JP2009043957A - 電子部品パッケージおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】機能領域上に空間を設けた樹脂層と、金属層を積層し、金属層は、空間を覆いかつ外圧を支えるための突起を有する蓋を形成する部分と、外部端子を形成する部分に同材料が分離されて成るもので、空間部と貫通孔形成がなされた下層樹脂上に設けたパターン化された上部樹脂層が埋まるように全面めっきした後、所定の厚みまで切削することで容易に同構造が得られる。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の実施の形態における電子部品パッケージについて図面を参照しながら説明する。
2 IDT部
3 電極
4 樹脂層
5 空間部
6 金属層(蓋部分)
7 金属層(外部電極部分)
8 貫通孔
9 絶縁樹脂層
10 突起
Claims (6)
- 機能領域と電極を有する素子が表面に形成された基板に、少なくとも前記機能領域上に空間を設けた樹脂層と、金属層が積層された構造の電子部品パッケージであって、前記金属層は、前記機能領域を覆う蓋を形成する部分と、外部電極を形成する部分から成り、前記金属層の前記機能領域を覆う蓋を形成する少なくとも一部分が基板表面に接する突起を有することを特徴とする電子部品パッケージ。
- 前記金属層の突起は、基板表面に形成された電極と接続されていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品パッケージ。
- 前記金属層が銅であることを特徴とする請求項1または2に記載の電子部品パッケージ。
- 機能領域と電極を有する素子が表面に多数個形成された基板に、感光性樹脂層を形成する工程と、現像により感光性を利用して前記機能領域および電極上の樹脂層を除去することで空間部および貫通孔部を作製する工程と、前記感光性樹脂層表面に膜材を積層する工程と、前記膜材を少なくとも前記空間部を覆う部分を残して除去することで前記貫通孔部を露出する工程と、前記貫通孔部にめっき法にて金属層を堆積させると同時に、前記貫通孔部以外の表面上にも金属層を堆積させる工程と、前記堆積させた金属層を少なくとも前記空間部上部分と一部の貫通孔部とを同時に含む領域と、他の貫通孔部を含む複数領域に分割する工程と、基板を前記積層された各層を含めてダイシングして個片化する工程からなることを特徴とする電子部品パッケージの製造方法。
- 前記膜材が接着膜付きの銅箔であり、前記めっき形成する金属層が銅であることを特徴とする請求項4に記載の電子部品パッケージの製造方法。
- 前記堆積させた金属層を少なくとも前記空間部上部分と一部の貫通孔部とを同時に含む領域と、他の貫通孔部を含む複数領域に分割する工程において、予め分割境界となる場所に樹脂からなる壁を形成し、金属層をめっき後、金属層を前記樹脂壁の高さ以下にまで除去することにより金属層の分割を行うことを特徴とする請求項4に記載の電子部品パッケージの製造方法。
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