JP2009031709A - 固体撮像素子用カラーフィルタを形成するための感放射線性組成物、カラーフィルタおよび固体撮像素子 - Google Patents

Abstract

【課題】シリコン基板や窒化シリコン基板上で残渣や地汚れを生じることなく、且つ解像性に優れた、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを形成するための感放射線性組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）顔料、（Ｂ）分散剤、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｄ）多官能性単量体、（Ｅ）光重合開始剤および（Ｆ）下記式（１）で表される化合物を含有することを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタを形成するための感放射線性組成物およびこれを用いたカラーフィルター。

（式（１）中Ｒ¹〜Ｒ⁸は、相互に独立に水素原子、ハロゲン原子または１価の有機基を示す。）
【選択図】なし

Description

本発明は、固体撮像素子用カラーフィルタを形成するための感放射線性組成物、カラーフィルタおよび固体撮像素子に関する。より詳しくは、透過型あるいは反射型の固体撮像素子に用いられるカラーフィルタの製造に有用なカラーフィルタ用感放射線性組成物、当該組成物から形成されたカラーフィルタおよび当該カラーフィルタを具備する固体撮像素子に関する。

着色感放射線性組成物を用いてカラー液晶表示素子に用いられるカラーフィルタを製造するに当たっては、通常、ガラス基板上あるいは予め所望パターンの遮光層を形成したガラス基板上に、着色感放射線性組成物の被膜を形成し、所望のパターン形状を有するフォトマスクを介して放射線を照射（以下、「露光」という。）し、そして現像して未露光部を溶解除去したのち、クリーンオーブンやホットプレートを用いてポストベークすることにより、各色の画素パターンを形成する方法（例えば、特許文献１、特許文献２参照。）が知られている。

一方、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを製造するに当たっては、1．０〜３．０μｍ程度の微細な画素パターンを形成する必要があり、従来の着色感放射線性組成物では、その要求を満たすことが困難であった。また、この場合、カラーフィルタを形成する基板がガラス基板ではなくシリコン基板や窒化シリコン基板であるため、従来の着色感放射線性組成物では、未露光部の基板上に残渣や地汚れを生じるという問題や、基板への密着性が不十分であるため所望の解像度の画素パターンが得られないという問題があった。
そのため、シリコン基板や窒化シリコン基板上で残渣や地汚れを生じることなく、且つ解像性に優れた、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを形成するための感放射線性組成物の開発が強く求められている。
特開平２−１４４５０２号公報 特開平３−５３２０１号公報

本発明の課題は、シリコン基板や窒化シリコン基板上で残渣や地汚れを生じることなく、且つ解像性に優れた、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを形成するための感放射線性組成物を提供することにある。

本発明者らは、カラーフィルタについて鋭意研究を行ったところ、意外にも、（Ａ）顔料、（Ｂ）分散剤、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｄ）多官能性単量体、（Ｅ）光重合開始剤および（Ｆ）後記式（１）で表される化合物を含有する感放射線性組成物が、シリコン基板や窒化シリコン基板上でも残渣や地汚れを生じることなく、且つ解像性に優れたものであり、特に固体撮像素子用カラーフィルタの形成において有用であることを見出し、本発明を完成した。

本発明は、第一に、
（Ａ）顔料、（Ｂ）分散剤、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｄ）多官能性単量体、（Ｅ）光重合開始剤および（Ｆ）下記式（１）で表される化合物を含有することを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタを形成するための感放射線性組成物を提供する。

（式（１）中Ｒ¹〜Ｒ⁸は、相互に独立に水素原子、ハロゲン原子または１価の有機基を示す。）

本発明は、第二に、
前記感放射線性組成物を用いて形成された着色層を有するカラーフィルタを提供する。

本発明は、第三に、
前記カラーフィルタを具備してなる固体撮像素子を提供する。

本発明の感放射線性組成物を用いれば、シリコン基板や窒化シリコン基板上で残渣や地汚れを生じることなく、かつ解像性に優れた固体撮像素子用カラーフィルターが形成できる。

以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の固体撮像素子用カラーフィルタを形成するための感放射線性組成物は、（Ａ）顔料、（Ｂ）分散剤、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｄ）多官能性単量体、（Ｅ）光重合開始剤および（Ｆ）前記式（１）で表される化合物を含有する。

本発明における（Ａ）顔料としては、特に限定されるものではなく、有機顔料、無機顔料のいずれでもよい。このうち、カラーフィルタには高純度で高透過性の発色と耐熱性が求められることから、特に有機顔料が好ましい。

前記有機顔料としては、例えば、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｄｙｅｒｓ ａｎｄ Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ 社発行）においてピグメントに分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号が付されているものを挙げることができる。

Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２１１；

Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７２、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７４；

Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２７２；

Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３８；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー８０；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７。
これらの有機顔料は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

これらの有機顔料のうち、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０およびＣ．Ｉ．ピグメントブルー８０の群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。

本発明において、有機顔料は、再結晶法、再沈殿法、溶剤洗浄法、昇華法、真空加熱法や、これらの組み合わせにより精製して使用することもできる。

また、前記無機顔料としては、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることができる。
これらの無機顔料は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

さらに、本発明においては、場合により、前記顔料と共に、染料や天然色素を１種以上併用することもできる。

本発明において、顔料は、所望により、その粒子表面をポリマーで改質して使用することができる。顔料の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば特開平８−２５９８７６号公報に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリゴマー等を挙げることができる。

本発明における（Ａ）顔料の含有量は、現像性および永久膜として耐溶剤、耐薬品、耐熱性等の膜耐性、膜強度の点から、本発明感放射線性組成物中、０．５〜２０重量％、さらに０．５〜１８重量％、特に０．５〜１５重量％であるのが好ましい。

本発明における（Ｂ）分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系や両性等の適宜の分散剤を使用することができるが、好ましくは、アミン価（単位ｍｇＫＯＨ／ｇ。以下同様。）が３０〜９０であり、かつ酸価（単位ｍｇＫＯＨ／ｇ。以下同様。）が２０〜８０である分散剤（以下、「両性分散剤」という。）を含有するものである。ここでアミン価とは、分散剤固形分１ｇを中和するのに必要なＨＣｌに当量のＫＯＨのｍｇ数を表す。また酸価とは、分散剤固形分１ｇを中和するのに必要なＫＯＨのｍｇ数を表す。

両性分散剤のアミン価は、さらに好ましくは４０〜８０である。この場合、両性分散剤のアミン価が３０未満であると、得られる組成物の保存安定性が低下する傾向があり、一方９０を超えると、残渣や地汚れが発生しやすくなる傾向がある。

また両性分散剤の酸価は、さらに好ましくは３０〜５０である。この場合、両性分散剤の酸価が２０未満であると、残渣や地汚れが発生しやすくなる傾向があり、一方８０を超えると得られる組成物の保存安定性が低下する傾向がある。

両性分散剤の市販品としては、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１４２（不揮発成分＝６０％、アミン価＝４３、酸価＝４６、ビックケミー（ＢＹＫ）社製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１４５（不揮発成分＝１００％、アミン価＝７１、酸価＝７６、ビックケミー（ＢＹＫ）社製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１（不揮発成分＝４６％、アミン価＝１９、酸価＝２９、ビックケミー（ＢＹＫ）社製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２０２０（不揮発成分＝７０％、アミン価＝３８、酸価＝３５、ビックケミー（ＢＹＫ）社製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−９０７６（不揮発成分＝９６％、アミン価＝４４、酸価＝３８、ビックケミー（ＢＹＫ）社製）、ソルスパース２４０００（不揮発成分＝１００％、アミン価＝４２、酸価＝２５、ルーブリゾール（株）社製）等を挙げることができる。
本発明において、両性分散剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明においては、両性分散剤と共に、他の分散剤を併用することができる。
当該他の分散剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルの如きポリオキシエチレンアルキルエーテル；ポリオキシエチレンｎ−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンｎ−ノニルフェニルエーテルの如きポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル；ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレートの如きポリエチレングリコールジ脂肪酸エステル；ソルビタン脂肪酸エステル；脂肪酸変性ポリエステル；３級アミン変性ポリウレタン；ポリエチレンイミン類のほか、以下商品名で、ＫＰ（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄社化学（株）製）、エフトップ（トーケムプロダクツ社製）、メガファック（大日本インキ化学工業（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（以上、旭硝子（株）製）や、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０１、同−１０３、同−１１０、同−１１１、同−１３０、同−１６０、同−１６１、同−１６２、同−１６３、同−１６４、同−１６５、同−１６６、同−１７０、同−１８０、同−１８２、同−２０００（以上、ビックケミー・ジャパン（株）製）、ソルスパースＳ５０００、同１２０００、同１７０００、同２００００、同２２０００、同２４０００ＧＲ、同２６０００、同２７０００、同２８０００（以上、ルーブリゾール（株）製）、ＥＦＫＡ４６、同４７、（以上、エフカケミカルズ（株）製）；アジスパ−ＰＢ−８２２（味の素ファインテクノ（株）製）等を挙げることができる。
これらの他の分散剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

他の分散剤の含有割合は、現像性および保存安定性の良好なバランスの確保の点から、両性分散剤と他の分散剤との合計量に対して、好ましくは０〜７５重量％、より好ましくは０〜５０重量％である。
本発明における両性分散剤の含有量（固形分換算）は、組成物の保存安定性および基板上の残渣発生防止の点から、（Ａ）顔料１００重量部に対して、好ましくは１〜５０重量部、さらに好ましくは３〜３０重量部である。

本発明における（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂としては、（Ａ）顔料に対してバインダーとして作用し、かつカラーフィルタを製造する際の現像工程で用いられる現像液（特に好ましくはアルカリ現像液）に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではない。なかでも、カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂が好ましく、特に、１個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体（以下、「カルボキシル基含有不飽和単量体」という。）と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体（以下、「共重合性不飽和単量体」という。）との共重合体（以下、「カルボキシル基含有共重合体」という。）が好ましい。

カルボキシル基含有不飽和単量体としては、例えば、
（メタ）アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸の如き不飽和モノカルボン酸；
マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸の如き不飽和ジカルボン酸またはその無水物；
こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕の如き２価以上の多価カルボン酸のモノ〔（メタ）アクリロイロキシアルキル〕エステル；
ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレートの如き両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ（メタ）アクリレート等を挙げることができる。
これらのカルボキシル基含有不飽和単量体のうち、フタル酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）は、Ｍ−５４００（東亞合成（株）製）の商品名で市販されている。
前記カルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

また、共重合性不飽和単量体としては、例えば、
マレイミド；
Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−ｏ−ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｍ−ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ−ｐ−ヒドロキシフェニルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドベンゾエート、Ｎ−スクシンイミジル−４−マレイミドブチレート、Ｎ−スクシンイミジル−６−マレイミドカプロエート、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドプロピオネート、Ｎ−（アクリジニル）マレイミドの如きＮ−位置換マレイミド；
スチレン、α−メチルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、ｐ−クロルスチレン、ｏ−メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｐ−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、ｏ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｐ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテルの如き芳香族ビニル化合物；
インデン、１−メチルインデンの如きインデン類；

メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、２−フェノキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシトリエチレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシプロピレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシジプロピレングルコール（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、トリシクロ［５．２．１．０^2,6］デカン−８−イル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシフェニル（メタ）アクリレートの如き不飽和カルボン酸エステル；

２−アミノエチル（メタ）アクリレート、２−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、２−アミノプロピル（メタ）アクリレート、２−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、３−アミノプロピル（メタ）アクリレート、３−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレートの如き不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル；
グリシジル（メタ）アクリレートの如き不飽和カルボン酸グリシジルエステル；
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルの如きカルボン酸ビニルエステル；
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルの如き他の不飽和エーテル；
（メタ）アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンの如きシアン化ビニル化合物；
（メタ）アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリルアミドの如き不飽和アミド；
１，３−ブタジエンイソプレン、クロロプレンの如き脂肪族共役ジエン；
ポリスチレン、ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリ−ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ポリシロキサンの如き重合体分子鎖の末端にモノ（メタ）アクリロイル基を有するマクロモノマー等を挙げることができる。
これらの共重合性不飽和単量体は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明におけるカルボキシル基含有共重合体としては、（ｃ１）（メタ）アクリル酸を必須成分とし、場合によりこはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕および／またはω−カルボキシポリカクロラクトンモノ（メタ）アクリレートを含有するカルボキシル基含有不飽和単量体と、（ｃ２）Ｎ−位置換マレイミドと、（ｃ３）スチレン、α−メチルスチレン、ｐ−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、メチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリメチルメタクリレートマクロモノマーの群から選ばれる他の共重合性不飽和単量体の少なくとも１種との共重合体（以下、「カルボキシル基含有共重合体（Ｃ１）」という。）が好ましい。

カルボキシル基含有共重合体（Ｃ１）の好ましい具体例としては、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−ｍ−ヒドロキシフェニルマレイミド／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−ｐ−ヒドロキシフェニルマレイミド／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−フェニルマレイミド／α−メチルスチレン／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／ｎ−ブチル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−フェニルマレイミド／ｐ−ヒドロキシ−α−メチルスチレン／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／ｎ−ブチル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／グリセロールモノ（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−ｐ−ヒドロキシフェニルマレイミド／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／グリセロールモノ（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／フェニル（メタ）アクリレート／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
（メタ）アクリル酸／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／フェニル（メタ）アクリレート／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕／Ｎ−ｐ−ヒドロキシフェニルマレイミド／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／アリル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド／スチレン／アリル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／ω−カルボキシポリカクロラクトンモノ（メタ）アクリレート／Ｎ−ｍ−ヒドロキシフェニルマレイミド／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／ω−カルボキシポリカクロラクトンモノ（メタ）アクリレート／Ｎ−ｐ−ヒドロキシフェニルマレイミド／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／ω−カルボキシポリカクロラクトンモノ（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／グリセロールモノ（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／ω−カルボキシポリカクロラクトンモノ（メタ）アクリレート／Ｎ−ｐ−ヒドロキシフェニルマレイミド／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／グリセロールモノ（メタ）アクリレート共重合体
等を挙げることができる。

また、カルボキシル基含有共重合体（Ｃ１）以外のカルボキシル基含有共重合体としては、例えば、
（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、
（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体等を挙げることができる。

カルボキシル基含有共重合体において、カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、好ましくは５〜５０重量％、さらに好ましくは１０〜４０重量％である。この場合、該共重合割合が５重量％未満では、得られる感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方５０重量％を超えると、アルカリ現像液に対する溶解性が過大となり、アルカリ現像液により現像する際に、画素の基板からの脱落や画素表面の膜荒れを来たしやすくなる傾向がある。

アルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ、溶出溶媒：テトラヒドロフラン）で測定したＭｗは、好ましくは３，０００〜３００，０００、より好ましくは５，０００〜１００，０００である。
また、アルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ、溶出溶媒：テトラヒドロフラン）で測定したＭｎは、好ましくは３，０００〜６０，０００、より好ましくは５，０００〜２５，０００である。
また、アルカリ可溶性樹脂のＭｗとＭｎの比（Ｍｗ／Ｍｎ）は、好ましくは１〜５、より好ましくは１〜４である。

本発明においては、このような特定のＭｗおよびＭｎを有するアルカリ可溶性樹脂を使用することによって、現像性に優れた感放射線性組成物が得られ、それにより、シャープなパターンエッジを有する画素パターンを形成することができるとともに、現像時に未露光部の基板上および遮光層上に残渣、地汚れ、膜残り等が発生し難くなる。
本発明において、アルカリ可溶性樹脂は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の含有量は、（Ａ）顔料１００重量部に対して、好ましくは１０〜１，０００重量部、より好ましくは２０〜５００重量部である。この場合、アルカリ可溶性樹脂の含有量が１０重量部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上や遮光層上に地汚れや膜残りが発生するおそれがあり、一方１，０００重量部を超えると、相対的に顔料濃度が低下するため、薄膜として目的とする色濃度を達成することが困難となるおそれがある。

本発明における（Ｄ）多官能性単量体は、２個以上の重合性不飽和結合を有する単量体である。
多官能性単量体としては、例えば、
エチレングリコール、プロピレングリコールの如きアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート；
ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールの如きポリアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート；
グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトールの如き３価以上の多価アルコールのポリ（メタ）アクリレートやそのジカルボン酸変性物；
ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂の如きオリゴ（メタ）アクリレート；
両末端ヒドロキシポリ−１，３−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトンの如き両末端ヒドロキシル化重合体のジ（メタ）アクリレートや、トリス〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕ホスフェート等を挙げることができる。

これらの多官能性単量体のうち、３価以上の多価アルコールのポリ（メタ）アクリレートやそのジカルボン酸変性物、具体的には、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが、画素の強度および表面平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上および遮光層上に地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好ましい。
前記多官能性単量体は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明における（Ｄ）多官能性単量体の含有量は、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは５〜５００重量部、より好ましくは２０〜３００重量部である。この場合、多官能性単量体の含有量が５重量部未満では、画素の強度や表面平滑性が低下する傾向があり、一方５００重量部を超えると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上や遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。

また、本発明においては、多官能性単量体の一部を、重合性不飽和結合を１個有する単官能性単量体に置き換えることもできる。
前記単官能性単量体としては、例えば、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂について例示したカルボキシル基含有不飽和単量体や共重合性不飽和単量体と同様の単量体や、Ｎ−（メタ）アクリロイルモルフォリン、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニル−ε−カプロラクタムのほか、商品名で、Ｍ−５６００（東亞合成（株）製）等を挙げることができる。
これらの単官能性単量体は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明における単官能性単量体の含有割合は、多官能性単量体と単官能性単量体との合計量に対して、好ましくは９０重量％以下、より好ましくは５０重量％以下である。この場合、単官能性単量体の使用割合が９０重量％を超えると、画素の強度や表面平滑性が不十分となるおそれがある。
本発明における多官能性単量体と単官能性単量体との合計含有量は、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは５〜５００重量部、より好ましくは２０〜３００重量部である。この場合、該合計含有量が５重量部未満では、画素の強度や表面平滑性が低下する傾向があり、一方５００重量部を超えると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上や遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。

本発明における（Ｅ）光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ線等の放射線の露光により、前記（Ｄ）多官能性単量体および場合により使用される単官能性単量体の重合を開始しうる活性種を発生する化合物である。
このような光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、Ｏ−アシルオキシム系化合物、チオキサントン系化合物、ケトクマリン系化合物、オニウム塩系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物、イミドスルホナート系化合物等を挙げることができる。これらの化合物は、露光によって活性ラジカルまたは活性酸、あるいは活性ラジカルと活性酸の両方を発生する成分である。

本発明において、光重合開始剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができるが、本発明における光重合開始剤としては、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、Ｏ−アシルオキシム系化合物、チオキサントン系化合物、ケトクマリン系化合物の群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。

本発明において、光重合開始剤の一般的な含有量は、（Ｄ）多官能性単量体と単官能性単量体との合計１００重量部に対して、通常、０．０１〜１２０重量部、好ましくは１〜１００重量部である。この場合、光重合開始剤の含有量が０．０１重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方１２０重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。

本発明における好ましい光重合開始剤のうち、アセトフェノン系化合物の具体例としては、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシル・フェニルケトン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、１，２−オクタンジオン等を挙げることができる。
これらのアセトフェノン系化合物のうち、特に、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、１，２−オクタンジオン等が好ましい。
前記アセトフェノン系化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明において、光重合開始剤としてアセトフェノン系化合物を使用する場合の含有量は、（Ｄ）多官能性単量体と単官能性単量体との合計１００重量部に対して、通常、０．０１〜８０重量部、好ましくは１〜７０重量部、さらに好ましくは１〜６０重量部である。この場合、アセトフェノン系化合物の含有量が０．０１重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方８０重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。

また、前記ビイミダゾール系化合物の具体例としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール等を挙げることができる。

これらのビイミダゾール系化合物のうち、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール等が好ましく、特に、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾールが好ましい。
これらのビイミダゾール系化合物は、溶剤に対する溶解性に優れ、未溶解物、析出物等の異物を生じることがなく、しかも感度が高く、少ないエネルギー量の露光により硬化反応を十分進行させるとともに、未露光部で硬化反応が生じることがないため、露光後の塗膜は、現像液に対して不溶性の硬化部分と、現像液に対して高い溶解性を有する未硬化部分とに明確に区分され、それにより、アンダーカットのない着色層パターンが所定の配列に従って配置された高精細なカラーフィルタを形成することができる。
前記ビイミダゾール系化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明において、光重合開始剤としてビイミダゾール系化合物を使用する場合の含有量は、（Ｄ）多官能性単量体と単官能性単量体との合計１００重量部に対して、通常、０．０１〜４０重量部、好ましくは１〜３０重量部、さらに好ましくは１〜２０重量部である。この場合、ビイミダゾール系化合物の含有量が０．０１重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方４０重量部を超えると、現像する際に、形成された着色層の基板からの脱落や着色層表面の膜あれを来しやすくなる傾向がある。

本発明においては、光重合開始剤としてビイミダゾール系化合物を用いる場合、下記の水素供与体を併用することが、感度をさらに改良することができる点で好ましい。
ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。
本発明における水素供与体としては、下記のメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。

前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を１個以上、好ましくは１〜３個、さらに好ましくは１〜２個有する化合物（以下、「メルカプタン系水素供与体」という。）からなる。
前記アミン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を１個以上、好ましくは１〜３個、さらに好ましくは１〜２個有する化合物（以下、「アミン系水素供与体」という。）からなる。
なお、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有することもできる。

以下、水素供与体について、より具体的に説明する。
メルカプタン系水素供与体は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ１個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を２個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基を２個以上有する場合、少なくとも１個の遊離メルカプト基が残存する限り、残りのメルカプト基には１個以上のアルキル、アラルキルまたはアリール基が置換していてもよく、さらには少なくとも１個の遊離メルカプト基が残存する限り、２個の硫黄原子がアルキレン基等の２価の有機基を介在して結合した構造単位、あるいは２個の硫黄原子がジスルフィドの形で結合した構造単位を有することができる。
さらに、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基以外の箇所に、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等が置換していてもよい。

このようなメルカプタン系水素供与体の具体例としては、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２，５−ジメルカプト−１，３，４−チアジアゾール、２−メルカプト−２，５−ジメチルアミノピリジン等を挙げることができる。
これらのメルカプタン系水素供与体のうち、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に２−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。

また、アミン系水素供与体は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ１個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を２個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、アミン系水素供与体は、アミノ基の１個以上にアルキル基または置換アルキル基が置換していてもよく、またアミノ基以外の箇所に、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等が置換していてもよい。

このようなアミン系水素供与体の具体例としては、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４−ジエチルアミノアセトフェノン、４−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、４−ジメチルアミノ安息香酸、４−ジメチルアミノベンゾニトリル等を挙げることができる。
これらのアミン系水素供与体のうち、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましく、特に４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。
なお、アミン系水素供与体は、ビイミダゾール系化合物以外のラジカル発生剤の場合においても、増感剤としての作用を有するものである。

本発明において、水素供与体は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができるが、１種以上のメルカプタン系水素供与体と１種以上のアミン系水素供与体とを組み合わせて使用することが、形成された着色層が現像時に基板から脱落し難く、また着色層強度および感度も高い点で好ましい。
メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組み合わせの具体例としては、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等を挙げることができ、さらに好ましい組み合わせは、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンであり、特に好ましい組み合わせは、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンである。
メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組み合わせにおけるメルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との重量比は、通常、１：１〜１：４、好ましくは１：１〜１：３である。

本発明において、水素供与体をビイミダゾール系化合物と併用する場合の含有量は、（Ｄ）多官能性単量体と単官能性単量体との合計１００重量部に対して、好ましくは０．０１〜４０重量部、さらに好ましくは１〜３０重量部、特に好ましくは１〜２０重量部である。この場合、水素供与体の含有量が０．０１重量部未満であると、感度の改良効果が低下する傾向があり、一方４０重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。

また、前記トリアジン系化合物の具体例としては、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ｎ−ブトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等のハロメチル基を有するトリアジン系化合物を挙げることができる。

これらのトリアジン系化合物のうち、特に、２−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンが好ましい。
前記トリアジン系化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明において、光重合開始剤としてトリアジン系化合物を使用する場合の含有量は、（Ｄ）多官能性単量体と単官能性単量体との合計１００重量部に対して、好ましくは０．０１〜４０重量部、さらに好ましくは１〜３０重量部、特に好ましくは１〜２０重量部である。この場合、トリアジン系化合物の含有量が０．０１重量部未満であると、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方４０重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。

また、前記Ｏ−アシルオキシム系化合物の具体例としては、１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−ヘプタン−１，２−ジオン ２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−オクタン−１，２−ジオン ２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１−〔４−（ベンゾイル）フェニル〕−オクタン−１，２−ジオン ２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−エタノン １−（Ｏ−アセチルオキシム）、１−［９−エチル−６−（３−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−エタノン １−（Ｏ−アセチルオキシム）、１−（９−エチル−６−ベンゾイル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）−エタノン １−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−〔９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−〔９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−〔９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−〔９−エチル−６−｛２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）ベンゾイル｝−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−〔９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−〔９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−〔９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−〔９−エチル−６−｛２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル｝−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）等を挙げることができる。

これらのＯ−アシルオキシム系化合物のうち、特に、１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−オクタン−１，２−ジオン ２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−エタノン １−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−〔９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−〔９−エチル−６−｛２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル｝−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）等が好ましい。
前記Ｏ−アシルオキシム系化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明において、光重合開始剤としてＯ−アシルオキシム系化合物を使用する場合の含有量は、（Ｄ）多官能性単量体と単官能性単量体との合計１００重量部に対して、好ましくは０．０１〜８０重量部、さらに好ましくは１〜７０重量部、特に好ましくは１〜６０重量部である。この場合、Ｏ−アシルオキシム系化合物の含有量が０．０１重量部未満であると、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方８０重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。

また、前記チオキサントン系化合物の具体例としては、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−ｉ−プロピルチオキサントン等を挙げることができる。
これらのチオキサントン系化合物のうち、特に、２，４−ジエチルチオキサントンが好ましい。
前記チオキサントン系化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明において、光重合開始剤としてチオキサントン系化合物を使用する場合の含有量は、（Ｄ）多官能性単量体と単官能性単量体との合計１００重量部に対して、好ましくは０．０１〜６０重量部、さらに好ましくは１〜５５重量部、特に好ましくは１〜５０重量部である。この場合、チオキサントン系化合物の含有量が０．０１重量部未満であると、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方６０重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。

また、前記ケトクマリン系化合物としては、例えば、３−ケトクマリン等を挙げることができる。
本発明において、光重合開始剤としてケトクマリン系化合物を使用する場合の含有量は、（Ｄ）多官能性単量体と単官能性単量体との合計１００重量部に対して、好ましくは０．０１〜６０重量部、さらに好ましくは１〜５５重量部、特に好ましくは１〜５０重量部である。この場合、ケトクマリン系化合物の含有量が０．０１重量部未満であると、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方６０重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。

本発明における（Ｆ）成分は、前記式（１）で表される化合物であり、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ線等の放射線の露光に伴い前記（Ｅ）成分により開始される、前記（Ｄ）多官能性単量体および場合により使用される単官能性単量体の重合を禁止しうる化合物（以下、「重合禁止剤（Ｆ）」ともいう。）である。

式（１）中、Ｒ¹〜Ｒ⁸で示されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。また、１価の有機基としては、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アルケニルオキシ基、シアノ基、アミノ基、ニトロ基、ハロゲノアルキル基等が挙げられる。このうち、アルキル基、アルコキシ基およびシアノ基が好ましい。アルキル基の具体例としてはメチル基、エチル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｎ−ペンチル基等の炭素数１〜８の直鎖または分枝状アルキル基が挙げられる。アルコキシ基の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、イソプロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、ｎ−ペンチル基等の炭素数１〜８の直鎖または分枝状アルコキシ基が挙げられる。

重合禁止剤（Ｆ）具体例としては、例えば、フェノチアジン、２−メトキシフェノチアジン、３−メトキシフェノチアジン、２−クロロフェノチアジン、２−シアノフェノチアジン等を挙げることができる。これらの重合禁止剤（Ｆ）のうち、フェノチアジンが好ましい。
重合禁止剤（Ｆ）は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明においては、重合禁止剤（Ｆ）と共に、他の重合禁止剤を併用することができる。他の重合禁止剤としては、４−メトキシフェノール、ｔ−ブチルハイドロキノン、ｐ−ｔ−ブチルカテコール、４−メトキシ−１−ナフトール、トリフェニルフォスフィン等を挙げることができる。
これらの他の重合禁止剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

他の重合禁止剤の含有割合は、重合禁止剤（Ｆ）と他の重合禁止剤との合計量に対して、好ましくは０〜７５重量％、より好ましくは０〜５０重量％である。この場合、他の分散剤の含有割合が７５重量％を超えると、十分な解像性を確保できなくなるおそれがある。
本発明における重合禁止剤（Ｆ）の含有量は、光開始剤（Ｅ）１００重量部に対して、好ましくは０．１〜１０重量部、さらに好ましくは０．１〜７．５重量部である。この場合、重合禁止剤（Ｆ）の含有量が０．１重量部未満では、十分な解像性を確保できなくなるおそれがあり、一方１０重量部を超えると、画素の密着性や表面平滑性が低下したり、現像時の膜減りが増大する傾向がある。

本発明におけるカラーフィルタ用感放射線性組成物は、必要に応じて種々の添加剤成分を含有することもできる。
前記添加剤成分としては、感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解特性をより改善し、かつ現像後の未溶解物の残存をより抑制する作用等を示す、有機酸あるいは有機アミノ化合物（但し、前記水素供与体を除く。）等を挙げることができる。

前記有機酸としては、分子中に１個以上のカルボキシル基を有する、脂肪族カルボン酸あるいはフェニル基含有カルボン酸が好ましい。
前記脂肪族カルボン酸としては、例えば、
ぎ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸の如き脂肪族モノカルボン酸；
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸の如き脂肪族ジカルボン酸；
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸の如き脂肪族トリカルボン酸等を挙げることができる。

また、前記フェニル基含有カルボン酸としては、例えば、カルボキシル基が直接フェニル基に結合した化合物や、カルボキシル基が２価の炭素鎖を介してフェニル基に結合した化合物等を挙げることができる。
フェニル基含有カルボン酸としては、例えば、
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸の如き芳香族モノカルボン酸；
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸の如き芳香族ジカルボン酸；
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸の如き３価以上の芳香族ポリカルボン酸や、
フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロけい皮酸、マンデル酸、フェニルこはく酸、アトロパ酸、けい皮酸、シンナミリデン酸、クマル酸、ウンベル酸等を挙げることができる。

これらの有機酸のうち、アルカリ溶解性、後述する溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上および遮光層上における地汚れや膜残りの防止等の観点から、脂肪族カルボン酸としては、脂肪族ジカルボン酸が好ましく、特に、マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン酸等が好ましく、またフェニル基含有カルボン酸としては、芳香族ジカルボン酸が好ましく、特にフタル酸が好ましい。
前記有機酸は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
有機酸の含有量は、（Ａ）〜（Ｅ）成分および添加剤成分の合計１００重量部に対して、好ましくは１５重量部以下、より好ましくは１０重量部以下である。この場合、有機酸の含有量が１５重量部を超えると、形成された画素の基板への密着性が低下する傾向がある。

また、前記有機アミノ化合物としては、分子中に１個以上のアミノ基を有する、脂肪族アミンあるいはフェニル基含有アミンが好ましい。
前記脂肪族アミンとしては、例えば、
ｎ−プロピルアミン、ｉ−プロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、ｉ−ブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミンの如きモノ（シクロ）アルキルアミン；
メチル・エチルアミン、ジエチルアミン、メチル・ｎ−プロピルアミン、エチル・ｎ−プロピルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、ジ−ｉ−プロピルアミン、ジ−ｎ−ブチルアミン、ジ−ｉ−ブチルアミン、ジ−ｓｅｃ−ブチルアミン、ジ−ｔ−ブチルアミンの如きジ（シクロ）アルキルアミン；

ジメチル・エチルアミン、メチル・ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチル・ｎ−プロピルアミン、ジエチル・ｎ−プロピルアミン、メチル・ジ−ｎ−プロピルアミン、エチル・ジ−ｎ−プロピルアミン、トリ−ｎ−プロピルアミン、トリ−ｉ−プロピルアミン、トリ−ｎ−ブチルアミン、トリ−ｉ−ブチルアミン、トリ−ｓｅｃ−ブチルアミン、トリ−ｔ−ブチルアミンの如きトリ（シクロ）アルキルアミン；
２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミノ−１−ブタノールの如きモノ（シクロ）アルカノールアミン；

ジエタノールアミン、ジ−ｎ−プロパノールアミン、ジ−ｉ−プロパノールアミン、ジ−ｎ−ブタノールアミン、ジ−ｉ−ブタノールアミンの如きジ（シクロ）アルカノールアミン；
トリエタノールアミン、トリ−ｎ−プロパノールアミン、トリ−ｉ−プロパノールアミン、トリ−ｎ−ブタノールアミン、トリ−ｉ−ブタノールアミンの如きトリ（シクロ）アルカノールアミン；

３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタンジオール、３−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジエチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルアミノ−１，３−プロパンジオールの如きアミノ（シクロ）アルカンジオール；
β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−アミノ酪酸、２−アミノイソ酪酸、３−アミノイソ酪酸の如きアミノカルボン酸等を挙げることができる。

また、フェニル基含有アミンとしては、例えば、アミノ基が直接フェニル基に結合した化合物、アミノ基が２価の炭素鎖を介してフェニル基に結合した化合物等を挙げることができる。
フェニル基含有アミンとしては、例えば、
アニリン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メチルアニリン、ｐ―エチルアニリン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンの如き芳香族アミン；
ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミノベンジルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ジメチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエチルアミノベンジルアルコールの如きアミノベンジルアルコール類；
ｏ−アミノフェノール、ｍ―アミノフェノール、ｐ―アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェノール、ｐ−ジエチルアミノフェノールの如きアミノフェノール類；
ｍ−アミノ安息香酸、ｐ―アミノ安息香酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸の如きアミノ安息香酸類等を挙げることができる。

これらの有機アミノ化合物のうち、後述する溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上および遮光層上における地汚れや膜残りの防止等の観点から、脂肪族アミンとしては、モノ（シクロ）アルカノールアミンおよびアミノ（シクロ）アルカンジオールが好ましく、特に、２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、５−アミノ−１−ペンタノール、３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール等が好ましく、またフェニル基含有アミンとしては、アミノフェノール類が好ましく、特に、ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール等が好ましい。
前記有機アミノ化合物は、単独でまたは２種以上混合して使用することができる。
有機アミノ化合物の含有量は、（Ａ）〜（Ｅ）成分および添加剤成分の合計１００重量部に対して、好ましくは１５重量部以下、より好ましくは１０重量部以下である。この場合、有機アミノ化合物の含有量が１５重量部を超えると、形成された画素の基板への密着性が低下する傾向がある。

さらに、前記以外の添加剤成分としては、例えば、
銅フタロシアニン誘導体の如き青色顔料誘導体や黄色顔料誘導体などの分散助剤；
ガラス、アルミナなどの充填剤；
ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリ（フロロアルキルアクリレート）などの高分子化合物；
ノニオン系、カチオン系、アニオン系などの界面活性剤；
ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピル・メチル・ジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピル・メチル・ジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピル・メチル・ジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどの密着促進剤；
２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノールなどの酸化防止剤；
２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類などの紫外線吸収剤；
ポリアクリル酸ナトリウムなどの凝集防止剤；
１，１'−アゾビス（シクロヘキサン−１−カルボニトリル）、２−フェニルアゾ−４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリルなどの熱ラジカル発生剤を挙げることができる。また商品名で、エフトップＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５２（以上、新秋田化成（株）製）、メガファックＦ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７８Ｋ、Ｆ４７０（Ｒ０８）、Ｆ４７４、Ｆ４７５、Ｒ３０，Ｆ４８２、Ｆ４８３（以上、大日本インキ化学工業（株）製）、ＰＦ−６３６、ＰＦ−６３２０、ＰＦ−６５６、ＰＦ−６５２０（オムノバ社）、ＦＴＸ−２１８０（（株）ネオス）フロラードＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（以上、住友スリーエム（株）製）、Ｗ００５（アガトス社製）、アサヒガードＡＧ７１０、サーフロンＳ−３８２、同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０２、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ−１０６（以上、旭硝子（株）製）、ＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、ポリフローＮｏ．７５、同Ｎｏ．９５（以上、共栄社化学（株）製）、ＤＣ−５７（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）等の界面活性剤等を挙げることができる。

本発明における溶媒としては、感放射線性組成物を構成する（Ａ）〜（Ｆ）成分や添加剤成分を分散または溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものを適宜に選択して使用することができる。

このような溶媒としては、例えば、
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；

エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類；
メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等のケトン類；

乳酸メチル、乳酸エチル等の乳酸アルキルエステル類；
２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸ｉ−プロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸ｉ−ブチル、ぎ酸ｎ−アミル、酢酸ｉ−アミル、プロピオン酸ｎ−ブチル、酪酸エチル、酪酸ｎ−プロピル、酪酸ｉ−プロピル、酪酸ｎ−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類；
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミドまたはラクタム類等を挙げることができる。

これらの溶媒のうち、溶解性、顔料分散性、塗布性等の観点から、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、乳酸エチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルプロピオネート、酢酸ｎ−ブチル、酢酸ｉ−ブチル、ぎ酸ｎ−アミル、酢酸ｉ−アミル、プロピオン酸ｎ−ブチル、酪酸エチル、酪酸ｉ−プロピル、酪酸ｎ−ブチル、ピルビン酸エチル等が好ましい。
前記溶媒は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

また、前記溶媒と共に、ベンジルエチルエーテル、ジ−ｎ−ヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、１−オクタノール、１−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等の高沸点溶媒を併用することもできる。
これらの高沸点溶媒は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

溶媒の使用量は、特に限定されるものではないが、得られる感放射線性組成物の塗布性、安定性等の観点から、当該組成物の溶媒を除いた各成分の合計濃度が、通常、５〜５０重量％、好ましくは１０〜４０重量％となる量が望ましい。

本発明の感放射線性樹脂組成物は、適宜の方法により調製することができるが、通常、（Ａ）顔料を溶媒中、（Ｂ）分散剤の存在下で、例えばビーズミル、ロールミル等を用いて、粉砕しつつ混合・分散して顔料分散液とし、これを、（Ｃ）成分、（Ｄ）成分、（Ｅ）成分および（Ｆ）成分と、必要に応じてさらに追加の溶媒や他の添加剤を添加し、混合することにより調製される。

次に、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタを形成するための感放射線性組成物（以下、単に「感放射線性組成物」ともいう。）を用いて、本発明のカラーフィルタを形成する方法について説明する。
本発明の固体撮像素子用カラーフィルタを形成する方法は、少なくとも下記（１）〜（４）の工程を含んでいる。
（１）本発明の感放射線性組成物の被膜を基板上に形成する工程。
（２）該被膜の少なくとも一部に放射線を露光する工程。
（３）露光後の該被膜を現像する工程。
（４）現像後の該被膜をポストベークする工程。

以下、これらの工程について順次説明する。
−（１）工程−
先ず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成する部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上に、本発明の感放射線性組成物を塗布したのち、プレベークを行って溶媒を蒸発させて被膜を形成する。
この工程で使用される基板としては、例えば、シリコン、窒化シリコン等を挙げることができる。
また、これらの基板には、所望により、ヘキサメチレンジシラザンやシランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。
感放射線性組成物を基板に塗布する際には、自動塗布現象装置でスピンコーターを用いる塗布法が好ましい。
プレベークの条件は、好ましくは７０〜１１０℃で２〜４分程度である。
塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、好ましくは０．１〜５．０μｍ、より好ましくは０．２〜３．０μｍ、さらに好ましくは０．２〜２．０μｍである。

−（２）工程−
次いで、形成された被膜の少なくとも一部に放射線を露光する。この工程で被膜の一部に露光する際には、好ましくは縮小投影露光機を用いて所定のパターンを有するフォトマスクを介して露光する。
露光に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ線等の放射線を適宜選択して使用することができる。波長が１９０〜４５０ｎｍの範囲にある放射線が好ましい。
放射線の露光量は、好ましくは１００〜１０，０００Ｊ／ｍ²程度である。

−（３）工程−
次いで、露光後の被膜を、現像液、好ましくはアルカリ現像液を用いて現像して、被膜の未露光部を溶解除去することにより、所定のパターンを形成する。
前記アルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、１，８−ジアザビシクロ−［５．４．０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ−［４．３．０］−５−ノネン等の水溶液が好ましい。
前記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、アルカリ現像後は、好ましくは水洗される。
現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ（浸漬）現像法、パドル（液盛り）現像法等を適用することができる。
現像条件は、常温で５〜３００秒程度が好ましい。

−（４）工程−
次いで、現像後の被膜をポストベークすることにより、画素パターンが所定の配列で配置された基板を得ることができる。
ポストベークの処理条件としては、例えば１８０〜２４０℃で１５〜９０分程度が好ましい。このようにして形成された画素の膜厚は、好ましくは０．１〜６．０μｍ、より好ましくは０．５〜３．０μｍである。
前記（１）〜（４）工程を、赤色、緑色または青色の顔料が分散された各感放射線性組成物を用いて繰り返すことにより、赤色、緑色および青色の画素パターンを同一基板上に形成することによって、赤色、緑色および青色の三原色の画素パターンが所定の配列で配置された着色層を基板上に形成することができる。
なお、本発明においては、各色の画素パターンの形成順は任意に選択することができる。

本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、本発明の感放射線性組成物から形成されたものである。
本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、透過型あるいは反射型の固体撮像素子に極めて有用である。

本発明の固体撮像素子は、本発明のカラーフィルタを具備するものである。

以下、実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施例に限定されるものではない。

アルカリ可溶性樹脂の合成
合成例１
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、２，２'−アゾビスイソブチロニトリル３重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２００重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸１０重量部、ベンジルメタクリレート２５重量部、スチレン１１重量部、Ｎ−フェニルマレイミド１９重量部、グリセロールモノメタクリレート５重量部、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート３０重量部、および分子量調節剤としてα−メチルスチレンダイマー５重量部を仕込んで、窒素置換した。その後ゆるやかに撹拌して、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度を５時間保持して重合することにより、共重合体（Ｃ−１）の溶液を得た。（Ｍｗ＝１０，０００、Ｍｎ＝６，０００、固形分濃度３１．２重量％）

合成例２
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、２，２'−アゾビスイソブチロニトリル３重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２００重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸１５重量部、ベンジルメタクリレート３５重量部、スチレン１１重量部、Ｎ−フェニルマレイミド１９重量部、グリセロールモノメタクリレート１０重量部、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート１０重量部、および分子量調節剤としてα−メチルスチレンダイマー５重量部を仕込んで、窒素置換した。その後ゆるやかに撹拌して、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度を５時間保持して重合することにより、共重合体（Ｃ−２）の溶液を得た。（Ｍｗ＝１０，５００、Ｍｎ＝５，２００、固形分濃度３１．２重量％）

合成例３
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２００重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸２０重量部、ベンジルメタクリレート１０重量部、スチレン１２重量部、Ｎ−フェニルマレイミド１５重量部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１５重量部、２−エチルヘキシルメタクリレート２８重量部、および分子量調節剤としてα−メチルスチレンダイマー５重量部を仕込んで、窒素置換した。その後ゆるやかに撹拌して、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度を５時間保持して重合することにより、共重合体（Ｃ−３）の溶液を得た。（Ｍｗ＝１０，２００、Ｍｎ＝５，２００、固形分濃度３１．４重量％）

顔料分散液の調製
調製例１
（Ａ）着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４／Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７／Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１３９＝３２／４８／２０（重量比）混合物１５重量部、分散剤としてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１を４重量部（固形分換算）、共重合体（Ｃ−１）溶液を１６重量部、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４２重量部、プロピレングリコールモノエチルエーテル１８重量部を、ビーズミルにより処理して、赤色顔料分散液（Ｒ１）を調製した。

調製例２
（Ａ）着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４／Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７／Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１３９＝３２／４８／２０混合物１５重量部に代えて、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４／Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１３９＝８０／２０（重量比）混合物１５重量部を用いた以外は、調製例１と同様にして、赤色顔料分散液（Ｒ２）を調製した。

調製例３
（Ａ）着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６／Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９＝７５／２５（重量比）混合物１８重量部、分散剤としてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１を５重量部（固形分換算）、共重合体（Ｃ−２）溶液を１６重量部、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５８重量部を、ビーズミルにより処理して、緑色顔料分散液（Ｇ１）を調製した。

調製例４
（Ａ）着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６／Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９＝７５／２５（重量比）混合物に代えて、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６／Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０／Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３／Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９＝７５／８／３／１４（重量比）混合物１８重量部を用いた以外は、調製例３と同様にして、緑色顔料分散液（Ｇ２）を調製した。

調製例５
（Ａ）着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６／Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９＝７５／２５（重量比）混合物１８重量部、分散剤としてソルスパースＳ２４０００（アミン価＝５０、酸価＝２５）を５．５重量部、共重合体（Ｃ−２）溶液を１６重量部、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６４重量部を、ビーズミルにより処理して、緑色顔料分散液（Ｇ３）を調製した。

調製例６
（Ａ）着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６／Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２３＝８５／１５（重量比）混合物を１２重量部、分散剤としてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１を４．５重量部（固形分換算）、共重合体（Ｃ−１）溶液を１２．８重量部、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４９重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテル１６重量部を、ビーズミルにより処理して、青色顔料分散液（Ｂ１）を調製した。

調製例７
（Ａ）着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６／Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２３の重量比を８５／１５から９２．５／７．５へ変更した以外は、調製例６と同様にして、青色顔料分散液（Ｂ２）を調製した。

実施例１
着色剤として顔料分散液（Ｒ１）５７３．０重量部、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂として共重合体（Ｃ−２）溶液８６．０重量部、（Ｄ）多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート３７．０重量部、（Ｅ）光重合開始剤として２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、１，２−オクタンジオン９．０重量部、（Ｆ）成分としてフェノチアジンを０．５重量部、添加剤としてシトラコン酸を０．６重量部、大日本インキ化学工業（株）製界面活性剤Ｆ−４７５を０．３重量部、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２９０．０重量部を混合して、赤色液状組成物（Ｒ−１）を調製した。液状組成物の各成分の種類および量を表１に示す（但し、表中の数値は重量部を意味する。）。

液状組成物（Ｒ−１）について、下記の手順にしたがって、パターンを形成して評価を行った。評価結果を表２に示す。
パターンの形成
液状組成物（Ｒ−１）を、ヘキサメチレンジシラザン（ＨＭＤＳ）処理した６インチシリコンウエハー表面上に、自動塗布現象装置（東京エレクトロン(株)製クリーントラックＭＡＲＫVIII）を用いて塗布した後、９０℃で１５０秒間プレベークを行って、膜厚０．９μｍの塗膜を形成した。その後、得られた基板を室温に冷却し、基板上の塗膜に、フォトマスク（１．０〜１０．０μｍのドットパターン、もしくは市松模様のパターンを有する）を介して、縮小投影露光機（（株）ニコン製ＮＳＲ−２２０５ｉ１２Ｄ、レンズ開口数＝０.４８）を用いて、波長３６５ｎｍ（ｉ線）にて５００〜３，５００ｍＪ/ｍ²の露光量を１００ｍＪ/ｍ²間隔で露光した。続いて、自動塗布現象装置内で、０．０５重量％テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液により９０秒間パドル（液盛り）現像し、超純水によりリンスし、スピン乾燥した後、ホットプレート上で１８０℃で３００秒間ポストベークを行って、ドットパターン（図１左）もしくは市松模様のパターン（図１右）を形成した。

残膜率の評価
露光量１，０００Ｊ／ｍ²で形成された１０．０μｍのドットパターンにつき、露光後の膜厚およびポストベーク後の膜厚を走査型電子顕微鏡で測定して下記式により残膜率（％）を算出した。
残膜率（％）＝ポストベーク後の膜厚／露光後の膜厚×１００
残膜率（％）が７０％未満であると、硬化不足である可能性が高く、ポストベーク時に昇華物が発生し、ポストベーク炉を汚染するおそれがある。

適正露光量および解像度の評価
１．５μｍのドットパターン（もしくは市松模様のパターン）のフォトマスクを介して形成されたドットパターンの幅が１．５μｍの寸法となる時の露光量を適正露光量とした。なお、赤色液状組成物および青色液状組成物についてはドットパターンを、緑色液状組成物については市松模様のパターンを形成して評価を行った。適正露光量は１，０００Ｊ／ｍ²〜３，０００ｍ／ｃｍ²の範囲内であることが好ましい。適正露光量が１０００Ｊ／ｍ²未満であると、照度が高い縮小投影露光機では精度良く露光シャッターを制御することができず、一方３，０００Ｊ／ｃｍ²を超えると、スループットが著しく落ちるため、いずれの場合も固体撮像素子用カラーフィルタの量産に適していない。
解像度の評価は、走査型電子顕微鏡により、適正露光量での１．５０μｍのドットパターン（あるいは市松模様パターン）を観察し、その結果、パターンに剥がれやゆがみがなく解像している場合を「○」、パターンに剥がれやゆがみが観察される場合を「×」とした。

残渣の評価
前記解像度評価に使用した基板について、走査型電子顕微鏡により、１．５０μｍのドットパターン（あるいは市松模様パターン）のエッジ部分および周辺の未露光部を観察し、残渣が観察されない場合を「○」、若干残渣が観察される場合を「△」、酷く残渣が観察される場合を「×」とした。

実施例２〜２２および比較例１〜４
液状組成物の各成分の種類および量を表１（但し、表中の数値は重量部を意味する。）に示すとおりとした以外は実施例１と同様にして、液状組成物を調製して評価を行った。評価結果を表２に示す。

表１において、溶剤、多官能性単量体、光重合開始剤、Ｆ成分、Ｆ成分以外の重合禁止剤（以下「その他の重合禁止剤」ともいう。）および添加剤の内容は下記のとおりである。
溶剤
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
多官能性単量体
Ｄ１：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
光重合開始剤
Ｅ１：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、１，２−オクタンジオン（商品名イルガキュア３６９、チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製）
Ｅ２：１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−エタノン １−（Ｏ−アセチルオキシム）（商品名イルガキュアＯＸＥ０２、チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製）
Ｅ３：２，４−ジエチルチオキサントン（商品名ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ−Ｓ、日本化薬株式会社製）
（Ｆ）成分
Ｆ１：フェノチアジン（精工化学（株）製）
その他の重合禁止剤
Ｈ１：４-メトキシフェノール（精工化学（株）製）
添加剤
Ｊ１：シトラコン酸（和光純薬工業（株）製）
Ｊ２：マロン酸（和光純薬工業（株）製）
Ｊ３：界面活性剤Ｆ−４７５（大日本インキ化学工業（株）製）
Ｊ４：界面活性剤ＦＴＸ−２１８０（（株）ネオス製）
Ｊ５：界面活性剤ＰＦ−６３６（オムノバ社製）
Ｊ６：界面活性剤Ｗ００５（アガトス社製）

表１および表２から明らかなように、（Ａ）顔料、（Ｂ）分散剤、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｄ）多官能性単量体、（Ｅ）光重合開始剤に加えて、（Ｆ）式（１）で表される重合禁止剤を配合した本発明の感放射線性組成物を用いれば、シリコン基板上で残渣や地汚れを生じることなく、解像性に優れたカラーフィルターが形成できることがわかる。一方、式（１）以外の重合禁止剤を用いた場合には、基板上に残渣が発生し、また解像度の低いカラーフィルターが形成されることがわかる。

ドットパターン（Ｒ／Ｂ）および市松模様パターン（Ｇ）を示す図である。

Claims (5)

1. （Ａ）顔料、（Ｂ）分散剤、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｄ）多官能性単量体、（Ｅ）光重合開始剤および（Ｆ）下記式（１）で表される化合物を含有することを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタを形成するための感放射線性組成物。
   

   

   （式（１）中Ｒ¹〜Ｒ⁸は、相互に独立に水素原子、ハロゲン原子または１価の有機基を示す。）
2. （Ｆ）成分の含有量が（Ｅ）光重合開始剤１００重量部に対して０．１〜１０重量部である請求項１に記載の感放射線性組成物。
3. （Ｂ）分散剤のアミン価が３０〜９０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、かつ酸価が２０〜８０ｍｇＫＯＨ／ｇであることを特徴とする請求項１または２に記載の感放射線性組成物。
4. 請求項１〜３に記載の感放射線性組成物から形成されたカラーフィルタ。
5. 請求項４に記載のカラーフィルタを具備する固体撮像素子。

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