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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100097802A1 (en) * 2008-10-20 2010-04-22 Robe Lighting S.R.O. Light collection system for an led luminaire
CN101988631A (zh) 2009-07-31 2011-03-23 深圳市光峰光电技术有限公司 Led舞台灯光照明设备及其改善颜色均匀性的方法
JP5429478B2 (ja) * 2009-11-20 2014-02-26 スタンレー電気株式会社 灯具
US9386286B2 (en) * 2010-06-07 2016-07-05 Texas Instruments Incorporated Sparse source array for display pixel array illumination with rotated far field plane
CN101963747A (zh) * 2010-09-19 2011-02-02 天津爱安特科技股份有限公司 采用三片led灯板的lcd投影机光源系统
CN102865467A (zh) * 2011-07-08 2013-01-09 扬升照明股份有限公司 照明系统及图案投射灯
JP5495334B2 (ja) 2011-09-22 2014-05-21 Ｎｅｃエンジニアリング株式会社 光記録ヘッドおよび画像形成装置
JP6089616B2 (ja) 2012-11-20 2017-03-08 セイコーエプソン株式会社 光源装置及びプロジェクター
CN103076677A (zh) * 2013-02-01 2013-05-01 桂林电子科技大学 一种双远心柯勒照明光路
JP6308523B2 (ja) * 2014-03-11 2018-04-11 株式会社ブイ・テクノロジー ビーム露光装置
JP6529809B2 (ja) * 2015-04-14 2019-06-12 株式会社サーマプレシジョン 光照射装置及び露光装置
CN105158887B (zh) * 2015-09-29 2017-09-22 南京理工大学 基于可编程led阵列照明的多模式显微成像方法
JP6315720B2 (ja) * 2016-08-10 2018-04-25 横浜リーディングデザイン合資会社 露光照明装置
CN107976794B (zh) * 2018-01-12 2021-01-26 苏州大学 一种可变光片厚度和长度的光片照明显微镜的照明系统
CN110146973A (zh) * 2019-05-05 2019-08-20 宁波永新光学股份有限公司 一种前置显微镜的照明装置
CN113835288B (zh) * 2019-07-15 2022-07-29 青岛海信激光显示股份有限公司 激光投影系统及光源装置
CN110989138B (zh) * 2019-12-23 2021-03-19 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种大视场宽光谱无焦光学系统

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0786647B2 (ja) * 1986-12-24 1995-09-20 株式会社ニコン 照明装置
US5815248A (en) * 1993-04-22 1998-09-29 Nikon Corporation Illumination optical apparatus and method having a wavefront splitter and an optical integrator
JP3291839B2 (ja) 1993-06-11 2002-06-17 株式会社ニコン 照明光学装置、露光装置、及び該露光装置を用いる素子製造方法
JP2002006225A (ja) * 2000-06-23 2002-01-09 Nikon Corp 顕微鏡照明装置
JP4859311B2 (ja) * 2001-09-17 2012-01-25 株式会社リコー レーザ照明光学系、該光学系を用いた露光装置、レーザ加工機、及び投射装置
JP3987350B2 (ja) 2001-11-16 2007-10-10 株式会社リコー レーザ照明光学系及びそれを用いた露光装置、レーザ加工装置、投射装置
CN2535182Y (zh) * 2002-01-22 2003-02-12 北京工业大学 准分子激光微加工用的均束器
JP4324957B2 (ja) * 2002-05-27 2009-09-02 株式会社ニコン 照明光学装置、露光装置および露光方法
JP2004253750A (ja) 2002-12-27 2004-09-09 Nikon Corp 照明光源、露光装置及び露光方法

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