JP2009027671A5 - - Google Patents
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Claims (1)
- 水晶基板のカット面および弾性波伝搬方向をオイラー角表示で（０°，θ，ψ）とするとき、前記角度ψが約＋９０度または約−９０度である前記水晶基板に少なくとも一つのＩＤＴ電極を配置してなるＳＨ型バルク波共振子であって、
前記ＩＤＴ電極がアルミニウムであって、
オイラー角表示の前記角度θが９５°＜θ＜１５１°であり、
前記水晶基板の厚みをｔ、前記弾性波の波長をλとしたとき、規格化基板厚みｔ/λがｔ/λ≦４であり、
前記ＩＤＴ電極の膜厚をＨとしたとき、規格化電極厚みＨ/λがＨ/λ≦０．０５であって、
オイラー角表示の前記角度θが次式、
θ＝１６１．６７×（Ｈ/λ） 2 ＋２１．６７×（Ｈ/λ）＋１２６．００、
を満足することを特徴とするＳＨ型バルク波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007191681A JP2009027671A (ja) | 2007-07-24 | 2007-07-24 | Ｓｈ型バルク波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007191681A JP2009027671A (ja) | 2007-07-24 | 2007-07-24 | Ｓｈ型バルク波共振子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009027671A JP2009027671A (ja) | 2009-02-05 |
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Family
ID=40399010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007191681A Withdrawn JP2009027671A (ja) | 2007-07-24 | 2007-07-24 | Ｓｈ型バルク波共振子 |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP2009027671A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE112017005984T5 (de) * | 2016-11-25 | 2019-08-08 | Tohoku University | Akustische Wellenvorrichtungen |
| CN110571258B (zh) * | 2019-09-18 | 2022-01-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示装置、显示面板、阵列基板及其制造方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3885785B2 (ja) * | 2002-12-18 | 2007-02-28 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置、その製造方法、および電子機器 |
| JP2006014165A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Seiko Epson Corp | 共振子型ｓａｗフィルタ |
| JP4306668B2 (ja) * | 2005-01-07 | 2009-08-05 | セイコーエプソン株式会社 | ラム波型高周波共振子 |
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2007
- 2007-07-24 JP JP2007191681A patent/JP2009027671A/ja not_active Withdrawn
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