JP2008533480A5

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Publication number: JP2008533480A5
Application number: JP2008501282A
Authority: JP
Filing date: 2006-03-13
Publication date: 2009-04-30
Anticipated expiration: 2026-03-13

Claims

少なくとも１つのほぼ平坦な表面（５１）を有する機械部品（４０；５０）の位置および／または形状を検査するオプトエレクトロニクス装置であって、
・基底部（１）と、
・参照平面（ｒ）に対して被検査部品（４０；５０）の前記少なくとも１つのほぼ平坦な表面（５１）を規定するとともに固定する固定および基準システム（３１）と、
・被検査部品（４０；５０）の前記少なくとも１つのほぼ平坦な表面（５１）の位置を表す信号を提供するオプトエレクトロニクスシステム（５３）を有する検出装置と、
・前記オプトエレクトロニクスシステム（５３）を支持するとともに前記オプトエレクトロニクスシステム（５３）を縦軸回りに揺れ変位させる回転システム（２６）と、
・前記オプトエレクトロニクスシステム（５３）の前記信号を受け、被検査部品の少なくとも１つのほぼ平坦な表面（５１）の位置および／または形状に関する情報を提供するように適合された処理ユニット（２５）と、を備え、
さらに、回転の前記縦軸に対して横方向の平行移動軸を画定し、および前記オプトエレクトロニクスシステム（５３）と被検査部品（４０；５０）との間、同一横方向断面（Ｓ１；Ｓ２）における異なる相互横方向位置（Ａ，Ｂ）の間を、前記平行移動軸に沿って平行移動変位できる横方向平行移動システム（９）を備えることを特徴とする、オプトエレクトロニクス装置。
前記オプトエレクトロニクスシステム（５３）が、前記少なくとも１つのほぼ平坦な表面（５１）に関する信号を提供し、
前記横方向平行移動システム（９）が、前記オプトエレクトロニクスシステム（５３）と前記少なくとも１つのほぼ平坦な表面（５１）との間を、前記平行移動軸に沿って平行移動変位できるように適合されている、請求項１に記載のオプトエレクトロニクス装置。
前記固定および基準システム（３１）が前記基底部（１）に固定されている、請求項１または２に記載のオプトエレクトロニクス装置。
前記オプトエレクトロニクスシステム（５３）が前記横方向平行移動システム（９）によって移動させられる、請求項１〜３のいずれか１項に記載のオプトエレクトロニクス装置。
前記回転システム（２６）が回転テーブル（１３）を含み、
前記オプトエレクトロニクスシステム（５３）がこの回転テーブル（１３）に固定されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のオプトエレクトロニクス装置。
前記回転テーブル（１３）が前記横方向平行移動システム（９）によって移動させられる、請求項５に記載のオプトエレクトロニクス装置。
前記回転テーブル（１３）に連結された支持体（１５）を含み、
前記オプトエレクトロニクスシステム（５３）が前記支持体（１５）の自由端によって移動させられる発光体（５４）および受光体（５５）を含む、請求項５または６に記載のオプトエレクトロニクス装置。
前記オプトエレクトロニクスシステム（５３）が影付けタイプのシステムである、請求項７に記載のオプトエレクトロニクス装置。
前記平行移動軸が前記回転の縦軸に垂直である、請求項１〜８のいずれか１項に記載のオプトエレクトロニクス装置。
前記回転システム（２６）および前記横方向平行移動システム（９）が、前記処理ユニット（２５）に接続された、対応する駆動装置（２４、２７）および対応する検出装置（２９）を含む、請求項１〜９のいずれか１項に記載のオプトエレクトロニクス装置。
前記平行移動軸に垂直の縦軸を画定する縦方向平行移動システム（３）を含み、
前記縦方向平行移動システム（３）が部品（４０；５０）と前記オプトエレクトロニクスシステム（５３）との間を、前記縦軸に沿って相互に平行移動変位できるように適合されている、請求項１〜１０のいずれか１項に記載のオプトエレクトロニクス装置。
前記縦方向平行移動システム（３）が、前記処理ユニット（２５）に接続された対応する駆動および検出装置を含む、請求項１１に記載のオプトエレクトロニクス装置。
被検査部品（４０；５０）の固定および基準システム（３１）に強固に連結された基準ブロック（５９）を含み、
前記基準ブロック（５９）が、前記オプトエレクトロニクスシステム（５３）に対する基準平面（ｒ）を画定する表面（５８）を含む、請求項１〜１２のいずれか１項に記載のオプトエレクトロニクス装置。
少なくとも１つのほぼ平坦な表面（５１）を有する被検査部品（４０；５０）の固定および基準システム（３１）と、被検査部品（４０；５０）の前記少なくとも１つのほぼ平坦な表面（５１）の位置を表す信号を提供する検出装置（５３）と、前記固定および基準システム（３１）と前記検出装置（５３）との間の駆動装置とを含む装置によって、機械部品（４０；５０）の位置および／または形状の誤差を検査する方法であって、
・前記固定および基準システム（３１）に対して前記検出装置（５３）を回転軸回りに回転変位させるステップと、
・被検査部品（４０；５０）の前記少なくとも１つのほぼ平坦な表面（５１）の位置および／または形状に関する情報を得るために、前記検出装置（５３）と前記固定および基準システム（３１）とが互いに振動する間に、前記検出装置（５３）によって提供される信号を処理するステップと、
・被検査部品（４０；５０）と前記検出装置（５３）との間を、前記回転軸に垂直な、平行移動軸に沿って相互に平行移動させるステップと、を含む方法であって、
・前記検出装置（５３）と前記固定および基準システム（３１）とが、被検査部品（４０；５０）と前記検出装置（５３）との間の、同一横方向断面（Ｓ１；Ｓ２）の異なる少なくとも２つの相互横方向位置（Ａ，Ｂ）において、互いに振動する間に、前記検出装置（５３）により前記信号を提供するステップを備え、
前記検出装置（５３）によって提供される信号を前記処理するステップは、前記少なくとも２つの相互横方向位置（Ａ，Ｂ）において提供される前記少なくとも１つのほぼ平坦な表面（５１）に関する信号を組み合わせることにより得られる、仮想表面（５１’）に関する処理を含む、
ことを特徴とする検査方法。
被検査部品（４０；５０）と前記検出装置（５３）との間の前記少なくとも２つの相互横方向位置（Ａ，Ｂ）が、横方向の中心である中心位置に対して両側に位置する、請求項１４に記載の検査方法。
被検査部品（４０；５０）と前記検出装置（５３）との間の前記少なくとも２つの相互横方向位置（Ａ，Ｂ）が、横方向の中心位置から等距離に位置する、請求項１５に記載の検査方法。
装置により検査するために、
前記検出装置が、被検査部品（４０；５０）の前記少なくとも１つのほぼ平坦な表面（５１）の位置を表す信号を提供するように適合されたオプトエレクトロニクスシステム（５３）を含む、請求項１４〜１６のいずれか１項に記載の検査方法。
前記固定および基準システム（３１）と前記検出装置（５３）との間で、前記回転軸に平行な縦軸に沿って、相互平行移動させるステップと、
少なくとも１つの横方向断面（Ｓ１）において前記変位を停止するステップと、をさらに含み、
前記信号が前記少なくとも１つの横方向断面（Ｓ１）において、前記検出装置（５３）により提供される、請求項１４〜１７のいずれか１項に記載の検査方法。
前記固定および基準システム（３１）と前記検出装置（５３）との間で、前記回転軸に平行な縦軸に沿って、相互平行移動させるステップと、
２つの横方向断面（Ｓ１；Ｓ２）において前記変位を停止するステップと、をさらに含み、
前記信号が前記２つの横方向断面（Ｓ１；Ｓ２）の各々において、前記検出装置（５３）により提供される、請求項１４〜１７のいずれか１項に記載の検査方法。
ハードディスク記憶ユニットの少なくとも１つのスライダ（５０）の空間配置を検査するために、
前記固定および基準システム（３１）により固定され、参照される前記機械部品（４０）が、複雑な形状を有し、前記少なくとも１つのスライダ（５０）を支持する、請求項１４〜１９のいずれか１項に記載の検査方法。