JP2009049178A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009049178A JP2009049178A JP2007213695A JP2007213695A JP2009049178A JP 2009049178 A JP2009049178 A JP 2009049178A JP 2007213695 A JP2007213695 A JP 2007213695A JP 2007213695 A JP2007213695 A JP 2007213695A JP 2009049178 A JP2009049178 A JP 2009049178A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer wiring
- lower layer
- interlayer insulating
- insulating film
- wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】配線間抵抗およびSIV発生率を低減することができる、半導体装置を提供する。
【解決手段】下層配線5上には、第2層間絶縁膜8が積層されている。第2層間絶縁膜8には、その上面から掘り下げて形成された第2溝9に、Cuからなる上層配線10が埋設されている。また、第2層間絶縁膜8には、上層配線10の底面に接続され、Cuを含む金属材料からなるビア12が貫通形成されている。上層配線10およびビア12の底面および側面は、Cuの拡散に対するバリア性を有する材料からなるバリア膜13で連続して被覆されている。また、ビア12は、その側面がバリア膜6,13を介して下層配線5に接続されている。
【選択図】図1
【解決手段】下層配線5上には、第2層間絶縁膜8が積層されている。第2層間絶縁膜8には、その上面から掘り下げて形成された第2溝9に、Cuからなる上層配線10が埋設されている。また、第2層間絶縁膜8には、上層配線10の底面に接続され、Cuを含む金属材料からなるビア12が貫通形成されている。上層配線10およびビア12の底面および側面は、Cuの拡散に対するバリア性を有する材料からなるバリア膜13で連続して被覆されている。また、ビア12は、その側面がバリア膜6,13を介して下層配線5に接続されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、多層配線構造を有する半導体装置に関する。
たとえば、集積度の高いLSIなどの半導体装置には、半導体基板上に複数の配線層を積層した、いわゆる多層配線構造が採用されている。このような多層配線構造が採用された半導体装置において、配線抵抗を低減させるための配線材料として、従来から用いられてきたAl(アルミニウム)に代えて、より導電性の高いCu(銅)を適用することが検討されている。
Cu配線材料を用いた多層配線構造では、SiO2(酸化シリコン)からなる第1層間絶縁膜に、その上面から掘り下がった第1溝が形成され、この第1溝に、Cuからなる下層配線が埋設されている。下層配線と第1層間絶縁膜との間には、Cuの絶縁膜への拡散を防止するためのバリア膜が形成されている。このバリア膜の材料としては、たとえば、Ta(タンタル)またはTaN(窒化タンタル)などを用いることができる。すなわち、第1層間絶縁膜に形成される第1溝には、Ta系のバリア膜を介して、Cuからなる下層配線が埋設されている。
第1層間絶縁膜および下層配線上には、Cuの拡散に対するバリア性を有するSiC(炭化シリコン)からなるSiC膜が形成されている。SiC膜上には、SiO2からなる第2層間絶縁膜が形成されている。第2層間絶縁膜には、その上面から掘り下がった第2溝が形成されている。また、第2層間絶縁膜およびSiC膜には、第2溝の底面から下層配線の上面に達するビアホールが貫通形成されている。そして、第2溝およびビアホールの内面ならびに下層配線のビアホールに臨む部分上には、Ta系のバリア膜が被着され、このバリア膜を介して、第2溝にCuからなる上層配線が埋設されるとともに、ビアホールにCuからなるビアが埋設されている。これにより、上層配線と下層配線とは、ビアホールおよびビアの底面と上層配線との間のバリア膜を介して電気的に接続されている。
特開2004−31866号公報
しかし、バリア膜の材料として用いられているTa系材料は、Cuよりも抵抗率が高いため、ビアの底面と下層配線との間に介在されるバリア膜は、ビアと下層配線とに直列に接続される比較的大きな抵抗となり、上層配線と下層配線との間の電気的抵抗(以下、単に「配線間抵抗」という。)を増大させる要因となっている。
また、多層配線構造にストレスが加わると、Cu中に存在する空孔がビアの底部に集まり、そのビアの底部にボイドが形成される、いわゆるSIV(Stress Induced Voiding)を生じるおそれがある。
また、多層配線構造にストレスが加わると、Cu中に存在する空孔がビアの底部に集まり、そのビアの底部にボイドが形成される、いわゆるSIV(Stress Induced Voiding)を生じるおそれがある。
これらの問題は、ビアの径が小さくなり、ビアと下層配線との対向面積(バリア膜と下層配線との接触面積)が小さくなるほど顕著に現れる。すなわち、ビアの径が小さくなると、配線間抵抗が増大し、SIVの発生率が高くなる。
そこで、本発明の目的は、配線間抵抗およびSIV発生率を低減することができる、半導体装置を提供することである。
そこで、本発明の目的は、配線間抵抗およびSIV発生率を低減することができる、半導体装置を提供することである。
前記の目的を達成するための請求項1記載の発明は、下層配線と、前記下層配線上に積層された層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜をその上面から掘り下げて形成された溝に埋設され、Cuを主成分とする材料からなる上層配線と、前記層間絶縁膜を貫通し、前記上層配線の底面に接続され、前記Cuを主成分とする材料からなるビアと、前記上層配線および前記ビアの底面および側面を連続して被覆し、Cuの拡散に対するバリア性を有する材料からなるバリア膜とを備え、前記ビアは、その側面が前記バリア膜を介して前記下層配線に接続されている、半導体装置である。
この構成によれば、下層配線上には、層間絶縁膜が積層されている。層間絶縁膜には、その上面から掘り下げて形成された溝に、Cuを主成分とする材料からなる上層配線が埋設されている。また、層間絶縁膜には、上層配線の底面に接続され、Cuを主成分とする材料からなるビアが貫通形成されている。上層配線およびビアの底面および側面は、Cuの拡散に対するバリア性を有する材料からなるバリア膜で連続して被覆されている。これにより、層間絶縁膜へのCuの拡散を防止することができる。
そして、ビアは、その側面がバリア膜を介して下層配線に接続されている。これにより、ビアの底面がバリア膜を介して下層配線と接続される構成と比較して、ビアと下層配線との対向面積(バリア膜と下層配線との接触面積)を大きくすることができる。その結果、ビアと下層配線との間に介在されるバリア膜が有する抵抗値を下げることができる。また、SIVの発生率を下げることができ、上層配線と下層配線との間の接続信頼性を向上させることができる。
請求項2に記載の発明は、前記下層配線には、その上面から掘り下がった凹部が形成されており、前記ビアは、底部が前記凹部に入り込み、前記底部の側面全域が前記バリア膜を介して前記下層配線に接続されている、請求項1に記載の半導体装置である。
この構成によれば、ビアの底部の側面全域がバリア膜を介して下層配線に接続されるので、ビアと下層配線との対向面積を大きく確保することができ、配線間抵抗およびSIV発生率のさらなる低減を図ることができる。
この構成によれば、ビアの底部の側面全域がバリア膜を介して下層配線に接続されるので、ビアと下層配線との対向面積を大きく確保することができ、配線間抵抗およびSIV発生率のさらなる低減を図ることができる。
以下では、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1(a)は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の構造を示す模式的な断面図である。また、図1(b)は、図1(a)に示す半導体装置を切断面線B1−B1で切断したときの断面図である。
半導体装置1において、図示しない半導体基板上には、SiO2からなる第1層間絶縁膜2が積層されている。
図1(a)は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の構造を示す模式的な断面図である。また、図1(b)は、図1(a)に示す半導体装置を切断面線B1−B1で切断したときの断面図である。
半導体装置1において、図示しない半導体基板上には、SiO2からなる第1層間絶縁膜2が積層されている。
第1層間絶縁膜2には、第1溝3がその上面から掘り下げて形成されている。第1溝3内には、平面視矩形状の扁平な柱状体4が形成されている。柱状体4は、第1層間絶縁膜2と一体的に形成され、第1溝3の底面から突出し、第1溝3の深さよりも小さい高さを有している。
第1溝3には、Cuからなる下層配線5が埋設されている。この下層配線5は、第1溝3内を、平面視で柱状体4が形成されている領域を除いて、Cuで埋め尽くすことにより形成されている。これにより、下層配線5は、柱状体4の上方に、その上面から柱状体4の上面に達する、平面視矩形状の凹部14を有している。また、下層配線5の側面(柱状体4と対向する面および凹部14に臨む面を含む。)および底面は、Cuの拡散に対するバリア性を有するTa系材料からなるバリア膜6により覆われている。なお、Ta系材料としては、たとえば、TaまたはTaNを例示することができる。
第1溝3には、Cuからなる下層配線5が埋設されている。この下層配線5は、第1溝3内を、平面視で柱状体4が形成されている領域を除いて、Cuで埋め尽くすことにより形成されている。これにより、下層配線5は、柱状体4の上方に、その上面から柱状体4の上面に達する、平面視矩形状の凹部14を有している。また、下層配線5の側面(柱状体4と対向する面および凹部14に臨む面を含む。)および底面は、Cuの拡散に対するバリア性を有するTa系材料からなるバリア膜6により覆われている。なお、Ta系材料としては、たとえば、TaまたはTaNを例示することができる。
第1層間絶縁膜2および下層配線5上には、Cuの拡散に対するバリア性を有するSiCからなるSiC膜7が積層されている。また、SiC膜7上には、SiO2からなる第2層間絶縁膜8が積層されている。
第2層間絶縁膜8には、第1溝3と膜厚方向に対向する位置に、第2溝9がその上面から掘り下げて形成されている。第2溝9には、Cuからなる上層配線10が埋設されている。
第2層間絶縁膜8には、第1溝3と膜厚方向に対向する位置に、第2溝9がその上面から掘り下げて形成されている。第2溝9には、Cuからなる上層配線10が埋設されている。
第2溝9と凹部14との間には、ビアホール11が貫通形成されている。ビアホール11には、Cuからなるビア12が設けられている。ビア12の上端は、上層配線10の底面に接続されている。一方、ビア12の底部は、凹部14に入り込んでいる。そして、上層配線10と第2溝9の内面との間、ならびにビア12とビアホール11の内面および柱状体4の上面との間には、Ta系材料からなるバリア膜13が連続して形成されている。言い換えれば、Ta系材料からなるバリア膜13は、上層配線10およびビア12の底面および側面を連続して被覆している。
ビア12の底部は、凹部14に入り込むことにより、その側面全域がバリア膜6,13を介して下層配線5と接続されている。これにより、ビアの底面がバリア膜を介して下層配線と接続される構成と比較して、ビア12と下層配線5との対向面積を大きくすることができる。その結果、ビア12と下層配線5との間に介在されるバリア膜6,13が有する抵抗値を下げることができる。また、SIVの発生率を下げることができ、上層配線と下層配線との間の接続信頼性を向上させることができる。
図2A〜2Hは、図1に示す半導体装置1の製造方法を工程順に示す模式的な断面図である。
第1層間絶縁膜2を表面に有する半導体基板(図示せず)が用意される。この第1層間絶縁膜2上に、所定のマスクパターン(開口パターン)を有するレジスト(図示せず)が形成される。そして、そのレジストをマスクとして第1層間絶縁膜2がエッチングされることにより、図2Aに示すように、第1層間絶縁膜2をその上面から掘り下げた第1溝3と、第1溝3の底面から突出する柱状体40が形成される。
第1層間絶縁膜2を表面に有する半導体基板(図示せず)が用意される。この第1層間絶縁膜2上に、所定のマスクパターン(開口パターン)を有するレジスト(図示せず)が形成される。そして、そのレジストをマスクとして第1層間絶縁膜2がエッチングされることにより、図2Aに示すように、第1層間絶縁膜2をその上面から掘り下げた第1溝3と、第1溝3の底面から突出する柱状体40が形成される。
次いで、図2Bに示すように、スパッタ法により、第1層間絶縁膜2の表面全域に、バリア膜6が被着される。
その後、図2Cに示すように、めっき法により、バリア膜6上に、Cuからなる金属膜15が堆積される。金属膜15は、第1溝3を埋め尽くす厚さに形成される。
次いで、CMP(Chemical Mechanical Polishing:化学的機械的研磨)法により、金属膜15およびバリア膜6が、第1層間絶縁膜2の表面が露出するまで研磨される。これにより、図2Dに示すように、金属膜15およびバリア膜6における第1溝3外の部分が除去され、第1溝3に埋設された下層配線5およびバリア膜6が得られる。
その後、図2Cに示すように、めっき法により、バリア膜6上に、Cuからなる金属膜15が堆積される。金属膜15は、第1溝3を埋め尽くす厚さに形成される。
次いで、CMP(Chemical Mechanical Polishing:化学的機械的研磨)法により、金属膜15およびバリア膜6が、第1層間絶縁膜2の表面が露出するまで研磨される。これにより、図2Dに示すように、金属膜15およびバリア膜6における第1溝3外の部分が除去され、第1溝3に埋設された下層配線5およびバリア膜6が得られる。
次に、図2Eに示すように、CVD(Chemical Vapor Deposition:化学的気相成長)法により、第1層間絶縁膜2および下層配線5上に、SiC膜7および第2層間絶縁膜8がこの順に積層される。
この後、フォトリソグラフィ工程およびエッチング工程が繰り返されることにより、図2Fに示すように、第2層間絶縁膜8およびSiC膜7に、第2溝9およびビアホール11が形成される。このとき、柱状体40の上端部がエッチング(除去)されることにより、下層配線5に凹部14が形成されるとともに、柱状体40の残留部分からなる柱状体4が得られる。
この後、フォトリソグラフィ工程およびエッチング工程が繰り返されることにより、図2Fに示すように、第2層間絶縁膜8およびSiC膜7に、第2溝9およびビアホール11が形成される。このとき、柱状体40の上端部がエッチング(除去)されることにより、下層配線5に凹部14が形成されるとともに、柱状体40の残留部分からなる柱状体4が得られる。
次いで、図2Gに示すように、スパッタ法により、第2溝9およびビアホール11の内面を含む第2層間絶縁膜8の表面全域に、バリア膜13が被着される。
その後、図2Hに示すように、めっき法により、バリア膜13上に、Cuからなる金属膜16が堆積される。金属膜16は、第2溝9を埋め尽くす厚さに形成される。
そして、CMP法により、金属膜16およびバリア膜13が、第2層間絶縁膜8の上面が露出するまで研磨される。これにより、金属膜16およびバリア膜13における第2溝9外の部分が除去され、図1(a)に示す半導体装置1が得られる。
その後、図2Hに示すように、めっき法により、バリア膜13上に、Cuからなる金属膜16が堆積される。金属膜16は、第2溝9を埋め尽くす厚さに形成される。
そして、CMP法により、金属膜16およびバリア膜13が、第2層間絶縁膜8の上面が露出するまで研磨される。これにより、金属膜16およびバリア膜13における第2溝9外の部分が除去され、図1(a)に示す半導体装置1が得られる。
なお、この実施形態では、ビア12の底部の形状(凹部14の形状)が平面視矩形状である場合を例示したが、ビア12の底部の形状(凹部14の形状)は、平面視多角形状、平面視略円形状またはそれらの結合からなる形状であってもよい。
図3(a)は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の構造を示す模式的な断面図である。また、図3(b)は、図3(a)に示す半導体装置を切断面線B3−B3で切断したときの断面図である。図3において、図1に示す各部に対応する部分には、それらの各部と同一の参照符号を付している。また、以下では、同一の参照符号を付した部分についての詳細な説明を省略する。
図3(a)は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の構造を示す模式的な断面図である。また、図3(b)は、図3(a)に示す半導体装置を切断面線B3−B3で切断したときの断面図である。図3において、図1に示す各部に対応する部分には、それらの各部と同一の参照符号を付している。また、以下では、同一の参照符号を付した部分についての詳細な説明を省略する。
この半導体装置21において、第1層間絶縁膜2には、平面視矩形状の第1溝3の1つの側面に隣接して、平面視矩形状の凹部14が形成されている。そして、第2溝9と凹部14との間には、ビアホール11が貫通形成され、ビアホール11に設けられたビア12の底部は、凹部14に入り込んでいる。これにより、ビア12における凹部14に入り込んだ底部は、四角柱状をなし、その1つの側面がバリア膜6,13を介して下層配線5と接続されている。
この構成によっても、ビアの底面がバリア膜を介して下層配線と接続される構成と比較して、ビア12と下層配線5との対向面積を大きくすることができるので、ビア12と下層配線5との間に介在されるバリア膜6,13が有する抵抗値を下げることができ、かつSIVの発生率を下げることができる。
図4(a)は、本発明の第3の実施形態に係る半導体装置の構造を示す模式的な断面図である。また、図4(b)は、図4(a)に示す半導体装置を切断面線B4−B4で切断したときの断面図である。図4において、図1に示す各部に対応する部分には、それらの各部と同一の参照符号を付している。また、以下では、同一の参照符号を付した部分についての詳細な説明を省略する。
図4(a)は、本発明の第3の実施形態に係る半導体装置の構造を示す模式的な断面図である。また、図4(b)は、図4(a)に示す半導体装置を切断面線B4−B4で切断したときの断面図である。図4において、図1に示す各部に対応する部分には、それらの各部と同一の参照符号を付している。また、以下では、同一の参照符号を付した部分についての詳細な説明を省略する。
この半導体装置31において、平面視矩形状の扁平な柱状体32は、第1溝3の1つの角部に形成されている。これに対応して、下層配線5は、1つの角部に平面視矩形状の凹部14を有している。そして、第2溝9と凹部14との間には、ビアホール11が貫通形成され、ビアホール11に設けられたビア12の底部は、凹部14に入り込んでいる。これにより、ビア12における凹部14に入り込んだ底部は、四角柱状をなし、その2つの側面がバリア膜6,13を介して下層配線5と接続されている。
この構成によっても、ビアの底面がバリア膜を介して下層配線と接続される構成と比較して、ビア12と下層配線5との対向面積を大きくすることができるので、ビア12と下層配線5との間に介在されるバリア膜6,13が有する抵抗値を下げることができ、かつSIVの発生率を下げることができる。
図5(a)は、本発明の第4の実施形態に係る半導体装置の構造を示す模式的な断面図である。また、図5(b)は、図5(a)に示す半導体装置を切断面線B5−B5で切断したときの断面図である。図5において、図1に示す各部に対応する部分には、それらの各部と同一の参照符号を付している。また、以下では、同一の参照符号を付した部分についての詳細な説明を省略する。
図5(a)は、本発明の第4の実施形態に係る半導体装置の構造を示す模式的な断面図である。また、図5(b)は、図5(a)に示す半導体装置を切断面線B5−B5で切断したときの断面図である。図5において、図1に示す各部に対応する部分には、それらの各部と同一の参照符号を付している。また、以下では、同一の参照符号を付した部分についての詳細な説明を省略する。
この半導体装置41において、凹部14は、平面視で第1溝3の1つの側面から矩形状に切り欠くように形成されている。そして、第2溝9と凹部14との間には、ビアホール11が貫通形成され、ビアホール11に設けられたビア12の底部は、凹部14に入り込んでいる。これにより、ビア12における凹部14に入り込んだ底部は、四角柱状をなし、その3つの側面がバリア膜6,13を介して下層配線5と接続されている。
この構成によっても、ビアの底面がバリア膜を介して下層配線と接続される構成と比較して、ビア12と下層配線5との対向面積を大きくすることができるので、ビア12と下層配線5との間に介在されるバリア膜6,13が有する抵抗値を下げることができ、かつ
SIVの発生率を下げることができる。
以上、本発明の4つの実施形態を説明したが、本発明は、さらに他の形態で実施することもできる。たとえば、下層配線5および上層配線10は、Cuからなるとしたが、Cuを主成分として含む材料で形成されるとよく、Cuのみで形成される必要はない。
SIVの発生率を下げることができる。
以上、本発明の4つの実施形態を説明したが、本発明は、さらに他の形態で実施することもできる。たとえば、下層配線5および上層配線10は、Cuからなるとしたが、Cuを主成分として含む材料で形成されるとよく、Cuのみで形成される必要はない。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
1 半導体装置
5 下層配線
8 第2層間絶縁膜(層間絶縁膜)
9 第2溝(溝)
10 上層配線
12 ビア
13 バリア膜
14 凹部
21 半導体装置
31 半導体装置
41 半導体装置
5 下層配線
8 第2層間絶縁膜(層間絶縁膜)
9 第2溝(溝)
10 上層配線
12 ビア
13 バリア膜
14 凹部
21 半導体装置
31 半導体装置
41 半導体装置
Claims (2)
- 下層配線と、
前記下層配線上に積層された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜をその上面から掘り下げて形成された溝に埋設され、Cuを主成分とする材料からなる上層配線と、
前記層間絶縁膜を貫通し、前記上層配線の底面に接続され、前記Cuを主成分とする材料からなるビアと、
前記上層配線および前記ビアの底面および側面を連続して被覆し、Cuの拡散に対するバリア性を有する材料からなるバリア膜とを備え、
前記ビアは、その側面が前記バリア膜を介して前記下層配線に接続されている、半導体装置。 - 前記下層配線には、その上面から掘り下がった凹部が形成されており、
前記ビアは、底部が前記凹部に入り込み、前記底部の側面全域が前記バリア膜を介して前記下層配線に接続されている、請求項1に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007213695A JP2009049178A (ja) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007213695A JP2009049178A (ja) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009049178A true JP2009049178A (ja) | 2009-03-05 |
Family
ID=40501134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007213695A Pending JP2009049178A (ja) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009049178A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8502322B2 (en) | 2010-03-23 | 2013-08-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile memory device and manufacturing method thereof |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005175055A (ja) * | 2003-12-09 | 2005-06-30 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2006024905A (ja) * | 2004-06-10 | 2006-01-26 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2007
- 2007-08-20 JP JP2007213695A patent/JP2009049178A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005175055A (ja) * | 2003-12-09 | 2005-06-30 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2006024905A (ja) * | 2004-06-10 | 2006-01-26 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8502322B2 (en) | 2010-03-23 | 2013-08-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile memory device and manufacturing method thereof |
US8884444B2 (en) | 2010-03-23 | 2014-11-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile memory device and manufacturing method thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5106933B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5096278B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
KR102539779B1 (ko) | 반도체 장치, 촬상 장치, 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
JP2008294040A (ja) | 半導体装置 | |
US8786086B2 (en) | Semiconductor device including wiring having main portion and extended portion | |
JP5214913B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2009088269A (ja) | 半導体装置、およびその製造方法 | |
JP2008300676A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP4272168B2 (ja) | 半導体装置及び半導体集積回路装置 | |
JP2008300674A (ja) | 半導体装置 | |
US9490207B2 (en) | Semiconductor device having a copper wire within an interlayer dielectric film | |
JP5078823B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2005116788A (ja) | 半導体装置 | |
JP2009049178A (ja) | 半導体装置 | |
JP5822000B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2009060034A (ja) | 半導体装置 | |
JP2008124070A (ja) | 半導体装置 | |
JP2010171291A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2009016619A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2004363376A (ja) | 配線及びビアプラグ間の接続構造、及び配線及びビアプラグ間の接続構造を有する半導体装置の製造方法 | |
JP2006114724A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5424551B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2004356315A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2008227227A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2006196820A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100811 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20121206 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130328 |