JP2009008420A - 半導体デバイスの良否判定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体デバイスの良否判定装置であって、半導体デバイスを着脱自在に保持する保持手段と、半導体デバイスに電力を供給する電力供給手段と、半導体デバイスの主面に投光しつつこれを撮像する撮像手段と、保持手段と撮像手段との間に配置されて撮像手段による撮像領域の1部を遮光する遮光手段と、を有する良否判定装置。
【選択図】図1
Description
11 保持治具
15 電力供給部
16 冷却CCDカメラ
17 光学顕微鏡
18 画像処理装置
19 表示部
20 入力装置
21 制御部
22 遮光板
23 位置決め装置
41 液晶パネル
100 半導体デイバス
Claims (4)
- 半導体デバイスの良否判定装置であって、
前記半導体デバイスを着脱自在に保持する保持手段と、
前記半導体デバイスに電力を供給する電力供給手段と、
前記半導体デバイスの主面に投光しつつこれを撮像する撮像手段と、
前記保持手段と前記撮像手段との間に配置されて前記撮像手段による撮像領域の1部を遮光する遮光手段と、を有する良否判定装置。 - 前記遮光手段は、前記半導体デバイスが前記保持手段によって保持されている状態において、前記半導体デバイスの主面に並行な面内において位置決め自在な少なくとも1つの遮光板を含むことを特徴とする請求項1記載の良否判定装置。
- 前記遮光手段は、位置決め信号に応じて前記遮光板を位置決めする位置決め手段と、前記位置決め信号を前記位置決め手段に供給する位置決め制御手段と、を含むことを特徴とする請求項2記載の良否判定装置。
- 前記遮光手段は、前記半導体デバイスが前記保持手段によって保持されている状態において、前記半導体デバイスの主面に並行に配置されて駆動信号に応じて少なくとも1つの不透明領域及び少なくとも1つの透明領域を生じる遮光フィルタと、前記半導体デイバスの種別に応じて変化するドライブ信号を前記駆動信号として前記遮光フィルタに供給するフィルタ駆動手段と、を含むことを特徴とする請求項1記載の良否判定装置。
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JP2007167412A JP2009008420A (ja) | 2007-06-26 | 2007-06-26 | 半導体デバイスの良否判定装置 |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07140209A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-06-02 | Fujitsu Ltd | 回路配線基板の検査装置およびその検査方法 |
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JP2006093172A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Hitachi Ltd | 半導体デバイスの製造方法 |
-
2007
- 2007-06-26 JP JP2007167412A patent/JP2009008420A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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