KR20100090736A

KR20100090736A - 수직형 프로브카드의 탄성작용을 하는 가이드플레이트 탄성블록

Info

Publication number: KR20100090736A
Application number: KR1020090009987A
Authority: KR
Inventors: 송광석; 정학섭
Original assignee: 주식회사 엠아이티; 송광석
Priority date: 2009-02-07
Filing date: 2009-02-07
Publication date: 2010-08-17

Abstract

본 발명은 수직형 프로브카드의 가이드플레이트 탄성블록이 탄성작용을 하는 것으로서, 구체적으로 상기 가이드플레이트 탄성블록에 수직형 프로브 핀이 조립된 프로브카드로 반도체 칩을 검사시 수직형 프로브 핀이 1차 탄성작용으로 반도체 칩의 전극패드에 접촉하고 가이드플레이트 탄성블록에서 2차로 탄성작용을 하여 반도체 칩 검사에 필요한 소정의 침압으로 상기 반도체 칩의 전극패드을 검사하는 수직형 프로브카드인 것이다.

상기 수직형 프로브카드는 반도체 칩의 입출력 전극패드가 테두리에(Conventional Peripheral)배열되는 경우와 면적에(Area) 배열되는 전극패드 구조의 반도체 칩을 검사하는 것으로 반도체 칩 검사 장비에서 소정의 오버드라이브로 반도체 칩의 전극패드를 접촉하여 반도체 칩 검사시 요구되는 소정의 침압으로 수직형 프로브 핀이 탄성작용을 하여야 하나 수직형 프로브 핀 구조상 상기 수직형 프로브 핀에서 탄성작용을 못하는 것을 가이드플레이트 탄성블록에서 부족한 가압을 가하여 부족한 탄성작용을 보충하여 상기 테두리에 배열되는 경우와 면적에 배열되는 협피치의 입출력의 전극패드로 배열된 반도체 칩을 검사하는 수직형 프로브핀으로 조립된 수직형 프로브카드 이다.

수직형 프로브 핀, 가이드플레이트 탄성블록, 탄성작용체

Description

수직형 프로브카드의 탄성작용을 하는 가이드플레이트 탄성블록 {Vertical Probe Card of Elasticity Act Guide Plate Elasticity Block}

수직형 프로브카드에 부품으로 사용되는 수직형 프로브 핀과 탄성작용을 하는 가이드플레이트 탄성블록에 관한 것으로서, 상기 프로브 핀은 캔틸레버 타입이 아닌 수직형으로 상기 수직형 프로브 핀이 1차 탄성작용을 하고, 상기 수직형 프로브 핀으로 조립된 가이드플레이트 탄성블록이 2차 탄성작용을 하여 소정의 침압으로 반도체 칩을 검사하는 수직형 프로브카드에 관한 것이다.

반도체의 칩에 다양하게 배열된 전극패드를 검사할수 있는 가이드플레이트 탄성블록에 수직형 프로브 핀으로 조립되는 수직형 프로브카드에 관한 것이다.

특히 비메모리 계열 반도체 칩의 입출력 전극패드가 테두리에(Conventional Peripheral) 배열되는 경우와 면적에(Area) 배열인 경우 입출력 전극패드가 협피치의 간격으로 되어 있고, 입출력 전극패드가 랜덤하게 배열된 반도체 칩을 검사하는 것이다.

상기 수직형 프로브 핀을 가이드플레이트 탄성블록에 조립된 수직형 프로브카드는 웨이퍼에 패턴이 형성된 반도체 칩의 불량 유무를 검사하는 장치로서 프로 버 장비에 장착되어 사용되는 것이다.

상기 수직형 프로브카드의 수직형 프로브 핀이 반도체 칩 전극패드에 접촉시 1차 침압으로 접촉하고 상기 수직형 프로브 핀을 조립하는 가이드플레이트 탄성블록에서 2차로 탄성작용을 하여 반도체 칩 검사에서 요구되는 소정의 침압을 갖는 수직형 프로브카드를 제공하는 것이다.

본 발명의 수직형 프로브 핀은 웨이퍼에 패턴 형성된 반도체 칩의 불량여부를 검사하는 수직형 프로브카드에 장착되어 사용되는 것으로서, 상기 수직형 프로브 핀은 MEMS 프로세스을 이용하여 수직형의 2D 프로브핀을 미세하고 균일하게 제작하여 사용되는 것이다.

종래의 수직형 프로브카드은 대부분 캔틸레버(Cantilever)타입 프로브 핀 또는 코브라(Cobra) 타입 프로브 핀으로 조립되고 있다.

도 1a와 같은 캔틸레버 타입의 프로브 핀으로 조립되는 수직형 프로브카드 블록(3)에서 상기 캔틸레버 타입의 프로브 핀(1)은 수평방향으로 형성된 빔장(1a)의 소정부가 검사하고자 하는 전극패드 위치에서 하측으로 소정의 각도로 밴딩(1b)되어 접촉부(1c)가 형성되여 있어 캔틸레버 빔장(1a)의 길이로 반도체 칩의 입출력 전극패드가 테두리에(Conventional Peripheral) 배열되는 경우와 면적에(Area) 배열인 경우 프로브 핀으로 대응을 못하는 문제가 있다.

도 1b와 같은 코브라 프로브 핀(7)으로 조립되는 수직형 프로브카드 블록(5) 에서 상기 코브라 프로브 핀(7) 하단부(7a)는 코브라 형상이고 코브라 프로브 핀(7) 구조는 하단부(7a)와 중앙부(7b)와 상단부(7c)으로 구성되어 있다.

상기 코브라 프로브 핀(7)의 하단부(7a)은 하판(9a) 구조물에 삽입하고 하단부(7a)는 검사하는 반도체 칩의 전극패드에 접촉하는 것이고, 상기 코브라 프로브 핀(7)의 중앙부(7b)은 판재 형상으로 되어있다.

상기 코브라 프로브 핀(7)의 상단부(7c)은 상판(9b) 구조물에서 인터포져(6)나 인쇄회로기판에 접촉후 고정되며 하단부(7a)은 하판(9a) 구조물에서 반도체 칩 전극패드에 하단부(7a)가 접촉시 상부로 올라가며 중앙부(7b)의 판재는 하단부(7a)가 상부로 올라온 침압의 탄성만큼 벌어져 탄성작용을 하는 것이다.

상기 코브라 프로브 핀(7)은 중앙부(7b)의 판재가 경사지게 형성되여 있어 중앙부(7b) 경사 폭과 하단부(7a)가 반도체 칩 전극패드에 접촉시 상부로 올라가는 탄성으로 중앙부(7b)의 판재가 휘어지는 만큼의 중앙부(7b)의 피치 공간이 확보되어야 사용할수 있어 협피치 전극패드를 대응 못하는 문제.

상기 코브라 프로브 핀(7)은 하단부(7a)와 상단부(7c)을 프로브 하판(9a)구조물과 상판(9b) 구조물에 삽입하여 고정하는 상기 코브라 프로브 핀(7)은 프로브 구조물의 프로브 홀에 상기 코브라 프로브 핀(7)을 삽입과 교체가 용이하지 못하므로 조립과 유지 보수에 어려움이 있는 문제.

또한, 상기 코브라 프로브 핀(7)은 입출력 전극패드가 협피치의 간격으로 배열된 반도체 칩은 코브라 프로브 핀(7)은 중앙부 버디 폭이 커서 코브라 프로브 핀(7)을 프로브 구조물(9a,9b)에 협피치 간격으로 조립 하는데 어려움이 있다.

종래의 수직형 프로브 핀(미도시)으로 조립되는 수직형 프로브카드(미도시)에서 반도체 칩의 입출력 전극패드가 협피치의 간격으로 되어 있고, 상기 입출력 전극패드가 랜덤하게 배열된 반도체 칩을 검사하는 수직형 프로브 핀의 침부 탄성부가 소정의 침압으로 탄성작용을 못하여 정확한 검사를 못하는 문제.

즉, 상기 수직형 프로브 핀에서 반도체 칩 검사시 요구되는 소정의 침압으로 탄성작용을 하여야 하는데 상기 프로브 핀이 소정의 침압과 탄성작용을 못하면 반도체 칩을 정확한 검사를 못하고 있다.

또한, 수직형 프로브 핀은 하단부에서 검사시 요구되는 소정의 침압과 탄성작용을 함으로서 반도체 칩 검사시 부족한 침압과 부족한 탄성작용을 못하여 정확한 검사를 못하는 문제.

본 발명은 상기에서 문제점으로 지적되고 있는 사항을 해소하기 위하여 제안된 것으로서, 수직형 프로브카드의 수직형 프로브 핀이 반도체 칩 전극패드에 접촉시 요구되는 소정의 침압을 상기 수직형 프로브 핀의 하단편의 접촉부가 반도체 칩 전극패드에 접촉할때 수직형 프로브 핀의 탄성부가 1차 침압으로 접촉하여 탄성작용을 하고 상기 수직형 프로브 핀을 조립한 가이드플레이트 탄성블록 프레임 또는 가이드플레이트 탄성블록에서 2차로 탄성작용을 하여 반도체 칩 검사에서 요구되는 소정의 침압을 갖는 수직형 프로브카드를 제공하는 것이다.

본 발명은 2D형상 수직형 프로브 핀을 가이드플레이트 또는 프로브 핀 배열판에 수직으로 조립하여 다양한 전극패드 구조로 배열된 반도체 칩 검사용 수직형 프로브 핀과 가이드플레이트 탄성블록을 제공하는데 그 목적이 있는 것이다.

본 발명은 가이드플레이트 블록에 탄성동작을 하는 구조를 형성하여 수직형 프로브 핀이 반도체 칩의 입출력 전극패드에 접촉시 탄성압력이 적게 발생하여 적은 침압으로 검사되는 것을 방지하는 반도체 칩 검사용 수직형 프로브카드을 제공하는데 있다.

도 2a, 도 2b와 같이 가이드플레이트은 가이드플레이트 탄성블록 프레임부에서 탄성작용을 하는 탄성작용체가 형성되는 것이다.

다른 방법으로 도 3a, 도 3b와 같이 가이드플레이트은 가이드플레이트 탄성블록에서 탄성작용을 하는 탄성작용체가 형성되는 것이다.

상기 도 2a, 도2b의 가이드플레이트 탄성블록 프레임과, 상기 도 3a, 도 3b의 가이드플레이트 탄성블록에서 탄성작용을 하는 탄성작용체는 스프링블록, 슬라이드블록(LM가이드), 에어실린터블록, 유압피스톤블록 등으로 형성되며, 상기 탄성작용체 중에서 어느 하나를 수직형 프로브 카드의 가이드플레이드 블록의 2차 탄성작용체로 선정하는 것이다.

본 발명의 가이드플레이트 탄성블록이 탄성동작을 하는 구조로 형성되여 수직형 프로브 핀이 반도체 칩의 입출력 전극패드에 접촉시 부족한 침압으로 탄성압력이 적게 발생하여 적은 침압으로 검사되는 것을 방지하는 반도체 칩 검사용 수직형 프로브카드을 제공하며, 상기 반도체 칩 검사에서 요구되는 소정의 침압을 수직형 프로브 핀에서 탄성작용을 못하는 것을 가이드플레이트 탄성블록에서 탄성작용 을하여 2차로 탄성작용을 보충하여 협피치의 입출력의 전극패드로 배열된 반도체 칩 전극패드에 소정의 침압을 가하여 정확하게 검사할수 있는 것이다.

이하 본 발명의 구성 상태 및 이로부터 얻게 되는 특유의 효과 등에 대하여 첨부도면을 참조하여 실시예 별로 설명하면 아래와 같다.

수직형 프로브 핀은 공지의 MEMS 공정인 리소그래피공정, 식각공정, 전주도금공정 평탄화공정(CMP) 또는 전주도금공정 대신에 금속증착공정을 이용하여 수직형 프로브 핀이 미세하고 균일하게 2D형상의 수직형 프로브 핀, 3D형상의 수직형 프로브 핀을 제작하는 것이다.

상기 금속증착공정 재료는 나노탄소튜브 복합체로 성형할수 있으며, 상기 전주도금공정의 도금방법은 합금도금으로 하는 니켈에 합금1종 니켈에 합금복수종 또는 이종금속으로 단차도금 수행시에는 니켈층에 이종금속층과 니켈층으로 3단 단차도금하는 것 중에서 어느 하나를 선정할 수 있는 것이다.

상기 이종금속으로 수행하는 단차도금층은 니켈층 대신에 탄성력이 우수하고 항복강도가 높은 금속으로 단차도금층으로 하여도 되는 것이다.

본 발명의 수직형 프로브 핀(20)의 형상은 하단부와 중앙부와 상단부가 일체로 되는 수직형이고 하단부에 수직으로된 접촉부(20b)로 형성되고, 상단부에 탄성을 갖는 접합부(20a)가 형성되여 상기 접합부(20a)가 1차탄성작용을 하는 것이다.

상기 접합부(20a)가 인쇄회로기판(95) 통전 전극패드에 접합 또는 접촉하여 통전하는 수직형 프로브 핀(20)으로 구성되는 것이다.

본 발명의 실시예1의 수직형 프로브카드(100)의 가이드플레이트 탄성블록 프레임(10)과 실시예2의 수직형 프로브카드(100)의 가이드플레이트 탄성블록50)은 BGA메모리 칩, CIS 칩, 비메모리 반도체 칩 등의 다양하게 배열된 입출력 전극패드 구조을 검사하는 것이다.

본 발명의 수직형 프로브카드(100)의 가이드플레이트 탄성블록 프레임(10)과 가이드플레이트 탄성블록(50) 구조와 기능은 실시예 별로 세부적으로 설명한다.

제1실시예

도 2a와 도 2b는 본 발명의 실시예1의 가이드플레이트 탄성블록 프레임(10)에 탄성작용체(40)가 형성된 수직형 프로브카드(100)을 예시한 상태를 도시한 것이다.

본 발명의 제1실시예은 도 2a와 도 2b와같이 수직형 프로브카드(100)의 수직형 프로브 핀(20)이 반도체 칩 전극패드에 접촉시 1차 탄성으로 접촉하고 상기 수직형 프로브 핀(20)으로 조립된 가이드플레이트 탄성블록 프레임(10)에서 2차로 탄성작용을 하여 반도체 칩 검사에서 요구되는 소정의 침압과 탄성작용을 갖는 수직형 프로브 카드(100)로 되는 것이다.

상기 가이드플레이트 탄성블록 프레임(10)은 가이드플레이트 탄성블록 하우징(90)에 내장되는 것이다.

상기 가이드플레이트 탄성블록 프레임(10)에는 탄성작용을 하는 탄성작용체(40)가 형성되는 것이다.

상기 가이드플레이트 탄성블록 프레임(10)의 탄성작용체가 2차로 탄성작용을 하기위하여 가이드플레이트(30)에 조립된 수직형 프로브 핀(20)이 검사하는 반도체 칩의 입출력 전극패드에 1차 탄성으로 접촉시에 상기 가이드플레이트 탄성블록 프레임(10)이 피검사체에 다으면 상기 가이드플레이트(30)이 반도체 칩 입출력 전극패드에 접촉하여 반도체 칩 검사에서 요구되는 소정의 침압으로 2차 탄성작용을 하여 가이드플레이트(30)에 조립된 수직형 프로브 핀(20)의 부족한 탄성을 보충하여 반도체 칩 전극패드에 접촉하여 정확한 검사가 이루어지는 것이다.

상기 가이드플레이트 탄성블록 프레임(10) 저면 형상은 사각형상 또는 H형상 또는 O형상으로 형성되는 것이다.

상기 가이드플레이트 탄성블록 프레임(10) 크기는 검사하는 다수개의 반도체 칩의 크기로 형성되는 것이다.

상기 가이드플레이트 탄성블록 프레임(10) 저면에는 피검사체를 보호하는 쿠션패드가 부가되는 것이다.

상기 가이드플레이트 탄성블록 프레임(10)의 탄성작용체(40)는 스프링블록, 슬라이드블록(LM가이드), 에어실린터블록, 유압피스톤블록 중에서 어느 하나의 탄성작용체(40)을 선정하여 2차탄성작용을 하는 가이드플레이트 탄성블록 프레임(10)으로 되는 것이다.

상기 탄성작용체(40)는 가이드플레이트 탄성블록 프레임(10) 크기에 따라 복수개 부가되는 것이다.

상기 가이드플레이트(30)과 인쇄회로기판(95) 전극패드와 통전은 컨넥터모듈(90) 구조로 되어 있는 것이다.

또한, 가이드플레이트(30) 하면에 1차탄성작용을 하는 수직형 프로브핀(20)이 접합되고 상기 가이드플레이트(30) 상면에는 FPcb 케이블(63)이 하면의 수직형 프로브 핀(20)과 연결되여 있고 상기 FPcb 케이블(60) 상부는 컨넥터모듈(90)에 연결되여 상기 컨넥터모듈(90)이 인쇄회로기판(95) 전극패드에 접합되여 통전하는 것이다.

상기 가이드플레이트(30)는 통전 세라믹판, 세라믹판, 실리콘 통전기판, 글라스 통전기판, 글라스판 엔지니어링 플라스틱 중에서 어느 하나를 선정하여 가이드플레이트(30)로 사용되는 것이다.

제2실시예

도 3a와 도 3b는 본 발명의 실시예2의 가이드플레이트 탄성블록(50)에 탄성작용체(40)가 형성된 수직형 프로브카드(100)을 예시한 상태를 도시한 것이다.

본 발명의 제2실시예은 도 3a와 도 3b와 같이 수직형 프로브카드(100)의 수직형 프로브 핀(20)이 반도체 칩 전극패드에 접촉시 1차 탄성으로 접촉하고 상기 수직형 프로브 핀(20)으로 조립된 가이드플레이트 탄성블록(50)에서 2차로 탄성작용을 하여 반도체 칩 검사에서 요구되는 소정의 침압과 탄성작용을 갖는 수직형 프로브카드(100)를 제공하는 것이다.

상기 가이드플레이트 탄성블록(50)은 가이드플레이트 탄성블록 하우징(90)에 내장되며 상기 가이드플레이트 탄성블록(50) 내부에서 탄성작용을 하는 탄성작용체(40)가 형성되어 있어 상기 가이드플레이트 탄성블록(50)이 탄성동작을 하는 것이다.

상기 가이드플레이트 탄성블록(50)의 탄성작용체(40)는 상기 가이드플레이트 탄성블록(50)이 2차로 탄성작용을 하기위하여 가이드플레이트(30)에 조립된 수직형 프로브 핀(20)이 검사하는 반도체 칩의 입출력 전극패드에 1차로 접촉하여 탄성작용을 하며, 상기 가이드플레이트 탄성블록(50)의 탄성작용체(40)가 탄성을 받으면 상기 가이드플레이트 탄성블록(50)이 2차로 탄성작용을 하여 수직형 프로브 핀(20)에서 1차로 접촉시 부족한 탄성을 상기 가이드플레이트 탄성블록(50)이 상측으로 올라가며 반도체 칩 검사에서 요구되는 소정의 침압으로 탄성작용을 하여 반도체 칩 검사가 이루어지는 것이다.

상기 탄성작용체(40)는 스프링블록, 슬라이드블록(LM가이드), 에어실린터블록, 유압피스톤블록 중에서 어느 하나의 탄성작용체(40)을 선정하여 2차탄성작용을 하는 가이드플레이트 탄성블록(50)으로 되는 것이다.

상기 탄성작용체(40)는 가이드플레이트 탄성블록(50) 크기에 따라 복수개 부가되는 것이다..

상기 가이드플레이트(30) 저면에 1차탄성작용을 하는 수직형 프로브핀(20)이 접합되고 상기 가이드플레이트(30) 내부에는 압력전도성루버(PCR) 인터포져(70)로 형성되여 저면의 수직형 프로브 핀(20)과 통전하며 상기 압력전도성루버(PCR) 인터포져(70)는 인쇄회로기판(95) 전극패드와 통전 접속은 컨넥터모듈(80)로 형성하여 연결되는 것이다.

상기 가이드플레이트(30)는 통전 세라믹판, 세라믹판 실리콘 통전기판, 실리콘판, 글라스 통전기판, 글라스판, 엔지니어링 플라스틱 중에서 어느 하나를 선정 하여 가이드플레이트로 사용되는 것이다.

상기 가이드플레이트 탄성블록(50)과 인쇄회로기판(95) 전극패드와 통전은 컨넥터모듈(80) 구조로 되어 있는 것이다.

본 발명은 상술한 실시예1과 실시예2의 가이드플레이트 탄성블록 구조에 한정하는 것이 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 범주내에서 가이드플레이트 탄성블록의 탄성작용을 구조를 변형할수 있는 것이다.

도 1a은 종래의 캔틸레버 프로브 핀이 조립된 프로브 카드을 예시한 상태를 도시한 것이다

도 1b은 종래의 코브라 프로브 핀이 조립된 프로브 블록을 예시한 상태를 도시한 것이다..

도 2a, 도 2b는 본 발명의 가이드플레이트 탄성블록 프레임에 탄성작용체가 형성된 수직형 프로브카드을 예시한 상태를 도시한 것이다.

도 3a, 도 3b는 본 발명의 가이드플레이트 탄성블록에 탄성작용체가 형성된 수직형 프로브카드을 예시한 상태를 도시한 것이다.

＜도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명＞

10… 가이드플레이트 탄성블록 프레임 20…수직형 프로브 핀

30…가이드플레이트 40…탄성작용체 50…가이드플레이트 탄성블록

60…FPcb 케이블 70…압력전도성루버(PCR) 인터포져 80…컨넥터 모듈

90…가이드플레이트 탄성블록 하우징 95…인쇄회로기판

100…수직형 프로브카드

Claims

테두리 배열 전극패드(Conventional Perimeter), 면적 배열 전극패드, 랜덤한 전극패드 배열 구조의 반도체 칩을 검사하는 수직형 프로브 핀으로 조립되는 수직형 프로브카드에 있어서, 상기 수직형 프로브 핀의 형상은 하단부와 중앙부와 상단부가 일체로 되는 수직형이고 하단부에는 수직으로된 접촉부가 형성되고, 상단부에 탄성을 갖는 접합부가 형성되여 상기 접합부가 1차탄성작용을 하는 것과, 상기 수직형 프로브카드의 가이드플레이트 탄성블록 프레임에 조립된 수직형 프로브 핀이 반도체 칩 전극패드에 접촉시 1차 침압으로 탄성작용을 하는 것과, 상기 수직형 프로브 핀으로 조립된 가이드플레이트 탄성블록 프레임부에 탄성작용체가 형성 되어있는 것과, 상기 가이드플레이트 탄성블록 프레임이 피검사체에 다으면 상기 가이드플레이트 탄성블록 프레임부에서 검사에서 요구되는 부족한 2차 탄성작용을 하여 소정의 침압으로 반도체 칩을 검사하는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브카드의 탄성작용을 하는 가이드플레이트 탄성블록.
제1항에 있어서, 상기 수직형 프로브의 전주도금공정의 도금방법은 합금도금으로 하는 니켈에 합금1종, 니켈에 합금복수종 또는 단차도금으로 하는 니켈단차층에 이종금속 단차1층과 니켈단차층으로 하는 것 중에서 어느 하나의 도금방법을 선정하여 도금하는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브카드의 탄성작용을 하는 가이드플레이트 탄성블록.
제1항에 있어서, 상기 수직형 프로브의 금속증착공정의 재료는 나노탄소튜브 복합체로 되는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브카드의 탄성작용을 하는 가이드플레이트 탄성블록.
제1항에 있어서, 상기 가이드플레이트 하면에 1차탄성작용을 하는 수직형 프로브 핀이 접합되며 상기 가이드플레이트 상면에 형성된 FPcb 케이블 또는 압력전도성루버(PCR) 인터포져은 저면의 수직형 프로브 핀과 접합되며 상기 FPcb 케이블 또는 압력전도성루버(PCR) 인터포져 상부에는 컨넥터 모듈로 되는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브카드의 탄성작용을 하는 가이드 플레이트 탄성블록.
제1항에 있어서, 상기 가이드플레이트 탄성블록 프레임 저면 형상은 사각형상 또는 H형상 또는 O형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브카드의 탄성작용을 하는 가이드 플레이트 탄성블록.
제1항에 있어서, 상기 가이드플레이트는 통전 세라믹판, 세라믹판, 실리콘 통전기판, 실리콘판, 글라스 통전기판, 글라스판, 엔지니어링 플라스틱 중에서 어느 하나를 선정하여 가이드플레이트로 사용되는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브카드의 탄성작용을 하는 가이드 플레이트 탄성블록.
테두리 배열 전극패드(Conventional Perimeter), 면적 배열 전극패드, 랜덤한 전극패드 배열 구조의 반도체 칩을 검사하는 수직형 프로브 핀으로 조립되는 수직형 프로브 카드에 있어서, 상기 수직형 프로브카드의 가이드플레이트 탄성블록 내부에서 2차탄성작용을 하는 탄성작용체가 형성되는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브카드의 탄성작용을 하는 가이드플레이트 탄성블록.
제1항, 제7항에 있어서, 상기 가이드플레이트 탄성블록 프레임과 상기 가이드플레이트 탄성블록의 탄성작용체는 스프링블록, 슬라이드블록(LM가이드), 에어실린더블록, 유압피스톤블록 중에서 어느 하나의 탄성작용체을 선정하여 2차탄성작용을 하는 가이드플레이트 탄성블록 프레임 또는 가이드플레이트 탄성블록으로 되는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브카드의 탄성작용을 하는 가이드플레이트 탄성블록.
제8항에 있어서, 상기 탄성작용체는 가이드플레이트 탄성블록 프레임 또는 가이드플레이트 탄성블록 크기에 따라 복수개 부가되는 것을 특징으로 하는 수직형 프로브카드의 탄성작용을 하는 가이드플레이트 블록.