JP2009000790A - Adsorption plate and conveying device of ceramic green sheet using the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、大きな面積を有する場合であっても高精度にかつ安価に製造することができ、しかも、簡単な構造により吸着板の平坦性を確実に維持することができると同時に、吸着板の吸着面に略均質な吸引力を発生させることができる吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置に関する。 The present invention can be manufactured with high accuracy and at low cost even when it has a large area, and the flatness of the suction plate can be reliably maintained with a simple structure. The present invention relates to a suction plate capable of generating a substantially homogeneous suction force on a suction surface and a ceramic green sheet conveying apparatus using the suction plate.
従来、セラミックグリーンシートを吸着して搬送する搬送装置に用いられる多孔質の吸着板は、ドリルによる孔開け法により製造されていた。
このような吸着板は、ドリルによる孔開け作業時に、平板材に応力が作用して撓んだり、あるいは、貫通孔の近傍にわずかながら凹凸が形成されてしまうという不具合があり、その結果、セラミックグリーンシートを搬送する際に、その表面に吸着痕が生じてしまうという不具合があった。
また、吸着板をドリルによる孔開け法により製造する場合、ドリル径の限界（φ１ｍｍ程度）から、微細径の貫通孔を機械加工で穿設することが難しいという制約があった。しかも、多数の貫通孔を一つ一つ開けていく必要があり、手間とコストがかかるという課題もあった。
そして、特に貫通孔ピッチが大きい場合、セラミックグリーンシートを吸着した際に、シート表面の全面が吸着されないので、セラミックグリーンシートにシワを生じさせてしまうという課題があった。
さらに、市販品にも多孔質吸着板があるが、このような多孔質吸着板は高価な上、形状及び寸法に制約があるという課題があった。
このような課題に対処するため、いくつかの発明が開示されている。
Conventionally, a porous adsorption plate used in a conveyance device that adsorbs and conveys a ceramic green sheet has been manufactured by a drilling method using a drill.
Such a suction plate has a problem that, when drilling with a drill, stress is applied to the flat plate material, or there is a problem that slight irregularities are formed in the vicinity of the through hole. When conveying the green sheet, there was a problem that an adsorption mark was generated on the surface thereof.
Further, when the suction plate is manufactured by a drilling method using a drill, there is a restriction that it is difficult to drill a fine-diameter through hole by machining due to the limit of the drill diameter (about φ1 mm). Moreover, it is necessary to open a large number of through holes one by one, and there is a problem that it takes time and cost.
In particular, when the pitch of the through holes is large, when the ceramic green sheet is adsorbed, the entire surface of the sheet is not adsorbed, which causes a problem that wrinkles are generated in the ceramic green sheet.
Furthermore, although a commercially available product also has a porous adsorption plate, there is a problem that such a porous adsorption plate is expensive and has restrictions in shape and dimensions.
In order to cope with such a problem, several inventions are disclosed.
以下に、従来技術に係る「シート吸着板」について説明する。
特許文献１には、グリーンシートのような可撓性シートを吸着保持できるシート吸着板に関する発明が開示されている。
特許文献１に係る「シート吸着板」は、表裏に貫通する多数の吸引穴が所定ピッチ間隔で分散形成された第１プレートと、表面の周囲に枠部を有し、枠部の内側に吸引穴と通じる格子状の通気溝が形成され、通気溝によって残された島状の凸部が枠部と同一高さに形成され、枠部と凸部が第１プレートの裏面に接合され、かつ通気溝の底部に裏面に通じる適数個の通気穴が形成された第２プレートと、表面に平坦面を有し、この表面が第２プレートの裏面に接合され、通気穴３ｄに対応する吸引通路穴が形成され、かつこれら吸引通路穴が真空源と接続された第３プレート４と備えることを特徴とするものである。また、上記第１プレートの吸引穴はエッチング加工により形成されてもよい。
上記構成の特許文献１に記載の発明によれば、シートを吸着する吸引穴は第１プレートに均等に分散形成されており、しかも各吸引穴には格子状の通気溝を介して均等な真空負圧が作用するので、シートに接触する第１プレートの表面に均一な吸引力を作用させることができる。
また、第１プレートの裏面は第２プレートの枠部と凸部とに接合されているので、第１，第２プレートの貼り合わせ時に良好な平面度を確保でき、吸着時にシートの撓みや凹凸を発生させないという効果を有する。
この結果、吸引孔の大きさのバラツキを小さくして、シート全面に均質な吸着力を発生させることができるという効果を有する。
The “sheet adsorbing plate” according to the related art will be described below.
Patent Document 1 discloses an invention relating to a sheet adsorbing plate capable of adsorbing and holding a flexible sheet such as a green sheet.
The “sheet adsorbing plate” according to Patent Document 1 has a first plate in which a large number of suction holes penetrating the front and back are dispersedly formed at predetermined pitch intervals, a frame portion around the surface, and suction inside the frame portion. A lattice-shaped ventilation groove communicating with the hole is formed, the island-shaped protrusions left by the ventilation groove are formed at the same height as the frame part, the frame part and the protrusion part are joined to the back surface of the first plate, and A second plate in which an appropriate number of ventilation holes leading to the back surface are formed at the bottom of the ventilation groove, and a flat surface on the surface, and this surface is joined to the back surface of the second plate and corresponds to the ventilation hole 3d. A passage hole is formed, and the suction passage hole is provided with a third plate 4 connected to a vacuum source. The suction hole of the first plate may be formed by etching.
According to the invention described in Patent Document 1 having the above-described configuration, the suction holes for adsorbing the sheet are uniformly distributed in the first plate, and each suction hole has a uniform vacuum via a lattice-shaped ventilation groove. Since the negative pressure acts, a uniform suction force can be applied to the surface of the first plate that contacts the sheet.
In addition, since the back surface of the first plate is joined to the frame portion and the convex portion of the second plate, good flatness can be secured when the first and second plates are bonded together, and the sheet can be bent or uneven when sucked. It has the effect of not generating.
As a result, there is an effect that it is possible to reduce the variation in the size of the suction holes and generate a uniform suction force on the entire surface of the sheet.
また、特許文献２には、多孔質部からなる吸着部と緻密質部からなる支持部とを備える吸着板を具備した真空吸着装置とその製造方法に関する発明が開示されている。
特許文献２に係る発明は、多孔質部からなる吸着部と緻密質部からなる支持部とを備えた真空吸着装置の吸着板全体を同一組成のセラミックスにより形成し、吸着部をなす多孔質部と、該多孔質部を囲繞する支持部をなす緻密質部とを一体的に形成したものであり、また、その製造方法は同一組成のセラミック粉末に対し、焼成時に燃えてなくなる焼失材を添加混合し、各セラミック原料を型内の所定位置にそれぞれ充填したあと成形し、しかるのちセラミック粉末を焼結させる温度にて焼成することを特徴とするものである。
上記構成の特許文献２に記載の発明によれば、真空吸着装置に設けられる吸着板は、吸着部をなす多孔質部と支持部をなす緻密質部とが共に同一組成のセラミックスにより一体的に形成されているので、多孔質部は緻密質部と同程度の硬度を有するとともに、機械的強度、耐薬品性、及び耐熱性に優れている。
このため、載置面を容易に平滑平坦な面とすることができるので、被加工物を強固に吸着固定することができるとともに、吸引力により支持部から吸着部が脱落することがない。また、洗浄を繰り返したとしてもセラミック粒子の脱落がなく、高温下での使用においても大幅な強度劣化を生じることがないため、長期間にわたり使用することができるという効果を有する。
また、特許文献２に記載の発明は、吸着板の吸着部をなす多孔質部を構成するために、セラミック原料中に焼成時に燃えてなくなる焼失材を添加して成形し、しかるのちセラミック粉末を完全に焼結させる温度で焼成して製造したことにより、従来のように各セラミック材を別々に制作し、その後ガラス接合するというような面倒な作業をすることなく、一度の成形・焼成工程を経るだけで、多孔質部と緻密質部とを一体的に形成した吸着板を効率良く製造することができる。しかも、この方法により製造すれば多孔質部も完全に焼結したセラミックスとすることができるという効果を有する。
その為、長期間にわたり被加工物を吸着板の載置面上に強固に固定することができるという効果を有する。
Patent Document 2 discloses an invention related to a vacuum suction device including a suction plate including a suction portion made of a porous portion and a support portion made of a dense portion, and a method for manufacturing the same.
In the invention according to Patent Document 2, the entire suction plate of a vacuum suction device including an adsorption portion made of a porous portion and a support portion made of a dense portion is formed of ceramics of the same composition, and the porous portion forming the adsorption portion And a dense part that forms a support part surrounding the porous part, and the manufacturing method adds a burned-out material that does not burn during firing to ceramic powder of the same composition It mixes, each ceramic raw material is each filled in the predetermined position in a type | mold, Then, it shape | molds, and it baked at the temperature which sinters ceramic powder after that.
According to the invention described in Patent Document 2 having the above-described configuration, the suction plate provided in the vacuum suction device is integrally formed of ceramics having the same composition in which the porous portion that forms the suction portion and the dense portion that forms the support portion. Since it is formed, the porous portion has the same degree of hardness as the dense portion, and is excellent in mechanical strength, chemical resistance, and heat resistance.
For this reason, since the mounting surface can be easily made into a smooth and flat surface, the workpiece can be firmly fixed by suction, and the suction portion does not fall off from the support portion due to the suction force. Further, even if the washing is repeated, the ceramic particles do not fall off, and the strength is not greatly deteriorated even when used at a high temperature, so that it can be used for a long period of time.
In addition, in the invention described in Patent Document 2, in order to constitute the porous portion that forms the adsorption portion of the adsorption plate, a ceramic material is added with a burned material that does not burn during firing, and then the ceramic powder is formed. By firing and producing at the temperature to completely sinter, each ceramic material is produced separately as before, and then the molding and firing process is performed once without the troublesome work of glass joining. By simply passing through, an adsorption plate in which the porous portion and the dense portion are integrally formed can be efficiently manufactured. Moreover, if manufactured by this method, the porous part can be made into a completely sintered ceramic.
Therefore, there is an effect that the workpiece can be firmly fixed on the mounting surface of the suction plate over a long period of time.
しかしながら、上述の特許文献１に開示される発明の場合、第１のプレート，第２のプレート，第３のプレートの貫通孔は、いずれも異なる製造工程を経て製造されると考えられる。
この場合、それぞれのプレートに孔開けをする際に、それぞれの孔開け工程におけるピッチ精度を高めたとしても、製造方法の違いや孔開けに使用する装置の違いによる微妙な孔開け位置の誤差を排除することは難しく、その結果、大きなサイズの吸着板を高精度に製造することは難しいという課題があった。
However, in the case of the invention disclosed in the above-mentioned Patent Document 1, it is considered that the through holes of the first plate, the second plate, and the third plate are manufactured through different manufacturing processes.
In this case, when drilling each plate, even if the pitch accuracy in each drilling process is increased, subtle errors in the drilling position due to differences in manufacturing methods and devices used for drilling can be avoided. It was difficult to eliminate, and as a result, there was a problem that it was difficult to manufacture a large-sized suction plate with high accuracy.
また、特許文献２に開示される発明の場合、略均質な多孔質材を形成することができると考えられるものの、一定のピッチを保ちながら人為的に孔が形成された多孔質材と比較すると、孔の配置の精度に関してはやはり劣る可能性がある。
しかも、特許文献２に開示される多孔質材を製造する際に、多孔質材の表面に形成される孔の直径を略完全に同じにすることは難しい。
このため、大きな面積を有する多孔質材を製造した場合に、多孔質材の表面の任意の位置に直径の大きな穴が形成されてしまう可能性があり、やはり、大きな面積を有する多孔質材の製造には適さない可能性が高かった。
Further, in the case of the invention disclosed in Patent Document 2, it is considered that a substantially homogeneous porous material can be formed, but compared with a porous material in which pores are artificially formed while maintaining a constant pitch. The accuracy of the hole arrangement may still be inferior.
Moreover, when manufacturing the porous material disclosed in Patent Document 2, it is difficult to make the diameters of the holes formed on the surface of the porous material substantially the same.
For this reason, when a porous material having a large area is manufactured, a hole having a large diameter may be formed at an arbitrary position on the surface of the porous material. It was likely not suitable for manufacturing.
本発明はかかる従来の事情に対処してなされたものであり、大きな面積を有する場合であっても高精度にかつ安価に製造することができ、しかも、簡単な構造により吸着板の平坦性を確実に維持することができると同時に、吸着板の吸着面に略均質な吸引力を発生させることができる吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of such a conventional situation, and can be manufactured with high accuracy and at low cost even if it has a large area, and the flatness of the suction plate can be improved with a simple structure. An object of the present invention is to provide a suction plate that can be reliably maintained and at the same time can generate a substantially homogeneous suction force on the suction surface of the suction plate and a ceramic green sheet conveying apparatus using the suction plate.
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明である吸着板は、金属製の平板体を少なくとも２枚積層して成る積層体と、この積層体の上面側に予め定められた間隔を保ちながら配設される複数のスペーサーとを有し、平板体は、一定のピッチを保ちながら形成される複数の貫通孔を備え、平板体に形成される複数の貫通孔は、他の平板体に形成される複数の貫通孔と連通し、積層体の上面とスペーサーの下端とは略線状に接触することを特徴とするものである。
上記構成の発明において、平板体に形成される貫通孔は、平板体の下面側の空気を上面側に排出したり、積層体の上面側から下面側に空気を供給するという作用を有する。
また、少なくとも２枚の金属製の平板体を積層することで積層体の強度を高め、積層体の形状保持性を向上させるという作用を有する。この結果、積層体の下面、すなわち、吸着面を平坦にするという作用を有する。
この時、平板体の複数の貫通孔と他の平板体の複数の貫通孔とを連通させることで、積層体の上面から下面への、あるいはこの逆方向への空気の出入を可能にするという作用を有する。
この結果、吸着面である積層体の下面の全面に吸着力を発生させるという作用を有する。
さらに、スペーサーは積層体の上面側の気圧を低下させた際に真空圧により積層体が撓むのを妨げるという作用を有する。
加えて、積層体の上面とスペーサーの下端とを略線状に接触させることで、万一スペーサーの下端が、平板体に形成される貫通孔の開口上に配置された場合でも、貫通孔への空気の出入を可能にするという作用を有する。
また、スペーサーと積層体を別体に構成することで、積層体に不具合が生じた際の修理又は交換を容易にするという作用を有する。
In order to achieve the above object, an adsorption plate according to a first aspect of the present invention comprises a laminate formed by laminating at least two metal flat plates and a predetermined interval on the upper surface side of the laminate. The flat plate body includes a plurality of through holes formed while maintaining a constant pitch, and the plurality of through holes formed in the flat plate body are provided on the other flat plate body. It communicates with a plurality of through-holes to be formed, and the upper surface of the laminate and the lower end of the spacer are in contact with each other in a substantially linear shape.
In the invention having the above-described configuration, the through hole formed in the flat plate has an action of discharging air on the lower surface side of the flat plate to the upper surface side or supplying air from the upper surface side of the stacked body to the lower surface side.
Moreover, it has the effect | action which raises the intensity | strength of a laminated body by laminating at least 2 metal flat plates, and improves the shape maintenance property of a laminated body. As a result, it has the effect of flattening the lower surface of the laminate, that is, the adsorption surface.
At this time, by connecting the plurality of through holes of the flat plate and the plurality of through holes of the other flat plate, it is possible to allow air to enter and exit from the upper surface to the lower surface of the laminated body or in the opposite direction. Has an effect.
As a result, it has the effect of generating an adsorption force on the entire lower surface of the laminate, which is the adsorption surface.
Furthermore, the spacer has an effect of preventing the laminate from being bent by the vacuum pressure when the pressure on the upper surface side of the laminate is lowered.
In addition, by contacting the upper surface of the laminate and the lower end of the spacer substantially linearly, even if the lower end of the spacer is disposed on the opening of the through hole formed in the flat plate, Has the effect of allowing the air to enter and exit.
Further, by configuring the spacer and the laminate separately, it has an effect of facilitating repair or replacement when a malfunction occurs in the laminate.
請求項２に記載の発明である吸着板は、請求項１記載の吸着板であって、貫通孔は、平板体の上面及び／又は下面にエッチング加工を施して形成することを特徴とするものである。
上記構成の発明は、請求項１に記載の発明と同じ作用に加え、同一のエッチングマスクを用いてフォトリソグラフィック法で複数のそれぞれの平板体にエッチングレジスト膜を形成するエッチング加工により貫通孔を形成することで、複数の平板体の同じ位置に貫通孔を形成させるという作用を有する。
この結果、複数の平板体を積層した際に、互いに符合する位置に形成される貫通孔同士の連通を容易にするという作用も有する。
The suction plate according to a second aspect of the present invention is the suction plate according to the first aspect, wherein the through hole is formed by etching the upper surface and / or the lower surface of the flat plate. It is.
In the invention with the above structure, in addition to the same action as that of the invention described in claim 1, through holes are formed by etching processing that forms an etching resist film on each of a plurality of flat plates by a photolithographic method using the same etching mask. By doing so, it has the effect | action that a through-hole is formed in the same position of a some flat plate body.
As a result, when a plurality of flat plates are stacked, it also has an effect of facilitating communication between the through holes formed at positions that coincide with each other.
請求項３に記載の発明である吸着板は、請求項１又は請求項２に記載の吸着板であって、積層体は、少なくとも２枚の平板体をスポット溶接により接合して成ることを特徴とするものである。
上記構成の発明は、請求項１又は請求項２に記載のそれぞれの発明と同じ作用に加え、スポット溶接により少なくとも２枚の平板体を接合することで、それぞれの平板体に形成される貫通孔を隙間なく連続させるという作用を有する。
また、請求項３に記載の吸着板の吸着面における平坦性を高めるという作用を有する。
The suction plate according to a third aspect of the present invention is the suction plate according to the first or second aspect, wherein the laminate is formed by joining at least two flat plates by spot welding. It is what.
In addition to the same action as that of each of the inventions according to claim 1 or 2, the invention having the above-described configuration is formed by joining at least two flat plates by spot welding to form through holes formed in the respective flat plates. Has an effect of making the continuity without gaps.
Moreover, it has the effect | action of improving the flatness in the suction surface of the suction plate of Claim 3.
請求項４に記載の発明である吸着板は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の吸着板であって、平板体の平面方向に垂直な面を垂直面とすると、
吸着板を垂直面で切断した際の垂直断面において、積層体の上面とスペーサーの側面のなす角度θは、θ≧４５°であることを特徴とするものである。
上記構成の発明は、請求項１乃至請求項３のそれぞれに記載される発明と同じ作用に加えて、積層体の上面とスペーサーの側面のなす角度θを、θ≧４５°に設定することで、平板体の貫通孔上にスペーサーが配置された場合であっても、貫通孔への空気の出入をスムースにするという作用を有する。
The suction plate according to a fourth aspect of the present invention is the suction plate according to any one of the first to third aspects, wherein a plane perpendicular to the planar direction of the flat plate is defined as a vertical plane.
In a vertical section when the suction plate is cut along a vertical plane, the angle θ formed by the upper surface of the laminate and the side surface of the spacer is θ ≧ 45 °.
In the invention with the above configuration, in addition to the same action as the invention described in each of claims 1 to 3, the angle θ formed by the upper surface of the laminate and the side surface of the spacer is set to θ ≧ 45 °. Even when the spacer is arranged on the through hole of the flat plate, it has an effect of smoothly moving air into and out of the through hole.
請求項５に記載の発明であるセラミックグリーンシートの搬送装置は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の吸着板を備えることを特徴とするものである。
上記構成の発明は、請求項１乃至請求項３のそれぞれに記載される発明と同じ作用に加えて、積層体とスペーサーにより形成される空隙を減圧した際に、吸着面である吸着板の下面の全面にわたり略均一な吸着力を発生させるという作用を有する。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a ceramic green sheet conveying apparatus including the suction plate according to any one of the first to fourth aspects.
In addition to the same action as the invention described in each of claims 1 to 3, the invention with the above configuration has a lower surface of the suction plate that is the suction surface when the gap formed by the laminate and the spacer is decompressed. Has an action of generating a substantially uniform adsorption force over the entire surface.
本発明の請求項１記載の発明によれば、積層体の上面においてスペーサーが配設される位置においても、その真下に配置される吸着面に吸引力を発生させることができるという効果を有する。この結果、請求項１記載の発明の吸着面の平面方向における吸引力を略均質にすることができるという効果を有する。
また、平板体を少なくとも２枚積層することで、積層体の強度を高めることができる。このため、請求項１記載の発明の吸着面に繰り返し吸引力を発生させた場合でも、吸着面の平坦性を高度に維持することができるという効果を有する。
According to the first aspect of the present invention, even in the position where the spacer is disposed on the upper surface of the laminate, there is an effect that a suction force can be generated on the suction surface disposed immediately below the spacer. As a result, the suction force in the planar direction of the suction surface according to the first aspect of the invention can be made substantially uniform.
Moreover, the intensity | strength of a laminated body can be raised by laminating | stacking at least 2 plate bodies. For this reason, even when a suction force is repeatedly generated on the suction surface according to the first aspect of the present invention, the flatness of the suction surface can be maintained at a high level.
本発明の請求項２記載の発明は、請求項１に記載の発明と同様の効果に加え、平板体への貫通孔の形成作業にかかる時間を短縮することができるという効果を有する。
しかも、貫通孔の直径が小さい場合でも、平板体を積層した際にそれぞれの平板体に形成される貫通孔を確実に連通させることができるという効果を有する。
この結果、強度が高く平坦性が高度に保たれた吸着板を安価に提供できると同時に、吸着面の平面方向に生じる吸引力を一層均質にすることができるという効果を有する。
よって、請求項２に記載の発明に係る吸着面に、可撓性を有するシート体である、例えば、セラミックグリーンシートを吸着した場合に、セラミックグリーンシートにシワが生じて不良品化するのを防止することができるという効果を有する。
一般に、ドリルで平板体に複数の貫通孔を形成する場合、貫通孔の直径は１ｍｍ以下にすることが非常に難しいが、エッチングにより貫通孔を形成する場合には、アスペクト比（平板体における穴径と深さの比）が１程度になるよう加工することができるので、例えば、平板体の厚みが０.３ｍｍの場合には、貫通孔の直径をφ０.３ｍｍにすることができるという効果を有する。
よって、請求項２に記載の吸着板の吸着面に、例えば、セラミックグリーンシート吸着した場合に、セラミックグリーンシートの上面に吸着痕が生じて不良品化するのを防止することができるという効果を有する。
加えて、ドリルを用いて平板体に貫通孔を形成した場合、平板体の上面あるいは下面に僅かながら凹凸が形成されてしまうのであるが、エッチングにより貫通孔を形成した場合にはこのような凹凸が生じる恐れがない。従って、平板体同士を密着させた状態で積層することができるという効果を有する。
このことは、貫通孔同士が隙間なく連通することを意味しており、吸着板の吸着面に効率よく吸着面に吸引力を発生させることができるという効果も有する。
The invention described in claim 2 of the present invention has the effect of shortening the time required for forming the through hole in the flat plate in addition to the same effect as that of the invention described in claim 1.
Moreover, even when the diameter of the through holes is small, there is an effect that the through holes formed in the respective flat plates can be reliably communicated when the flat plates are stacked.
As a result, the suction plate having high strength and high flatness can be provided at low cost, and at the same time, the suction force generated in the plane direction of the suction surface can be made more uniform.
Therefore, when the ceramic green sheet is adsorbed on the adsorption surface according to the invention of claim 2, for example, when the ceramic green sheet is adsorbed, the ceramic green sheet is wrinkled and becomes defective. It has the effect that it can be prevented.
In general, when forming a plurality of through holes in a flat plate with a drill, it is very difficult to make the diameter of the through hole 1 mm or less. However, when forming a through hole by etching, the aspect ratio (the hole in the flat plate) For example, when the thickness of the flat plate is 0.3 mm, the diameter of the through hole can be reduced to 0.3 mm. Have
Therefore, for example, when the ceramic green sheet is adsorbed on the adsorption surface of the adsorption plate according to claim 2, it is possible to prevent the adhering trace from being generated on the upper surface of the ceramic green sheet and thereby making it defective. Have.
In addition, when a through-hole is formed in a flat plate using a drill, a slight unevenness is formed on the upper surface or the lower surface of the flat plate, but such an unevenness is formed when a through-hole is formed by etching. There is no fear of occurrence. Therefore, it has the effect that it can laminate | stack in the state which contacted flat plates.
This means that the through holes communicate with each other without a gap, and it also has an effect that suction force can be efficiently generated on the suction surface of the suction plate.
本発明の請求項３記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の発明と同様の効果に加え、積層した平板体をスポット溶接により接合することで、平板体同士を密着させた状態でかつ、それぞれの貫通孔を隙間なく連通させた状態のまま接合させることができるという効果を有する。
しかも、短時間で積層体を形成することができるという効果を有する。
The invention according to claim 3 of the present invention is in a state in which the flat plates are brought into close contact with each other by joining the stacked flat plates by spot welding in addition to the same effects as those of the invention according to claim 1 or claim 2. And it has the effect that it can join in the state which connected each through-hole without the clearance gap.
And it has the effect that a laminated body can be formed in a short time.
本発明の請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求項３に記載のそれぞれの発明と同様の効果に加え、積層体の上面とスペーサーの側面のなす角度θを、θ≧４５°に設定することで、平板体の貫通孔上にスペーサーが配置された場合であっても、貫通孔への空気の出入をスムースにするという効果を有する。
この結果、吸着面の平面方向における吸引力を一層均質にすることができるという効果を有する。
The invention described in claim 4 of the present invention has the same effect as that of each of the inventions described in claims 1 to 3, and the angle θ formed between the upper surface of the laminate and the side surface of the spacer satisfies θ ≧ 45 °. By setting, even if the spacer is arranged on the through hole of the flat plate, it has an effect of smoothing the air in and out of the through hole.
As a result, the suction force in the planar direction of the suction surface can be made more uniform.
本発明の請求項５に記載の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の吸着板を備えたセラミックグリーンシートの搬送装置であり、請求項１乃至請求項４のそれぞれの発明と同様の効果を有する。
また、請求項５に記載の発明によれば、セラミックグリーンシートの搬送装置の製造にかかるコストを大幅に削減することができると同時に、セラミックグリーンシートの搬送時にシワや吸着痕を生じさせない高性能の搬送装置を提供することができるという効果を有する。
しかも、搬送時のセラミックグリーンシートの不良品化を防止することができるので、セラミックグリーンシート及びそれを用いて製造されるセラミック焼結体の歩留まりを高めることができるという効果も有する。
Invention of Claim 5 of this invention is a conveying apparatus of the ceramic green sheet provided with the suction plate of any one of Claim 1 thru | or 4, Each of Claim 1 thru | or Claim 4 This has the same effect as the present invention.
In addition, according to the invention described in claim 5, it is possible to greatly reduce the cost for manufacturing the ceramic green sheet conveying device, and at the same time, high performance that does not cause wrinkles or adsorption marks when the ceramic green sheet is conveyed. It has the effect that the conveying apparatus of this can be provided.
In addition, since it is possible to prevent the ceramic green sheet from becoming defective during conveyance, it is possible to increase the yield of the ceramic green sheet and the ceramic sintered body produced using the ceramic green sheet.
本発明の最良の実施の形態に係る吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置について図１乃至図６を参照しながら詳細に説明する。 A suction plate and a ceramic green sheet conveying apparatus using the suction plate according to the best embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS.
以下に、本発明の実施例１に係る吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置について図１乃至図５を参照しながら詳細に説明する。
図１は本発明の実施例１に係る吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置の部分断面図である。
図１に示すように、実施例１に係る吸着板２ａは主に、少なくとも２枚の平板体３が積層された積層体１３と、この積層体１３の上面に接触しながら一定間隔おきに配設されるスペーサー６により構成されるものである。
また、平板体３（３ａ，３ｂ，３ｃ）には一定のピッチを保ちながら形成される複数の貫通孔４（４ａ，４ｂ，４ｃ）が形成されており、このような平板体３ａ，３ｂ，３ｃを積層すると、貫通孔４ａ〜４ｃが同一平面上において連通して連通孔１４を形成する。この結果、積層体１３の下面から上面への、又はこの逆方向への空気の出入が可能となる。
また、図１に示すようにスペーサー６は、例えば、短冊状の平板体からなり、積層体１３の上面１７に当接する側の下端６ａは、例えば、刃物の刃先のような鋭角が形成されている。
さらに、スペーサー６は、隣り合うスペーサー６，６の間に支持体７が介設されることで積層体１３上において一定間隔ごとに配置されている。
また、実施例１に係るセラミックグリーンシートの搬送装置１ａは、吸引ダクト９に接続されるフード８内に、吸着板２ａである、積層体１３とスペーサー６が収納されたものであり、フード８と吸着板２ａの接続部分は、外部から空気が流入しないように気密状態となっている。
そして、上述のようなセラミックグリーンシートの搬送装置１ａにおいては、吸引ダクト９から空気を吸引すると、積層体１３の下面である吸着面１１に吸引力を発生させることができるので、例えば、セラミックグリーンシート１２のような可撓性と柔軟性を有するシート状の被吸着物を吸着保持して搬送することができるのである。
Hereinafter, the suction plate according to the first embodiment of the present invention and the ceramic green sheet conveying apparatus using the suction plate will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 5.
1 is a partial cross-sectional view of a suction plate and a ceramic green sheet conveying apparatus using the suction plate according to Embodiment 1 of the present invention.
As shown in FIG. 1, the suction plate 2 a according to the first embodiment is mainly arranged at a predetermined interval while being in contact with the upper surface of the laminated body 13 and a laminated body 13 in which at least two flat plates 3 are laminated. The spacer 6 is provided.
The flat plate 3 (3a, 3b, 3c) is formed with a plurality of through-holes 4 (4a, 4b, 4c) formed with a constant pitch, and such flat plates 3a, 3b, 3c, If 3c is laminated | stacked, the through-holes 4a-4c will connect on the same plane, and the communication hole 14 will be formed. As a result, air can enter and exit from the lower surface to the upper surface of the laminate 13 or in the opposite direction.
Further, as shown in FIG. 1, the spacer 6 is formed of, for example, a strip-shaped flat plate, and the lower end 6a on the side contacting the upper surface 17 of the laminated body 13 is formed with an acute angle, for example, a blade edge of a blade. Yes.
Furthermore, the spacers 6 are arranged at regular intervals on the stacked body 13 by interposing the support 7 between the adjacent spacers 6 and 6.
In addition, the ceramic green sheet conveying apparatus 1a according to the first embodiment includes a hood 8 connected to a suction duct 9, and a stacked body 13 and a spacer 6 that are suction plates 2a. And the adsorbing plate 2a are in an airtight state so that air does not flow in from the outside.
In the ceramic green sheet conveying apparatus 1a as described above, when air is sucked from the suction duct 9, a suction force can be generated on the suction surface 11 which is the lower surface of the laminated body 13, for example, ceramic green sheet A sheet-like object to be adsorbed having flexibility and flexibility such as the sheet 12 can be adsorbed and held and conveyed.
このように、実施例１に係る吸着板２ａにおいては、一定のピッチを保ちながら複数の貫通孔４が形成された平板体３を少なくとも２枚積層して積層体１３を形成することで、吸着面１１に十分な強度と平坦性を付与することができるという効果を有する。
さらに、スペーサー６を一定間隔ごとに積層体１３の上面１７に接触させながら配設することで、上記積層体１３の強度を補強するということができる。
よって、実施例１に係る吸着板２ａに負圧をかけて吸着面１１に吸引力を生じさせた場合に、積層体１３が撓むのを防止して平坦性を維持することができるという効果を有する。
この結果、セラミックグリーンシートの搬送装置１ａでセラミックグリーンシート１２を搬送する際に、被吸着物である、セラミックグリーンシート１２にシワが生じるのを防止することができるという効果を有する。
従って、セラミックグリーンシート１２の搬送時の不良品化を防止することができ、セラミックグリーンシート１２及びそれにより作成されるセラミック製品の歩留まりを向上することができるという効果を有する。
Thus, in the adsorption | suction board 2a which concerns on Example 1, it adsorb | sucks by forming the laminated body 13 by laminating | stacking the flat plate body 3 in which the several through-hole 4 was formed, maintaining a fixed pitch. There is an effect that sufficient strength and flatness can be imparted to the surface 11.
Furthermore, it can be said that the strength of the laminate 13 is reinforced by arranging the spacers 6 in contact with the upper surface 17 of the laminate 13 at regular intervals.
Therefore, when negative pressure is applied to the suction plate 2a according to the first embodiment to generate suction force on the suction surface 11, the laminate 13 can be prevented from being bent and the flatness can be maintained. Have
As a result, when the ceramic green sheet 12 is conveyed by the ceramic green sheet conveying apparatus 1a, it is possible to prevent wrinkles from being generated on the ceramic green sheet 12, which is an adsorbed object.
Accordingly, it is possible to prevent defective ceramic green sheets 12 from being conveyed, and to improve the yield of the ceramic green sheets 12 and the ceramic products produced thereby.
なお、図１においては積層体１３を、３枚の平板体３を積層して形成した場合を例に挙げて説明しているが、平板体３の数が２枚以上で、かつ、個々の平板体３に形成される貫通孔４のそれぞれが、他の平板体３に形成される貫通孔４のそれぞれと互いに同一平面上で連通されるのであれば、平板体３を３枚以上積層してもよい。この場合、積層体１３の強度、すなわち、形状保持性を高めることができるという効果を有する。
他方、積層体１３を２枚の平板体３により構成した場合であっても、平板体３の厚みを大きくしたり、あるいは、積層体１３の上面に配設されるスペーサー６，６の間隔を狭めることで、積層体１３の平坦性を好適に維持することができるという効果を有する。
さらに、スペーサー６の材料としては、例えば、金属や合成樹脂が望ましい。いずれの場合も加工性に優れているので、積層体１３の上面１７に当接する下端６ａを容易に鋭角にすることができるという効果を有する。
In addition, in FIG. 1, although the case where the laminated body 13 is formed by laminating three flat plates 3 is described as an example, the number of the flat plates 3 is two or more and each If each of the through holes 4 formed in the flat plate 3 communicates with each of the through holes 4 formed in the other flat plate 3 on the same plane, three or more flat plates 3 are stacked. May be. In this case, there is an effect that the strength of the laminated body 13, that is, the shape retention can be improved.
On the other hand, even when the laminate 13 is constituted by two flat plates 3, the thickness of the flat plate 3 is increased, or the interval between the spacers 6 and 6 disposed on the upper surface of the laminate 13 is increased. By narrowing, it has the effect that the flatness of the laminated body 13 can be maintained suitably.
Furthermore, as a material of the spacer 6, for example, a metal or a synthetic resin is desirable. In any case, since it is excellent in workability, it has an effect that the lower end 6a contacting the upper surface 17 of the laminate 13 can be easily made an acute angle.
また、図１には特に示していないが、支持体７には積層体１３の上面，スペーサー６，支持体７により形成される空隙１０から、フード８の下面，スペーサー６及び支持体７により形成される空隙２１への空気の出入りを可能にするための通気孔あるいは通気構造が設けられている。
このため、図１に示すセラミックグリーンシートの搬送装置１ａにおいて、例えば、吸引ダクト９から図中の符号Ｃで示す方向に空気を吸引すると、まず、空隙２１の空気が吸引ダクト９に吸引され、つまり、空隙２１の空気が図中の符号Ｄで示す方向に吸引され、続いて、上記のような空隙１０と空隙２１とをつなぐ通気孔あるいは通気構造を通じて空隙１０の空気が空隙２１へと導出され、これに伴い外部の空気２２が連通孔１４，１４，…，１４を通じて空隙１０へと吸引されることで、積層体１３の下面である吸着面１１に吸引力を発生させることができるのである。
この結果、吸着面１１に、図１中において破線で示すセラミックグリーンシート１２を平坦な状態を維持したまま吸着して搬送することができるという効果を有する。
Although not specifically shown in FIG. 1, the support 7 is formed by the lower surface of the hood 8, the spacer 6, and the support 7 from the upper surface of the laminated body 13, the space 6 formed by the spacer 6 and the support 7. A ventilation hole or a ventilation structure is provided to allow air to enter and exit from the gap 21.
For this reason, in the ceramic green sheet conveying apparatus 1a shown in FIG. 1, for example, when air is sucked from the suction duct 9 in the direction indicated by symbol C in the drawing, first, the air in the gap 21 is sucked into the suction duct 9, That is, the air in the air gap 21 is sucked in the direction indicated by the symbol D in the figure, and then the air in the air gap 10 is led out to the air gap 21 through the vent hole or the air vent structure connecting the air gap 10 and the air gap 21 as described above. Accordingly, since the external air 22 is sucked into the gap 10 through the communication holes 14, 14,..., A suction force can be generated on the suction surface 11 that is the lower surface of the laminated body 13. is there.
As a result, there is an effect that the ceramic green sheet 12 indicated by a broken line in FIG. 1 can be adsorbed and conveyed on the adsorption surface 11 while maintaining a flat state.
なお、図１にも示すように、実施例１に係る平板体３（３ａ〜３ｃ）は、接合部５をスポット溶接により接合してもよい。
この場合、平板体３ａ〜３ｃを直接接触させて接合することができるので、つまり、接着剤等を介すことなく平板体３と平板体３とを直接接合することができるので、貫通孔４ａ〜４ｃを隙間なく連通させることができるという効果を有する。
この結果、吸着板２ａの吸着面１１に効率よく吸引力を発生させることができるという効果を有する。また、吸着板２ａの吸着面１１における接合部５を略平坦にすることができるという効果も有する。
In addition, as shown also in FIG. 1, the flat plate body 3 (3a-3c) which concerns on Example 1 may join the junction part 5 by spot welding.
In this case, since the flat plates 3a to 3c can be directly contacted and bonded, that is, the flat plate 3 and the flat plate 3 can be directly bonded without using an adhesive or the like, the through hole 4a. It has the effect that -4c can be connected without gap.
As a result, there is an effect that the suction force can be efficiently generated on the suction surface 11 of the suction plate 2a. Moreover, it has the effect that the junction part 5 in the suction surface 11 of the suction plate 2a can be made substantially flat.
ここで、実施例１に係る積層体１３及び平板体３について図２及び図３を参照しながら詳細に説明する。
図２（ａ）は本発明の実施例１に係る積層体の平面図であり、（ｂ）はＡ−Ａ線矢視断面図である。なお、図１に記載されたものと同一部分については同一符号を付し、その構成についての説明は省略する。
実施例１に係る平板体３に形成される貫通孔４は、例えば、エッチング加工により形成されたものであってもよい。
一般に、エッチングにより金属板に形成することができる貫通孔の直径の最小値は、被加工物である金属板の厚みと同じである。
このため、例えば、０.３ｍｍの厚みを有する金属製の平板体３には、直径０.３ｍｍの貫通孔を形成することができる。
しかも、平板体３への貫通孔４の形成をエッチング加工により行った場合、平板体３の複数個所に同時に貫通孔４を形成することができるという効果を有する。
この結果、複数の貫通孔４を有する平板体３の製造にかかる時間を大幅に短縮することができるという効果を有する。
より具体的には、図２（ｂ）に示すように、例えば、平板体３ａの上面と下面の両方にエッチング加工を施すと、平板体３ａの上面には腐食穴１５ａが、下面には腐食穴１５ｂが形成され、これらが連通して貫通孔４ａが形成されるのである。他の平板体３ｂ，３ｃにおいても同様である。
なお、本願明細書においては、平板体３の上面側から下面側に貫通する穴を「孔」と記載し、平板体３の上面又は下面に形成される有底の穴を「穴」と記載してこれらを区別している。
そして、図２（ａ）に示すように、平板体３ａ〜３ｃを積層した際に、平板体３ａ〜３ｃのそれぞれに形成される貫通孔４ａ，４ｂ，４ｃが同一平面上において略符合し、連通することで連通孔１４が形成されるのである。
なお、特に平板体３のアスペクト比（＝（貫通孔４の深さ）／（貫通孔４の直径））が１よりも小さい場合には、平板体３の上面又は下面のいずれかにエッチング加工を施すことで貫通孔４を形成することが可能である。
Here, the laminated body 13 and the flat plate body 3 which concern on Example 1 are demonstrated in detail, referring FIG.2 and FIG.3.
Fig.2 (a) is a top view of the laminated body which concerns on Example 1 of this invention, (b) is AA arrow sectional drawing. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the part same as what was described in FIG. 1, and the description about the structure is abbreviate | omitted.
The through hole 4 formed in the flat plate 3 according to the first embodiment may be formed by, for example, etching.
Generally, the minimum value of the diameter of the through hole that can be formed in the metal plate by etching is the same as the thickness of the metal plate that is the workpiece.
For this reason, for example, a through hole having a diameter of 0.3 mm can be formed in the metal flat plate 3 having a thickness of 0.3 mm.
Moreover, when the through holes 4 are formed in the flat plate 3 by etching, the through holes 4 can be simultaneously formed at a plurality of locations on the flat plate 3.
As a result, there is an effect that the time required for manufacturing the flat plate 3 having the plurality of through holes 4 can be greatly shortened.
More specifically, as shown in FIG. 2B, for example, when etching is performed on both the upper surface and the lower surface of the flat plate 3a, the corrosion holes 15a are formed on the upper surface of the flat plate 3a and the lower surface is corroded. A hole 15b is formed, and these communicate with each other to form the through hole 4a. The same applies to the other flat plates 3b and 3c.
In the present specification, a hole penetrating from the upper surface side to the lower surface side of the flat plate 3 is referred to as a “hole”, and a bottomed hole formed on the upper surface or the lower surface of the flat plate 3 is referred to as a “hole”. To distinguish them.
As shown in FIG. 2 (a), when the flat plates 3a to 3c are stacked, the through holes 4a, 4b, and 4c formed in the flat plates 3a to 3c substantially coincide with each other on the same plane, The communication hole 14 is formed by communicating.
In particular, when the aspect ratio of the flat plate 3 (= (depth of the through hole 4) / (diameter of the through hole 4)) is smaller than 1, either the upper surface or the lower surface of the flat plate 3 is etched. The through-hole 4 can be formed by applying
また、特に実施例１に係る吸着板２ａを製造する際に、平板体３に貫通孔４を形成する方法としてフォトリソグフィック法を採用した場合、同一のエッチングマスクを用いて複数のそれぞれの平板体にエッチングレジスト膜を形成することができ、この結果、複数の平板体３おけるそれぞれの貫通孔４の形成位置を略同一にすることができるという効果を有する。
このため、複数の平板体３を積層した場合であってもそれぞれの平板体３に形成される貫通孔４を同一平面上において貫通させて連通孔１４を形成することができるという効果が発揮されるのである。
従って、平板体３に直径の小さい連通孔１４を密に形成することができるという効果を有し、さらに、このような平板体３を少なくとも２枚積層することで、平坦性が高度に維持され、かつ吸着面１１における吸引力が略均一な積層体１３を容易に製造することができ、しかも、その製造に係るコストを安価にできるという効果を有する。
加えて、エッチング加工により形成される貫通孔４は、その直径が小さいので柔軟なセラミックグリーンシート１２を吸着した際に、吸着面に吸着痕が生じるのを防止することができるという効果も有する。
よって、実施例１に係るセラミックグリーンシートの搬送装置１ａによれば、セラミックグリーンシート１２の表面の全面を吸着して一枚ずつシワや吸着痕を生じさせることなく確実に搬送することができるという効果を有する。
In particular, when the suction plate 2a according to the first embodiment is manufactured, when a photolithographic method is employed as a method of forming the through hole 4 in the flat plate body 3, a plurality of flat plates are used using the same etching mask. The etching resist film can be formed on the body, and as a result, the formation positions of the respective through holes 4 in the plurality of flat plates 3 can be made substantially the same.
For this reason, even if it is a case where the several flat plate 3 is laminated | stacked, the effect that the through-hole 4 formed in each flat plate 3 can be penetrated on the same plane and the communicating hole 14 can be formed is exhibited. It is.
Therefore, there is an effect that the communication holes 14 having a small diameter can be densely formed in the flat plate 3, and furthermore, flatness is highly maintained by stacking at least two such flat plates 3. And the laminated body 13 with the attraction | suction force in the adsorption | suction surface 11 substantially uniform can be manufactured easily, and also it has the effect that the cost concerning the manufacture can be made cheap.
In addition, since the through-hole 4 formed by the etching process has a small diameter, it has an effect that when the flexible ceramic green sheet 12 is adsorbed, it is possible to prevent an adsorption mark from being generated on the adsorption surface.
Therefore, according to the ceramic green sheet conveying apparatus 1a according to the first embodiment, the entire surface of the ceramic green sheet 12 can be adsorbed and reliably conveyed without causing wrinkles or adsorption marks one by one. Has an effect.
さらに、平板体３に貫通孔４を形成する方法としてエッチングを採用した場合には、市販の多孔質吸着板よりも大きな吸着板２ａの製造を可能にするという効果も有する。
この結果、実施例１に係るセラミックグリーンシートの搬送装置１ａにより搬送可能なセラミックグリーンシート１２を大きくすることができるので、セラミックグリーンシート１２を用いて製造されるセラミックス製品の生産性を向上させることができるという効果を有する。
Furthermore, when etching is employed as a method for forming the through holes 4 in the flat plate 3, there is also an effect that it is possible to manufacture an adsorption plate 2a larger than a commercially available porous adsorption plate.
As a result, the ceramic green sheet 12 that can be transported by the ceramic green sheet transport apparatus 1a according to the first embodiment can be increased, so that the productivity of ceramic products manufactured using the ceramic green sheet 12 can be improved. Has the effect of being able to.
次に、貫通孔４及び連通孔１４の変形例について図３を参照しながら詳細に説明する。
図３（ａ）は実施例１に係る平板体に形成される貫通孔の変形例を示す部分断面図であり、（ｂ）は実施例１に係る積層体の連通孔の変形例を示す部分断面図である。なお、図１又は図２に記載されたものと同一部分については同一符号を付し、その構成についての説明は省略する。
図３（ａ）に示すように、実施例１に係る平板体３に形成される貫通孔４は、先にも述べたように平板体３の上面及び下面にエッチング加工を施し、その際に形成される腐食穴１５ａ，腐食穴１５ｂが連通することで形成されるのであるが、特に、積層体１３を形成する平板体３において、その上面側に形成される腐食穴１５ａの直径Ｆと、その下面側に形成される腐食穴１５ｂの直径Ｅとの関係を、Ｅ≦Ｆが満たされるように構成してもよい。
先にも述べたが、金属製の平板体にエッチング加工により貫通孔を形成する場合、その貫通孔の直径の最小値は、エッチング加工が施される平板体の厚みと同じになる。
このため、実施例１に係る平板体３に図３（ａ）に示すような貫通孔４を形成した場合には、この平板体３を積層して積層体１３を形成した際に、吸着面１１に形成される連通孔１４の開口を平板体３の厚みよりも小さくすることができるという効果を有する。
よって、実施例１に係る吸着板２ａを用いてセラミックグリーンシートの搬送装置１ａを構成した場合に、セラミックグリーンシート１２の表面に吸着痕が発生するのを一層効果的に防止することができるのである。
さらに、図３（ｂ）に示すように、上述のような貫通孔４を有する平板体３を積層した場合、平板体３に形成される貫通孔４が連通する際に、直径の小さい腐食穴１５ｂと直径の大きい腐食穴１５ａとが対向しながら配置されるため、吸着面１１に形成される貫通孔４の開口の直径を小さくした場合であっても、貫通孔４ａ〜４ｃを一層確実に連通させることができるという効果を有する。
この結果、一層高品質な積層体１３を提供することができるという効果を有する。
Next, modified examples of the through hole 4 and the communication hole 14 will be described in detail with reference to FIG.
FIG. 3A is a partial cross-sectional view showing a modification of the through hole formed in the flat plate according to the first embodiment, and FIG. 3B is a portion showing a modification of the communication hole of the laminate according to the first embodiment. It is sectional drawing. In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the same part as what was described in FIG. 1 or FIG. 2, and the description about the structure is abbreviate | omitted.
As shown in FIG. 3A, the through holes 4 formed in the flat plate 3 according to the first embodiment are etched on the upper and lower surfaces of the flat plate 3 as described above. The corrosion hole 15a and the corrosion hole 15b to be formed are formed by communicating with each other. In particular, in the flat plate 3 forming the laminated body 13, the diameter F of the corrosion hole 15a formed on the upper surface side thereof, You may comprise so that E <= F may be satisfy | filled with the relationship with the diameter E of the corrosion hole 15b formed in the lower surface side.
As described above, when a through hole is formed in a metal flat plate by etching, the minimum value of the diameter of the through hole is the same as the thickness of the flat plate to be etched.
For this reason, when the through-hole 4 as shown to Fig.3 (a) is formed in the flat plate 3 which concerns on Example 1, when this flat plate 3 is laminated | stacked and the laminated body 13 is formed, an adsorption surface 11 has an effect that the opening of the communication hole 14 formed in the plate 11 can be made smaller than the thickness of the flat plate 3.
Therefore, when the ceramic green sheet conveying apparatus 1a is configured using the suction plate 2a according to the first embodiment, it is possible to more effectively prevent the generation of suction marks on the surface of the ceramic green sheet 12. is there.
Further, as shown in FIG. 3B, when the flat plate 3 having the through holes 4 as described above is laminated, when the through holes 4 formed in the flat plate 3 communicate with each other, the corrosion holes having a small diameter are formed. Since 15b and the corrosive hole 15a with a large diameter are arranged facing each other, even when the diameter of the opening of the through hole 4 formed in the suction surface 11 is reduced, the through holes 4a to 4c are more reliably formed. It has the effect that it can be made to communicate.
As a result, there is an effect that a higher-quality laminate 13 can be provided.
続いて、実施例１に係るスペーサー６について図４を参照しながら詳細に説明する。
図４（ａ）は本発明の実施例１に係るスペーサーの概念図であり、（ｂ）は図４（ａ）中のＢ−Ｂ線矢視断面図である。なお、図１乃至図３に記載されたものと同一部分については同一符号を付し、その構成についての説明は省略する。
図４（ａ）に示すように、実施例１に係る積層体１３の上面に一定の間隔を維持しながら配設されるスペーサー６は、短冊状の平板材の下端６ａに鋭角が形成されたものである。
より具体的には、図４（ｂ）に示すように、スペーサー６を積層体１３の平面方向に対して垂直な面である垂直面で切断した際の断面形状は、側面１６ａ，１６ａとそれに延設される側面１６ｂ，１６ｂ及び上面２３により形成されており、側面１６ｂ，１６ｂのなす角度θ２が、０＜θ２≦９０°の範囲内に設定されている。
言い換えると、図４（ｂ）中において破線で示す積層体１３の上面１７とスペーサー６の側面１６ｂ，１６ｂのなす角度θ１，θ３が、４５°よりも小さくなるよう設定されている。 上述のように積層体１３の上面１７に当接するスペーサー６の下端６ａが鋭角をなすよう構成することで、スペーサー６と積層体１３の上面１７とを略線状に接触させることができるという効果を有する。
Next, the spacer 6 according to the first embodiment will be described in detail with reference to FIG.
4A is a conceptual diagram of the spacer according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 4A. The same parts as those described in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals, and description of the configuration is omitted.
As shown in FIG. 4A, the spacer 6 disposed on the upper surface of the multilayer body 13 according to Example 1 while maintaining a constant interval has an acute angle formed at the lower end 6a of the strip-shaped flat plate material. Is.
More specifically, as shown in FIG. 4B, when the spacer 6 is cut along a vertical plane that is a plane perpendicular to the planar direction of the stacked body 13, the cross-sectional shape is as follows. The side surfaces 16b and 16b and the upper surface 23 are extended, and the angle θ 2 formed by the side surfaces 16b and 16b is set in a range of 0 <θ 2 ≦ 90 °.
In other words, the angles θ 1 and θ 3 formed by the upper surface 17 of the laminated body 13 and the side surfaces 16b and 16b of the spacer 6 indicated by broken lines in FIG. 4B are set to be smaller than 45 °. As described above, the spacer 6 and the upper surface 17 of the laminated body 13 can be brought into substantially linear contact with each other by forming the lower end 6a of the spacer 6 in contact with the upper surface 17 of the laminated body 13 at an acute angle. Have
このように、積層体１３をスペーサー６により支持する際の積層体１３の上面とスペーサー６の下端６ａとの接触の方法には、面接触、点接触、そして、線接触の３種類が考えられる。
このうち、積層体１３の上面１７とスペーサー６の下端６ａとを面接触させた場合には、積層体１３に形成される連通孔１４がスペーサー６により塞がることがないよう、連通孔１４を避けてスペーサー６を配設する必要があるのであるが、連通孔１４のピッチが狭い場合にその作業は極めて煩雑であり現実的とは言えない。
また、積層体１３の上面１７とスペーサー６の下端６ａを点接触させた場合には、連通孔１４の上面１７側の開口部がスペーサー６の下端６ａにより塞がれてしまう可能性があり、やはり望ましくない。
そして、積層体１３の上面１７とスペーサー６の下端６ａを線接触させた場合には、万一スペーサー６の下端６ａが連通孔１４の開口の真上に配置されたとしても、連通孔１４がスペーサー６の下端６ａにより塞がる心配がないのである。
このことはすなわち、積層体１３に連通孔１４が密に形成されている場合であっても、スペーサー６を積層体１３の上面１７の所望の位置に自由に配置することができることを意味しており、しかも、スペーサー６を積層体１３の上面１７のどこに配置しても、実施例１に係る吸着板２ａにおいて吸着面１１の平面方向に生じる吸引力にムラが生じないのである。
さらに、スペーサー６において側面１６ｂ，１６ｂのなす角度θ２が０＜θ２≦９０°の範囲内に設定することで、すなわち、積層体１３の上面１７とスペーサー６の側面１６ｂのなす角度θ１，θ３が４５°よりも大きくなるよう設定することで、連通孔１４への空気の出入を一層スムースにすることができ、上述の効果が促進される。
As described above, there are three possible contact methods between the upper surface of the laminate 13 and the lower end 6a of the spacer 6 when the laminate 13 is supported by the spacer 6: surface contact, point contact, and line contact. .
Among these, when the upper surface 17 of the laminate 13 and the lower end 6a of the spacer 6 are brought into surface contact, the communication hole 14 is avoided so that the communication hole 14 formed in the laminate 13 is not blocked by the spacer 6. However, if the pitch of the communication holes 14 is narrow, the operation is extremely complicated and not practical.
Further, when the upper surface 17 of the laminated body 13 and the lower end 6a of the spacer 6 are brought into point contact, the opening on the upper surface 17 side of the communication hole 14 may be blocked by the lower end 6a of the spacer 6, Still not desirable.
And when the upper surface 17 of the laminated body 13 and the lower end 6a of the spacer 6 are brought into line contact, even if the lower end 6a of the spacer 6 is arranged right above the opening of the communication hole 14, the communication hole 14 There is no worry of being blocked by the lower end 6a of the spacer 6.
This means that the spacer 6 can be freely arranged at a desired position on the upper surface 17 of the laminate 13 even when the communication holes 14 are densely formed in the laminate 13. In addition, no matter where the spacer 6 is disposed on the upper surface 17 of the laminate 13, the suction force generated in the plane direction of the suction surface 11 in the suction plate 2 a according to the first embodiment does not vary.
Furthermore, the angle θ 2 formed by the side surfaces 16b and 16b in the spacer 6 is set within a range of 0 <θ 2 ≦ 90 °, that is, the angle θ 1 formed by the upper surface 17 of the stacked body 13 and the side surface 16b of the spacer 6. , theta 3 is by setting to be larger than 45 °, more entry and exit of air into the communicating hole 14 can be smoothly, the above-described effects can be promoted.
つまり、下端６ａに鋭角を有するスペーサー６は、吸着板２ａの吸着面１１に吸着力を作用させた際に、積層体１３を補強して剛性を高め積層体１３の撓みを防止するという効果を発揮しつつ、その設置に特殊な技術を要さず、しかも、積層体１３の上下面への空気の流動を一切妨げないという優れた効果を有するものである。
この結果、セラミックグリーンシートの搬送装置１ａによりセラミックグリーンシート１２を搬送する際に、セラミックグリーンシート１２にシワが生じて不良品化するのを防止することができるという効果を有する。
従って、実施例１に係る吸着板２ａ及びセラミックグリーンシートの搬送装置１ａでは、エッチング加工により貫通孔４を密に形成した平板体３を少なくとも２枚重ね合わせた積層体１３と、下端６ａに鋭角を有するスペーサー６を組み合わせることで、吸着面における吸引力が略均質な吸着板２ａの製造を容易にすることができるという効果を有する。
従って、高品質な吸着板２ａ及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置１ａを安価に提供できるという効果を有する。
さらに、実施例１にかかる吸着板２ａにおいては、積層体１３とスペーサー６とが別体に構成されるので、万一、吸着板２ａの吸着面１１に傷ができた場合には、吸着板２ａの積層体１３のみを交換すればよい。
従って、実施例１に係るセラミックグリーンシートの搬送装置１ａのメンテナンスにかかるコストを軽減するという効果も有する。
That is, the spacer 6 having an acute angle at the lower end 6a has an effect of reinforcing the laminated body 13 to increase the rigidity and preventing the laminated body 13 from being bent when an adsorption force is applied to the adsorption surface 11 of the adsorption plate 2a. While exhibiting, it does not require a special technique for its installation, and has an excellent effect of not obstructing the flow of air to the upper and lower surfaces of the laminate 13 at all.
As a result, when the ceramic green sheet 12 is transported by the ceramic green sheet transport apparatus 1a, it is possible to prevent the ceramic green sheet 12 from being wrinkled and becoming defective.
Therefore, in the suction plate 2a and the ceramic green sheet conveying device 1a according to the first embodiment, the laminated body 13 in which at least two flat plates 3 in which the through-holes 4 are densely formed by etching is stacked and the lower end 6a has an acute angle. By combining the spacers 6 having the above, there is an effect that the suction plate 2a having a substantially uniform suction force on the suction surface can be easily manufactured.
Therefore, the high-quality suction plate 2a and the ceramic green sheet conveying device 1a using the same can be provided at low cost.
Further, in the suction plate 2a according to the first embodiment, since the laminated body 13 and the spacer 6 are configured separately, if the suction surface 11 of the suction plate 2a is damaged, the suction plate Only the laminate 13 of 2a needs to be replaced.
Therefore, it also has an effect of reducing the cost for maintenance of the ceramic green sheet conveying apparatus 1a according to the first embodiment.
ここで、スペーサー６の変形例について図５を参照しながら詳細に説明する。
図５（ａ）〜（ｃ）はいずれも本発明の実施例１に係る支持体の変形例を示す断面図である。なお、図１乃至図４に記載されたものと同一部分については同一符号を付し、その構成についての説明は省略する。
実施例１に係る積層体１３の平坦性を保持するために設けられるスペーサーは、図５（ａ）に示すように、積層体１３の上面１７に対して垂直な面である垂直面で切断した際の断面において、端部１８ｂが積層体１３の上面１７に対してり略垂直に形成される側面１９ａと、上面１７に対して斜めに形成される側面１９ｂにより形成されるスペーサー１８ａ１や、図５（ｂ）に示すように、垂直面による断面が略ひし形を成すようなスペーサー１８ａ２であってもよい。
あるいは、図５（ｃ）に示すように、垂直面による断面が略方形を成すようなスペーサー１８ａ３、すなわち、四角柱状の角材であってもよい。
つまり、実施例１に係るスペーサーは、積層体１３の上面１７側の端部に鋭角を有し、積層体１３の上面１７と線接触するよう構成されるものであれば、その形態はどのようなものであっても良い。
Here, a modified example of the spacer 6 will be described in detail with reference to FIG.
FIGS. 5A to 5C are cross-sectional views showing modifications of the support according to Embodiment 1 of the present invention. The same parts as those described in FIGS. 1 to 4 are denoted by the same reference numerals, and description of the configuration is omitted.
As shown in FIG. 5A, the spacer provided for maintaining the flatness of the multilayer body 13 according to Example 1 was cut along a vertical plane that is a plane perpendicular to the upper surface 17 of the multilayer body 13. In the cross section at that time, a spacer 18a 1 formed by a side surface 19a in which the end 18b is formed substantially perpendicular to the upper surface 17 of the stacked body 13 and a side surface 19b formed obliquely with respect to the upper surface 17, As shown in FIG. 5 (b), the spacer 18a 2 may have a substantially rhombus-shaped cross section by a vertical plane.
Alternatively, as shown in FIG. 5 (c), a spacer 18a 3 whose cross section by a vertical plane forms a substantially square shape, that is, a square columnar square member may be used.
That is, the shape of the spacer according to the first embodiment has an acute angle at the end on the upper surface 17 side of the stacked body 13 and is configured to be in line contact with the upper surface 17 of the stacked body 13. It may be anything.
そして、図５（ａ）〜（ｃ）に示すスペーサー１８ａ１〜１８ａ３においては、側面１９ａと側面１９ｂのなす角θ２（図５（ａ）を参照）、又は、側面１９ｂと側面１９ｂのなす角θ２（図５（ｂ），（ｃ）を参照）を０＜θ２≦９０°の範囲内に設定することで、つまり、積層体１３の上面１７と側面１９ａの成す角θ１（図５（ａ）を参照）、又は、積層体１３の上面１７と側面１９ｂの成す角θ１（図５（ｂ），（ｃ）を参照）、又は、積層体１３の上面１７と側面１９ｂの成す角θ３（図５（ａ）〜（ｃ）を参照）のそれぞれが、４５°よりも小さくなるよう設定することで、上記スペーサー６と同様の効果を有する。
なお、図１に示すように、実施例１に係る吸着板２ａ及びセラミックグリーンシートの搬送装置１ａにおいては、スペーサー６が支持体７により一定間隔を保った状態で保定されているが、スペーサー６と支持体７とを一体に構成してもよい。
この場合、スペーサー６と支持体７とが一体に構成されたものがスペーサーとなる。このことは、本願明細書における実施例２に係る吸着板やセラミックグリーンシートの搬送装置においても同様である。
Then, in the spacer 18a 1 ~18a 3 shown in FIG. 5 (a) ~ (c) , the angle theta 2 of the side surface 19a and side surface 19b (see FIG. 5 (a)), or, in the side surface 19b and side surface 19b By setting the angle θ 2 formed (see FIGS. 5B and 5C) within the range of 0 <θ 2 ≦ 90 °, that is, the angle θ 1 formed by the upper surface 17 of the laminate 13 and the side surface 19a. (See FIG. 5A), or the angle θ 1 (see FIGS. 5B and 5C) formed by the upper surface 17 and the side surface 19b of the stacked body 13, or the upper surface 17 and the side surface of the stacked body 13. By setting each angle θ 3 (see FIGS. 5A to 5C) formed by 19b to be smaller than 45 °, the same effect as the spacer 6 is obtained.
As shown in FIG. 1, in the suction plate 2 a and the ceramic green sheet conveyance device 1 a according to the first embodiment, the spacer 6 is held by the support 7 at a constant interval. And the support 7 may be configured integrally.
In this case, the spacer 6 and the support 7 are integrally formed as a spacer. The same applies to the suction plate and ceramic green sheet conveying apparatus according to the second embodiment of the present specification.
次に、図６を参照しながら、積層体１３の上面１７におけるスペーサー６の配置について説明する。
図６（ａ）は本発明の実施例１に係る吸着板の部分平面図であり、（ｂ）はその部分断面図である。なお、図１乃至図６に記載されたものと同一部分については同一符号を付し、その構成についての説明は省略する。
図６（ａ）に示すように、実施例１に係る吸着板２ａにおいては、積層体１３の上面に、図中に破線で示すスペーサー６が一定間隔を保ちながら、例えば、格子状に配設されている。また、図示していないが、スペーサー６，６の間には支持体７が介設されており、吸着板２ａの使用時にスペーサー６が転倒したり位置ズレしないように保定している。
このように、平板体３の積層体１３と、一定の間隔を保ちながら配置されるスペーサー６とを組み合わせることにより、積層体１３のみでは十分な平坦性や形状保持性が確保できない場合に、積層体１３を補強して吸着面１１を略平坦に保つことができるという効果を有する。
なお、図６（ａ）では、積層体１３の上面１７上にスペーサー６が格子状に配設された場合を例に挙げて説明しているが、スペーサー６の配置は必ずしも図６（ａ）に示すものである必要はない。すなわち、吸着板２ａの吸着面１１に吸引力を発生させた際に、積層体１３が撓まなければスペーサー６をどのように配置しても良い。
Next, the arrangement of the spacers 6 on the upper surface 17 of the laminate 13 will be described with reference to FIG.
FIG. 6A is a partial plan view of the suction plate according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 6B is a partial cross-sectional view thereof. The same parts as those described in FIGS. 1 to 6 are denoted by the same reference numerals, and description of the configuration is omitted.
As shown in FIG. 6A, in the suction plate 2a according to the first embodiment, spacers 6 indicated by broken lines in the drawing are arranged on the upper surface of the laminate 13, for example, in a lattice shape while maintaining a constant interval. Has been. Although not shown, a support 7 is interposed between the spacers 6 and 6, and the spacer 6 is held so that it does not fall over or be displaced when the suction plate 2a is used.
As described above, when the laminated body 13 of the flat plate 3 and the spacer 6 arranged while maintaining a certain interval are combined, the laminated body 13 alone is not capable of securing sufficient flatness and shape retention. There is an effect that the body 13 can be reinforced to keep the suction surface 11 substantially flat.
6A illustrates an example in which the spacers 6 are arranged in a lattice pattern on the upper surface 17 of the stacked body 13, but the arrangement of the spacers 6 is not necessarily limited to that in FIG. It does not have to be as shown in That is, when the suction force is generated on the suction surface 11 of the suction plate 2a, the spacer 6 may be arranged in any way as long as the stacked body 13 is not bent.
さらに、図６（ｂ）に示すように、万一スペーサー６の下端６ａが、積層体１３の上面１７において、連通孔１４の開口の真上に配置された場合であっても、スペーサー６の下端６ａは鋭角を有しているので、連通孔１４における空気の出入が妨げられないのである。
従って、積層体１３の上面１７のどこにスペーサー６が配置されても、吸着板２ａの吸着面１１に均質な吸引力を発生させることができるという効果を有する。
すなわち、実施例１に係る吸着板２ａによれば、積層体１３に形成される連通孔１４の直径を小さくしたとしても、また、積層体１３に形成される連通孔１４の密度をさらに高めたとしても、吸着板２ａの製造にかかる負荷が変わらないのである。
よって、高品質な吸着板２ａ、あるいは、セラミックグリーンシートの搬送装置１ａを安価に提供できるという効果を有する。
Furthermore, as shown in FIG. 6B, even if the lower end 6 a of the spacer 6 is arranged on the upper surface 17 of the laminated body 13 just above the opening of the communication hole 14, Since the lower end 6a has an acute angle, the entry and exit of air through the communication hole 14 is not hindered.
Therefore, no matter where the spacer 6 is arranged on the upper surface 17 of the laminated body 13, there is an effect that a homogeneous suction force can be generated on the suction surface 11 of the suction plate 2 a.
That is, according to the suction plate 2a according to the first embodiment, even if the diameter of the communication holes 14 formed in the stacked body 13 is reduced, the density of the communication holes 14 formed in the stacked body 13 is further increased. However, the load applied to manufacture the suction plate 2a does not change.
Therefore, the high-quality suction plate 2a or the ceramic green sheet conveying device 1a can be provided at low cost.
以下に、本発明の実施例２に係る吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置について図７を参照しながら詳細に説明する。
図７は本発明の実施例２に係る吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置を示す部分断面図である。なお、図１乃至図６に記載されたものと同一部分については同一符号を付し、その構成についての説明は省略する。
実施例７に係る吸着板２ｂ及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置１ｂは、実施例１に係る吸着板２ａ及びセラミックグリーンシートの搬送装置１ａとほぼ同じ構成を有するものであるが、スペーサー６に代えて図５（ｃ）に示すスペーサー１８ａ３を備える点が異なっている。
図７に示すように、実施例２に係る吸着板２ａ及びセラミックグリーンシートの搬送装置１ａにおいては、スペーサー１８ａ３として角柱を用いることで、角柱の角部で積層体１３を支持している。このような、実施例２に係る吸着板２ａは、実施例１に係る吸着板２ａと同様の効果を有する。
この結果、実施例２吸着板２ｂ及びセラミックグリーンシートの搬送装置１ｂの構造を一層安価に提供できるという効果を有する。
また、実施例２に係る吸着板２ａにおいては、平板状の支持体２０によりスペーサー１８ａ３が保持されているが、支持体２０とスペーサー１８ａ３は一体に構成してもよく、この場合、支持体２０とスペーサー１８ａ３を一体にしたものがスペーサーとなる。
なお、図７には特に図示しないが、実施例２に係るセラミックグリーンシートの搬送装置１ｂにおいても、支持体２０に積層体１３の上面，スペーサー６，支持体２０により形成される空隙１０から、フード８の下面，スペーサー６及び支持体２０により形成される空隙２１への空気の出入りを可能にするための通気孔あるいは通気構造が設けられており、実施例１に係るセラミックグリーンシートの搬送装置１ａと同様の効果を有する。
Hereinafter, the suction plate according to Embodiment 2 of the present invention and the ceramic green sheet conveying apparatus using the same will be described in detail with reference to FIG.
FIG. 7 is a partial cross-sectional view showing a suction plate according to a second embodiment of the present invention and a ceramic green sheet conveying apparatus using the suction plate. The same parts as those described in FIGS. 1 to 6 are denoted by the same reference numerals, and description of the configuration is omitted.
The suction plate 2b according to the seventh embodiment and the ceramic green sheet transport device 1b using the suction plate 2b have substantially the same configuration as the suction plate 2a and the ceramic green sheet transport device 1a according to the first embodiment. The difference is that a spacer 18a 3 shown in FIG.
As shown in FIG. 7, in the suction plate 2a and the conveying device 1a of a ceramic green sheet according to the second embodiment, by using a prism as the spacer 18a 3, it supports the laminate 13 at the corners of the prism. The suction plate 2a according to the second embodiment has the same effect as the suction plate 2a according to the first embodiment.
As a result, the structure of the suction plate 2b of Example 2 and the conveying device 1b of the ceramic green sheet can be provided at a lower cost.
In the suction plate 2a according to Example 2, but the spacer 18a 3 is held by the planar substrate 20, support 20 and the spacer 18a 3 may be formed integrally with this case, the support The body 20 and the spacer 18a 3 are integrated into a spacer.
Although not particularly shown in FIG. 7, also in the ceramic green sheet conveying apparatus 1 b according to the second embodiment, the support 20 has the upper surface of the laminated body 13, the spacer 6, and the gap 10 formed by the support 20. The ceramic green sheet conveying apparatus according to the first embodiment is provided with a vent hole or a vent structure for allowing air to enter and exit from the lower surface of the hood 8, the spacer 6 and the support 20. It has the same effect as 1a.
以上説明したように、本発明は大きな面積を有する場合であっても高精度にかつ安価に製造することができ、しかも、簡単な構造により吸着板の平坦性を維持すると同時に、吸着板の吸着面に略均質な吸引力を発生させることができる吸着板及びそれを用いたセラミックグリーンシートの搬送装置であり、可撓性を有する柔らかいシート体の搬送装置に関する分野において利用可能である。 As described above, the present invention can be manufactured with high accuracy and at low cost even if it has a large area, and at the same time, the flatness of the suction plate is maintained with a simple structure, and at the same time the suction of the suction plate. A suction plate capable of generating a substantially homogeneous suction force on a surface and a ceramic green sheet transport device using the suction plate, and can be used in the field related to a flexible soft sheet transport device.
１ａ，１ｂ…セラミックグリーンシートの搬送装置 ２ａ，２ｂ…吸着板 ３,３ａ〜３ｃ…平板体 ４，４ａ〜４ｃ…貫通孔 ５…接合部 ６…スペーサー ６ａ…下端 ７…支持体 ８…フード ９…吸引ダクト １０…空隙 １１…吸着面 １２…セラミックグリーンシート １３…積層体 １４…連通孔 １５ａ１５ｂ…腐食穴 １６ａ,１６ｂ…側面 １７…上面 １８ａ１〜１８ａ３…スペーサー １９ａ,１９ｂ…側面 ２０…支持体 ２１…空隙 ２２…空気
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1a, 1b ... Ceramic green sheet conveying apparatus 2a, 2b ... Adsorption plate 3, 3a-3c ... Flat plate body 4, 4a-4c ... Through-hole 5 ... Joint part 6 ... Spacer 6a ... Lower end 7 ... Support body 8 ... Hood 9 ... suction duct 10 ... gap 11 ... suction surface 12 ... ceramic green sheet 13 ... laminate 14 ... communication hole 15A15b ... corrosion holes 16a, 16b ... side 17 ... upper surface 18a 1 ~18a 3 ... spacer 19a, 19b ... side 20 ... support Body 21 ... Cavity 22 ... Air
Claims (5)
この積層体の上面側に予め定められた間隔を保ちながら配設される複数のスペーサーとを有し、
前記平板体は、一定のピッチを保ちながら形成される複数の貫通孔を備え、
前記平板体に形成される複数の貫通孔は、他の平板体に形成される複数の貫通孔と連通し、
前記積層体の上面と前記スペーサーの下端とは略線状に接触することを特徴とする吸着板。 A laminate formed by laminating at least two metal flat plates;
A plurality of spacers arranged on the upper surface side of the laminate while maintaining a predetermined interval;
The flat plate comprises a plurality of through holes formed while maintaining a constant pitch,
A plurality of through holes formed in the flat plate body communicate with a plurality of through holes formed in another flat plate body,
The suction plate according to claim 1, wherein the upper surface of the laminate and the lower end of the spacer are in a substantially linear contact.
前記吸着板を前記垂直面で切断した際の垂直断面において、前記積層体の上面と前記スペーサーの側面のなす角度θは、θ≧４５°であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の吸着板。 When a plane perpendicular to the planar direction of the flat plate is a vertical plane,
The angle θ formed by the upper surface of the laminated body and the side surface of the spacer in a vertical section when the suction plate is cut by the vertical surface is θ ≧ 45 °. The suction plate according to any one of the above.
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011089926A1 (en) * | 2010-01-25 | 2011-07-28 | 日東電工株式会社 | Method of suction of object to be worked upon suction unit and method of manufacture of ceramic capacitor |
| JP2012187679A (en) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Chucking device |
| JP2012206247A (en) * | 2011-03-16 | 2012-10-25 | Tdk Corp | Sheet sucking device and sheet laminating device |
| JP2017197363A (en) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社メイコー | Metal foil lamination apparatus and metal foil lamination method |
-
2007
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011089926A1 (en) * | 2010-01-25 | 2011-07-28 | 日東電工株式会社 | Method of suction of object to be worked upon suction unit and method of manufacture of ceramic capacitor |
| CN102725111A (en) * | 2010-01-25 | 2012-10-10 | 日东电工株式会社 | Method of suction of object to be worked upon suction unit and method of manufacture of ceramic capacitor |
| CN102725111B (en) * | 2010-01-25 | 2016-05-18 | 日东电工株式会社 | Make operand thing be adsorbed onto method on absorbing unit and the manufacture method of ceramic capacitor |
| JP2012187679A (en) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Chucking device |
| JP2012206247A (en) * | 2011-03-16 | 2012-10-25 | Tdk Corp | Sheet sucking device and sheet laminating device |
| JP2017197363A (en) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社メイコー | Metal foil lamination apparatus and metal foil lamination method |
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