JP2009002903A - レーザーエンコーダのパラメータ補正方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 47
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 21
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 238000002945 steepest descent method Methods 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 238000005457 optimization Methods 0.000 claims description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000006870 function Effects 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 8
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 1
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Abstract
【課題】従来よりも広い使用温度範囲、電源変動範囲のもとで高精度な位置計測を可能にするレーザーエンコーダのパラメータ補正方法を提供する。
【解決手段】2相出力式位置検出センサを備えたレーザーエンコーダのパラメータ補正方法であって、1)所定サンプリング時刻において、予め設定した想定パラメータ xo を用いて上記レーザーエンコーダ41が出力した2相出力信号 y から角度を逆算し、それを積算して位置情報を生成する段階と、2)上記レーザーエンコーダ41の複数の異なる角度状態で出力された上記2相出力信号 y を記憶する段階と、3)上記記憶した複数の2相出力信号 y の組が必要な角度状態の組合わせ条件を満足するに至った時点で、その2相出力信号 y の組と、現時点で想定されている想定パラメータ xo から生成される2相出力信号 yo の組との非整合性に基づいて上記想定パラメータ xo を更新する段階と、を有する。
【選択図】図6
【解決手段】2相出力式位置検出センサを備えたレーザーエンコーダのパラメータ補正方法であって、1)所定サンプリング時刻において、予め設定した想定パラメータ xo を用いて上記レーザーエンコーダ41が出力した2相出力信号 y から角度を逆算し、それを積算して位置情報を生成する段階と、2)上記レーザーエンコーダ41の複数の異なる角度状態で出力された上記2相出力信号 y を記憶する段階と、3)上記記憶した複数の2相出力信号 y の組が必要な角度状態の組合わせ条件を満足するに至った時点で、その2相出力信号 y の組と、現時点で想定されている想定パラメータ xo から生成される2相出力信号 yo の組との非整合性に基づいて上記想定パラメータ xo を更新する段階と、を有する。
【選択図】図6
Description
本発明は、アクチュエータの移動、角度などを測定するレーザーエンコーダのパラメータ補正方法に関する。
従来、ハードディスク装置のスイングアームの位置または回転角測定装置として、光学プローブを利用したロータリーエンコーダが知られている(特許文献1)。さらに高解像度、高精度が要求される現在では、高分解能レーザー位置エンコーダ(以下「レーザーエンコーダ」)使用される。従来のレーザーエンコーダでは、測定対象と一体に移動する、例えば回折格子に対しレーザー光を照射し、回折格子で反射した反射光または回折格子を透過した透過光の強度を検出する手段を有する、レーザー光の回折現象を利用した高精度、高分解能の2相正弦波出力式位置検出センサが使用されている(特許文献2)。
2相正弦波出力式位置検出センサの出力である2相正弦波信号は、振幅一定、位相差90度、及びDCオフセットゼロであることが望ましいが、実際には温度、電源変化、経時変化、計測位置などによって出力信号の上記振幅等のパラメータが変化し、位置検出の精度が悪くなるという問題がある。
従来のレーザーエンコーダでは、2相正弦波出力信号から角度を逆算している。従来技術における角度の逆算方法を以下に示す。レーザーエンコーダのパラメータを x1〜 x4 と想定すれば、角度θのときの2相正弦波出力信号 A 、 B は下記のように表せる
A = x1 m sin(θ- x2) + x3 ・・・(51)
B = x1 cos(θ) + x4 ・・・(52)
これらの関数より sin 関数の加法定理を用いて、
sin(θ- x2) = sin(θ)*cos(x2) - cos(θ)*sin(x2) = (A - x3)/(x1 * m) ・・・(53)
cos(θ) = (B - x4)/x1 ・・・(54)
式(54) を式(53) に代入すると、
sin(θ)*cos(x2) - (B - x4)/ x1 * sin( x2) = (A - x3)/(x1 * m)
よって、
sin(θ) = (A - x3)/[x1 * m * cos( x2) ] + (B - x4) * tan( x2) /x1 ・・・(55)
となる。
A = x1 m sin(θ- x2) + x3 ・・・(51)
B = x1 cos(θ) + x4 ・・・(52)
これらの関数より sin 関数の加法定理を用いて、
sin(θ- x2) = sin(θ)*cos(x2) - cos(θ)*sin(x2) = (A - x3)/(x1 * m) ・・・(53)
cos(θ) = (B - x4)/x1 ・・・(54)
式(54) を式(53) に代入すると、
sin(θ)*cos(x2) - (B - x4)/ x1 * sin( x2) = (A - x3)/(x1 * m)
よって、
sin(θ) = (A - x3)/[x1 * m * cos( x2) ] + (B - x4) * tan( x2) /x1 ・・・(55)
となる。
ここで X = cos(θ)、 Y =sin(θ) とおけば、下記のアルゴリズムで角度θが0≦θ<2πの範囲で求められる。
|Y|≦ X の場合:θ = arctan(Y/X) ・・・(56)
|X|< Y の場合:θ = π/2 - arctan(X/Y) ・・・(57)
|Y|≦-X の場合:θ = π+ arctan(Y/X) ・・・(58)
|X|<-Y の場合:θ = 3π/2 - arctan(X/Y) ・・・(59)
上記の結果 θ<0 となった場合: θ ← θ + 2π ・・・(60)
|Y|≦ X の場合:θ = arctan(Y/X) ・・・(56)
|X|< Y の場合:θ = π/2 - arctan(X/Y) ・・・(57)
|Y|≦-X の場合:θ = π+ arctan(Y/X) ・・・(58)
|X|<-Y の場合:θ = 3π/2 - arctan(X/Y) ・・・(59)
上記の結果 θ<0 となった場合: θ ← θ + 2π ・・・(60)
上記アルゴリズム (56)〜(60) で求められた角度θは位置情報の小数点部分に相当するが、十分な繰返し速度(周期)でサンプリングして得られた上記角度が 0 ≦θ< 2πの範囲外に出たときには位置情報の積算整数部分としてのアップダウンカウンターを更新し、θに2πを加算、または減算して0≦θ<2πの範囲を保つ。
特開平11-351813号公報
特開2004-219333号公報
上記の従来の補正方法のみで角度θを逆算する場合は、温度、電源変化、経時変化、計測位置などによって出力信号の振幅、位相差、DCオフセットなどのパラメータが変化して式(54)、(55) の結果に大きな誤差を与えることがあった。
共通振幅パラメータの x1 のみの場合は上記式(56)〜(60) の結果には影響を与えないが、他の3つのパラメータ x1〜 x4 の変動、誤差は、結果として位置計測の精度を悪化させる。この精度悪化を防ぐためには、温度等の条件を別途計測し、条件の変化に応じてキャリブレーションをやり直すしかなかった。
共通振幅パラメータの x1 のみの場合は上記式(56)〜(60) の結果には影響を与えないが、他の3つのパラメータ x1〜 x4 の変動、誤差は、結果として位置計測の精度を悪化させる。この精度悪化を防ぐためには、温度等の条件を別途計測し、条件の変化に応じてキャリブレーションをやり直すしかなかった。
他の従来技術(特許文献2)では、エンコーダの2相出力をX、Y、振幅をr1r2、DCオフセットをa、b、位相誤差をβとしてリサージュ波形式を求めている。しかし、この従来技術では、6箇所のサンプリング点におけるデータをリサージュ波形式に代入し、代数的に連立方程式を解いてパラメータを算出している。連立方程式を解くためには逆行列を解かねばならず、また、振幅r21とr22から逆三角関数を計算して位相誤差βを求めねばならないため、計算量が非常に大きくなるという問題があった。
かかる従来技術の課題に鑑みて本発明は、従来よりも広い使用温度範囲、電源変動範囲のもとでのレーザーエンコーダによる高精度な位置計測を可能にするレーザーエンコーダのパラメータ補正方法を提供することを目的とする。
また本発明は、レーザーエンコーダの計時変化、個体差などのよるパラメータ誤差を自動補正して精度維持のための初期調整及び運用を簡素化することを目的とする。
また本発明は、レーザーエンコーダの計時変化、個体差などのよるパラメータ誤差を自動補正して精度維持のための初期調整及び運用を簡素化することを目的とする。
かかる課題を解決する本発明は、測定対象と一体に移動する回折格子に対しレーザー光を照射し、反射光または透過光を受けてその強度を検出する、2相出力式位置検出センサを備えたレーザーエンコーダのパラメータ補正方法であって、
1)所定サンプリング時刻において、予め設定した想定パラメータを用いて上記レーザーエンコーダが出力した2相出力信号から角度を逆算し、それを積算して位置情報を生成する段階と、
2)複数の異なる角度状態において上記レーザーエンコーダから出力された上記2相出力信号を記憶する段階と、
3)上記記憶した複数の2相出力信号の組が必要な角度状態の組合わせ条件を満足するに至った時点で、その2相出力信号の組と、現時点で想定されているパラメータから生成される2相出力信号の組との非整合性に基づいて上記想定パラメータを更新する段階と、を有することを特徴とする。
1)所定サンプリング時刻において、予め設定した想定パラメータを用いて上記レーザーエンコーダが出力した2相出力信号から角度を逆算し、それを積算して位置情報を生成する段階と、
2)複数の異なる角度状態において上記レーザーエンコーダから出力された上記2相出力信号を記憶する段階と、
3)上記記憶した複数の2相出力信号の組が必要な角度状態の組合わせ条件を満足するに至った時点で、その2相出力信号の組と、現時点で想定されているパラメータから生成される2相出力信号の組との非整合性に基づいて上記想定パラメータを更新する段階と、を有することを特徴とする。
上記段階3)において、上記非整合性に基づいて上記想定パラメータを更新する最適化方法として、ニュートン法または最急降下法を用いることが実際的である。
上記各段階により推定されたパラメータの妥当性を代数的に確認する段階を含むことが好ましい。
以上の本発明によれば、従来よりも広い使用温度範囲、電源変動範囲のもとでのレーザーエンコーダによる高精度な位置、角度計測が可能になった。
また本発明は、レーザーエンコーダの計時変化、個体差などのよるパラメータ誤差を自動補正して精度維持のための初期調整及び運用が簡素化される。
さらに本発明のパラメータ補正方法によれば、上記想定パラメータを、DSP(ディジタル信号処理用IC)のアプリケーションとしてリアルタイムで実行可能になる。
また本発明は、レーザーエンコーダの計時変化、個体差などのよるパラメータ誤差を自動補正して精度維持のための初期調整及び運用が簡素化される。
さらに本発明のパラメータ補正方法によれば、上記想定パラメータを、DSP(ディジタル信号処理用IC)のアプリケーションとしてリアルタイムで実行可能になる。
本発明について、以下添付図面を参照して説明する。図1乃至3は、本発明を適用したレーザーエンコーダによりスイングアームの回転角を検出するハードディスク装置のヘッドスタックアッセンブリを示す図であって、図1は、同ヘッドスタックアッセンブリを上方から見た斜視図、図2は同ヘッドスタックアッセンブリを、ヨークを除いて下方から見た斜視図、図3は、レーザーエンコーダ部分の要部を縦断して示す断面図である。
スイングアーム13は、ピボット11を軸心として揺動自在に形成されていて、スイングアーム13の先端部には、サスペンション15を介して磁気ヘッド17が装着されている。ピボット11を挟んでスイングアーム13とは反対側からコイルアーム部19が延びていて、コイルアーム部19には、VCM(ボイスコイルモータ)を構成するコイル21が装着されている。このコイル21は、ピボット11を介してスイングアーム13と一体に回動するように固定された、ピボット11から放射方向に延びる一対のコイルアーム部19の間に装着されている。
さらにこのコイルアーム部19及びコイル21の下面側には、回折格子23が装着されている。回折格子23は、ピボット11の軸心を中心として放射状に延びる格子が、同軸心を中心とした円周方向に所定ピッチで形成されている。
コイルアーム部19、コイル21及び回折格子23を挟んで、これらと非接触状態で、上部マグネット25a、25b及び下部マグネット25c、25dが配置されている。これらの上部マグネット25a、25bと下部マグネット25c、25dは、上部ヨーク27と下部ヨーク29に固定されている。ヨーク27、29は、3本のスペーサ軸31によって所定間隔に保持され、マグネット25a乃至25dとコイルアーム部19、コイル21及び回折格子23とを非接触状態に保持する。これらのコイルアーム部19、コイル21、マグネット25a乃至25d及びヨーク27、29によって、VCMが構成されている。
さらに下部ヨーク29、及び下部マグネット25c、25dの円周方向略中央位置となる境界部分には、これらを貫通して下部ヨーク29の外側から回折格子23まで連通する光路穴29a、26が形成されている(図3参照)。これらの光路穴29a、26は、回折格子23を照射するレーザー光を射出するレーザーエンコーダ41の光路となる。
以上の構成からなるアクチュエータは、ピボット11が測定装置のブロックに対して回動自在に支持され、上部、下部ヨーク27、29が上記ブロックに固定される。さらに下部ヨーク29の下方に、レーザーエンコーダ41が固定される。そうしてスイングアーム13の先端に装着された磁気ヘッド17を測定装置に搭載されたスピンドルモータによって回転駆動される磁気ディスクに対して、コイル21への通電制御によりアクセスさせる。
レーザーエンコーダ41は、発光素子(レーザーダイオード)43a及び受光素子43bを備えたフォトリフレクタ方式のセンサである。レーザーエンコーダ41の発光素子43aから射出したレーザー光L1が光路穴29a、26を通って回折格子23に入射し、回折格子23で反射した反射レーザー光L2が、再び光路穴26、29aを通ってレーザーエンコーダ41の受光素子43bに入射する。反射レーザー光L2の強度は、レーザー光L1が入射した回折格子23の位置に応じて変わるので、受光素子43bが受けた反射レーザー光L2の出力の強度を測定することによって、レーザー光L1が回折格子23に入射した位置を検出し、スイングアーム13の回転角を測定できる。
このレーザーエンコーダ41は、反射レーザー光L2を受けた受光素子43bの出力から、位相差90度の2相正弦波出力信号を出力する、2相正弦波出力式位置検出センサとして機能する。
なお、この実施形態では、スイングアーム13が停止している位置から回転する際に回転角を測定する構成である。
このレーザーエンコーダ41は、反射レーザー光L2を受けた受光素子43bの出力から、位相差90度の2相正弦波出力信号を出力する、2相正弦波出力式位置検出センサとして機能する。
なお、この実施形態では、スイングアーム13が停止している位置から回転する際に回転角を測定する構成である。
図4は、本発明を実施するレーザーエンコーダのモデルを示すブロック図、図5はパラメータ誤差と出力誤差の関係をグラフで示す図、図6は、本発明の実施形態であるバッチ処理型ニュートン法によるブロックダイアグラムを示す図、図7は本発明の他の実施形態であるバッチ処理型最急降下法によるブロックダイアグラムを示す図である。
本発明のレーザーエンコーダのパラメータ補正方法は、次の4段階の方法からなる。但し、第4段階は必ずしも必要ではないが、推定結果の信頼性を確認するために有効である。
1)適切な繰り返し速度の各サンプリング時刻において、予め設定した想定パラメータを用いてレーザーエンコーダ41が出力した2相出力信号から角度を逆算し、それを積算して位置情報を生成する。これは、既存技術であって、通常の使用方法である。
2)上記複数の異なる角度状態においてレーザーエンコーダ41から出力された2相出力信号を記憶する。例えば、レーザエンコーダ41から出力されたsin波とcos波のある時点(サンプリング時)の出力を、図示しないADコンバータで取り込んでメモリに記憶する。これは、リッチネス保証機能である。
3)上記記憶した複数の2相出力信号の組が必要な角度状態の組合わせ条件を満足するに至った時点で、その2相信号の組と、現時点で想定されている想定パラメータから生成される2相信号の組との非整合性を利用して想定パラメータを更新する。想定パラメータを更新する最適化手法としてニュートン法または最急降下法を用いる。
4)以上の1)乃至3)の段階により推定された想定パラメータの妥当性を代数的に適時確認する。
1)適切な繰り返し速度の各サンプリング時刻において、予め設定した想定パラメータを用いてレーザーエンコーダ41が出力した2相出力信号から角度を逆算し、それを積算して位置情報を生成する。これは、既存技術であって、通常の使用方法である。
2)上記複数の異なる角度状態においてレーザーエンコーダ41から出力された2相出力信号を記憶する。例えば、レーザエンコーダ41から出力されたsin波とcos波のある時点(サンプリング時)の出力を、図示しないADコンバータで取り込んでメモリに記憶する。これは、リッチネス保証機能である。
3)上記記憶した複数の2相出力信号の組が必要な角度状態の組合わせ条件を満足するに至った時点で、その2相信号の組と、現時点で想定されている想定パラメータから生成される2相信号の組との非整合性を利用して想定パラメータを更新する。想定パラメータを更新する最適化手法としてニュートン法または最急降下法を用いる。
4)以上の1)乃至3)の段階により推定された想定パラメータの妥当性を代数的に適時確認する。
以上のレーザーエンコーダのパラメータ補正方法について、さらに詳細に説明する。
『Nサンプルの測定値からパラメータ補正値を算出する手法』
「出力関数の線形近似」
レーザーエンコーダ41を、パラメータベクトル x を持つ2次元ベクトル値非線形関数、
y = f(u,x) ・・・ (1)
により図4に示したようにモデル化する。式(1) において、入力信号 u は、エンコーダの角度、パラメータ x は出力信号振幅、位相差、オフセットなどを要素とするベクトルである。
『Nサンプルの測定値からパラメータ補正値を算出する手法』
「出力関数の線形近似」
レーザーエンコーダ41を、パラメータベクトル x を持つ2次元ベクトル値非線形関数、
y = f(u,x) ・・・ (1)
により図4に示したようにモデル化する。式(1) において、入力信号 u は、エンコーダの角度、パラメータ x は出力信号振幅、位相差、オフセットなどを要素とするベクトルである。
ここで、入力信号 u が既知であるとし、パラメータ x を変数とみなしてパラメータ空間上の接平面(あるいはヤコビアン行列)を用いれば、式(1) を、接点の近傍で次の式(2) のように線形近似できる。
y = f(u,xo) + A(x-xo) = yo + Axe ・・・ (2)
ここに、
yo = f(u,xo) ・・・ (3)
xe = x - xo ・・・ (4)
A = ∂f/∂xT ・・・ (5)
である。
ここで、 xo は、現時点で明示的に推定されている想定パラメータの推定値、
yo は、現時点で明示的に計算されている出力の計算値である。
y = f(u,xo) + A(x-xo) = yo + Axe ・・・ (2)
ここに、
yo = f(u,xo) ・・・ (3)
xe = x - xo ・・・ (4)
A = ∂f/∂xT ・・・ (5)
である。
ここで、 xo は、現時点で明示的に推定されている想定パラメータの推定値、
yo は、現時点で明示的に計算されている出力の計算値である。
「パラメータ誤差から出力誤差への変換の線形近似」
上記 xo 、yo が現時点で明示的に推定、計算されている想定パラメータ及び出力であるのに対して、 x は測定不可能な真のパラメータであり、そこから実際に生成されて測定されたレーザーエンコーダ41の出力ベクトルを y とすれば、出力推定誤差ベクトル ye は、
ye = y - yo ・・・ (6) (2次元ベクトル)
と定義できる。これを式(2) に代入すれば、
A xe = ye ・・・ (7) (2次元ベクトル)
の形を得る。これは、パラメータ誤差 xe を出力誤差 ye に変換する線形近似表現となっている。上記の関係は、図5のグラフのように示すことができる。図5において、縦軸はレーザーエンコーダ41の出力ベクトル、横軸はパラメータである。
上記 xo 、yo が現時点で明示的に推定、計算されている想定パラメータ及び出力であるのに対して、 x は測定不可能な真のパラメータであり、そこから実際に生成されて測定されたレーザーエンコーダ41の出力ベクトルを y とすれば、出力推定誤差ベクトル ye は、
ye = y - yo ・・・ (6) (2次元ベクトル)
と定義できる。これを式(2) に代入すれば、
A xe = ye ・・・ (7) (2次元ベクトル)
の形を得る。これは、パラメータ誤差 xe を出力誤差 ye に変換する線形近似表現となっている。上記の関係は、図5のグラフのように示すことができる。図5において、縦軸はレーザーエンコーダ41の出力ベクトル、横軸はパラメータである。
「 N サンプル出力誤差からのパラメータ誤差の推定」
次に、上記式(1) の関数に既知の時系列信号 uk を入力させたときの出力ベクトルを yk とする。実際のレーザーエンコーダ41においては角度に対応する時系列信号 uk は既知ではないが、測定される出力ベクトル yk により、実用上十分な精度で計算可能であると仮定する。
ここで k = N を現在時点と定め、k = N-1,N-2,….,1 により順次過去の時点を表すものとし、その間パラメータ x が一定不変であるとすれば、式(7) より各時点で近似的に下記の関係が成立する。
A1 xe = ye1
A2 xe = ye2
A3 xe = ye3
::::
AN xe = yeN
次に、上記式(1) の関数に既知の時系列信号 uk を入力させたときの出力ベクトルを yk とする。実際のレーザーエンコーダ41においては角度に対応する時系列信号 uk は既知ではないが、測定される出力ベクトル yk により、実用上十分な精度で計算可能であると仮定する。
ここで k = N を現在時点と定め、k = N-1,N-2,….,1 により順次過去の時点を表すものとし、その間パラメータ x が一定不変であるとすれば、式(7) より各時点で近似的に下記の関係が成立する。
A1 xe = ye1
A2 xe = ye2
A3 xe = ye3
::::
AN xe = yeN
これらをまとめて拡大表現すれば
G xe = Ye = Y - Yo ・・・(8)
の形を得る。ここに、
G = [A1 T A2 T A3 T ・・・ AN T]T ・・・(9)
Y = [y1 T y2 T y3 T ・・・ yN T]T ・・・(10)
Yo = [yo1 T yo2 T yo3 T ・・・ yoN T]T ・・・(11)
Ye = [ye1 T ye2 T ye3 T ・・・ yeN T]T ・・・(12)
と定義する。式(8) を方程式として最小自乗法により解くと、
xe = (GTG)-1GT Ye ・・・ (13)
が得られる。この式(13) を用いれば、過去 N サンプルでの時系列誤差 Ye を測定することによりパラメータ誤差 xe が推定可能になる。
G xe = Ye = Y - Yo ・・・(8)
の形を得る。ここに、
G = [A1 T A2 T A3 T ・・・ AN T]T ・・・(9)
Y = [y1 T y2 T y3 T ・・・ yN T]T ・・・(10)
Yo = [yo1 T yo2 T yo3 T ・・・ yoN T]T ・・・(11)
Ye = [ye1 T ye2 T ye3 T ・・・ yeN T]T ・・・(12)
と定義する。式(8) を方程式として最小自乗法により解くと、
xe = (GTG)-1GT Ye ・・・ (13)
が得られる。この式(13) を用いれば、過去 N サンプルでの時系列誤差 Ye を測定することによりパラメータ誤差 xe が推定可能になる。
「 G マトリクスの計算」
エンコーダ出力 A、B の、振幅、位相差、それぞれのDCオフセットを x1、 x2、 x3、 x4 とすると、式(1) は、具体的には m を定数として下記のように表せる。
f1 = x1 m sin(u - x2) + x3 ・・・(14)
f2 = x1 cos(u) + x4 ・・・(15)
エンコーダ出力 A、B の、振幅、位相差、それぞれのDCオフセットを x1、 x2、 x3、 x4 とすると、式(1) は、具体的には m を定数として下記のように表せる。
f1 = x1 m sin(u - x2) + x3 ・・・(14)
f2 = x1 cos(u) + x4 ・・・(15)
または、エンコーダ出力 A を成分に分解すると、下記のようにも表せる。
a11 = m sin(uk-x2)
a12 = -x1 m cos(uk-x2)
a13 = 1
a14 = 0
a21 = cos(uk)
a22 = 0
a23 = 0
a24 = 1
a11 = m sin(uk-x2)
a12 = -x1 m cos(uk-x2)
a13 = 1
a14 = 0
a21 = cos(uk)
a22 = 0
a23 = 0
a24 = 1
また、拡大マトリクス G の k サンプル時に対応する要素は、具体的には下記のように表せる。
g2k-1,1 = m sin(uk-x2)
g2k-1,2 = -x1 m cos(uk-x2)
g2k-1,3 = 1
g2k-1,4 = 0
g2k,1 = cos(uk)
g2k,2 = 0
g2k,3 = 0
g2k,4 = 1
g2k-1,1 = m sin(uk-x2)
g2k-1,2 = -x1 m cos(uk-x2)
g2k-1,3 = 1
g2k-1,4 = 0
g2k,1 = cos(uk)
g2k,2 = 0
g2k,3 = 0
g2k,4 = 1
『最適化手法によるパラメータの反復補正法』
「バッチ処理型ニュートン法のブロックダイアグラム」
レーザーエンコーダ41において、角度 uk を時間依存の既知パラメータとみなせば、N サンプルのデータを利用してバッチ処理的に行うパラメータ補正は、図6に示したブロックダイアグラムで表せる。
「バッチ処理型ニュートン法のブロックダイアグラム」
レーザーエンコーダ41において、角度 uk を時間依存の既知パラメータとみなせば、N サンプルのデータを利用してバッチ処理的に行うパラメータ補正は、図6に示したブロックダイアグラムで表せる。
「バッチ処理型ニュートン法によるパラメータ補正」
ニュートン法により、上記式(13) により求めたパラメータ誤差の推定値 xe を式(4) に代入して、現在推定されている想定パラメータ xo に対して、
x = xo + α xe ・・・(17)
を新しいパラメータの推定値(想定パラメータ)とする。ここに、係数 α は収束速度と安定性をバランスさせるもので1よりやや小さめに取る。係数 α は1に近いほど収束が速いが、その分安定性が損なわれる場合がある。
ニュートン法により、上記式(13) により求めたパラメータ誤差の推定値 xe を式(4) に代入して、現在推定されている想定パラメータ xo に対して、
x = xo + α xe ・・・(17)
を新しいパラメータの推定値(想定パラメータ)とする。ここに、係数 α は収束速度と安定性をバランスさせるもので1よりやや小さめに取る。係数 α は1に近いほど収束が速いが、その分安定性が損なわれる場合がある。
「他の最適化方法(最急降下法)によるパラメータ補正」
以上のニュートン法は高速な収束特性をもつ勝れた方法であるが、式(13) の xe を計算するのに時間がかかるので、計算時間を短縮する場合には、他の計算量の少ない最適化方法、例えば最急降下法を用いることもできる。最急降下法では、式(13) に代えて、
xe = GT Ye ・・・ (18)
を用いる。この場合は式(17) の係数 α をニュートン法の場合の 1/10 程度の値に設定する。最急降下法によるバッチ処理型パラメータ補正法のブロックダイヤグラムを図7に示した。
以上のニュートン法は高速な収束特性をもつ勝れた方法であるが、式(13) の xe を計算するのに時間がかかるので、計算時間を短縮する場合には、他の計算量の少ない最適化方法、例えば最急降下法を用いることもできる。最急降下法では、式(13) に代えて、
xe = GT Ye ・・・ (18)
を用いる。この場合は式(17) の係数 α をニュートン法の場合の 1/10 程度の値に設定する。最急降下法によるバッチ処理型パラメータ補正法のブロックダイヤグラムを図7に示した。
『データリッチネスの保障方法』
「予想されるひとつの問題」
これまでエンコーダ角度に対応する時系列信号 uk は十分な程度の精度で計算可能であると仮定した。しかし現実にはもともとパラメータ誤差があることを前提にしているので、この仮定は信頼性が低い場合がある。このため、例えばサンプルデータが常にほぼ同一のエンコーダ角度状態からの出力であったなら、パラメータ推定には大きな誤差を生じ、ニュートン法の収束は困難になることが予想される。これを回避するには十分なデータリッチネスを確保する必要がある。具体的には、エンコーダ角度が0〜2πの範囲内でできるだけ均一に分布しているようなサンプルデータのみを使ってパラメータ推定・補正を行う。逆に言えば、そのようなリッチなデータのセットが得られるまではパラメータ補正を行わないというデータリッチネス保証の方法が必要となる。
「予想されるひとつの問題」
これまでエンコーダ角度に対応する時系列信号 uk は十分な程度の精度で計算可能であると仮定した。しかし現実にはもともとパラメータ誤差があることを前提にしているので、この仮定は信頼性が低い場合がある。このため、例えばサンプルデータが常にほぼ同一のエンコーダ角度状態からの出力であったなら、パラメータ推定には大きな誤差を生じ、ニュートン法の収束は困難になることが予想される。これを回避するには十分なデータリッチネスを確保する必要がある。具体的には、エンコーダ角度が0〜2πの範囲内でできるだけ均一に分布しているようなサンプルデータのみを使ってパラメータ推定・補正を行う。逆に言えば、そのようなリッチなデータのセットが得られるまではパラメータ補正を行わないというデータリッチネス保証の方法が必要となる。
「角度ゾーンクラス分けによるリッチネスの保障法」
エンコーダ角度分布を0〜2πの範囲内で均一に保つ方法として、0〜2πの範囲を Nz 個の均等幅のゾーンに分割し、サンプルデータをクラス分けする。そしてすべてのゾーン内に最低 Nd 個のデータが埋まった段階でそれらの中の Nz x Nd 個の最新データサンプルのみを使ってパラメータ推定・補正を行う。表1は、Nz = 5, Nd = 2 の場合に、過去15個のサンプルデータの中から上記のルールで選ばれた10個の最新データの例を示している。表1の中の数値はサンプルデータの時刻であって、15が最新データ時刻である。
<表1>
エンコーダ角度分布を0〜2πの範囲内で均一に保つ方法として、0〜2πの範囲を Nz 個の均等幅のゾーンに分割し、サンプルデータをクラス分けする。そしてすべてのゾーン内に最低 Nd 個のデータが埋まった段階でそれらの中の Nz x Nd 個の最新データサンプルのみを使ってパラメータ推定・補正を行う。表1は、Nz = 5, Nd = 2 の場合に、過去15個のサンプルデータの中から上記のルールで選ばれた10個の最新データの例を示している。表1の中の数値はサンプルデータの時刻であって、15が最新データ時刻である。
<表1>
なお、Nz が小さ過ぎるとリッチネスが減少し、また逆に大き過ぎると必要なリッチネス条件が確保されるまでに時間がかかるので、Nzは使用目的によって適切に選ぶことが好ましい。一方、信号 A,B に大きなランダムノイズが混入している場合などでは Nd を大きく取ってできるだけ多くのサンプルデータを使ってパラメータ推定・補正を行うことが好ましい。
『推定されたパラメータの妥当性の代数的確認方法』
上記式(14)と式(15)からθを消去すると、
-arcsin[(-A + x3)/(m x1)] = x2 + arccos[(B -X4)/x1] ・・・(19)
但しθ<0
arcsin[(-A + x3)/(m x1)] = x2 - arccos[(B -X4)/x1] ・・・(20)
但しθ≧0
を得る。
上記式(14)と式(15)からθを消去すると、
-arcsin[(-A + x3)/(m x1)] = x2 + arccos[(B -X4)/x1] ・・・(19)
但しθ<0
arcsin[(-A + x3)/(m x1)] = x2 - arccos[(B -X4)/x1] ・・・(20)
但しθ≧0
を得る。
パラメータが推定された過程における角度θを特定することはできないが、 x2 の符号は初期化の段階でわかっているので、
|arcsin[(-A + x3)/(m x1)] + arccos[(B -X4)/x1]|
を計算し、結果が |x2 - e|と|x2 + e| (e は仕様で決められた誤差)の範囲に収まっていれば、推定されたパラメータは妥当であると判断できる。これはリアルタイムで計算する必要はなく、適時バッチ処理をすれば十分である。
|arcsin[(-A + x3)/(m x1)] + arccos[(B -X4)/x1]|
を計算し、結果が |x2 - e|と|x2 + e| (e は仕様で決められた誤差)の範囲に収まっていれば、推定されたパラメータは妥当であると判断できる。これはリアルタイムで計算する必要はなく、適時バッチ処理をすれば十分である。
以上の代数的確認方法では、角度θの値、すなわち現時点での位置によらない任意の位置で得た2相信号 A と B からパラメータ推定の妥当性を判断できる。
以上本発明について、ハードディスク装置のスイングアームの回転角を検出するレーザーエンコーダに適用した実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されず、他の試験装置等の角度測定、位置測定にも適用できる。
11 ピボット
13 アーム
17 磁気ヘッド
19 コイルアーム部
21 コイル
23 回折格子
25a 25b 上部マグネット
25c 25d 下部マグネット
26 光路穴
27 上部ヨーク
29 下部ヨーク
29a 光路穴
41 レーザーエンコーダ
13 アーム
17 磁気ヘッド
19 コイルアーム部
21 コイル
23 回折格子
25a 25b 上部マグネット
25c 25d 下部マグネット
26 光路穴
27 上部ヨーク
29 下部ヨーク
29a 光路穴
41 レーザーエンコーダ
Claims (3)
- 測定対象と一体に移動する回折格子に対しレーザー光を照射し、反射光または透過光を受けてその強度を検出する、2相出力式位置検出センサを備えたレーザーエンコーダのパラメータ補正方法であって、
1)所定サンプリング時刻において、予め設定した想定パラメータを用いて上記レーザーエンコーダが出力した2相出力信号から角度を逆算し、それを積算して位置情報を生成する段階と、
2)複数の異なる角度状態において上記レーザーエンコーダから出力された上記2相出力信号を記憶する段階と、
3)上記記憶した複数の2相出力信号の組が必要な角度状態の組合わせ条件を満足するに至った時点で、その2相出力信号の組と、現時点で想定されている想定パラメータから生成される2相出力信号の組との非整合性に基づいて上記想定パラメータを更新する段階と、を有することを特徴とするレーザーエンコーダのパラメータ補正方法。 - 請求項1記載のレーザーエンコーダのパラメータ補正方法において、上記段階3)では上記非整合性に基づいて上記想定パラメータを更新する最適化方法として、ニュートン法または最急降下法を用いるレーザーエンコーダのパラメータ補正方法。
- 請求項1記載のレーザーエンコーダのパラメータ補正方法において、上記各段階により推定されたパラメータの妥当性を代数的に確認する段階を含むレーザーエンコーダのパラメータ補正方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007166392A JP2009002903A (ja) | 2007-06-25 | 2007-06-25 | レーザーエンコーダのパラメータ補正方法 |
PCT/JP2008/061222 WO2009001749A1 (ja) | 2007-06-25 | 2008-06-19 | レーザーエンコーダのパラメータ補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007166392A JP2009002903A (ja) | 2007-06-25 | 2007-06-25 | レーザーエンコーダのパラメータ補正方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009002903A true JP2009002903A (ja) | 2009-01-08 |
Family
ID=40185567
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007166392A Pending JP2009002903A (ja) | 2007-06-25 | 2007-06-25 | レーザーエンコーダのパラメータ補正方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009002903A (ja) |
WO (1) | WO2009001749A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109883446A (zh) * | 2019-03-14 | 2019-06-14 | 中国水利水电夹江水工机械有限公司 | 一种运行机构行程校准装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61110006A (ja) * | 1984-11-05 | 1986-05-28 | Fanuc Ltd | 位置検出方法 |
EP1245931A1 (de) * | 2001-03-31 | 2002-10-02 | Leica Geosystems AG | Verfahren zur Kalibrierung eines Messinstrumentes |
JP2003222535A (ja) * | 2002-01-29 | 2003-08-08 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 2相信号のオフセット推定方法およびそれを用いた位置検出器 |
JP2004219333A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-08-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | エンコーダ出力信号補正装置 |
JP4578298B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2010-11-10 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ出力信号波形補正装置 |
-
2007
- 2007-06-25 JP JP2007166392A patent/JP2009002903A/ja active Pending
-
2008
- 2008-06-19 WO PCT/JP2008/061222 patent/WO2009001749A1/ja active Application Filing
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---|---|
WO2009001749A1 (ja) | 2008-12-31 |
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