JP2009047428A - 光導波路式測定方法及び光導波路型センサ - Google Patents
光導波路式測定方法及び光導波路型センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009047428A JP2009047428A JP2007210823A JP2007210823A JP2009047428A JP 2009047428 A JP2009047428 A JP 2009047428A JP 2007210823 A JP2007210823 A JP 2007210823A JP 2007210823 A JP2007210823 A JP 2007210823A JP 2009047428 A JP2009047428 A JP 2009047428A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- fluid path
- light
- sample
- light waveguide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【課題】光導波路による反射光を有効利用し、簡単な構造で、精度良く試料の特性を検出することができる、新規な光導波路式測定方法、光導波路型センサを提供する。
【解決手段】光導波路3に沿って対称状に配され、一定長さ領域が光導波路3に接する第一および第二の流体路5,6を有する。第一の流体路5中の試料を被測定物(サンプル液)とし、第二の流体路6中の試料を基準物(リファレンス液)とする。これら流体路5,6中の試料の特性を、該試料における屈折率の相違により、光導波路3を通って端部から出射された光強度の非対称性に基づき、光検出器7で測定、判別する。
【選択図】 図1
【解決手段】光導波路3に沿って対称状に配され、一定長さ領域が光導波路3に接する第一および第二の流体路5,6を有する。第一の流体路5中の試料を被測定物(サンプル液)とし、第二の流体路6中の試料を基準物(リファレンス液)とする。これら流体路5,6中の試料の特性を、該試料における屈折率の相違により、光導波路3を通って端部から出射された光強度の非対称性に基づき、光検出器7で測定、判別する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、光導波路を用いた測定方法及びセンサに関し、例えば、マイクロ化学分析などに好適に用いることができる光強度検出による測定方法、センサに関する。
従来、光反射を利用した測定技術として、例えば特許文献1に記載された測定装置が知られている。当該特許文献には、表面プラズモン共鳴等による全反射光を利用した測定装置において、コストアップ、装置の複雑化を抑制しつつ、周囲温度等の環境値に左右されずに、全反射光の状態を精度よく測定可能とすることが提案されている。
詳しくは、センサウェルユニットに、同時に測定がなされる環境値検知手段(温度センサ、湿度センサ等)を備え、測定時には、信号処理部の演算手段において、前記検知手段から検知された4つの測定点に基づき2次近似曲線を求め、この2次近似曲線から各ウェルにおける擬似検知温度などを得る。そして、補正手段において、前記各ウェルにおける擬似検知温度などに基づき、光検出手段の出力から得られた各測定値Sに対し補正を施し、補正値を得る。信号処理部においては、この補正値に基づいて全反射減衰の状態を検出するようになっている。
詳しくは、センサウェルユニットに、同時に測定がなされる環境値検知手段(温度センサ、湿度センサ等)を備え、測定時には、信号処理部の演算手段において、前記検知手段から検知された4つの測定点に基づき2次近似曲線を求め、この2次近似曲線から各ウェルにおける擬似検知温度などを得る。そして、補正手段において、前記各ウェルにおける擬似検知温度などに基づき、光検出手段の出力から得られた各測定値Sに対し補正を施し、補正値を得る。信号処理部においては、この補正値に基づいて全反射減衰の状態を検出するようになっている。
しかしながら、前記した従来の測定技術によれば、温度センサなどの補正手段を必要とするため部品点数が多くなり、コストが増加する等の問題がある。また、試料液に含まれる溶媒の種類が異なると測定値に対する補正値が異なる為、各溶媒毎にルックアップテーブルを作成し、使用する試料液に含まれる溶媒に合わせてルックアップテーブルを選択する必要があり、作業が複雑で、さらにコストが増加する虞れがある。
また、光源から出射される光ビームの強度は、光源自体、或いは、光源を駆動する光源駆動回路、光路などの温度変化などにも影響されて変化する。しかし、前記温度センサや湿度センサ等の検出対象は前記光源のみに限られるため、光源駆動回路の温度変化や光路上の影響などの、それ以外の要因による変化には対応できず、周囲環境の変化に対する完全な対応がなされていない。
また、光源から出射される光ビームの強度は、光源自体、或いは、光源を駆動する光源駆動回路、光路などの温度変化などにも影響されて変化する。しかし、前記温度センサや湿度センサ等の検出対象は前記光源のみに限られるため、光源駆動回路の温度変化や光路上の影響などの、それ以外の要因による変化には対応できず、周囲環境の変化に対する完全な対応がなされていない。
本発明はこのような従来事情に鑑みて成されたもので、その目的とする処は、光導波路による反射光を有効に利用して、簡単な構造で、精度良く試料の特性を検出することができる新規な測定方法と、該方法に基づく新規なセンサを提供することにある。
以上の目的を達成するため、本発明に係る測定方法は、光導波路に沿って対称状に配され、且つ一定長さ領域が前記光導波路に接する第一および第二の流体路を有し、
前記第一の流体路および/または前記第二の流体路中の試料の特性を、前記光導波路を通って端部から出射された光強度の非対称性に基づき測定することを特徴とする。
前記第一の流体路および/または前記第二の流体路中の試料の特性を、前記光導波路を通って端部から出射された光強度の非対称性に基づき測定することを特徴とする。
このような方法によれば、温度や湿度などの環境条件に影響されること無く、光強度の分布特性の検出により被測定物の特性を測定、判別することが可能になる。
前記光強度の非対称性は、例えば、前記第一および第二のそれぞれの流体路中の試料における屈折率の相違に基づき検出することができる。
前記第一の流体路中の試料を被測定物(サンプル液)とし、前記第二の流体路中の試料を基準物(リファレンス液)とすると良い。
また、前記測定方法を実現するためのセンサとして、
光導波路と、
前記光導波路の一端から光を入射する光源と、
前記光導波路の他端から出射された光の強度分布を測定する光検出器と、
被測定物が流れる第一の流体路と、
基準物が流れる第二の流体路と、を備え、
前記第一および第二の流体路は、前記光導波路の中心軸に対し対称状になり、且つ一定長さ領域が前記光導波路に接するよう形成されており、
前記光源から出射され、前記光導波路を通ってその他端から出射された光強度の非対称性を前記光検出器で測定することを特徴とするセンサをあげることができる。
光導波路と、
前記光導波路の一端から光を入射する光源と、
前記光導波路の他端から出射された光の強度分布を測定する光検出器と、
被測定物が流れる第一の流体路と、
基準物が流れる第二の流体路と、を備え、
前記第一および第二の流体路は、前記光導波路の中心軸に対し対称状になり、且つ一定長さ領域が前記光導波路に接するよう形成されており、
前記光源から出射され、前記光導波路を通ってその他端から出射された光強度の非対称性を前記光検出器で測定することを特徴とするセンサをあげることができる。
前記光導波路の出射端側に、光強度分布の拡大手段を備えると、より高精度な測定結果が得られるため好ましい。例えば、前記光導波路の出射端と前記光検出器の間に光強度拡大用レンズを配すると良い。また、前記光導波路の出射端側にスラブ型光導波路が形成されていると良い。
前記光導波路の出射端側に、光を分岐させる手段を備えると、より高精度な測定結果が得られるため好ましい。例えば、前記スラブ型光導波路の中心領域に、光を、第一の流体路側と第二の流体路側とに分岐させるための光分岐部(光遮断部)を設けると良い。また、前記光導波路の出射端側に方向性結合器を形成し、光導波路の出射端側を、第一の流体路側と第二の流体路側とに分岐させても良い。
光導波路から出射された光強度の分布の非対称性は、二次元の光検出器で検出することができ、例えば、アレイ型フォトダイオードまたはCCD型ラインセンサを用いると良い。
前記光導波路は、低屈折率材料、例えば、フッ素系樹脂などで形成すると良い。
前記光導波路と前記第一および第二の流体路は同一基板上に形成することができ、更に前記基板をマイクロチップとすれば、マイクロ化学分析などに好適に用いることができる。
以上説明したように本発明は、光導波路に沿う第一および第二の流体路と、前記光導波路を通って端部から出射される光を有効利用し、該出射光における光強度の非対称性に基づき前記各流体路中の試料の特性を測定、判別することができる。
よって、温度センサ、湿度センサ、誤差補正演算手段、ルックアップテーブルなどの余分な要素を必要とすることなく、簡素な構成、単純な作業により、低コストでの測定、判別が可能になり、例えば、マイクロ化学分析などに好適に用いることができるなど、多くの効果を奏する。
よって、温度センサ、湿度センサ、誤差補正演算手段、ルックアップテーブルなどの余分な要素を必要とすることなく、簡素な構成、単純な作業により、低コストでの測定、判別が可能になり、例えば、マイクロ化学分析などに好適に用いることができるなど、多くの効果を奏する。
以下、本発明の実施形態の数例を図面に基づいて説明するが、各図示例において同様の構成要素には同一の符号を付すなどして、重複する説明を省略する。
図1及び図2は、本発明に係る光導波路型センサをマイクロチップAとして構成した例を示す。
マイクロチップAは、シリコンまたはガラス製の基板1上に、ガラス、あるいは比較的低屈折率の樹脂、例えばフッ素系樹脂(PTFE、FEPなど)からなる下部クラッド2、コア3、上部クラッド4を形成すると共に、コア3の左右に中空流路からなる第一の流体路5および第二の流体路6を形成し、コア3により光導波路を構成している。
マイクロチップAは、シリコンまたはガラス製の基板1上に、ガラス、あるいは比較的低屈折率の樹脂、例えばフッ素系樹脂(PTFE、FEPなど)からなる下部クラッド2、コア3、上部クラッド4を形成すると共に、コア3の左右に中空流路からなる第一の流体路5および第二の流体路6を形成し、コア3により光導波路を構成している。
本例では、コア(光導波路)3は断面が8μm角程度の四角形状で、クラッド2,4との比屈折率差Δn(≒(コアの屈折率−クラッドの屈折率)/(コアの屈折率))が0.3%程度となるよう形成され、それぞれの流体路5,6は、断面の幅50μm×高さ30μm程度の四角形状となるよう形成されている。
また、本例のコア3およびクラッド2,4は、第一の流体路5中の試料が被測定物(サンプル液)としての水溶液であり、第二の流体路6中の試料が基準物(リファレンス液)としての水である場合には、屈折率が水(=1.333)に近く、且つ水よりも大きい材質からなるものが望ましい。例えば、前記フッ素系樹脂として、屈折率1.34のFEP、1.35のPTFE、1.42のPCTFEなどをあげることができる。水との屈折率差が大きいとエバネッセント光の染み出し量が少なくなり、サンプル液とリファレンス液の屈折率差に基づく光強度の非対称性の検出感度が悪くなる。なお、サンプル液用の溶媒は水に限るものではなく、被測定物に応じて適宜選択すればよく、更に被測定物やサンプル液の種類に応じて、屈折率や化学的耐性等の観点から光導波路や基板の材質も適宜選択すればよい。
また、本例のコア3およびクラッド2,4は、第一の流体路5中の試料が被測定物(サンプル液)としての水溶液であり、第二の流体路6中の試料が基準物(リファレンス液)としての水である場合には、屈折率が水(=1.333)に近く、且つ水よりも大きい材質からなるものが望ましい。例えば、前記フッ素系樹脂として、屈折率1.34のFEP、1.35のPTFE、1.42のPCTFEなどをあげることができる。水との屈折率差が大きいとエバネッセント光の染み出し量が少なくなり、サンプル液とリファレンス液の屈折率差に基づく光強度の非対称性の検出感度が悪くなる。なお、サンプル液用の溶媒は水に限るものではなく、被測定物に応じて適宜選択すればよく、更に被測定物やサンプル液の種類に応じて、屈折率や化学的耐性等の観点から光導波路や基板の材質も適宜選択すればよい。
コア(光導波路)3の一端(入射端)側には、コア3に光ビームを入射するためのレーザ光源(不図示)が配設されている。
また、コア3の他端(出射端)側には、コア3を通って出射された光強度の非対称性を測定するための光検出器7が、コア3の左右方向に沿って伸びるように配設されている。すなわち、コア3の出射端面での光強度分布を対数表示すると、光の周辺部ほど強度分布に差が出てくる。この差は、アレイ型PD、CCD型ラインセンサなどの光検出器7を用いれば十分に判別することが可能になる。
また、コア3の他端(出射端)側には、コア3を通って出射された光強度の非対称性を測定するための光検出器7が、コア3の左右方向に沿って伸びるように配設されている。すなわち、コア3の出射端面での光強度分布を対数表示すると、光の周辺部ほど強度分布に差が出てくる。この差は、アレイ型PD、CCD型ラインセンサなどの光検出器7を用いれば十分に判別することが可能になる。
また、本例では、第一,第二の流体路5,6において、供給口5a,6aがコア3の入射端近傍に、排出口5b,6bがコア3の出射端近傍にそれぞれ形成されると共に、これら流体路5,6がコア(光導波路)3の中心軸Lに対し対称状に配されており、供給路5c,6c、排出路5d,6dを除くほぼ全長にわたる領域がコア3に接している。
さらに、本例では、コア3の出射端と光検出器7の間に、光強度分布の拡大手段としてのレンズ8を備えており、より高精度な検出を行えるようになっている。
以上の構成によれば、第一の流体路5にサンプル用水溶液を流し、第二の流体路6にリファレンス液としての水を流すと、コア3の入射端より導入された光は、コア3と液体との界面部分(検出部)で、屈折率の高い方に偏りながら伝搬し、そのまま、コア3の出射端より出力され、出力された光の強度分布を、レンズ8で拡大し、光検出器7によりその非対称性を計測する。すなわち、流体路5または6に屈折率の高い液体を流すと、流体路側に偏った光強度分布となり、屈折率の低い液体を流すと流体路と反対側に偏った光強度分布となる。
以下、更に具体的に説明する。
本具体例では、光導波路等は全て石英ガラスで形成する。図1に示すように、コア3の表面の第一の流体路5と接する側に、一次抗体(具体的には図1,2中「Y」に相当する)、を固定化させるため、供給口5a、供給路5c、排出路5d、排出口5bを経由して、予め第一の流体路に2%シランカップリング剤、及び2%グルタルアルデヒドを流した後、抗体の一種であるモノクローナル抗体(Anti-mouse lgG )溶液(100μg/ml )500μlを同様に供給口5aから第一流体路5中に注入し、室温で30分静置する。その後、抗原の非特異的な吸着を防ぐため、排出口5bから抗体溶液を取り除き、リン酸緩衝液(PBS)で洗浄し、ブロッキング溶液(2%W/V BSA(Bovine Serum Albumin )PBS(Phosphate Buffer Solution ))を500μl入れて室温で1時間静置した後、界面活性剤(Tween20 )0.05%V/Vを含むPBSで2回洗浄を行う。
本具体例では、光導波路等は全て石英ガラスで形成する。図1に示すように、コア3の表面の第一の流体路5と接する側に、一次抗体(具体的には図1,2中「Y」に相当する)、を固定化させるため、供給口5a、供給路5c、排出路5d、排出口5bを経由して、予め第一の流体路に2%シランカップリング剤、及び2%グルタルアルデヒドを流した後、抗体の一種であるモノクローナル抗体(Anti-mouse lgG )溶液(100μg/ml )500μlを同様に供給口5aから第一流体路5中に注入し、室温で30分静置する。その後、抗原の非特異的な吸着を防ぐため、排出口5bから抗体溶液を取り除き、リン酸緩衝液(PBS)で洗浄し、ブロッキング溶液(2%W/V BSA(Bovine Serum Albumin )PBS(Phosphate Buffer Solution ))を500μl入れて室温で1時間静置した後、界面活性剤(Tween20 )0.05%V/Vを含むPBSで2回洗浄を行う。
ここで、抗体がコア3表面に固定化されることによって、コア表面近傍の屈折率が平均的に増加するため、第一,第二の流体路5,6両方に水を流し、予めこの段階での光強度分布の非対称性を測定しておく。
次に、抗原抗体反応をさせるために、10μg/ml の抗原(mouse lgG :図1,2中「○」に相当する)溶液500μlを供給口5aから第一流体路5中に注入し、室温で30分静置した後、PBSで2回洗浄を行う。
これにより、コア表面に固定された一次抗体と抗原とが反応して結合する抗原抗体反応が起こる。その結果、抗体と抗原が結合した分だけ、第一流体路5側のコア3表面近傍の屈折率が更に増加する。これにより生じる光強度分布の非対称性を測定し、抗原抗体反応前に測定した結果を用いて補正することで、最終的に、抗体と結合した抗原の量を測定することができる。
次に、抗原抗体反応をさせるために、10μg/ml の抗原(mouse lgG :図1,2中「○」に相当する)溶液500μlを供給口5aから第一流体路5中に注入し、室温で30分静置した後、PBSで2回洗浄を行う。
これにより、コア表面に固定された一次抗体と抗原とが反応して結合する抗原抗体反応が起こる。その結果、抗体と抗原が結合した分だけ、第一流体路5側のコア3表面近傍の屈折率が更に増加する。これにより生じる光強度分布の非対称性を測定し、抗原抗体反応前に測定した結果を用いて補正することで、最終的に、抗体と結合した抗原の量を測定することができる。
さらには、第二の流体路6にも、第一の流体路5に注入する抗原溶液と同じものを注入しておけば、抗原抗体反応が開始してから安定化するまでの過渡的な状態においても周囲の環境変化等の測定誤差要因を排除して測定することができる。
また、上記の例では、第一の流体路5側のみのコア3表面に抗体を固定化する例を示したが、予め第一,第二の流体路5,6両方の側のコア3表面に抗体を固定化しておけば、抗体の存在自体は光強度分布の非対称性には影響を与えないことから前述の補正作業は不要となり、第一の流体路5にのみ抗原溶液を注入することで簡便に測定することも可能となる。
以上述べたように、本例によれば、測定時の周囲の温度、湿度等の環境変化により、測定対象ではない溶媒自体の屈折率に変化が生じたり、光源そのものの光強度が変動するなどの測定誤差要因は、第一,第二の流体路5,6を流れる液に共通して作用するため、出射光強度分布の非対称性には影響を与えない。即ち、これらの測定誤差要因を簡便に排除することができ、サンプル液中に存在する被測定物の特性を測定、判別することが可能となる。
図3には、図1に示す実施形態例において、コア3の上下に中空流路からなる第一の流体路5、第二の流体路6を形成した場合を示す。この例では、コア3の他端(出射端)側の光検出器7が、コア3の上下方向に沿って伸びるように配設される。
この例においても、第一の流体路5にサンプル用水溶液を流し、第二の流体路6にリファレンス液としての水を流すと、前述の形態例と同様にして、サンプル用水溶液中に存在する被測定物に起因する光強度分布の非対称性を判別することができる。
この例においても、第一の流体路5にサンプル用水溶液を流し、第二の流体路6にリファレンス液としての水を流すと、前述の形態例と同様にして、サンプル用水溶液中に存在する被測定物に起因する光強度分布の非対称性を判別することができる。
図4には、前述した実施形態例における光強度分布拡大手段の変更例を示す。
すなわち、この例では、前述のレンズ8に代えて、コア(光導波路)3における出射端側の所定領域に、スラブ型光導波路10を形成した場合を示す。
この例においても、第一の流体路5にサンプル用水溶液を流し、第二の流体路6にリファレンス液としての水を流すと、前述の形態例と同様にしてコア3の出射端より出力される光の強度分布を、スラブ型光導波路10で拡大し、光検出器7によりその非対称性を計測、判別することができる。
すなわち、この例では、前述のレンズ8に代えて、コア(光導波路)3における出射端側の所定領域に、スラブ型光導波路10を形成した場合を示す。
この例においても、第一の流体路5にサンプル用水溶液を流し、第二の流体路6にリファレンス液としての水を流すと、前述の形態例と同様にしてコア3の出射端より出力される光の強度分布を、スラブ型光導波路10で拡大し、光検出器7によりその非対称性を計測、判別することができる。
図5には、図4の実施形態例における光強度分布拡大手段の変更例を示す。
すなわち、この例では、前述のスラブ型光導波路10に加え、該スラブ型光導波路10内における中心軸L上に、光を遮断する材質からなる光分岐部11を形成した場合を示す。
この例においては、第一の流体路5にサンプル用水溶液を流し、第二の流体路6にリファレンス液としての水を流すと、前述の形態例と同様にしてコア3の出射端より出力される光の強度分布を、スラブ型光導波路10で拡大する。
そして、光分岐部11により、第一の流体路5側(サンプル用水溶液側)と、第二の流体路6側(リファレンス液側)とに光を二分割し、光検出器7によりその非対称性を計測、判別することができる。
すなわち、この例では、前述のスラブ型光導波路10に加え、該スラブ型光導波路10内における中心軸L上に、光を遮断する材質からなる光分岐部11を形成した場合を示す。
この例においては、第一の流体路5にサンプル用水溶液を流し、第二の流体路6にリファレンス液としての水を流すと、前述の形態例と同様にしてコア3の出射端より出力される光の強度分布を、スラブ型光導波路10で拡大する。
そして、光分岐部11により、第一の流体路5側(サンプル用水溶液側)と、第二の流体路6側(リファレンス液側)とに光を二分割し、光検出器7によりその非対称性を計測、判別することができる。
図6には、前述の実施形態例における光分岐手段の変更例を示す。
この例では、前述のスラブ型光導波路10に代えて、コア(光導波路)3における出射端側の所定領域に方向性結合器12を形成し、コア(光導波路)3の出射端側を、第一の流体路側の出力導波路3a、第二の流体路側の出力導波路3b、中心の出力導波路3cの三つに分岐させている。
この例においては、第一の流体路5にサンプル用水溶液を流し、第二の流体路6にリファレンス液としての水を流すと、前述の形態例と同様にしてコア3の出射端より出力される光を、方向性結合器12で、第一の流体路側(サンプル用水溶液側)3aと、第二の流体路側(リファレンス液側)3bと、中心の出力導波路3cとに三分割し、光検出器7によりその強度分布の非対称性を計測、判別することができる。
この例では、前述のスラブ型光導波路10に代えて、コア(光導波路)3における出射端側の所定領域に方向性結合器12を形成し、コア(光導波路)3の出射端側を、第一の流体路側の出力導波路3a、第二の流体路側の出力導波路3b、中心の出力導波路3cの三つに分岐させている。
この例においては、第一の流体路5にサンプル用水溶液を流し、第二の流体路6にリファレンス液としての水を流すと、前述の形態例と同様にしてコア3の出射端より出力される光を、方向性結合器12で、第一の流体路側(サンプル用水溶液側)3aと、第二の流体路側(リファレンス液側)3bと、中心の出力導波路3cとに三分割し、光検出器7によりその強度分布の非対称性を計測、判別することができる。
以上、本発明の実施形態例を図面に基づき説明したが、本発明は図示例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇において各種変更が可能であることは言うまでもない。
1:基板
2,4:クラッド
3:コア(光導波路)
L:光導波路の中心軸
5:第一の流体路
6:第二の流体路
7:光検出器
8:光強度拡大用レンズ
10:スラブ型光導波路
11:光分岐部
12:方向性結合器
2,4:クラッド
3:コア(光導波路)
L:光導波路の中心軸
5:第一の流体路
6:第二の流体路
7:光検出器
8:光強度拡大用レンズ
10:スラブ型光導波路
11:光分岐部
12:方向性結合器
Claims (10)
- 光導波路に沿って対称状に配され且つ一定長さ領域が前記光導波路に接する第一および第二の流体路を有し、
前記第一の流体路および/または前記第二の流体路中の試料の特性を、前記光導波路を通って端部から出射された光強度の非対称性に基づき測定することを特徴とする光導波路式測定方法。 - 前記光強度の非対称性が、前記第一および第二のそれぞれの流体路中の試料における屈折率の相違に基づくものであることを特徴とする請求項1記載の光導波路式測定方法。
- 前記第一の流体路中の試料が被測定物(サンプル液)であり、前記第二の流体路中の試料が基準物(リファレンス液)であることを特徴とする請求項1または2記載の光導波路式測定方法。
- 光導波路と、
前記光導波路の一端から光を入射する光源と、
前記光導波路の他端から出射された光の強度分布を測定する光検出器と、
被測定物が流れる第一の流体路と、
基準物が流れる第二の流体路と、を備え、
前記第一および第二の流体路は、前記光導波路の中心軸に対し対称状になり、且つ一定長さ領域が前記光導波路に接するよう形成されており、
前記光源から出射され、前記光導波路を通ってその他端から出射された光強度の非対称性を前記光検出器で測定することを特徴とする光導波路型センサ。 - 前記光導波路の出射端と前記光検出器の間に光強度分布拡大用レンズを配したことを特徴とする請求項4記載の光導波路型センサ。
- 前記光導波路の出射端側にスラブ型光導波路が形成されていることを特徴とする請求項4記載の光導波路型センサ。
- 前記光導波路の出射端側に方向性結合器が形成されていることを特徴とする請求項4記載の光導波路型センサ。
- 前記光検出器がアレイ型フォトダイオードまたはCCD型ラインセンサであることを特徴とする請求項4〜7のいずれか記載の光導波路型センサ。
- 前記光導波路が低屈折率材料からなることを特徴とする請求項4〜8のいずれか記載の光導波路型センサ。
- 少なくとも、前記光導波路と前記第一および第二の流体路が同一基板上に形成されていることを特徴とする請求項4〜9のいずれか記載の光導波路型センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007210823A JP2009047428A (ja) | 2007-08-13 | 2007-08-13 | 光導波路式測定方法及び光導波路型センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007210823A JP2009047428A (ja) | 2007-08-13 | 2007-08-13 | 光導波路式測定方法及び光導波路型センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009047428A true JP2009047428A (ja) | 2009-03-05 |
Family
ID=40499800
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007210823A Pending JP2009047428A (ja) | 2007-08-13 | 2007-08-13 | 光導波路式測定方法及び光導波路型センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009047428A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012132633A1 (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-04 | 日東電工株式会社 | Sprセンサセルおよびsprセンサ |
WO2012132634A1 (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-04 | 日東電工株式会社 | Sprセンサセルおよびsprセンサ |
WO2013001848A1 (ja) * | 2011-06-27 | 2013-01-03 | 日東電工株式会社 | Sprセンサセルおよびsprセンサ |
JP2013117545A (ja) * | 2011-03-28 | 2013-06-13 | Nitto Denko Corp | Sprセンサセルおよびsprセンサ |
CN103261875A (zh) * | 2010-12-10 | 2013-08-21 | 日东电工株式会社 | Spr传感器单元和spr传感器 |
JP2014016357A (ja) * | 2011-03-28 | 2014-01-30 | Nitto Denko Corp | Sprセンサセルおよびsprセンサ |
-
2007
- 2007-08-13 JP JP2007210823A patent/JP2009047428A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103261875A (zh) * | 2010-12-10 | 2013-08-21 | 日东电工株式会社 | Spr传感器单元和spr传感器 |
WO2012132633A1 (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-04 | 日東電工株式会社 | Sprセンサセルおよびsprセンサ |
WO2012132634A1 (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-04 | 日東電工株式会社 | Sprセンサセルおよびsprセンサ |
JP2012215541A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-11-08 | Nitto Denko Corp | Sprセンサセルおよびsprセンサ |
JP2012215540A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-11-08 | Nitto Denko Corp | Sprセンサセルおよびsprセンサ |
JP2013117545A (ja) * | 2011-03-28 | 2013-06-13 | Nitto Denko Corp | Sprセンサセルおよびsprセンサ |
CN103460022A (zh) * | 2011-03-28 | 2013-12-18 | 日东电工株式会社 | Spr传感器元件及spr传感器 |
CN103460021A (zh) * | 2011-03-28 | 2013-12-18 | 日东电工株式会社 | Spr 传感器元件及spr 传感器 |
JP2014016357A (ja) * | 2011-03-28 | 2014-01-30 | Nitto Denko Corp | Sprセンサセルおよびsprセンサ |
WO2013001848A1 (ja) * | 2011-06-27 | 2013-01-03 | 日東電工株式会社 | Sprセンサセルおよびsprセンサ |
JP2013007687A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-01-10 | Nitto Denko Corp | Sprセンサセルおよびsprセンサ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009047428A (ja) | 光導波路式測定方法及び光導波路型センサ | |
NL2003743A (en) | Method for detection of an analyte in a fluid sample. | |
JP2008224561A (ja) | 表面プラズモン増強蛍光センサ | |
JP2006064514A (ja) | 測定ユニット | |
CN104977274A (zh) | 基于单光束差分检测的光学微流控芯片传感器及测试方法 | |
JP2005009944A (ja) | 化学物質検出装置 | |
JPS63273042A (ja) | 光学的測定装置 | |
JP2006105914A (ja) | 測定方法および測定装置 | |
US8792103B2 (en) | System for analysis of a fluid | |
JP2006266906A (ja) | 測定方法および測定装置 | |
JP2007225354A (ja) | 測定装置 | |
JP3883926B2 (ja) | 測定装置 | |
JP2003254906A (ja) | エバネッセント波を利用したセンサー | |
JP4098603B2 (ja) | 光学センサ | |
JP2003185568A (ja) | 全反射減衰を利用したセンサー | |
JP2015203692A (ja) | 光ファイバ式計測方法及び光ファイバ式計測装置 | |
JP2006258636A (ja) | 測定方法および測定装置 | |
JP5147483B2 (ja) | 液体温度計測装置 | |
JP2007155674A (ja) | マイクロセル | |
US20220244168A1 (en) | Photothermal gas detector including an integrated on-chip optical waveguide | |
JP4053236B2 (ja) | 全反射減衰を利用したセンサー | |
JP2006220605A (ja) | 測定方法および測定装置 | |
JP4475577B2 (ja) | 測定装置および測定ユニット | |
JP2003065946A (ja) | 全反射減衰を利用したセンサー | |
JP2003075334A (ja) | 全反射減衰を利用したセンサー |