JP2008524838A - 電子部品のキャビティのための気密シール装置およびシール工程 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図3B
Description
Claims (20)
- 第一の面(4)にオリフィス(7)を介して開口するキャビティ(5)を備えるマイクロ電子部品(1)のシール装置(20)であって、前記シール装置(20)は、前記第一の面(4)と協働することができる第二の面(24)と該第二の面に隣接するキャップ(10)とを有し、前記キャップの少なくとも一部は、塑性変形可能な材料(16)であり、前記キャップ(10)は、その非変形状態および変形状態で、前記マイクロ電子部品(1)のオリフィス(7)を閉塞することができるシール装置。
- 前記第二の面(24)に開放された第一のキャビティ(22)を備え、該第一のキャビティには前記キャップ(10)が収容されることを特徴とする請求項1記載の装置。
- 前記第二の面(24)に対して横切り、開放されまたは開放可能であり、前記キャップ(10)からゼロ(0)でない距離に配置された第二のキャビティ(26)を備えている請求項1乃至2のいずれかに記載の装置。
- マイクロ電子部品(1)の第一の面(4)に係るシール装置(20)であって、前記シール装置(20)は、第二の面(24)と、該第二の面(24)に、または第二の面に連通することができる第一および第二のキャビティとを備え、前記第二のキャビティ(26)は、横切って配置され、キャップ(10)が前記第一のキャビティ(22)の内側に収容されると共に前記第二の面(24)に隣接して配置され、前記キャップ(10)の少なくとも一部は、塑性弾性可能な材料(16)であるシール装置。
- 前記第二のキャビティ(26)を吸引および/または充填システムに接続する手段(28)を備えている請求項3または4記載の装置。
- 前記第一のキャビティ(22)および第二のキャビティ(26)を連通させる手段(29)を備えている請求項3乃至5のいずれかに記載の装置。
- 前記塑性変形可能な材料が柔らかい金属(30)である請求項1乃至6記載のいずれかに記載の装置。
- 前記キャップ(10)が不活性コア(12,14)と、可溶性材料から作られた部分(16)とを備えている請求項1乃至6のいずれかに記載の装置。
- 前記キャップ(10)を圧力工具に接続する手段を備えている請求項1乃至8のいずれかに記載の装置。
- 前記キャップ(10)は、ベース(12)と、半導体材料から作られたカバー(14)とを備えている実質的にマッシュルームの形状を有し、前記可溶性材料(16)の一部はベース(12)に取り付けられたカバー(14)の面に配置され、前記ベース(12)とは反対の前記カバー(14)の面と、カバー(14)とは反対のベース(12)の端部との間のキャップの高さは、100μmと1mmとの間にある請求項1乃至9のいずれかに記載の装置。
- 請求項1乃至10のいずれかに記載の装置(20)とマイクロ電子部品(1)とを備えるシステムであって、前記マイクロ電子部品は、第一の面(4)にオリフィス(7)を介して開口するキャビティ(5)を備え、且つ装置(20)の第二の面(24)に対してスライドすることができるシステム。
- 前記第一および第二の面(4、24)が平坦である請求項11記載のシステム。
- 前記部品(1)の第一の面(4)は、金属コーティング(9)から成る請求項11乃至12のいずれかに記載のシステム。
- 前記第一の面(4)は、可溶性材料の堆積体から成る請求項11乃至13のいずれかに記載のシステム。
- 前記キャップ(10)は、前記第一の面(4)に隣接する部品(1)の層(3)と少なくとも部分的に同じ材料から形成されている請求項11乃至14のいずれかに記載のシステム。
- 装置(20)の移動を部品(1)に対して制御するガイド手段を備えている請求項11乃至15のいずれかに記載のシステム。
- オリフィス(7)を介して開口するマイクロ電子部品(1)のキャビティ(5)の気密シール工程であって、前記請求項1乃至10のいずれかに記載の装置(20)を前記オリフィス上に設け、前記キャップ(10)がオリフィス(7)の上方に位置決められ、前記キャップ(10)の塑性変形が前記オリフィス(7)を気密的に閉塞する気密シール工程。
- 前記キャップ(10)は、塑性変形後、部品(1)の面(4)と光接触状態であるように設定されている請求項17記載の工程。
- 前記装置(20)は、マイクロ電子部品(1)に沿ってスライドすることによって位置決めされる請求項17乃至18のいずれかに記載の工程。
- 前記装置(20)を前記部品(1)上に位置決めること、前記キャビティ(5)を充填すること、および装置(20)をスライドすることを含む請求項19に記載の工程。
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