JP2009052939A - プローブ針と同プローブ針の組み込まれた垂直作動型プローブカード - Google Patents
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Abstract
【課題】不良針の取替えの容易なプローブカードを提供する。
【解決手段】先端が集積回路上の電極チップに対する接触部に形成された直線状のプローブ針2と、プローブ針2を上下方向に移動可能に支持するガイド孔5を備えた下基盤3と、下基盤3の上側に、固定ネジ8により分解可能に取り付けた上基盤11とからなるプローブカード1において、プローブ針2の基端部をその径およびガイド孔5の径よりも大径のヘッド部2bに形成し、ここにリード線が電極板を介して接続され、上基盤11におけるプローブ針2の基端部に対向する部分に板バネ6を設けた点を特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】先端が集積回路上の電極チップに対する接触部に形成された直線状のプローブ針2と、プローブ針2を上下方向に移動可能に支持するガイド孔5を備えた下基盤3と、下基盤3の上側に、固定ネジ8により分解可能に取り付けた上基盤11とからなるプローブカード1において、プローブ針2の基端部をその径およびガイド孔5の径よりも大径のヘッド部2bに形成し、ここにリード線が電極板を介して接続され、上基盤11におけるプローブ針2の基端部に対向する部分に板バネ6を設けた点を特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体集積回路の通電検査のためのプローブカードに組み込まれるプローブ針と同プローブ針が組み込まれたプローブカードに関し、特にプローブ針が測定対象物であるLSIチップの電極に対して垂直に接触する垂直作動型プローブカードとプローブ針に関する。
IC、LSIといった集積回路の通電検査(ウエハーテスト)を行うために使用されるプローブカードは、プリント配線基板に数十本から数百本のプローブ針が配設された構成となっている。そしてこのような構成のプローブカードをプローバ(検査機)に搭載し、半導体集積回路の各電極パッドにプローブ針の先端面を当接させて通電測定することによりテストが行われる。
近年、半導体集積回路の細密化が進んでいる。その結果、半導体被検査対象も狭ピッチ化して、その結果検査治具としてのプローブカードの針配列もより狭ピッチとなってきている。このため、プローブ針が僅かでも曲がると隣接するプローブ針に接触したり、接触部が所定の電極パッドに接触しなくなったりする。したがって、曲がったプローブ針の交換が必要となってくる。
しかしながら、1つのプローブカードには数多くのプローブ針が取り付けられているため、1本のプローブ針の交換は非常に手間がかかる。またプローブ針には所定接触圧の確保を目的として、略U字形状などの弾力変形部が設けられているため、接続部と配線パターンとを接続する半田付けを除去しても簡単にはプローブ針を取り除くことはできない。このため、実際には不良プローブ針のみの交換は非常に困難な作業となっている。
このような不都合な点を解消したものとして、特許文献1に記載のような垂直針型プローブカードが従来提案されている。
これを図2により簡単に説明する。
この垂直針型プローブカード20は、プローブ針21の下方部分21cをICのパッドに垂直にコンタクトさせ、ICからの電気的信号をテスターに伝達させるもので、上方部分21aと下方部分21cと、これらを結ぶ中間部分21bとを有するプローブ針21を備える。上記プローブ針21の上方部分21aは上側ガイド板22を貫通し、上側ガイド板22はプローブ針21の上方部分21aを支持し、また、上側ガイド板22の下には下側ガイド板23が設けられ、プローブ針21の下方部分21cが下側ガイド板23を貫通し、下側ガイド板23はプローブ針21の下方部分21cを支持する。上側ガイド板22上には導電性ゴムシート24が設けられ、導電性ゴムシート24上にプリント配線基板25が設けられている構成となっている。
この垂直針型プローブカード20は、プローブ針21の下方部分21cをICのパッドに垂直にコンタクトさせ、ICからの電気的信号をテスターに伝達させるもので、上方部分21aと下方部分21cと、これらを結ぶ中間部分21bとを有するプローブ針21を備える。上記プローブ針21の上方部分21aは上側ガイド板22を貫通し、上側ガイド板22はプローブ針21の上方部分21aを支持し、また、上側ガイド板22の下には下側ガイド板23が設けられ、プローブ針21の下方部分21cが下側ガイド板23を貫通し、下側ガイド板23はプローブ針21の下方部分21cを支持する。上側ガイド板22上には導電性ゴムシート24が設けられ、導電性ゴムシート24上にプリント配線基板25が設けられている構成となっている。
上側ガイド板22はプローブ針21の回転を防止し、下側ガイド板23はプローブ針21の先端をパッドにコンタクトさせるために、プローブ針の位置決めをする役割を果たす。
プローブ針21の上方部分21aを支持した上方ガイド板22と同プローブ針21の下方部分21cを支持した下側ガイド23は水平方向にずらした構造で、上方ガイド板22と下側ガイド板23をずらすことによってプローブ針21の中間部分21bを湾曲させ、この湾曲部によって必要な針圧を得る構成となっている。
上記プローブ針21は上方部分21aと下方部分21cと、これらを結ぶ中間部分21bとからなり、上方部分21aは、ほぼ90°に折曲がり、導電性ゴムシート24内にできた導通路の一端が接触しやすいようにされた水平部分であるストッパ部分21dを有し、中間部分21cは一定の長さを有しており、上方部分21aおよび下方部分21cよりも若干細めにされている。上記プローブ針21の中間部分21bの断面形状は丸型又は長方形である。
上記構成のプローブカード20における不良プローブ針の交換方法は以下のとおりである。
すなわち、水平方向にずれていた下側ガイド23を元の位置に戻し、上側ガイド板22に設けられていた貫通孔26と下側ガイド板23に設けられていた貫通孔27とを垂直方向に揃える。下側ガイド板23を上に上げ、上側ガイド板22と下側ガイド板23との隙間部分Aをなくし、不良プローブ針(図省略)を抜き取り、新しいプローブ針を挿入する。その後、上側ガイド板22と下側ガイド板23とを、プローブ針の中間部分を露出させるように一定の距離離し、上側ガイド板22と下側ガイド板23を水平方向にずらし、それによってプローブ針の中間部分を湾曲させて不良のプローブ針の交換を完了するというものである。
すなわち、水平方向にずれていた下側ガイド23を元の位置に戻し、上側ガイド板22に設けられていた貫通孔26と下側ガイド板23に設けられていた貫通孔27とを垂直方向に揃える。下側ガイド板23を上に上げ、上側ガイド板22と下側ガイド板23との隙間部分Aをなくし、不良プローブ針(図省略)を抜き取り、新しいプローブ針を挿入する。その後、上側ガイド板22と下側ガイド板23とを、プローブ針の中間部分を露出させるように一定の距離離し、上側ガイド板22と下側ガイド板23を水平方向にずらし、それによってプローブ針の中間部分を湾曲させて不良のプローブ針の交換を完了するというものである。
特許文献1に記載の垂直針型プローブカードは、プローブ針の構造が略U字形状などの弾力変形部を有していない直線形状であるため不良プローブ針の交換が可能である。
しかし、プローブ針の形状が、上方部分と下方部分と、これらを結ぶ中間部分とからなり、上方部分は、ほぼ90°に折曲がり、導電性ゴムシート内にできた導通路の一端が接触しやすいようにされた水平部分であるストッパ部分を有し、中間部分は上方部分および下方部分よりも若干細めにされ、断面形状は丸型又は長方形と非常に複雑で、細径の針をこのような形状に加工するのは非常に難しく、プローブ針の単価が高くなるという課題がある。
しかし、プローブ針の形状が、上方部分と下方部分と、これらを結ぶ中間部分とからなり、上方部分は、ほぼ90°に折曲がり、導電性ゴムシート内にできた導通路の一端が接触しやすいようにされた水平部分であるストッパ部分を有し、中間部分は上方部分および下方部分よりも若干細めにされ、断面形状は丸型又は長方形と非常に複雑で、細径の針をこのような形状に加工するのは非常に難しく、プローブ針の単価が高くなるという課題がある。
しかも、上側ガイド板と下側ガイド板に支持された状態でプローブ針が回転すると隣り合うプローブ針同士が接触してしまうため、上側ガイド板の導電性ゴムシート側には、プローブ針のストッパ部がはまり込む溝を加工しなければならないが、プローブ針は極細で、この極細のプローブ針がはまり込む極細の溝を加工するのは非常に難しく、よってプローブカードの製造コストが高くなるという課題もある。
さらに、上方ガイド板と下側ガイド板をずらすことによってプローブ針の中間部分を湾曲させ、この湾曲部によって必要な針圧を得る構成となっているから、プローブカードに要求される種々の針圧に対応するため、形状の異なる交換用スペア針を多数用意しておく必要があり、プローブ針のストックコストが高くなる。
本発明は、上述の従来技術における上述のような課題を解決しようとするものである。
本発明は、上述の従来技術における上述のような課題を解決しようとするものである。
具体的には、垂直作動型プローブカードに組み込まれるプローブ針であって、同プローブ針はヘッド部と、その下側に一体的に形成され上記ヘッド部よりも小径の針形状部とからなり、上記のヘッド部と針形状部との間に形成された段差部が同プローブ針の落下機能を奏することを特徴とする。
また、半導体検査ウエハー上の集積回路の通電検査のためのプローブカードであって、直線状のプローブ針と、非導電性材料からなり上記プローブ針を上下方向に移動可能に支持するガイド孔を備えた下基盤と、非導電性材料からなり上記下基盤の上側に同下基盤との間に所定間隔を空けて分解可能に取り付けられた上基盤とを備え、上記プローブ針は、先端を被測定物としての上記集積回路上の電極チップに対する接触部に形成し、基端部を同プローブ針の径および上記ガイド孔の径よりも大径のヘッド部に形成し、上記上基盤における上記プローブ針の基端部に対向する部分にバネ性を備えさせるとともに、この箇所にリード線を接触接続したことを特徴とする。
さらに、上記垂直作動型プローブカードにおいて、上記上基盤のバネ性を有する部分を、同上基盤に形成された凹部に弾性材料を電鋳して成形したことを特徴とする。
本発明のプローブ針は、ヘッド部と、その下側に一体的に形成され上記ヘッド部よりも小径の針形状部から成る構成で、プローブ針自体は特有の弾性特性を備えることを要求されていないので、プローブ針の交換に際して針自体の弾性特性を考慮する必要はない。その結果、針の形状を単純化できて針の製作コストの低減化が可能となる。
また、上記のヘッド部と針形状部との間に形成された段差部が同プローブ針の落下機能を奏する構成なので、プローブ針を接着剤で固定するなどの固定手段が不必要となるので、プローブカードの組み立てコストや不良針の交換手数の抑制が可能となる。
また、上記のヘッド部と針形状部との間に形成された段差部が同プローブ針の落下機能を奏する構成なので、プローブ針を接着剤で固定するなどの固定手段が不必要となるので、プローブカードの組み立てコストや不良針の交換手数の抑制が可能となる。
さらに、適正な針圧を得るため、本発明によれば(パターンが同じ場合は)上基盤のバネ性を有する部分のバネ特性を変更するだけでよいので、適正な針圧の設定に簡単に対応することができる。
また、適正な針圧の設定は、上基盤に設けられているバネ部分のバネ特性により行われるため、つまりプローブ針により針圧の設定を行う必要がなくなるので、プローブ針は1本の直線形状のものでよく、その結果不良針の入れ替え時の操作が簡単となるばかりか、交換用スペア針のコストの低減化が可能となり、その結果、プローブ針のストックコストの低減化が可能となる。
さらに、上基盤のバネ性を有する部分を、同上基盤に形成された凹部に弾性材料を電鋳により製作するので、製作コストの低減化が可能となる。
以下、本発明を図1に示す実施形態により具体的に説明する。
図1に示す実施形態にかかるプローブカード1は、タングステンあるいはタングステン系合金を素材とし直線形状に形成されたプローブ針2と、非導電性材料からなりプローブ針2を上下方向に移動可能に支持するガイド孔5を備えた下基盤3と、非導電性材料からなり下基盤3の上側に下基盤3との間に所定間隔を空けて固定ネジ8により取り付けられた上基盤4とを有する。
図1に示す実施形態にかかるプローブカード1は、タングステンあるいはタングステン系合金を素材とし直線形状に形成されたプローブ針2と、非導電性材料からなりプローブ針2を上下方向に移動可能に支持するガイド孔5を備えた下基盤3と、非導電性材料からなり下基盤3の上側に下基盤3との間に所定間隔を空けて固定ネジ8により取り付けられた上基盤4とを有する。
プローブ針2は、先端が被測定物としての集積回路(LSIチップ)9上の電極パッド10に対する接触部を形成する針形状部(針主体部)2aと、針形状部2aの径よりも大径のヘッド部(上側部)2bとで形成されている。
ヘッド部2bは円弧状断面の有する略半球形状に形成され、この略半球形状部の下側縁部(大径のヘッド部2bとヘッド部2bよりも小径の針形状部2aとの間に形成された段差部)が、ガイド孔5の略直線状に形成されている上端部に係合できるように略直線状に形成されていて、プローブ針2の落下を防止する構成となっている。
ヘッド部2bは円弧状断面の有する略半球形状に形成され、この略半球形状部の下側縁部(大径のヘッド部2bとヘッド部2bよりも小径の針形状部2aとの間に形成された段差部)が、ガイド孔5の略直線状に形成されている上端部に係合できるように略直線状に形成されていて、プローブ針2の落下を防止する構成となっている。
上基盤4は、セラミック材、ガラス材のような非導電性の板材からなり、プローブ針2のヘッド部2bに対向する部分には貫通孔が形成され、ここに導電性の弾性材(板バネ)6が電鋳成形されている。各弾性材6は電気的に独立するとともに、各プローブ針2のヘッド部2bにそれぞれ一対一対応する構成となっている。さらに、各弾性材6には、上基盤4に取り付けられた接続部7がそれぞれ接続されている。各接続部7は、回路基盤11上の各電極板(配線パターン)12にそれぞれ接続されている。
すなわち、回路基盤11には、積層プリント基盤が用いられるとともに、貫通孔11aが開設され、この貫通孔11aに接続部7が挿入され、この接続部7が回路基盤11に形成された電極板12に半田付けで接続されるようになっている。
なお、回路基盤11に形成された電極板12の終端部は、図外のテスターにこのプローブカードを電気的に接続するためのランドに接続され、このランドは接続子に接続されている。
このように構成されたこの実施形態に係るプローブカードにおいて、交換の必要なプローブ針2(不良針)の交換は、固定ネジ8を緩めて上基盤4を下基盤3から分離してから行う。上基盤4の下基盤3からの分離は簡単な作業であるから、この実施形態のプローブカードでは、交換の必要なプローブ針2(不良針)の交換は極めて簡単な作業で行うことができるとともに、プローブ針自体は特有の弾性特性を備えることを要求されていないので、プローブ針の交換に際して針自体の弾性特性を考慮する必要はない。その結果、針の形状を単純化できて針の製作コストの低減化が可能となる。
また、検査時の針圧は、上基盤4に設けられている板バネ6のバネ特性により得られる構成であるから、パターンが同じであれば、板バネ6のバネ特性の異なった上基盤11を取り替えるという簡単な作業により、プローブカード1のすべてのプローブ針2の針圧の変更が可能となる。
また、この実施形態に係るプローブ針2は、針形状部2aと針形状部2aの径よりも大径のヘッド部(上側部)2bとで形成されているから、プローブカード1全体が上昇し、針形状部2aの先端部(電極パッド10に対する接触部)が電極パッド10から離れても、大径のヘッド部2bとヘッド部2bよりも小径の針形状部2aとの間に形成された段差部(ヘッド部2bの略直線状に形成された下縁部)がガイド孔5の上端部に係合して、プローブ針2の落下を防止するという、プローブ針落下防止機能を奏する構成となっているので、プローブ針を接着剤で固定するなどの固定手段が不必要となるばかりか、プローブカードの組み立てコストや不良針の交換手数の抑制が可能となる。
また、適正な針圧の設定はバネ部分のバネ特性で行われるため、つまりプローブ針2により針圧の設定を行う必要がなくなるので、プローブ針2は1本の直線形状のものでよく、その結果不良針の入れ替え時の操作が簡単となるばかりか、交換用スペア針のコストの低減化が可能となり、その結果、プローブ針のストックコストの低減化が可能となる。
プローブ針2の大径のヘッド部を、上側部を円弧状断面の有する略半球形状に形成したのは、主として製作コストを考慮した結果であり、本発明はプローブ針2の大径のヘッド部の上側部の形状については、円弧状断面の有する略半球形状に限定するものではない。
また、プローブ針のヘッド部を、その下側部の下縁部をガイド孔の上端部に係合可能な直線状に形成したので、プローブ針の落下防止手段を別に設ける必要がなく、全体構造の簡素化とコスト低減化が可能となる。さらに、本発明では、プローブ針をプローブカードに固定する構成となっていないので、不良針の交換作業を簡単に行うことができる。
1:プローブカード
2:プローブ針
2a:プローブ針の針形状部
2b:プローブ針のヘッド部
3:下基盤
4:上基盤
5:ガイド孔
6:板バネ
7:接続部
8:固定ネジ
9:集積回路
10:電極パッド
11:回路基盤
11a:貫通孔
2:プローブ針
2a:プローブ針の針形状部
2b:プローブ針のヘッド部
3:下基盤
4:上基盤
5:ガイド孔
6:板バネ
7:接続部
8:固定ネジ
9:集積回路
10:電極パッド
11:回路基盤
11a:貫通孔
Claims (3)
- 垂直作動型プローブカードに組込まれるプローブ針であって、
同プローブ針はヘッド部と、その下側に一体的に形成され上記ヘッド部よりも小径の針形状部とからなり、上記のヘッド部と針形状部との間に形成された段差部が同プローブ針の落下防止機能を奏するものであることを特徴とするプローブ針。 - 半導体集積回路の通電検査のためのプローブカードにおいて、
直線形状のプローブ針と、非導電性材料からなり同プローブ針を上下方向に移動可能に支持するガイド孔を備えた下基盤と、非導電性材料からなり上記下基盤の上側に同下基盤との間に所定間隔をあけて分解可能に取り付けられた上基盤とからなり、
上記プローブ針はヘッド部とその下側に一体的に形成された針形状部とからなり、上記上基盤における上記プローブ針のヘッド部の頭頂部に対向する部分はバネ性を有するとともに、この箇所にリード線が接触接続され、
上記プローブ針の上記針形状部は先端が被測定物としての上記集積回路上の電極チップに対する接触部に形成され、上記ヘッド部は上記針形状部の径および上記ガイド孔の径よりも大径形状に形成されていることを特徴とする垂直作動型プローブカード。 - 上記上基盤のバネ性を有する部分が、同上基盤に形成された凹部に弾性材料を電鋳することにより成形されていることを特徴とする請求項2に記載の垂直作動型プローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007218072A JP2009052939A (ja) | 2007-08-24 | 2007-08-24 | プローブ針と同プローブ針の組み込まれた垂直作動型プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007218072A JP2009052939A (ja) | 2007-08-24 | 2007-08-24 | プローブ針と同プローブ針の組み込まれた垂直作動型プローブカード |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009052939A true JP2009052939A (ja) | 2009-03-12 |
Family
ID=40504157
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007218072A Pending JP2009052939A (ja) | 2007-08-24 | 2007-08-24 | プローブ針と同プローブ針の組み込まれた垂直作動型プローブカード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
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-
2007
- 2007-08-24 JP JP2007218072A patent/JP2009052939A/ja active Pending
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