JP2008532259A - 暴露面の小さな半導体ウェハのプラズマエッチングの終了時判定方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】なし
Description
本発明は、2005年1月19日に出願の米国暫定出願番号60/644,928号の優先権を主張する。この暫定出願は、全体としてここに組み込まれている。
ゼロからT1:「修正時間(Settling time)」であり、RFセンサ103から受信されたデータは、過渡現象に支配されている可能性があるため、無視される。
T1からT2:「適合期間(Fitting period)」であり、曲線をデータに適合させる目的でRFセンサ103からのデータが収集され、これにより現在のウェハ用の数学的モデルが作成される。
T2からT3:「監視期間(Monitoring time)」であり、RFセンサ103からのリアルタイムのデータのバージョンが前記数学的モデルと比較され、エッチングを停止すべきかが決定される。
T3:「タイムアウト(time out)」であり、それ以前に制御部106から終了コマンドが発行されなかった場合に許される最大エッチング継続時間である。いくつかの実施例では、前記修正時間は、前記適合期間の全データ以下を用いて、適合期間に含まれると解される。
ここで、VはRF発振器302の基本周波数におけるRMS電圧であり、IはRF発振器302の基本周波数におけるRMS電流であり、Φはこれらの間の位相角である。別の実施例では、リアクタンス値はRFセンサ103から制御部106に直接送られる。
すべてti∈TFであり、A、B、λは経験により求まる定数であり、TFは適合期間の長さである。
ここで「B」「M」「E」は期間TF(T1<TF<=T2)のそれぞれ開始時、中間、終了時である。
ここで、X(ti)は時間tiにおいて観測されたリアクタンスである。
ここでNは適合ウィンドウ期間TFに用いるデータポイント数である。(監視期間における)測定されるリアクタンス値の誤差は、以下のように、モデルの拡張バージョンから離れた標準偏差として説明することができる(すなわち、RFセンサ103から受信される最新データポイントの時点で数値を求める):
Claims (16)
- プラズマ処理チャンバの制御方法であって、前記プラズマ制御チャンバは、電極がガスプラズマを生成するよう駆動信号を供給するRF発振器と、前記駆動信号の動作特性を検知するRFセンサとを具え、前記方法が:
(1)前記プラズマ処理チャンバにプロセス開始を指示するステップと、
(2)前記RFセンサから複数のデータセットを受信するステップであって、各データセットは第1の期間中の前記駆動信号の動作特性に対応しており、データセットがそれぞれユニークな時点(time point)に対応するステップと、
(3)前記RFセンサから受信したデータセットとこれに対応する時点とを保存するステップと、
(4)前記第1の期間中にRFセンサから受信されるデータセットの数学的モデルを演算するステップと、
(5)第2の期間中にRFセンサから追加のデータセットを受信するステップと、
(6)前記RFセンサから受信した追加のデータセットとこれに対応する時点とを保存するステップと、
(7)前記追加のデータセットに対応する時点の前記数学的モデルのバージョン(version)を計算するステップと、
(8)前記追加のデータセットと、当該追加のデータセットの時点に対応する時点での前記数学的モデルのバージョンとの誤差を算出するステップと、
(9)以下のいずれか1以上の条件が成立するかを判定するステップと:
条件1:誤差が予め定められた値より大きい
条件2:追加のデータセットの時点が、予め定められた最大時間より遅い
(10)前記条件1、2のいずれか1以上が成立する場合、前記プラズマ処理チャンバにプロセス停止を命令するステップと、
(11)前記条件1、2のいずれも成立しない場合、前記動作(5)からのプロセスを繰り返すステップと、を具えることを特徴とする方法。 - 請求項1の方法において、前記第1の期間中に受信されるデータセットの総てより少ないデータセットを用いて前記数学的モデルを計算することを特徴とする方法。
- 請求項1の方法において、各データセットが、RF発振器から前記プラズマ処理チャンバの電極へ供給されるRMS電圧の値を含むことを特徴とする方法。
- 請求項1の方法において、各データセットが、RF発振器から前記プラズマ処理チャンバの電極へ供給されるRMS電流の値を含むことを特徴とする方法。
- 請求項1の方法において、各データセットが、RF発振器から前記プラズマ処理チャンバの電極へ供給されるRMS電圧とRMS電流間の位相角の値を含むことを特徴とする方法。
- 請求項1の方法において、各データセットが、前記プラズマ処理チャンバの電気リアクタンスの値を含み、この電気リアクタンスの値はRCセンサから受信されることを特徴とする方法。
- 請求項1の方法において、前記プラズマ処理チャンバの特性が各データセットから算出され、前記算出されたデータセットの特性は当該データセットの時点に対応することを特徴とする方法。
- 請求項7の方法において、前記算出された特性は、前記プラズマ処理チャンバの瞬時の電気リアクタンスに関連することを特徴とする方法。
- 請求項8の方法において、前記プラズマ処理チャンバの瞬時の電気リアクタンスは、リアクタンス=(V*SIN(θ)/I)で算出され、ここでV、I、θはそれぞれ前記RF発振器によりプラズマ処理チャンバの電力に供給されるRMS電圧、RMS電流、RMS電圧とRMS電流間の角度であることを特徴とする方法。
- 請求項1の方法において、前記数学的モデルは、前記第1の期間のデータセットを指数曲線に適合させることにより算出することを特徴とする方法。
- 請求項10の方法において、前記指数曲線は、X(ti)=A+Be(exp(−λ*ti))の形をとり、ここでX(ti)はプラズマ処理チャンバの瞬時のリアクタンス、A、B、λは経験から導かれる定数、tiは現在のデータセットの時間であることを特徴とする方法。
- 請求項10の方法において、前記数学的モデルは前記第1の期間中のノイズ効果を低減させるべく変形されることを特徴とする方法。
- 請求項1の方法において、前記条件1の予め定められた値は、前記誤差の標準偏差と比較されることを特徴とする方法。
- 請求項13の方法において、前記標準偏差は約2であることを特徴とする方法。
- 請求項1の方法において、前記条件1の予め定められた値は、前記誤差の標準偏差の移動10ポイント平均(sliding ten-point average)であることを特徴とする方法。
- 請求項15の方法において、前記標準偏差の移動10ポイント平均は約2であることを特徴とする方法。
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