故がなくなるか少なくなる。

ミラーモジュール部も、装置基板ベース部の受入（取付）機構に対して着脱自在な構造であるので交換に手間がかからない。また、放電ガス光源の種類による使用波長に応じて効率のよい熱除去を行うことができる。さらに、光トラップを備えることにより熱成分の放散、除去を効率よく行うことができる。

以下、本発明のコンパクト放電光源装置の実施例について図面に基づき詳細に説明する。

図１は、コンパクト放電光源装置の構造を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。図２は、図１に示すコンパクト放電光源装置から着脱自在なランプカートリッジ部とミラーモジュール部を取外した組立基板ベース部を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。図３は、コンパクト放電光源装置の各機構部のみを示した正面図である。図７は、図２に示す組立基板ベース部の展開図である。

本発明のコンパクト放電光源装置は、図２に示す組立基板ベース部６０上に着脱自在に搭載されたランプカートリッジ部２０と、ミラーモジュール部３０と、光量調整機構部４０と、分光選択機構部５０と、光源出力端部９０とから構成されている。以下、本発明のコンパクト放電光源装置の各構成について説明する。

ランプカートリッジ部２０については、図１（ａ）の右端および図３に正面図が、図１（ｂ）に正面図が、図１（ｃ）にランプカートリッジ部を後ろから見た側面図を示す。また、図５には、ランプカートリッジ部の展開図を示す。

さらに、ランプカートリッジ部２０に装着される放電ランプ１０については、図９放電ランプの構造を示す断面図で詳細に説明する。なお、図９に示す放電ランプ１０の構造は非特許文献１に公知のものである。

まず、ランプカートリッジ部２０に装着される小型構造の放電ランプ１０の構造を説明する。

１はキセノンガスが封入されたガス放電空間、２は陽極、３は陰極、１１は絶縁体或いは非導電体のプラスチックまたはセラミック或いは結晶化ガラスから製造され外周側は円筒形状、内周側は回転曲面或いは回転方物面形状のリフレクタである。このリフレクタ１１の内周側に沿って反射鏡膜１１ａが蒸着されている。

リフレクタ１１の外周側前後にはそれぞれ電極の端子となる金属円環状の陽極端子１２、陰極端子１３が巻かれ、陽極端子１２の内側には陽極２を支持して固定する導電性の金属部品の陽極支持導電部１７が設けられ、陰極端子１３の内側には陰極３を支持して固定する導電性の金属部品の陰極支持導電部１８が設けられている。

陰極支持導電部１８は、中心の陰極３の支持部から１２０度間隔で放射状に伸びる導電部とし電極の放電光を透過させる形状とされている。陽極支持導電部１７にはガス封入排気管１９を備える。

１４は放電空間内で発生した光の反射鏡膜１１ａによる反射光をランプの外側に透過させる誘電体窓である。誘電体窓１４はサファイヤまたは結晶化ガラスまたはセラミックなど高出力光に耐えられるものを用いる。

リフレクタ１１はその前後で誘電体窓１４及び陽極支持導電部１７によりキセノン、水銀、水銀キセノンなどのガスが気密封止されている。放電ランプ１０はこれらの封入ガス中のアーク放電により高輝度の発光が得られる。

図１、３、５を参照してランプカートリッジ部２０の構造を説明する。放電ランプ１０の円環状の陽極端子１２及び陰極端子１３の外周にはさらにそれぞれ放熱板１５、１６が設けられる。放熱板１５、１６は複数枚の放射状の羽（図５展開図参照）の形状をしており、大電流が流されて発熱する放電ランプ１０の熱を放散させる。

ランプカートリッジ部２０は、その中心にあるランプホルダ２１の円筒空洞に放電ランプ１０の光軸方向を水平にして収納する。つまり放電ランプ１０の反射鏡膜１１ａの焦点から出る光の反射方向である光束の光軸方向を水平にして収納する。

尚、収納する前に放電ランプ１０の外側の円環状の陽極端子１２、陰極端子１３に巻き付けた放熱板１５、１６は治具により水平にしてその間の調整ネジ２２により固定してからランプカートリッジ部２０のランプホルダ２１の円筒空洞に挿入し収納する。（図５参照）

ランプホルダ２１は熱伝導度の高い絶縁性のセラミック、結晶化ガラスなどがよい。または、ランプホルダ２１を熱に強いプラスチックとし、放熱板１５、１６と直接接触する組み合わせとしてコストを下げてもよい。

いずれにしても、放熱板１５、１６はそれぞれランプホルダ２１の下側に向けて電源コネクタ２５、２６が接続される。（図５参照）

ランプカートリッジ部２０はその把手２０ａを持って、図２、図７に示す組立基板ベース部６０の右側の挿入空間にあるランプカートリッジ部受入機構にワンタッチで所定位置に挿入し、或いは取出しをすることができる。

ランプカートリッジ部受入機構は、ランプカートリッジ取付側板６１、６２と、円孔板６５からなり、ランプカートリッジ取付側板６１、６２に沿ってガイドされランプカートリッジ部２０が挿入され上蓋２０ｂにより所定の位置に止まり水平度の調整がなされる。このためランプカートリッジ部の取替えは容易に行える。尚、図３に示す２９は円孔板後蓋である。

６０ａは電源コネクタ２５、２６の受口の電源ソケットである。電源ソケット６０ａは軸方向を固定しないフレキシブルなソケットであり、また、電源コネクタ２５、２６はマルチバンド型であり大電流に対応し、接触不良の故障が少ないものを用いる。この構成によりランプカートリッジ部２０の着脱自在が高い信頼性の基で実現することができる。

次に、ミラーモジュール部３０について説明する。図４は、ミラーモジュール部を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。また、図６はミラーモジュール部の展開図である。図１、図３はコンパクト放電光源装置として搭載された状態を示す。

ミラーモジュール部３０は放電ランプ１０から放射された光を入力し、その光の熱成分波長を除去し、試料の調査に必要な冷たい波長の光のみにする機構である。

ミラーモジュール部３０は、放電ランプ１０から放射された光の赤外線波長領域を透過し、その波長より短い波長領域を反射する多層膜熱成分透過フィルタ３１、３２を用いる。

その多層膜熱成分透過フィルタ３１、３２のミラー面を対向させて、一方のフィルタから反射した光を他方のフィルタへ入射するステップ１段を順次交互にｎ（ｎは１以上の整数）段繰り返せるように、各段の多層膜熱成分透過フィルタ３１、３２への入射角度をすべて同一角度になる平行配列にした２枚組の対フィルタ部３３と、それら対フィルタ部３３の外側に位置して外側に透過した熱成分光を吸収する凹凸部を有する２個の光トラップ部３４とから構成される。（図３、図４、図６参照）

ミラーモジュール部３０は、その把手３０ａを持って、組立基板ベース部６０の左側の挿入空間であるミラーモジュール部受入機構（図２、図７参照）によりワンタッチで所定位置に挿入或いは取出しすることができる。これにより対フィルタ部３３の取替え、修理を容易に行なうことができる。

ミラーモジュール部受入機構は、ミラーモジュール取付側板６３、６４からなる。ミラーモジュール部３０はミラーモジュール取付側板６３、６４に沿ってガイドされて挿入され、上蓋３０ｂにより所定の位置に止まり固定される。

対フィルタ部３３は、左右の対フィルタ側面取付板３６、３６、入力光路側の円孔板前蓋３９などにより所定の傾斜を付けて組み立てられる。（図６参照）

なお、多層膜熱成分透過フィルタ３１、３２への入力光は、入射角度を４５度より小さくして、偏光分離とリップルを少なくし、分光特性による光量のロスを少なくしている。

多層膜熱成分透過フィルタ３１、３２は通常は平面反射鏡を用いるが、光路が長くなると次第に光束が発散し、光量ロスが多くなるので所定の位置の多層膜熱成分透過フィルタを光集束用に凹面反射鏡とする。この実施の形態では光入力の第１段目と、光出力の最終段目に多層膜熱成分透過フィルタ（凹面反射鏡）３２を配置して伝搬による光量ロスを少なくしている。

３４は光トラップ部で、対フィルタ部３３の前後の外側に１個ずつ設置し、 多層膜熱成分透過フィルタ３１、３２を透過した赤外線波長領域の光を吸収させる。

光トラップ部３４は、凹凸形状で、入力された赤外線波長領域の光は凹部出た多数回反射されて吸収される構造としている。（図６参照）

なお、光シャッター６０ｂは、ミラーモジュール部３０からの光出力のＯＮ／ＯＦＦを行ない、試料の分析の際に光出力を制御する機構である。（図３参照）

図８は光量調節機構用回転円板を示す図である。光量調整機構部４０（図１、図２、図７参照）は、モータに接続した円板回転ギア４５により制御されて回転する回転円板４０ａを備え、光路上の光量をリニアに変化させる機構である。回転円板４０ａは、透明円板周辺部４１に次第に厚みを増加させたクロム蒸着層４１ａを形成し、回転角度により光透過率を変化させるものである。

図８の回転円板４０ａの実施例では、最初の９０度は蒸着層なしで光透過率１００％とし、９０度から３２０度の間はグラフに示すように透過率がリニアに低下し、数％まで低下するように蒸着層を形成したものである。

分光選択機構部５０（図１、図２、図３、図７参照）は、円板回転ギア５５により回転する分光フィルタ取付円板５１の外周に沿って等間隔で配置された複数の光学干渉膜フィルタ板５１ａからなる。図７に示す光学干渉膜フィルタ板５１ａは円板の実施例であるが円板に限るものではない。

分光選択機構部５０により、所望の波長領域の光を選択して出力させることができる。なお、光学干渉膜フィルタ板５１ａの交換、或いは分光フィルタ取付円板５１の交換により容易に目的の波長領域またはその組み合わせの光を取出せる。

図７において、９０は、集光レンズ９０ａを備える光源出力端部を示し、９０ｂは電源部である。また、６０ｃはスペーサ、６０ｅは側部アングル、６０ｄは下部アングルである。

組立基板ベース部６０（図２及び図７参照）には、ランプカートリッジ部２０、ミラーモジュール部３０、光量調節機構部４０、分光選択機構部５０、光源出力端部９０をそれぞれ着脱自在に装着することができる。

以上の構成により、放電ランプの効率よい熱放散が可能で、高い光量の光源装置とすることが可能であり、又、赤外線領域の効率の良い除去、任意の光量への調整、任意の波長領域の出力がコンパクトな装置として一体化されているため、各種測定装置への光源として利用することができる。

また、ランプなどの部品交換が容易で、取替えに際して光軸のズレや、電源接触不良などの事故が起きない信頼性の高い構造を実現することができる。

コンパクト放電光源装置の構造を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。 コンパクト放電光源装置の組立基板ベース部を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。 コンパクト放電光源装置の各機構部のみを示した正面図である。 ミラーモジュール部を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。 ランプカートリッジ部の展開図である。 ミラーモジュール部の展開図である。 図２に示す組立基板ベース部の展開図である。 光量調整機構用回転円板を示す図及び透過率グラフである。 放電ランプの構造を示す断面図である。

符号の説明

１ ガス放電空間
２ 陽極
３ 陰極
１０ 放電ランプ
１１ リフレクタ
１１ａ 反射鏡膜
１２ 陽極端子
１３ 陰極端子
１４ 誘電体窓
１５ 放熱板
１６ 放熱板
１７ 陽極支持導電部
１８ 陰極支持導電部
１９ ガス封入排気管
２０ ランプカートリッジ部
２０ａ 把手
２０ｂ 上蓋
２１ ランプホルダ
２２ 調整ネジ
２５ 電源コネクタ
２６ 電源コネクタ
２９ 円孔板後蓋
３０ ミラーモジュール部
３０ａ 把手
３０ｂ 上蓋
３１ 多層膜熱成分透過フィルタ（平面反射鏡）
３２ 多層膜熱成分透過フィルタ（凹面反射鏡）
３３ 対フィルタ部
３４ 光トラップ部
３６ 対フィルタ側面取付板
３９ 円孔板前蓋
４０ 光量調整機構部
４０ａ 回転円板
４１ 透明円板周辺部
４１ａ クロム蒸着層
４５ 円板回転ギア
５０ 分光選択機構部
５１ 分光フィルタ取付円板
５１ａ 光学干渉膜フィルタ板
５５ 円板回転ギア
６０ 組立基板ベース部
６０ａ 電源ソケット
６０ｂ 光シャッター
６０ｃ スペーサ
６０ｅ 側部アングル
６０ｄ 下部アングル
６１ ランプカートリッジ取付側板
６２ ランプカートリッジ取付側板
６３ ミラーモジュール取付側板
６４ ミラーモジュール取付側板
６５ 円孔板
９０ 光源出力端部
９０ａ 集光レンズ
９０ｂ 電源部

Claims (5)

1. 放電ガス空間内の光を反射させる回転曲面状の反射鏡膜を内周側に形成させ外周側は円筒形状とした絶縁部材からなるリフレクタと、そのリフレクタの円筒外周上の両端に位置し、それぞれ前記空間内の陰極、陽極に接続され前記リフレクタを取巻く円環状の陰極端子、陽極端子と、前記放電ガス空間外部へ反射光を透過出力させるため、前記リフレクタ円周上で気密封止して接続した誘電体窓と、高電流のアーク放電空間における熱を放散させるため前記陰極端子、陽極端子にそれぞれ複数の放射状羽を接続した構造の２組の放熱板と、からなるコンパクトで高出力の放電ランプと、
   前記反射鏡膜の光軸方向を水平にして所定位置に前記放電ランプ及び放熱板を調整固定できる絶縁性のランプホルダと、前記２組の放熱板の下側に接続されたマルチコンタクトバンド構造の着脱自在な電源コネクタ端子と、からなるランプカートリッジ部と、
   その放電ランプ光源の赤外線波長領域を透過し、赤外線波長より短い波長領域を反射する多層膜熱成分透過フィルタのミラー面を対向させて、ランプ光源からの入力光が一方のフィルタから反射して、他方のフィルタへ入射するステップ一段の状態を順次交互にｎ（ｎは１以上の整数）段繰返せるように各段フィルタへの入射光角度を同一角度になる平行配列にした２枚組の対フィルタ部と、それら対フィルタ部の外側に位置して熱成分光を入射吸収する凹凸部を有する２個の光トラップ部と、から少なくともなるミラーモジュール部と、
   着脱自在にそれぞれ所定位置に組込むと共にコネクタ端子受口を備えたランプカートリッジ部受入機構と、ミラーモジュール部受入機構とを設けた組立基板ベース部と、からなることを特徴とするコンパクト放電光源装置。
2. 前記ミラーモジュール部は、さらに前記対フィルタ部への第１段の入力光路及び最終段の出力光路からの光束の発散を防止し伝搬時の光量損失を少なくするため、前記第１段及び最終段の多層膜熱成分透過フィルタのミラー面を凹面鏡とすることを（それぞれの光路入力フィルタ面に設けた光集束用の凹面鏡部を備える）ことを特徴とする請求項１記載のコンパクト放電光源装置。
3. 前記ミラーモジュール部からの熱成分が除去された光出力を入力し、光束を変化させずにその光の透過率をリニアに変化させて出力するため、透明円板周辺部に沿ってクロムの厚みを変えて蒸着した回転円板を設け、円周方向角度と光透過率の関係が所定の角度でリニアになるような光量調節機構部を前記ミラーモジュール部の出力側に備えることを特徴とする請求項１記載のコンパクト放電光源装置。
4. 前記ミラーモジュール部からの熱成分が除去された光出力を入力し、その光に所定の分光を行うため、各種の光学干渉膜フィルタ板を円板周辺上に等間隔に配設し、円周方向に回転して所定のフィルタ膜板を選択できる分光選択機構部を前記ミラーモジュール部の出力側に備えることを特徴とする請求項１記載のコンパクト放電光源装置。
5. 前記放電ランプは水銀ランプ、水銀キセノンランプ、メタルハイドランプ或いはキセノンランプであることを特徴とする請求項１記載のコンパクト放電光源装置。

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