JP2009013474A - 表面処理装置および方法 - Google Patents

Abstract

【課題】多数のワークを効率よく表面処理する装置および方法を提供する。
【解決手段】ワーククリップ連結レール２１とワーククリップ操作バー３１は同一長手方向に延びており、ワーク１１を挟持しているワーククリップ１０の一つの挟持プレートをワーククリップ操作部材３２により押圧すると、ワーク１１を挟持している二つの挟持プレートの先端部が開放されて、ワーク１１がワーククリップ１０から解放され、操作部材３２による挟持プレート２に対する押圧を解除すると、二つの挟持プレートの先端部２ａが互いに当接する方向へ付勢されてワーク１１がワーククリップ１０に固定保持される、ことを特徴とする表面処理装置。
【選択図】図１

Description

本発明は、電気めっき、陽極酸化処理等の表面処理時にワークを保持する複数のワーククリップを備えた表面処理装置および該表面処理装置を使用した表面処理方法に関する。

なお、本明細書において、表面処理装置とは、表面処理工程の前後の工程を含む一連のワーク表面処理工程に係る製造装置を言い、表面処理方法とは、表面処理工程の前後の工程を含む一連のワーク表面処理工程に係る製造方法を言う。また、陽極酸化処理とは、アルマイト処理のように、ワークを電解質溶液中に浸漬して、電流を陽極バーからワークへ通電して実施する表面処理を言う。

従来、上記型式の表面処理装置において、ワーククリップへのワークの取付けは、以下のように行っていた。すなわち、人手により、スプリング力に抗して二つの挟持プレートをつまみ挟持プレートの先端部を開放する。次に、開放された先端部に、人手によりワークを当接して位置決めし、挟持プレートのつまみを解除する。この解除により二つの挟持プレートの先端部が閉じて、ワーククリップ先端部がワークを挟持する。この作業を、所定数のワークについて所定回数実施する。ワークを挟持した所定数のワーククリップを一つのレールに配設する。そして、ワークとワーククリップとレールの集成体を電解質溶液槽へ浸漬する。続いてレールからワークへ通電して表面処理（電気めっき）を実施していた（特許文献１参照）。表面処理が終了すると、集成体を溶液槽から取出し、人手により、ワーククリップの二つの挟持プレートをスプリング力に抗してつまみ、挟持プレートの先端部を開放して、表面処理が施されたワークを取外す。

特開平３−１１１５６６号公報

このようなワーク取付け取外しに関しては、人手によりワーククリップのワーク挟持部にワークを挟持させ、あるいはワーク挟持部からワークを取外す方式であるため、多数のワークを同時に表面処理しようとする場合に作業が繁雑になり、効率よく作業を行うことができないという問題があった。しかも、この作業は自動化が困難であるため、表面処理コストに課題があった。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、電気めっきや陽極酸化処理等のバッチ式表面処理において、多数のワークを効率よく表面処理する装置および方法を提供することである。

本発明は、前記課題を解決するための手段として、特許請求の範囲の各請求項に記載の表面処理装置および表面処理方法を提供する。
請求項１に記載の発明によれば、表面処理装置１００は、
複数のワーククリップ１０を整列させて連結しているワーククリップ連結レール２１と、ワーククリップ操作部材３２が配置されているワーククリップ操作バー３１と、を備え、
ワーククリップ連結レール２１とワーククリップ操作バー３１は同一長手方向に延びており、
ワーク１１を挟持しているワーククリップ１０の一つの挟持プレート２を前記ワーククリップ操作部材３２により押圧すると、ワーク１１を挟持している二つの挟持プレート１，２の先端部１ａ，２ａが開放されて、ワーク１１がワーククリップ１０から解放され、
操作部材３２による挟持プレート２に対する押圧を解除すると、二つの挟持プレート１，２の先端部１ａ，２ａが互いに当接する方向へ付勢されてワーク１１がワーククリップ１０に固定保持される、ことを特徴とする。

請求項１に記載の発明によれば、ワーククリップ操作バー３１を長手方向の一方向に変位させることにより多数のワーククリップ１０の挟持部１ａ，２ａを一時に開放したり閉鎖したりすることが可能となる。そして、ワーククリップ操作バー３１を長手方向と垂直な方向に変位させる操作と前記長手方向に変位させる操作と組合わせてシーケンシャル操作を実行することにより、多数のワークをワーククリップに一時に挟持したり解放したりすることが可能となる。このワーククリップ操作バー３１の２次元的変位操作は、アクチュエータにより容易に実行可能である。このため、本表面処理装置１００は、多数のワークを効率よく表面処理することができ、さらには自動的に多数のワークを表面処理することも可能となる。

請求項２に記載の発明によれば、表面処理装置１００は、
ワーククリップ１０の挟持プレート１，２は、Ｈ字形状またはＵ字形状をしており、
操作バー３１には、軸直角断面の両側にワーククリップ操作部材３２が一定間隔を置いて配置されており、
Ｈ字形状またはＵ字形状の中央凹部１ｃ，２ｃは、操作バー３１の少なくとも一部を中央凹部１ｃ，２ｃ内へ進入可能にするスペースを有することを特徴とする。

請求項２に記載の発明によれば、ワーククリップの中央部にワーククリップ操作バー３１を配設することが可能となるので装置全体を小型化できる。さらに、操作バー３１およびワーククリップ操作部材３２の単純化、小型化が可能となる。

請求項３に記載の発明によれば、表面処理方法は、
ワーク連結準備ステーションにおいて、複数のワーククリップ１０と、連結レール２１と、操作バー３１と、を搬入して、連結レール２１へ複数のワーククリップ１０を整列させて連結し、連結レール２１と操作バー３１が同一長手方向に延びるように配置するステップＳ１と、
操作バー３１を、操作バー３１の延びる方向に対して垂直方向かつ連結レール２１に近接する方向Ｄに移動させるステップＳ２と、
操作バー３１の延びる一方向Ｃに操作バー３１を変位させ、操作部材３２が複数の挟持プレート２を一時に押圧して、当接している各二つの挟持プレート１，２の各先端部１ａ，２ａを開放するステップＳ３と、
先端部１ａ，２ａが開放しているワーククリップ１０を連結している連結レール２１と、操作バー３１と、が操作部材３２を介して係合している関連構成体をワーク連結ステーションへ移動するステップＳ４と、
ワーク連結ステーションにおいて、複数のワーク１１を配列するステップＳ５と、
関連構成体を、操作バー３１の延びる方向に対して垂直方向かつワーク１１へ近接する方向Ｄに、開放している先端部１ａ，２ａの間へワーク１１が入るまで、移動させるステップＳ６と、
前記一方向と逆方向Ｅに操作バー３１を変位させ、操作部材３２による各挟持プレート２に対する押圧を解除して、複数のワーク１１を各挟持プレート１，２に一時に挟持させるステップＳ７と、
操作バー３１を、操作バー３１の延びる方向に対して垂直方向かつ連結レール２１から離間する方向Ｆに移動させるステップＳ８と、
ワーク１１を挟持したワーククリップ１０を連結した連結レール２１を、表面処理ステーションへ移動するステップＳ９と、
表面処理ステーションにおいて、ワーク１１に表面処理を実施するステップＳ１０と、
ワーク１１を挟持したワーククリップ１０を連結した連結レール２１をワーク出荷ステーションまで移動するステップＳ１１と、
ワーク出荷ステーションにおいて、操作バー３１を、連結レール２１と操作バー３１が同一長手方向に延びるように配置するステップＳ１２と、
操作バー３１を、操作バー３１の延びる方向に対して垂直方向かつ連結レール２１に近接する方向Ｄに移動させるステップＳ２と、
操作バー３１の延びる一方向Ｃに操作バー３１を変位させ、各操作部材３２が各挟持プレート２を押圧して、各二つの挟持プレート１，２の各先端部１ａ，２ａを開放して、複数のワーク１１を一時に解放するステップＳ１３と、
関連構成体を、操作バー３１の延びる方向に対して垂直方向かつワーク１１から離間する方向Ｆに、移動させるステップＳ１４と、
ワーク１１を出荷するステップＳ１５と、を備えることを特徴とする。

効率的な表面処理方法の各ステップを具体的に表したものである。

本発明において、表面処理は、液体または気体の処理用流体をワークの表面に接触させることによって行う。処理用流体の接触方法は、ワークを処理用液体中に浸漬する、あるいは処理用気体を満たしたチャンバー内に納入する方法に限定されず、処理用流体を塗布しまたは吹き付ける場合も本発明に含まれる。また、ワークの材質は何ら限定されず、アルミニウムまたはその合金、鉄、ステンレス鋼、チタン、マグネシウム等の各種金属、樹脂、セラミックス、ガラス等の表面処理に広く用いることができる。具体的な表面処理として、陽極酸化処理、メッキ、エッチング、電解研磨、化成処理、塗装等の表面処理を例示できる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明に係る表面処理装置の斜視図である。図２は、図１の表面処理装置の正面図である。図３は、本発明に係る表面処理装置のワーククリップの斜視図である。図４は、図３のワーククリップがワークを把持している側面図であるとともに、本発明に係る表面処理装置の外観図でもある。図５は、本発明に係る表面処理方法を説明するための図である。

まず、図４を参照して本実施形態の表面処理装置１００を説明する。図４は、ワーク１１の表面に電気めっき処理をする表面処理装置１００を表している。表面処理装置１００は、溶液槽５１、電解溶液５２、陽極バー５３、陰極バー５４、ワーククリップ１０、ワーククリップ１０を保持するワーククリップ連結レール２１、表面処理工程の前後で使用するワーククリップ操作バー３１（図１参照）、電源（図示せず）等から構成されている。溶液槽５１内には、電解溶液である硫酸５２が貯留されている。この電解溶液５２には、ワーク１１がワーククリップ１０に挟持されて浸漬されている。ワーククリップ１０は、連結レール２１を介して陰極バー５４と接続されている。ワーク１１は、材質が例えば鉄であり、その表面に電気めっきをする。

なお、図４において、簡略化のためワーククリップ１０は、２個のみ図示しているが、実際には３０個のワーククリップが整列して連結レール２１に連結されている。

次に、図３を参照しながら、ワーククリップ１０の説明をする。ワーククリップ１０は、通電バー５４に対して電気的に接続されている一方の挟持プレート１と、この挟持プレート１に対して軸６で半回動自在に支持された他方の挟持プレート２と、両挟持プレート１，２の先端部が互いに当接する方向へ付勢するスプリング４と、ワーククリップ連結レール２１にワーククリップ１０を係止するための係止部材３と、を備える。係止部材３には、ボルト２２が挿通するための孔３ａが設けられている。ボルト２２（図２参照）により、ワーククリップ１０と連結レール２１とが締結される。これらのワーククリップ１０を構成する部品は、全てステンレス鋼により製作されている。なお、他方の挟持プレート２も、挟持プレート１を介して通電バー５４に対して電気的に接続されている。

図２に示すように、ワーククリップ１０の挟持プレート１、２は、Ｈ字形状をしているが、Ｕ字形状であっても良い。Ｈ字形状（またはＵ字形状）の中央凹部１ｃ，２ｃは、操作バー３１の少なくとも一部を中央凹部内へ進入可能にするスペースを有する。この構成により、装置全体を小型化でき、操作バー３１およびワーククリップ操作部材３２の単純化、小型化が可能となる。

図４に示すように、他方の挟持プレート２の上端部２ｂをＡ方向へ押すことにより、一方の挟持プレート１の下端部１ａと他方の挟持プレート２の下端部２ａとが離間する。Ａ方向へ押す力を解除すると、スプリング４の力で挟持プレート２は、軸６を回動中心としてＢ方向へ回動して、挟持プレート１の下端部１ａと挟持プレート２の下端部２ａとが近接してワーク１１を挟持する。このように、挟持プレート２の上端部２ｂをＡ方向へ押す力をオン・オフすることによりワークを着脱自在とすることができるため、ワーク着脱機構がシンプルとなり、多数のワークを一度に表面処理するバッチ処理の自動化が容易となる。

次に、図１、２を参照しながら、ワーククリップ連結レール２１およびワーククリップ操作バー３１について説明する。ワーククリップ連結レール２１は、図１の一点鎖線に示すように、一定間隔置きに孔２１ａ（図示せず）が設けられた細長い棒状体である。そして、連結レール２１は、図２に示すように、左右に各１個が１対となって形成されており、その先頭部および後尾部においてその左右の各１個が連結固定されており（図示せず）、実質的に一体化されている。

連結レール２１は、例えば３０個のワーククリップ１０を整列状態にして、ボルト２２を介して連結して保持している。ボルト２２は、連結レール２１の孔２１ａおよびワーククリップ１０の係止部材３の孔３ａを挿通して、連結レール２１とワーククリップ１０の係止部材３とを締結している。

ワーククリップ操作バー３１は、電解溶液による電気めっき実施段階には使用されず、その前段階および後段階において使用される。電気めっき実施の前段階とは、ワーククリップの挟持プレートを開閉してワークを挟持させる、ワーク連結準備ステーションおよびワーク連結ステーションにおけるステップであり、後段階とは、ワーククリップの挟持プレートを開放して挟持されていたワークを、解放して取出し出荷するワーク出荷ステーションにおけるステップである。

操作バー３１は、図１、図２に示すように、一定間隔置きに軸直角断面の両側にピン３２（ワーククリップ操作部材）が配置された細長い棒状体である。操作バー３１は、ワーク連結準備ステーションおよびワーク出荷ステーションにおいて、ワーククリップの対称中心線上に配置される。図２の仮想線（２点鎖線）で示された部材は、ワーククリップを押圧操作する位置における操作バー３１を表す。そして、ワーククリップ連結レール２１とワーククリップ操作バー３１は同一長手方向に延びる。

操作バー３１の機能を以下に説明する。操作バー３１を長手方向に移動して、ワーク１１を挟持しているワーククリップ１０の挟持プレート２をピン３２により押圧すると、ワークを挟持している二つの挟持プレート１、２の先端部１ａ、２ａが開放されて、ワーク１１がワーククリップ１０から解放される。操作バー３１を反対方向に移動して、ピン３２による挟持プレート２に対する前記押圧を解除すると、スプリング４により二つの挟持プレート１、２の先端部１ａ、２ａが互いに当接する方向へ付勢されて前記ワークがワーククリップ１０に固定保持される。

次に、図５を参照しながら、本発明に係る表面処理方法を説明する。

ワーク連結準備ステーションにおいて、３０個のワーククリップ１０と、１組のワーククリップ連結レール２１と、一つのワーククリップ操作バー３１と、を搬入して、連結レール２１へ３０個のワーククリップ１０を整列させてボルト２２により連結する。そして、連結レール２１と操作バー３１が同一長手方向に延びるように配置する（ステップ１）。

操作バー３１を、操作バー３１の延びる方向に対して垂直方向かつ連結レール２１に近接する方向（Ｄ方向）に移動させる（ステップ２）。この状態を図５（ａ）に示す。そして、操作バー３１の延びるＣ方向に操作バー３１を変位させる。６０個のピン３２が、３０枚の挟持プレート２を一時に押圧して、３０枚の挟持プレート２を一時にＡ方向へ回動させる。その結果、３０枚の挟持プレート２の当接している各二つの挟持プレート１、２の３０箇所の先端部１ａ、２ａが、一時に開放する（ステップ３）。

先端部が開放している３０個のワーククリップ１０を連結している連結レール２１と、操作バー３１と、がピン３２を介して係合している関連構成体を、ワーク連結ステーションへ移動する（ステップ４）。ワーク連結ステーションにおいて、３０個のワーク１１を一定間隔を置いて配列する（ステップ５）。

図５（ａ）に示すように、関連構成体を、操作バー３１の延びる方向に対して垂直方向かつワーク１１へ近接する方向（Ｄ方向）に、３０個のワーククリップ１０の開放している先端部１ａ、２ａの間へ３０個のワーク１１が入るまで、移動させる（ステップ６）。ステップ６が完了した状態を、図５（ｂ）に示す。

次に、図５（ｃ）に示すように、Ｃ方向と逆方向であるＥ方向に操作バー３１を変位させると、挟持プレート２に対するピン３２の係合が解除されて、ピン３２による押圧が解除される。すると、スプリング４の付勢力により挟持プレート２は、Ｂ方向へ回動する。その結果、ワーク１１が、挟持プレート１、２に挟持される（ステップ７）。

次に、図５（ｄ）に示すように、操作バー３１を、操作バー３１の延びる方向に対して垂直方向かつ連結レール２１から離間する方向であるＦ方向に移動させる（ステップ８）。以上で、表面処理工程の前段階が完了する。
なお、ワーク連結準備ステーションとワーク連結ステーションは同一のステーションであっても良い。そのときは、ステップ４を省略することができる。

次に、ワーク１１を挟持したワーククリップ１０を連結した連結レール２１を、表面処理ステーションへ移動する（ステップ９）。
表面処理ステーションにおいて、図４に示すように、ワーク１１を挟持したワーククリップ１０を連結した連結レール２１を、溶液槽５１に貯留された電解液である硫酸５２内へ浸漬する。後は、周知の電気めっき方法により、ワーク１１の表面に電気めっきを実施する（ステップ１０）。

表面処理が完了すると、ワーク１１を挟持したワーククリップ１０を連結した連結レール２１を、硫酸５２内から取出す。これより表面処理工程の後段階が開始する。すなわち、ワーク１１を挟持したワーククリップ１０を連結した連結レール２１をワーク出荷ステーションまで移動する（ステップ１１）。

ワーク出荷ステーションにおいて、操作バー３１を、連結レール２１と操作バー３１が同一長手方向に延びるように配置する（ステップ１２）。次に、操作バー３１を、操作バー３１の延びる方向に対して垂直方向かつ連結レール２１に近接する方向であるＤ方向に移動させる（ステップ２）。操作バー３１の延びるＣ方向に操作バー３１を変位させ、ピン３２が挟持プレート２を押圧して、二つの挟持プレート１、２の先端部１ａ、２ａを開放して、ワーク１１を解放する（ステップ１３）。

関連構成体（ワーククリップ１０、連結レール２１、操作バー３１）を、操作バー３１の延びる方向に対して垂直方向かつワーク１１から離間する方向であるＦ方向に、移動させる（ステップ１４）。最後に、ワーク１１を出荷する（ステップ１５）。
以上で、本発明に係る表面処理方法が完了する。

なお、ワーク１１は、本実施形態では、プレートであるが、角材、円柱材、中空材その他のいかなる形状のワークに対しても本発明を適用することが可能であることは言うまでもない。

以上のように、多数のワークを効率よく表面処理する装置および方法を提供することが可能となる。さらには自動的に多数のワークを表面処理することも可能な装置および方法を提供することも可能となる。

本発明に係る表面処理装置の斜視図である。 図１の表面処理装置の正面図である。 本発明に係る表面処理装置のワーククリップの斜視図である。 図３のワーククリップがワークを把持している側面図であるとともに、本発明に係る表面処理装置の外観図でもある。 本発明に係る表面処理方法を説明するための図である。

符号の説明

１０ ワーククリップ
１１ ワーク
２１ ワーククリップ連結レール
３１ ワーククリップ操作バー
１００ 表面処理装置

Claims (3)

1. 複数のワーク（１１）を表面処理用流体（５２）に接触させて表面処理する表面処理装置（１００）であって、
   表面処理用流体（５２）と、
   前記ワーク（１１）をその先端部（１ａ，２ａ）で挟んで保持するための二つの挟持プレート（１，２）と、二つの該挟持プレート（１，２）の前記先端部（１ａ，２ａ）を互いに当接する方向へ付勢する付勢手段（４）と、を有する複数のワーククリップ（１０）と、
   複数の前記ワーククリップ（１０）を整列させて連結しているワーククリップ連結レール（２１）と、
   ワーククリップ操作部材（３２）が配置されているワーククリップ操作バー３１と、を備え、
   前記ワーククリップ連結レール（２１）と前記ワーククリップ操作バー３１は同一長手方向に延びており、
   前記ワーク（１１）を挟持している前記ワーククリップ（１０）の一つの前記挟持プレート（２）を前記ワーククリップ操作部材（３２）により押圧すると、前記ワーク（１１）を挟持している二つの前記挟持プレート（１，２）の前記先端部（１ａ，２ａ）が開放されて、前記ワーク（１１）が前記ワーククリップ（１０）から解放され、
   前記操作部材（３２）による前記挟持プレート（２）に対する前記押圧を解除すると、二つの前記挟持プレート（１，２）の前記先端部（１ａ，２ａ）が互いに当接する方向へ付勢されて前記ワーク（１１）が前記ワーククリップ（１０）に固定保持される、ことを特徴とする表面処理装置（１００）。
2. 前記ワーククリップ（１０）の前記挟持プレート（１，２）は、Ｈ字形状またはＵ字形状をしており、
   前記操作バー（３１）には、軸直角断面の両側に前記ワーククリップ操作部材（３２）が一定間隔を置いて配置されており、
   該Ｈ字形状またはＵ字形状の中央凹部（１ｃ，２ｃ）は、前記操作バー（３１）の少なくとも一部を前記中央凹部（１ｃ，２ｃ）内へ進入可能にするスペースを有することを特徴とする請求項１に記載の表面処理装置（１００）。
3. 請求項１または２に記載の表面処理装置（１００）を使用して、
   ワーク連結準備ステーションにおいて、複数の前記ワーククリップ（１０）と、前記連結レール（２１）と、前記操作バー（３１）と、を搬入して、前記連結レール（２１）へ複数の前記ワーククリップ（１０）を整列させて連結し、前記連結レール（２１）と前記操作バー（３１）が同一長手方向に延びるように配置するステップ（Ｓ１）と、
   前記操作バー（３１）を、前記操作バー（３１）の延びる方向に対して垂直方向かつ前記連結レール（２１）に近接する方向（Ｄ）に移動させるステップ（Ｓ２）と、
   前記操作バー（３１）の延びる一方向（Ｃ）に前記操作バー（３１）を変位させ、前記操作部材（３２）が複数の前記挟持プレート（２）を一時に押圧して、当接している各二つの前記挟持プレート（１，２）の前記各先端部（１ａ，２ａ）を開放するステップ（Ｓ３）と、
   前記先端部（１ａ，２ａ）が開放している前記ワーククリップ（１０）を連結している前記連結レール（２１）と、前記操作バー（３１）と、が前記操作部材（３２）を介して係合している関連構成体をワーク連結ステーションへ移動するステップ（Ｓ４）と、
   該ワーク連結ステーションにおいて、複数の前記ワーク（１１）を配列するステップ（Ｓ５）と、
   前記関連構成体を、前記操作バー（３１）の延びる方向に対して垂直方向かつ前記ワーク（１１）へ近接する方向（Ｄ）に、開放している前記先端部（１ａ，２ａ）の間へ前記ワーク（１１）が入るまで、移動させるステップ（Ｓ６）と、
   前記一方向と逆方向（Ｅ）に前記操作バー（３１）を変位させ、前記操作部材（３２）による前記各挟持プレート（２）に対する前記押圧を解除して、複数の前記ワーク（１１）を前記各挟持プレート（１，２）に一時に挟持させるステップ（Ｓ７）と、
   前記操作バー（３１）を、前記操作バー（３１）の延びる方向に対して垂直方向かつ前記連結レール（２１）から離間する方向（Ｆ）に移動させるステップ（Ｓ８）と、
   前記ワーク（１１）を挟持した前記ワーククリップ（１０）を連結した前記連結レール（２１）を、表面処理ステーションへ移動するステップ（Ｓ９）と、
   前記表面処理ステーションにおいて、前記ワーク（１１）に表面処理を実施するステップ（Ｓ１０）と、
   前記ワーク（１１）を挟持した前記ワーククリップ（１０）を連結した前記連結レール（２１）をワーク出荷ステーションまで移動するステップ（Ｓ１１）と、
   該ワーク出荷ステーションにおいて、前記操作バー（３１）を、前記連結レール（２１）と前記操作バー（３１）が同一長手方向に延びるように配置するステップ（Ｓ１２）と、
   前記操作バー（３１）を、前記操作バー（３１）の延びる方向に対して垂直方向かつ前記連結レール（２１）に近接する方向（Ｄ）に移動させるステップ（Ｓ２）と、
   前記操作バー（３１）の延びる一方向（Ｃ）に前記操作バー（３１）を変位させ、前記各操作部材（３２）が前記各挟持プレート（２）を押圧して、各二つの前記挟持プレート（１，２）の前記各先端部（１ａ，２ａ）を開放して、複数の前記ワーク（１１）を一時に解放するステップ（Ｓ１３）と、
   前記関連構成体を、前記操作バー（３１）の延びる方向に対して垂直方向かつ前記ワーク（１１）から離間する方向（Ｆ）に、移動させるステップ（Ｓ１４）と、
   前記ワーク（１１）を出荷するステップ（Ｓ１５）と、
   を備えることを特徴とする表面処理方法。

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