JP2009031091A - 回転体の計測装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】簡易な装置で回転中の回転体の所要位置を必要な方向から適切に観測、計測できるようにした、優れた回転体の計測装置を提供する。
【解決手段】先端に対物レンズ1を有し中間に光導出入部たるハーフミラー2を有する光学系OPと、この光学系OPの基端側に光学的に接続される画像取得手段たるカメラ3と、ハーフミラー2に明滅光Xを導入すべく設けられる明滅光源4とを具備し、明滅光源4からの明滅光Xをハーフミラー2を介して光学系OPの先端側より導出し、これを計測対象である回転中の回転体Rに対し空隙を介して照射した後、反射した明滅光X´を光学系OPの対物レンズ1及びハーフミラー2を介してカメラ3に計測可能な状態で取り込み、仮想停止状態で回転体Rの計測を行い得るように構成した。
【選択図】図2

Description

本発明は、回転状態にある回転体を適切に計測できるようにした回転体の計測装置に関するものである。
回転体の計測装置として、例えば特許文献1に示すものが知られている。
このものは、工具刃先をモニタリングするためのもので、同文献の図1に示されるように、撮像対象Tを照明する光源装置41と、受光面に結像した像を電気信号に変換する撮像素子21と、撮像対象Tの像を撮像素子21の受光面に結像させる光学手段と、光源装置41を保持するとともに撮像素子21と光学手段とを収容するハウジング1とを備えている。光学手段は、入射側反射鏡33と、入射側反射鏡33の後段に配置された対物レンズ30aと、撮像レンズ30bと、撮像レンズ30bの後段に配置された出射側反射鏡36とからなり、入射側反射鏡33に入射した光は、出射側反射鏡36から入射時に対して逆向きに出射し、入射側反射鏡33より撮像対象T側と出射側反射鏡36より撮像素子21側とで光が互いに逆向きとなるため、1方向に長い形状とはならずコンパクト化が可能となっている。
すなわち、特許文献1のものは、図2(c)に示されるように入射光と出射光の向きを反転させる光学系を導入することにより、同図(a)や同図(b)の従来構造に比してハウジングのコンパクト化を図った点を特徴としている。光源としては、図2(c)に示されるように、バックライトユニット4とフロントライトユニット5を選択的に利用できるようにしており、前者を使用した場合に撮像対象Tの輪郭から位置検出を行い、後者を使用した場合に撮像面を照射することで撮像対象Tの表面における異物の付着や傷などの欠陥の検出を行うようにしている。カメラ2は、撮像素子21によって生成された電気信号を所定の形式の画像データに変換する画像信号生成回路を備え、画像データはケーブルCを通じて外部の画像処理装置に送られるものとなっている。バックライトユニット4は回転時の輪郭を通して刃物の位置検出のために、フロントライトユニット5は刃物の静止時における異物の付着や傷など欠陥の検出に用いられる。
特開2007−49489号公報
ところが、このような構造のみであると、回転時における刃物表面の観察を行うことができない。仮に、フロントライトユニット5の連続反射光を処理すべく、カメラ2に高速度シャッターCCDカメラを用いることも考えられるが、この種のカメラは一旦記録したものを再生する構造であり、多くのメモリを要し複雑な画像処理を行うことから、1回の計測時間に制限があり、コスト的にも高価となることが避け難い。
また、上記特許文献のものは、光源と受光部の距離が固定され、その間に刃先を介在させる一体型の構造であるため、専ら切刃の側面または斜め所定角度からの撮像を行い得るのみで、切刃の先端面を軸方向から撮像したり、それ以外の自由な方位から撮影したり、傾いた刃物に対して撮影を行う等といった自由度が極めて低いという問題がある。
さらに、複数の光源を用いているため、部品点数が多く嵩張り易いものになる上に、バックライトユニットから所定距離離れた位置に受光部が位置することによる全体の長大化を避けるべく受光部は一旦ミラーで屈折させた後に対物レンズを通す構造にしており、このため対物レンズが内部に組み込まれて、倍率の違うレンズに簡単に交換できない構造になっているという問題もある。
さらにまた、フロントライトユニットのように光源と受光部が異なる光軸の下に別々に存在すると、両者の物理的な干渉や光軸の相対的な位置関係などから一定以上に接眼させることができず、この点でも自由な撮影が阻害される要因となっている。
本発明は、これらの課題を有効に解決した回転体の計測装置を提供することを目的としている。
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。
すなわち、本発明に係る回転体の計測装置は、先端に対物レンズを有し中間に光導出入部を有する光学系と、この光学系の基端側に光学的に接続される画像取得手段と、前記光導出入部に明滅光を導入すべく設けられる明滅光源とを具備し、前記明滅光源からの明滅光を光導出入部を介して光学系の先端側より導出し、これを計測対象である回転中の回転体に対し空隙を介して照射した後、反射した明滅光を前記光学系の対物レンズ及び光導出入部を介して前記画像取得手段に計測可能な状態で取り込み、仮想停止状態で回転体の計測を行い得るように構成したことを特徴とする。
このように構成すると、受光方向に対して斜め方向から照明する場合に比べて、照射方向が受光方向と合致していることで、対物レンズを回転体に極力接近させた状態で測定を行うことが可能となる。また、回転体に対し空隙を介して対物レンズから明滅光を照射しその反射光を受光するので、接眼の位置や方位次第で適宜部位の計測が可能になり、回転体の回転軸が傾いている場合などにも適切に対応することができる。さらに、反射光を扱うので、シルエットを扱う場合とは異なり、単一の光源で輪郭のみならず表面状態の観測も有効に行うことができる。更にまた、光源が1つで済むことで、部品点数の削減やコンパクト化も有効に実現することが可能となる。
更なるコンパクト化とコストダウンを図るためには、画像取得手段が、受光した光から光電変換を通じて記録再生仮定を経ずにリアルタイムで画像若しくは画像信号を生成するものであることが望ましい。
取り扱いの便を格段に向上させるためには、光学系、画像取得手段及び明滅光源をケーシングに一体的に具備し、ケーシングの固定位置や固定方位を通じて、計測対象である回転体に対し、回転軸に直交する方向からの側面計測、回転軸の軸方向からの端面計測、これらの中間角度からの計測など、適宜部位に対する適宜方位からの計測条件を設定し得るようにしていることが好ましい。
装置全体の嵩張りを有効に抑えるためには、画像取得手段から対物レンズまでの光学系の光軸が直線状に延び、これに対して明滅光源からの明滅光も前記光軸に沿って出力され、途中屈折後に光導出入部を介して前記光軸に沿って導出されるようにしているものが好適である。
回転体の種類などにも容易に適用可能とするためには、光学系の端部を構成する対物レンズをケーシングに脱着可能に取り付け可能としておくことが望ましい。
本発明は、以上説明した構成であるから、簡易な装置で回転中の回転体の所要箇所を必要な方向から適切に観測、計測できるようにした優れた回転体の計測装置を提供することが可能となる。
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
本実施形態に係る計測装置は、図1及び図2に示すように、先端に対物レンズ1を有し中間に光導出入部たるハーフミラー2を有する光学系OPと、この光学系OPの基端側に接続されて画像を計測可能な状態で取得する画像取得手段たるカメラ3と、前記ハーフミラー2に明滅光を導入すべく設けられる明滅光源4とをケーシング5に一体的に具備している。
具体的に説明すると、ケーシング5は、中空ブロック体状をなすケーシング本体51に2本の導光管52,53を互いに平行をなすように接続したもので、ケーシング本体51の先端側にレンズ取付部51aを、導光管52の基端側にカメラ取付部52aをそれぞれ形成して、レンズ取付部51aからカメラ取付部52aの間に直線状に延びる光軸Lを設定している。
光学系OPは、レンズ取付部51aに対物レンズ1を着脱可能に取り付け、この対物レンズ1から所定距離離間させて前記ケーシング本体51内に光軸Lに対し45°傾けてハーフミラー2を配置したもので、このハーフミラー2は、光軸Lに直交する方向から入射する光を光軸L方向に反射する役割とともに、光軸Lに沿って対物レンズ1から入射する光をそのまま光軸Lに沿って透過させる役割をなしている。
カメラ3は、図3(a)に模式的に示すように、内部にCCD素子31を有し、光学系OPを通じて入射する光をこのCCD素子31で受光して画像信号Sに光電変換する機能を備える。この実施形態のカメラ3には、変換された画像信号Sを受けて画像を表示するためのモニター32が備わっており、モニター32上に、目視による計測を可能にするために適宜のスケール32a等が表示されるようにしている。この実施形態において画像信号、CCD素子31及びモニター32はカラー画像に対応している。
明滅光源4は、図3(b)に模式的に示すように、閃光時間の短い適宜の光源素子41を用いたもので、この明滅光源4は図1及び図2に示す導光管53の基端側に形成した光源取付部53aに取り付けられる。ケーシング本体51にはプリズム6が内設され、光学系OPの光軸Lに並行に明滅光源4から出射される明滅光Xは、このプリズム6で90°屈折後にハーフミラー2に至り、更にこのハーフミラー2で90°反射して、光軸Lに沿って対物レンズ1から導出されるようにしている。明滅光源4には、図3(b)に示すように計測対象である回転体Rの回転数(回転速度)に連動して光源素子41を明滅させるための制御回路42が組み込まれ、この制御回路42には明滅光の発光移相や発光周期を微調整するなど適宜の機能が備えられている。プリズム6とハーフミラー2とで所謂ビームスプリッターを構成している。
この計測装置を用いて、例えば計測対象である回転中の回転体R(例えばエンドミル等の刃物)に明滅光Xを照射すると、その反射光X´が対物レンズ1から入光しハーフミラー2を通過して測定対象である回転体Rの像がカメラ3のCCD素子で受光され、画像信号Sに変換されて、リアルタイムでその像がモニター32上に表示される。明滅光源4は回転体Rの回転に同期して発光するストロボ機能を備えているため、モニター32上に表示される画像は仮想停止状態となり、その停止移相も調整可能であって、モニター32上に表示させたスケール32aを通じて回転体Rである刃物等の寸法測定を行い、また表面状態を観察することもできる。明滅光源4の機能さえ担保できれば、10万rpm以上の高速回転にも対応可能なものである。
また、この計測装置はケーシング5に要素部品を組み込んで一体的に扱えるように構成してあり、計測対象に対物レンズ1を向けるだけで計測可能であるため、計測対象である回転体Rの回転軸mは必ずしも本装置の光軸Lと直交する方向を向いている必要はない。このため、図2のように回転体Rの側面からの計測以外に、図4(a)のように光軸Lが上を向くように配置して回転体Rの先端面を軸m方向から計測、観察したり、あるいは図4(b)のように光軸Lが斜めを向くように配置して回転体Rの先端付近を斜め方向から計測、観察することも可能である。或いは、計測対象である回転体Rの回転軸mは必ずしも図2のように鉛直方向を向いている必要はなく、例えば図4(c)のように回転軸mが鉛直方向に対して傾いた状態にある回転体Rや、更には図4(d)のように回転軸mが水平な状態にある回転体Rに対しても、それぞれ適宜の方位からの計測、観察が可能となる。
以上のように、本実施形態の計測装置は、先端に対物レンズ1を有し中間に光導出入部たるハーフミラー2を有する光学系OPと、この光学系OPの基端側に光学的に接続される画像取得手段たるカメラ3と、ハーフミラー2に明滅光Xを導入すべく設けられる明滅光源4とを具備し、明滅光源4からの明滅光Xをハーフミラー2を介して光学系OPの先端側より導出し、これを計測対象である回転中の回転体Rに対し空隙を介して照射した後、反射した明滅光X´を光学系OPの対物レンズ1及びハーフミラー2を介してカメラ3に計測可能な状態で取り込み、仮想停止状態で回転体Rの計測を行い得るように構成したものである。
このため、受光方向に対して斜め方向から照明する場合に比べて、照射方向が受光方向と合致していることで、対物レンズ1を回転体Rに極力接近させた状態で測定を行うことが可能となる。また、回転体Rに対し空隙を介して対物レンズ1から明滅光Xを照射しその反射光X´を受光するので、接眼の位置や方位次第で適宜部位の計測が可能になり、回転体Rの回転軸mが傾いている場合などにも適切に対応することができる。さらに、反射光X´を扱うので、シルエットを扱う場合とは異なり、単一の光源で輪郭のみならず表面状態の観測も行うことができる。更にまた、光源が1つで済むため、部品点数の削減やコストダウン、コンパクト化も有効に実現することが可能となる。
また、カメラ3が、受光した光X´から光電変換を通じてリアルタイムで画像信号S、さらいは画像を生成するものであるため、逐一画像データを記録する機能は不要であり、一旦記録して再生する場合に比して、計測時間に制約がなく、装置構成も記録、再生に必要な要素部品を極力省き、必要最小限に構成して、大幅なコストダウンを図ることができる。
近年、極小刃物の製作技術は向上しているが、これを画像上でリアルタイムに計測する簡易な装置がなかった点に鑑みれば、本実施形態の計測装置は極めて有用に利用できるものとなり得る。
さらに、このものは光学系OP、カメラ3び明滅光源4をケーシング5に一体的に具備し、ケーシング5の固定位置や固定方位を通じて、計測対象である回転体Rに対し、回転軸mに直交する方向からの側面計測、回転軸mの軸方向からの端面計測、これらの中間角度からの計測など、適宜部位に対する適宜方位からの計測条件を設定し得るようにしている。すなわち、乾式で反射光X´を計測するメカニズムを採用し、端部に配置される対物レンズ1を始めとして発光から受光までに必要な要素部品をケーシング5に一体に具備することより、ケーシング5自体を適宜の位置や方位に固定するだけで、種々多様な計測対象部位に対して適切なセッティングを容易に完了することができる。
また、カメラ3から対物レンズ1までの光学系OPの光軸Lが直線状に延び、これに対して明滅光源4からの明滅光Xも前記光軸Lに沿って出力され、途中屈折後にハーフミラー2を介して光軸Lに沿って導出されるようにしており、2本の導光管を途中で接続して誘導路を構成する場合に、分岐部分よりも基端側において導光管52,53同士を平行に配置することができるため、明滅光源4からの明滅光Xを光軸Lと直交する方向から導入すべく導光管52,53同士を交叉させて接続する場合に比して、装置全体の嵩張りを有効に抑えることができる。
そして、以上の構成を前提として、光学系OPの端部を構成する対物レンズ1をケーシング5の端部に露出した位置に脱着可能に取り付けるようにしているため、全体のコンパクト化を維持しつつ、対物レンズ1を他の倍率のものに簡単に交換可能な使い勝手に優れたものとなり得る。
以上において、この実施形態の計測装置は、回転体Rの回転を止めて静止状態で計測、観測を行うことができるのは言うまでもない。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではない。
例えば、要素部品の組み込みに制約が少なければ、2本の導光管を途中で接続して誘導路を構成する際、図5に示すように、明滅光源4からの明滅光Xを光軸Lと直交する方向から導入すべく導光管152,153同士を交叉させて接続する構造を妨げるものではない。
また、ビームスプリッターの機能としては、図6に示すように、ハーフミラー202とプリズム206a、206bとを合体させた形態のものを採用しても構わない。図において符号207で示すものはミラーである。このように、ビームスプリッターの具体的構造は適宜変形実施することができる。
その他、本計測装置を2次元方向、3次元方向に移動させるテーブルに設置したり、計測方位を変更し得るように首振り可能に取り付けたり、画像取得手段からコンピュータに画像信号を送って当該コンピュータで計測、観測するなど、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能となる。
本発明の一実施形態に係る計測装置の斜視図。 同計測装置の内部構造を模式的に示す図。 同計測装置のカメラ及び明滅光源を示す原理図。 同実施形態の作用説明図。 本発明の変形例を示す図。 本発明の他の変形例を示す図。
符号の説明
1…対物レンズ
2…光導出入部(ハーフミラー)
3…画像取得手段(カメラ)
4…明滅光源
5…ケーシング
L…光軸
m…回転軸
OP…光学系
R…回転体

Claims (5)

  1. 先端に対物レンズを有し中間に光導出入部を有する光学系と、この光学系の基端側に光学的に接続される画像取得手段と、前記光導出入部に明滅光を導入すべく設けられる明滅光源とを具備し、前記明滅光源からの明滅光を光導出入部を介して光学系の先端側より導出し、これを計測対象である回転中の回転体に対し空隙を介して照射した後、反射した明滅光を前記光学系の対物レンズ及び光導出入部を介して前記画像取得手段に計測可能な状態で取り込み、仮想停止状態で回転体の計測を行い得るように構成したことを特徴とする回転体の計測装置。
  2. 画像取得手段が、受光した光から光電変換を通じてリアルタイムで画像若しくは画像信号を生成するものである請求項1記載の回転体の計測装置。
  3. 光学系、画像取得手段及び明滅光源をケーシングに一体的に具備し、ケーシングの固定位置や固定方位を通じて、計測対象である回転体に対し、回転軸に直交する方向からの側面計測、回転軸の軸方向からの端面計測、これらの中間角度からの計測など、適宜部位に対する適宜方位からの計測条件を設定し得るようにしている請求項1又は2記載の回転体の計測装置。
  4. 画像取得手段から対物レンズまでの光学系の光軸が直線状に延び、これに対して明滅光源からの明滅光も前記光軸に沿って出力され、途中屈折後に光導出入部を介して前記光軸に沿って導出されるようにしている請求項1〜3記載の回転体の計測装置。
  5. 光学系の端部を構成する対物レンズがケーシングに脱着可能に取り付けられる請求項1〜4載の回転体の計測装置。

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010150709A1 (ja) * 2009-06-23 2010-12-29 昭和電工株式会社 円筒体の表面検査装置
JP2012013698A (ja) * 2010-06-29 2012-01-19 General Electric Co <Ge> 工具摩耗定量化システム及び方法
JP2012093243A (ja) * 2010-10-27 2012-05-17 Toyama Prefecture 工具位置測定装置
WO2020090844A1 (ja) * 2018-10-30 2020-05-07 東芝機械株式会社 工具形状測定装置および工具形状測定方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103630537A (zh) * 2012-08-20 2014-03-12 北京中电科电子装备有限公司 一种划片机刀具状态检测装置、方法及划片机
IT201700062327A1 (it) * 2017-06-07 2018-12-07 Balance Systems Srl Procedimento e dispositivo di monitoraggio per utensile
CN107941715A (zh) * 2017-12-28 2018-04-20 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种基于水下探测的全海深高强度耐压光谱分析装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS588148U (ja) * 1981-07-08 1983-01-19 株式会社東芝 回転体検査装置
JPS589148U (ja) * 1981-07-08 1983-01-21 株式会社早島 濾過・濾液透析型人工腎臓
JPS6357108A (ja) * 1986-08-27 1988-03-11 Toshiba Corp ドリル折損検出装置
JPH04297810A (ja) * 1991-03-27 1992-10-21 Mitsubishi Materials Corp 光学検査装置
JPH0954046A (ja) * 1995-08-17 1997-02-25 Kobe Steel Ltd 圧延ロールの光学式表面観察装置
JPH1034496A (ja) * 1996-07-22 1998-02-10 Ricoh Co Ltd マシニングセンタ
JPH11114781A (ja) * 1997-10-13 1999-04-27 Agency Of Ind Science & Technol 湿式切削における工具切刃のモニタリング装置
JP2000340625A (ja) * 1999-05-28 2000-12-08 Mitsubishi Electric Corp パターン検査装置,パターン検査装置の制御方法及びパターン検査装置用撮像器

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000199924A (ja) * 1999-01-07 2000-07-18 Asahi Optical Co Ltd 一眼レフカメラのファインダ光学系
JP2002189264A (ja) * 2000-12-20 2002-07-05 Fuji Photo Film Co Ltd 放射線画像情報読取装置および読取ユニット
JP3966775B2 (ja) * 2002-06-28 2007-08-29 株式会社ニデック 屈折力測定装置
JP4708970B2 (ja) * 2005-11-16 2011-06-22 キヤノン株式会社 焦点検出装置及び当該焦点検出装置を有する撮像装置
US7420691B2 (en) * 2005-12-22 2008-09-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method and apparatus for measuring interfacial positions, method and apparatus for measuring layer thickness, and method and apparatus for manufacturing optical discs

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS588148U (ja) * 1981-07-08 1983-01-19 株式会社東芝 回転体検査装置
JPS589148U (ja) * 1981-07-08 1983-01-21 株式会社早島 濾過・濾液透析型人工腎臓
JPS6357108A (ja) * 1986-08-27 1988-03-11 Toshiba Corp ドリル折損検出装置
JPH04297810A (ja) * 1991-03-27 1992-10-21 Mitsubishi Materials Corp 光学検査装置
JPH0954046A (ja) * 1995-08-17 1997-02-25 Kobe Steel Ltd 圧延ロールの光学式表面観察装置
JPH1034496A (ja) * 1996-07-22 1998-02-10 Ricoh Co Ltd マシニングセンタ
JPH11114781A (ja) * 1997-10-13 1999-04-27 Agency Of Ind Science & Technol 湿式切削における工具切刃のモニタリング装置
JP2000340625A (ja) * 1999-05-28 2000-12-08 Mitsubishi Electric Corp パターン検査装置,パターン検査装置の制御方法及びパターン検査装置用撮像器

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010150709A1 (ja) * 2009-06-23 2010-12-29 昭和電工株式会社 円筒体の表面検査装置
JP2011007498A (ja) * 2009-06-23 2011-01-13 Showa Denko Kk 円筒体の表面検査装置
CN102460130A (zh) * 2009-06-23 2012-05-16 昭和电工株式会社 圆筒体的表面检查装置
US8941823B2 (en) 2009-06-23 2015-01-27 Showa Denko K.K. Surface inspection device for cylindrical body
JP2012013698A (ja) * 2010-06-29 2012-01-19 General Electric Co <Ge> 工具摩耗定量化システム及び方法
JP2012093243A (ja) * 2010-10-27 2012-05-17 Toyama Prefecture 工具位置測定装置
WO2020090844A1 (ja) * 2018-10-30 2020-05-07 東芝機械株式会社 工具形状測定装置および工具形状測定方法
CN112969900A (zh) * 2018-10-30 2021-06-15 芝浦机械株式会社 工具形状测定装置及工具形状测定方法
JPWO2020090844A1 (ja) * 2018-10-30 2021-09-16 芝浦機械株式会社 工具形状測定装置および工具形状測定方法
JP7132349B2 (ja) 2018-10-30 2022-09-06 芝浦機械株式会社 工具形状測定装置および工具形状測定方法
CN112969900B (zh) * 2018-10-30 2023-01-06 芝浦机械株式会社 工具形状测定装置及工具形状测定方法

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