JP2008517324A - 微小電気機械素子のための電荷制御回路 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、微小電気機械素子の分野に関し、特に、微小電気機械素子のための電荷制御回路に関する。
微小電気機械システム(MEMS)は、薄膜技術を用いて開発され、電気的な構成要素と微小機械的な構成要素との両方を備えたシステムである。MEMS素子は、光学ディスプレイシステム、圧力センサ、流量センサ、及び電荷制御アクチュエータのような様々な用途において使用されている。MEMS素子は、静電力(静電気力)か又は静電エネルギーを用いて、電荷を蓄えることが可能な微小機械電極を移動させるか、又は該電極の動きを監視する。静電力と機械的な復元力とを平衡させることにより、前記電極間の間隙のサイズが制御される。ディジタルMEMS素子は2つの間隙距離を利用するが、アナログMEMS素子は多数の間隙距離を利用する。
本発明の一態様は、可変キャパシタンスを有する微小電気機械素子を制御するための電荷制御回路を提供する。一実施形態において、電荷蓄積素子は、ある電荷量を蓄積するよう構成される。前記電荷蓄積素子と前記微小電気機械素子との間で前記電荷量を分配して、同じ電圧に前記電荷蓄積素子と前記微小電気機械素子とを均等化することによって、前記微小電気機械素子の前記可変キャパシタンスを制御するようスイッチ回路が構成される。
好適実施形態の以下の詳細な説明では、本明細書の一部を形成し、且つ、本発明が実施されることが可能な特定の実施形態の例示を目的として示される添付図面に、参照が行われる。本発明の範囲から逸脱することなく、他の実施形態を利用することができ、構造的か又は論理的な改変を行うことができることを理解されたい。従って、以下の詳細な説明は、限定する意味に受け取られるべきではなく、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によって画定される。
ここで、ε0は自由空間の誘電率であり、Vは反射器30と32との間にかかる電圧であり、Aは反射器30及び32のそれぞれの面積であり、dは厚み36である。従って、0.25ミクロンの厚み36である場合の、26平方ミクロンの画素にかかる1ボルトの電位は、7×10−7ニュートン(N)の静電力をもたらす。
ここで、kは線形ばね定数であり、d0は厚み36の初期値である。キャパシタンスは電荷によって制御されるので、式(1)の反射器30と32との間の力を、電荷の関数として書き換えることができる。
ここで、Qはコンデンサ上の電荷である。力Fは電荷の関数であり、距離dの関数ではないので、0〜d0の全範囲にわたって反射器30に安定性がある。反射器30及び32上の電荷量を制御することにより、移動範囲全体にわたって、反射器30の位置を設定することができる。
Claims (15)
- 可変キャパシタンスに基づいて撓み距離だけ隔離された第1のプレート及び第2のプレートを有する、静電気的に制御される微小電気機械システム(MEMS)素子(26)と、
ある電荷量を蓄積するよう構成された電荷蓄積素子(22)と、
前記電荷蓄積素子と前記MEMS素子との間において前記電荷量を分配して、該電荷蓄積素子と該MEMS素子とを同じ電圧に均等化することによって、該MEMS素子の前記可変キャパシタンスを制御するよう構成されたスイッチ回路(18)
とを備える、微小電気機械システム(10)。 - 前記スイッチ回路が、
前記電荷蓄積素子に結合された第1のスイッチ(42)であって、該電荷蓄積素子に前記電荷量を伝導するよう構成された、第1のスイッチと、
前記電荷蓄積素子と前記微小電気機械素子との間に結合された第2のスイッチ(44)であって、該電荷蓄積素子と該微小電気機械素子とを前記同じ電圧に均等化するための導通経路を提供するよう構成された、第2のスイッチと、
前記微小電気機械素子の両端間に結合された第3のスイッチ(46)であって、前記第2のスイッチが前記導通経路を提供する前に、前記微小電気機械素子を放電するよう構成された、第3のスイッチ
とを備えることからなる、請求項1に記載の微小電気機械システム。 - 前記電荷蓄積素子に前記電荷量を提供するよう構成された電流源を備える、請求項1に記載の微小電気機械システム。
- 前記第1のスイッチに結合された電圧源(12)であって、前記電荷蓄積素子に前記電荷量を提供するよう構成された、電圧源(12)を備える、請求項2に記載の微小電気機械システム。
- グランド電位から、前記電荷量に対応する電圧にまで前記電荷蓄積素子が充電される、請求項4に記載の微小電気機械システム。
- 複数の微小電気機械素子(26)と、
ある電荷量を蓄積するよう構成された少なくとも1つの電荷蓄積素子(22)と、
スイッチ回路
とを備え、前記スイッチ回路が、
前記電荷蓄積素子を第1の電圧に充電するよう構成された第1のスイッチ(51)と、
複数の第2のスイッチ(56)であって、前記電荷蓄積素子と、前記微小電気機械素子のうちの対応する1つの微小電気機械素子との間で前記電荷量を分配して、該電荷蓄積素子と、該微小電気機械素子のうちの該対応する1つの微小電気機械素子とを第2の電圧に均等化することによって、該微小電気機械素子のうちの該対応する1つの微小電気機械素子のキャパシタンスを制御するよう該第2のスイッチの各々が構成されており、前記第2の電圧は、前記第1の電圧よりも低いことからなる、複数の第2のスイッチ
とを含むことからなる、請求項1に記載の微小電気機械システム。 - 前記スイッチ回路が、
複数の第3のスイッチであって、該第3のスイッチの各々は、前記微小電気機械素子のうちの前記対応する1つの微小電気機械素子の両端間に結合されており、前記第2のスイッチのうちの対応する1つの第2のスイッチが、前記電荷蓄積素子と、該微小電気機械素子のうちの該対応する1つの微小電気機械素子とを互いに並列に接続する前に、該微小電気機械素子のうちの該対応する1つの微小電気機械素子を放電するよう該第3のスイッチの各々が構成されていることからなる、複数の第3のスイッチ
を更に含む、請求項6に記載の微小電気機械システム。 - 前記第1のスイッチに結合された電力源であって、前記電荷蓄積素子に前記電荷量を提供するよう構成された電力源を、更に備える、請求項6に記載の微小電気機械システム。
- 前記少なくとも1つの電荷蓄積素子は、グランド電位から、前記電荷量に対応する第1の電圧にまで充電される、請求項8に記載の微小電気機械システム。
- 前記第2のスイッチのうちの少なくとも1つが、前記微小電気機械素子のうちの前記対応する1つの微小電気機械素子の前記キャパシタンスを選択することを可能にするよう構成されたコントローラ(60)を更に備える、請求項6に記載の微小電気機械システム。
- 前記MEMS素子が、
前記第1のプレートを支持するよう構成されたばね機構(40)であって、該第1のプレートを前記第2のプレートから隔離するための復元力を提供する、ばね機構と、
前記ばね機構に取り付けられた可撓性部材(38)であって、前記第2のプレートを支持するよう構成されている、可撓性部材
とを備え、
前記ばね機構及び前記可撓性部材が、前記撓み距離において前記第2のプレートに対してほぼ平行な配向に前記第1のプレートを維持することからなる、請求項1に記載の微小電気機械システム。 - 前記MEMS素子が、
受動画素構造を備え、
前記第1のプレートは、上部反射器(30)であり、前記第2のプレートは、底部反射器(32)であり、
前記上部反射器及び前記底部反射器が、可視波長を可変選択する共振光学キャビティ(34)を画定することからなる、請求項11に記載の微小電気機械システム。 - 可変キャパシタンスを有する微小電気機械素子(26)を制御する方法であって、該微小電気機械素子は、電圧源に結合されており、該方法が、
電荷蓄積素子(22)内に、ある電荷量を蓄積し、及び、
前記電荷蓄積素子と前記微小電気機械素子との間に導通経路(24)を提供して、該電荷蓄積素子と該微小電気機械素子とを同じ電圧に均等化する
ことを含むことからなる、方法。 - 前記電荷蓄積素子内に前記電荷量を蓄積することが、前記微小電気機械素子を放電することを含むことからなる、請求項13に記載の方法。
- 前記電荷蓄積素子内に前記電荷量を蓄積することが、
多数の電圧値のうちの1つを選択し、及び、
前記電荷蓄積素子を、前記多数の電圧値のうちの選択された1つの電圧値にまで充電する
ことを含み、
前記多数の電圧値はそれぞれ、前記微小電気機械素子の1つのキャパシタンスに対応することからなる、請求項13に記載の方法。
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US20020025595A1 (en) * | 2000-02-02 | 2002-02-28 | Ji-Hai Xu | MEMS variable capacitor with stabilized electrostatic drive and method therefor |
JP2004112944A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Ricoh Co Ltd | 静電駆動型装置、光スイッチ、光スキャナ及びインクジェットヘッド |
US20040217378A1 (en) * | 2003-04-30 | 2004-11-04 | Martin Eric T. | Charge control circuit for a micro-electromechanical device |
JP2004334201A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Hewlett-Packard Development Co Lp | 表示可能な画像のピクセルを少なくとも部分的に表示する電子デバイス |
JP2006525554A (ja) * | 2003-04-30 | 2006-11-09 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | 吸着防止バンプと、一体型マイクロレンズと、反射吸収層とを有する自己パッケージ化光干渉表示装置 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11211999A (ja) * | 1998-01-28 | 1999-08-06 | Teijin Ltd | 光変調素子および表示装置 |
US20020025595A1 (en) * | 2000-02-02 | 2002-02-28 | Ji-Hai Xu | MEMS variable capacitor with stabilized electrostatic drive and method therefor |
JP2004112944A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Ricoh Co Ltd | 静電駆動型装置、光スイッチ、光スキャナ及びインクジェットヘッド |
US20040217378A1 (en) * | 2003-04-30 | 2004-11-04 | Martin Eric T. | Charge control circuit for a micro-electromechanical device |
JP2004334201A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-25 | Hewlett-Packard Development Co Lp | 表示可能な画像のピクセルを少なくとも部分的に表示する電子デバイス |
JP2006525554A (ja) * | 2003-04-30 | 2006-11-09 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | 吸着防止バンプと、一体型マイクロレンズと、反射吸収層とを有する自己パッケージ化光干渉表示装置 |
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