JP2012027215A - 紫外レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】紫外レーザ装置Iは、レーザ光出力部1と波長変換部3とを備える。レーザ光出力部1は、Prファイバアンプ21,2,23を有して460〜500nmの第1レーザ光Laを出力する第1レーザ光発生部1aと、Ybファイバアンプを有して1000〜1200nmの第2レーザ光を出力する第2レーザ光発生部1bとを備える。波長変換部3は、第1レーザ光Laの第2高調波を発生する第1波長変換光学素子31と、第1レーザ光の第2高調波及び第2レーザ光Lbの和周波を発生する第2波長変換光学素子32とを備え、波長変換部3から190〜200nmの紫外レーザ光Lvが出力されるように構成される。
【選択図】図1
Description
II 第2構成形態の紫外レーザ装置
Ls シード光
La 第1レーザ光
Lb 第2レーザ光
Lv 紫外レーザ光
1 レーザ光出力部
1a 第1レーザ光発生部(第1構成形態)
1b 第2レーザ光発生部(第1構成形態)
1a′第1レーザ光発生部(第2構成形態)
1b′第2レーザ光発生部(第2構成形態)
3 波長変換部
10 レーザ光源
20 光増幅部
21 第1段目のPrドープファイバ光増幅器
22 第2段目のPrドープファイバ光増幅器
23 第3段目のPrドープファイバ光増幅器
21a,22a,23a Prドープファイバ
21b,22b,23b 紫外半導体レーザ
25 Prドープファイバレーザ
25a Prドープファイバ
25e 紫外半導体レーザ
30 波長変換光学系(第1構成形態)
30′ 波長変換光学系(第2構成形態)
31 第1波長変換光学素子
32 第2波長変換光学素子
36 第1共振器
37 第2共振器
Claims (5)
- 赤外〜可視領域のレーザ光を出力するレーザ光出力部と、前記レーザ光出力部から出力されたレーザ光を紫外領域のレーザ光に波長変換する波長変換部とを備えて構成される紫外レーザ装置であって、
前記レーザ光出力部は、コアにPr3+がドープされたPrドープファイバ及び前記Pr3+を励起する紫外半導体レーザを有して波長帯域が460〜500nmの第1レーザ光を出力する第1レーザ光発生部と、コアにYb3+がドープされたYbドープファイバ及び前記Yb3+を励起する赤外半導体レーザを有して波長帯域が1000〜1200nmの第2レーザ光を出力する第2レーザ光発生部とを備え、
前記波長変換部は、前記第1レーザ光発生部から出力された前記第1レーザ光の第2高調波を発生する第1波長変換光学素子と、前記第2レーザ光発生部から出力された前記第2レーザ光及び前記第2高調波の和周波を発生する第2波長変換光学素子とを備え、
前記波長変換部から、前記第2波長変換光学素子により発生された波長帯域が190〜200nmの紫外レーザ光が出力されるように構成したことを特徴とする紫外レーザ装置。 - 前記第1レーザ光発生部は、
460〜500nmの波長帯域で所定波長のシード光を発生するレーザ光源と、
前記レーザ光源により発生された前記シード光を増幅して前記第1レーザ光を出力するPrドープファイバ光増幅器とを有して構成されることを特徴とする請求項1に記載の紫外レーザ装置。 - 前記第1レーザ光発生部は、Prドープファイバレーザにより構成されることを特徴とする請求項1に記載の紫外レーザ装置。
- 前記第1波長変換光学素子がBBO結晶であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の紫外レーザ装置。
- 前記第2波長変換光学素子がCLBO結晶であり、位相整合がNCPMであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の紫外レーザ装置。
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- 2010-07-22 JP JP2010165381A patent/JP2012027215A/ja active Pending
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