JP2008522432A5

JP2008522432A5 -

Info

Publication number: JP2008522432A5
Application number: JP2007544368A
Authority: JP
Filing date: 2005-11-15
Publication date: 2009-01-08

Claims

光学路に沿ってレーザ共振器内に配置された、第１の波長を有するレーザ放射の発生を容易にするレーザ媒質と、
前記光学路に沿って配置される波長変換媒体であって第１の波長、該第１の波長の高調波の１つ、又は前記第１の波長及び該第１の波長の前記高調波の前記１つの組み合わせから前記第１の波長に高調波的に関連した第２の波長に前記レーザ放射のパーセンテージを変換する波長変換媒体と、
前記波長変換媒体の変換器出射面に光学的に接続された固体光学オーバレイ媒体であって変換器出射面角度に整合するオーバレイ入射面を有する固体光学オーバレイ媒体とを含み、前記波長変換媒体は前記第１及び第２の波長でダメージ閾値と、前記波長変換媒体に入力する前記光学路の軸線に対する前記変換器出射面とを有し、前記固体光学オーバレイ媒体は前記第１及び第２の波長に透過性を有し、前記波長変換媒体のダメージ閾値より大きい、前記第１及び第２の波長の各々におけるダメージ閾値を有する、高調波レーザ。
前記変調器の出射面角度は０度より大きく、かつ９０度以下である、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記変換器出射面角度は９０度未満であり、前記第１の波長を有する前記レーザ放射から前記第２の波長を有する前記レーザ波長を分離するために機能する、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記変換器出射面角度は、前記波長変換媒体に入力する前記光学路の前記軸線に対して２０度から９０度である、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記波長変換媒体及び前記光学オーバレイ媒体は類似の屈折率を有する、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記波長変換媒体はＡｇＧａＳ_２、ＡｇＧａＳｅ_２、ＢＢＯ、ＫＴＡ、ＫＴＰ、ＫＤ^＊Ｐ／ＫＤＰ、ＬｉＮｂＯ_３、ＬｉＬＯ_３、ＬＢＯ又はそれらの誘導体を含む、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記固体光学オーバレイ媒体は溶融シリカ、クオーツ、アンドープＹＡＧ、ＥＤ−２、ＥＤ−４又はＥ−Ｙ１である、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記固体光学オーバレイ媒体は前記波長変換媒体に拡散結合される、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記固体光学オーバレイ媒体は、反射防止被覆なく前記第１及び第２の波長で放射を伝搬するブルースター角でオーバレイ出射面角度を含む、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記第２の波長は紫外波長を含む、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記波長変換媒体及び前記固体光学オーバレイ媒体は異なる屈折率を有する、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記波長変換媒体及び前記固体光学オーバレイ媒体は互いに機械的に保持される、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記固体光学オーバレイ媒体は、前記第１及び第２の波長で前記レーザ放射を伝搬する反射防止被覆を有するオーバレイ出射面を含む、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記波長変換媒体は前記レーザ共振器内に配置される、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記波長変換媒体は前記レーザ共振器の外部に配置される、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記レーザ媒質は固体状態レーザ水晶又は励起レーザ、ＣＯ_２レーザ又は銅蒸発レーザの放電チャンバーの中身を含む、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記レーザ媒質はＹＡＧ、ＹＬＦ、ＹＶＯ４、ＹＡＬＯ又はＣｒＬｉＳＡＦ組成物を含む、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記第２の波長は第２高調波長、第３高調波長、第４高調波長又は第５高調波長を含む、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記第２の波長は紫外波長を含む、請求項９に記載の高調波レーザ。
前記第２の波長での前記レーザ放射は微細加工のために使用される、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記レーザ放射はビア穿孔又はウェハ切断のために使用される、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記レーザ共振器は、前記第１の波長を有する前記レーザ放射から前記第２の波長を有する前記レーザ放射を分離する出力カプラとして機能する端部ミラーを有する、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記光学オーバレイ媒体は前記第１及び第２の波長で前記レーザ放射を伝搬する光学被覆を有するオーバレイ出射面を含み、前記光学被覆は前記波長変換媒体に適用される典型的な光学被覆のダメージ閾値より大きい前記第１及び第２の波長の各々でダメージ閾値を有する、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記固体光学オーバレイ媒体は、前記変換器出射面角度と同じオーバレイ出射面角度を含む、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記固体光学オーバレイ媒体は前記変換器出射面角度と大きく異なるオーバレイ出射面角度を含む、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記固体光学オーバレイ媒体は、ブルースター角であるオーバレイ出射面角度およびブルースター角である変換器出射面角度を含む、請求項１に記載の高調波レーザ。
前記変換器出射面はブルースター角である出射面角度を含む、請求項９に記載の高調波レーザ。
前記光学オーバレイ媒体は、該光学オーバレイ媒体に入力する前記光学路の前記軸線に対して２０度から９０度であるオーバレイ出射面角度を有するオーバレイ出射面を含む、請求項１に記載の高調波レーザ。
第１の波長、該第１の波長の高調波の１つ、又は前記第１の波長及び該第１の波長の前記高調波の前記１つの組み合わせから前記第１の波長に高調波的に関連した第２の波長におけるレーザ放射のパーセンテージを変換する波長変換媒体と、
前記波長変換媒体の変換器出射面に光学的に接続された固体光学オーバレイ媒体であって変換器出射面角度に整合するオーバレイ入射面を有する固体光学オーバレイ媒体とを含み、前記波長変換媒体は光学路に沿って伝播するレーザ放射を受け取るための入射面を有し、前記波長変換媒体は前記第１及び第２の波長の各々でダメージ閾値と前記波長変換媒体に入力する前記光学路の軸線に対する前記変換器出射面を有し、前記固体光学オーバレイ媒体は前記第１及び第２の波長に相対的に透過性を有し、前記第２の波長で前記波長変換媒体の屈折率に類似する屈折率を有し、前記第２の波長での前記波長変換媒体のダメージ閾値より大きい、前記第２の波長でのダメージ閾値を有する、請求項１ないし２５のいずれか１つに記載の高調波レーザを使用する混合光学要素。
第１の波長、該第１の波長の高調波の１つ、又は前記第１の波長及び該第１の波長の前記高調波の前記１つの組み合わせから前記第１の波長に高調波的に関連した第２の波長におけるレーザ放射のパーセンテージを変換する波長変換媒体と、
前記波長変換媒体の変換器出射面に光学的に接続された固体光学オーバレイ媒体であって変換器出射面角度に整合するオーバレイ入射面を有する固体光学オーバレイ媒体とを含み、前記波長変換媒体は光学路に沿って伝播するレーザ放射を受け取るための入射面を有し、前記波長変換媒体は前記第１及び第２の波長の各々でダメージ閾値と前記波長変換媒体に入力する前記光学路の軸線に対する前記変換器出射面を有し、前記固体光学オーバレイ媒体は前記第１及び第２の波長に相対的に透過性を有し、前記第２の波長で前記波長変換媒体の屈折率に類似する屈折率を有し、前記第２の波長での前記波長変換媒体のダメージ閾値より大きい、前記第２の波長でのダメージ閾値を有する、混合光学要素。
前記変換器入射面角度は、前記第１の波長を有する前記レーザ放射から前記第２の波長を有する前記レーザ波長を分離するために９０度未満であり、
前記波長変換媒体はＡｇＧａＳ_２、ＡｇＧａＳｅ_２、ＢＢＯ、ＫＴＡ、ＫＴＰ、ＫＤ^＊Ｐ／ＫＤＰ、ＬｉＮｂＯ_３、ＬｉＬＯ_３、ＬＢＯ又はそれらの誘導体を含み、
前記固体光学オーバレイ媒体は溶融シリカ、クオーツ、アンドープＹＡＧ、ＥＤ−２、ＥＤ−４又はＥ−Ｙ１である、請求項３０に記載の混合光学要素。
励起パワーをレーザ媒質に供給すること、
光学路に沿って伝播する第１の波長を有するレーザ放射を発生するために前記レーザ媒質を使用すること、
第１の波長、該第１の波長の１つの高調波、又は前記第１の波長及び該第１の波長の前記１つの前記高調波の組み合わせから前記第１の波長に高調波的に関連した第２の波長でレーザ放射のパーセンテージを変換するために波長変換媒体を使用すること、
前記波長変換媒体の変換器出射面に光学的に接続された固体光学オーバレイ媒体を使用すること、
前記第２の波長のレーザ放射を前記固体光学オーバレイ媒体の出射面を通して伝播することを含み、
前記波長変換媒体は前記第１及び第２の波長でダメージ閾値と前記波長変換媒体に入力する前記光学路の軸線に対する変換器出射面角度を有する変換器出射面とを有し、
前記固体光学オーバレイ媒体は前記波長変換媒体の各ダメージ閾値より大きい出射面において前記第１及び第２の波長でダメージ閾値を有する、請求項１ないし２５のいずれか１つに記載の高調波レーザを用いた高調波レーザ出力を発生する方法。
励起パワーをレーザ媒質に供給すること、
光学路に沿って伝播する第１の波長を有するレーザ放射を発生するために前記レーザ媒質を使用すること、
第１の波長、該第１の波長の１つの高調波、又は前記第１の波長及び該第１の波長の前記１つの前記高調波の組み合わせから前記第１の波長に高調波的に関連した第２の波長でレーザ放射のパーセンテージを変換するために波長変換媒体を使用すること、
前記波長変換媒体の変換器出射面に光学的に接続された固体光学オーバレイ媒体を使用すること、
前記第２の波長のレーザ放射を前記固体光学オーバレイ媒体の出射面を通して伝播することを含み、
前記波長変換媒体は前記第１及び第２の波長でダメージ閾値と前記波長変換媒体に入力する前記光学路の軸線に対する変換器出射面角度を有する変換器出射面とを有し、
前記固体光学オーバレイ媒体は前記波長変換媒体の各ダメージ閾値より大きい出射面において前記第１及び第２の波長でダメージ閾値を有する、高調波レーザ出力を発生する方法。