JP2009043498A - 放電ランプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 発光管の両端に封止管が連設されてなる放電容器と、前記発光管の内部に配置された電極と、前記封止管の内部に配置されたガラス部材を備え、前記ガラス部材の外周面に金属箔が形成され、前記ガラス部材に一端が挿入された外部リードと、前記外部リードを挿通する外部石英管を有する放電ランプにおいて、前記外部石英管と前記外部リードの外周に形成された隙間に低融点ガラスを備え、前記ガラス部材と前記外部リードの外周に形成され隙間に、前記低融点ガラスが設けられていない空隙が形成されていることを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
そこで、図5に示すように、封止管2の外端面42側から通じ、外部リード9の外周に沿って形成される隙間30全体に低融点ガラス20を設けることにした。つまり、外部石英管13と外部リード9の外周に形成された隙間31、ガラス部材4と外部リード9の外周に形成された隙間32、外部石英管13とガラス部材4との間に形成された隙間33、封止管2と外部石英管13の外周に形成された隙間34、および、封止管2とガラス部材4の外周に形成された隙間35に、低融点ガラス20を満たしている。低融点ガラス20を設けることによって、隙間30を埋めて、外気の流入路を塞いでいる。十分な量の低融点ガラス20で隙間30満たして塞ぐことによって、外部から内部まで貫通する微小クラックをなくして、外気の流入を防ぎ、金属箔5を外気から遮断できる。
本発明は、上記の問題点に鑑み、露光装置の光源に用いられる放電ランプにおいて、封止部を破損せずに、封止管の外端面の大気の侵入口を塞いで金属箔を外気から遮断できる放電ランプを提供することを目的とする。
また、本願第2の発明は、本願第1の発明において、前記ルビジウム酸化物が前記金属箔の周囲に形成されている。
放電ランプは、例えば石英ガラスなどの光透過性材料よりなり、概略球状の発光管3とその両端に連続して外方に伸びる封止管2とを有する放電容器1を具え、発光管3の内部には、各々例えばタングステンからなる陽極6および陰極7が対向配置されている。放電容器1内には、発光物質としての水銀および始動補助用のバッファガスとしての例えばキセノンガスがそれぞれ所定の封入量で封入されている。水銀の封入量は、例えば1〜70mg/cm3の範囲内、例えば22mg/cm3とされ、キセノンガスの封入量は例えば0.05〜0.5MPaの範囲内、例えば0.1MPaとされる。
封止管2の外端面42から通じる隙間30において、低融点ガラス20が熱膨張できる空間を設けるべく、外部リード9の先端部41の外周に、低融点ガラス20が設けられていない空隙21を形成している。つまり、ガラス部材4と外部リード9の外周に形成された隙間32に低融点ガラス20が設けられていない隙間21を形成し、外部石英管13と外部リード9の外周に形成された隙間31、外部石英管13とガラス部材4との間に形成された隙間33、封止管2と外部石英管13の外周に形成された隙間34、および、封止管2とガラス部材4の外周に形成された隙間35に、低融点ガラス20を満たしている。
低融点ガラス20は、酸化ホウ素と酸化ビスマスを主成分とし、この主成分の合計重量が全体の重量の70%以上である。また、DTA転移温度は370℃〜550℃の範囲にある。なお、DTA転移温度は酸化ホウ素と酸化ビスマスの組成比によって異なり、通常、DTA転移温度が高くなるに伴い融点も高くなる。
溶融した低融点ガラス20を封止管2の外端面42から、外部石英管13と外部リード9の外周に形成された隙間30に注入する。低融点ガラス20が注入される以前の隙間30には空気があり、封止管2の外端面42側以外に空気の抜け穴がないため、外部石英管13と外部リード9の外周に形成された隙間31に低融点ガラス20を滴下しても、そのまま隙間30を満たすことはできない。そのため、隙間30の中の空気を外に出しつつ、低融点ガラス20を滴下する。このようにして形成されるため、注入口側に低融点ガラス20が配設され、隙間30の先端側に空気が満たされる。十分な量の低融点ガラス20が注入されて自然冷却により固化されると、封止管2の外端面42近傍の隙間30は低融点ガラス20で充填され、注入口から遠い外部リード9の先端部41の外周は低融点ガラス20が設けられていない空隙21が設けられる。
また、放電ランプの使用時は、点灯中のガラス部材4と外部リード9の外周に形成された隙間32の温度が450℃を超えるので、隙間32に注入された低融点ガラス20は軟化する。しかし、低融点ガラス20が溶けて流れ出すほどの温度までには上昇しない。そのため、低融点ガラス20は初めに設けた位置に留まり、外部リード9の先端部41の外周に形成された空隙21が埋められることはない。
また、空隙21を設けても十分な量の低融点ガラス20を隙間30に設ければ、外気の流入路を塞ぐことができる。金属箔5を外気から遮断するために、低融点ガラス5は、隙間30を塞ぐように径方向断面において密に配設され、微小クラックが貫通しない程度に外部リード9の軸方向に十分な長さにわたって形成される。
図3に示す放電ランプの封止部は、図2に示す放電ランプの封止部の集電板12を、ドーナツ状の円板よりなる集電板14に替えている。集電板14の側面に金属箔5を溶接することによって、外部リード9と金属箔5とを電気的に接続している。また、外部リード9は、外周面にモリブデンよりなる巻き箔15を設けて外部石英管13に挿通されている。石英ガラスよりなる外部石英管13とタングステンよりなる外部リード9とが直接に接触しないようにしている。石英ガラスに比べてタングステンの熱膨張率は約1桁大きいが、巻き箔15を設けて保持することによって、外部リード9の熱膨張による外部石英管13の破損を防止できる。
低融点ガラス20は、巻き箔15が外気にさらされないように、封止管2の外端面42から盛り上がるようにして巻き箔15を覆っている。また、低融点ガラス20は、微小クラックが外部から内部まで貫通しないように、外部石英管13と外部リード9の外周に形成された隙間31に入り込むように設けられる。低融点ガラス20は外気の流入を抑えることを目的とするので、外部石英管13と外部リード9の外周に形成された隙間31を塞ぐように、径方向断面において密に配設され、微小クラックが貫通しない程度に、外部リード9の軸方向に少なくとも3mmにわたって形成される。また、低融点ガラス20に続いて、封止管2の外端面42から通じる隙間30の外部リード9の先端部41の外周に、低融点ガラス20が設けられていない空隙21が形成されている。
濃度が調整されたルビジウム硝酸塩の水溶液を、封止管2の外端面42の隙間30から適量滴下する。隙間30にルビジウム硝酸塩の水溶液が充填された放電ランプを約150℃に加熱して乾燥させることにより、水分が蒸発してルビジウム硝酸塩が生成する。蒸発した水分は放電ランプの外部に放出される。さらに水素バーナーで加熱すると、NOXガスが放出されてルビジウム酸化物22が生成される。
なお、ルビジウム硝酸塩の水溶液は、例えば、濃度が2mol/Lとなるように純水と硝酸ルビジウムを秤量し、純水に硝酸ルビジウムを溶解させて形成される。ルビジウム硝酸塩の水溶液を均一な被膜が得られるように注入し、量が不足するときは乾燥後に追加注入することもできる。注入と乾燥を複数回繰り返せば、厚い被膜を作ることもできる。
2 封止管
3 発光管
4 ガラス部材
5 金属箔
6 陽極
7 陰極
8 内部リード
9 外部リード
10 保持用筒体
11 金属板
12 集電板
13 外部石英管
20 低融点ガラス
21 空隙
22 ルビジウム酸化物
Claims (2)
- 発光管の両端に封止管が連設されてなる放電容器と、前記発光管の内部に配置された電極と、前記封止管の内部に配置されたガラス部材を備え、前記ガラス部材の外周面に金属箔が形成され、前記ガラス部材に一端が挿入された外部リードと、前記外部リードを挿通する外部石英管を有する放電ランプにおいて、
前記外部石英管と前記外部リードの外周に形成された隙間に低融点ガラスを備え、前記ガラス部材と前記外部リードの外周に形成され隙間に、前記低融点ガラスが設けられていない空隙が形成されていることを特徴とする放電ランプ。 - 前記ルビジウム酸化物が前記金属箔の周囲に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ。
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