JP2008517300A - 半導体ウエハ検査のためのコヒーレントduv照射 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (24)
- レーザエネルギー源と、
前記レーザエネルギー源から受け取ったエネルギーの周波数をブロード化し、周波数がブロード化された放射線とするのに使用される、複数の光学構造により囲まれたコアを含む光ファイバ配列と、
を備え、
前記周波数がブロード化された放射線を、試料を検査するための照明源として使用する、
試料を検査するための装置。 - 前記複数の光ファイバは、
中空コアファイバと、
テーパー光子ファイバと、
クモの巣状光結晶ファイバと、
カゴメ型中空コア光結晶ファイバと、
よりなる群から少なくとも1つを含む、請求項1記載の装置。 - 前記中空コアファイバは、時折カゴメ格子と呼ばれる、微細シリカウエブのマトリクスにより囲まれた中空コアを含み、
前記微細シリカウエブは固体構造により囲まれる、請求項2記載の装置。 - 前記中空コアファイバには比較的高圧のガスが充填される、請求項2記載の装置。
- 予め決められた個々の実質的に円形なファイバ直径を含む予め決められた集合的一般直径の環状に分布した実質的に円形の形状の集合を含む、請求項1記載の装置。
- 前記複数の光ファイバは、さらに、前の領域の周りの同心円配列の1つまたは複数のストリングから構成され、
ここで、各領域は2つの規定されたパラメータΛおよびdを有し、ここでΛはストリング中の各円の中心〜中心間隔であり、dは各ストリング中の穴の直径であり、ここで、少なくとも1つの領域は約0.7を超えるd/Λ比を有する、請求項5記載の装置。 - 前記光ファイバは、ガラス、低水、ヒドロキシル含有ガラス、およびセラミックを含む群から少なくとも1つを含む、請求項1記載の装置。
- 前記レーザエネルギー源は、
ダイオードポンピング固体レザー(基本)と、
ダイオードポンピング固体レーザ(調和的にアップコンバートされたもの)と、
周波数がアップコンバートされたアルゴンイオンレーザと、
周波数がアップコンバートされたクリプトンイオンレーザと、
調和的にアップコンバートされたEr:ファイバレーザと、
周波数がアップコンバートされたダイオードポンピング原子法レーザと、
調和的にコンバートされたTi:Sレーザと、
エキシマレーザと、
基本波長が180と280nmとの間にある第1のDUVレーザと、
アップコンバートされた波長が180と280nmとの間にある第2のDUVレーザと、
を含む群から少なくとも1つを含む、請求項1記載の装置。 - 中心コアと、
前記中心コアを概して取り囲む実質的に円形の複数の構造体と、
を備え、
前記複数のファイバは、
中空コアファイバと、
テーパー光子ファイバと、
クモの巣状光結晶ファイバと、
カゴメ型中空光結晶ファイバと、
を含む群から少なくとも1つを含み、
前記複数のファイバは、光エネルギーを受け取り、試料を検査するための周波数がブロード化された放射線を生成するように構成される、試料を検査するために使用されるエネルギーの周波数をブロード化するための装置。 - 前記中空コアファイバは、時折カゴメ格子と呼ばれる、微細シリカウエブのマトリクスにより囲まれた中空コアを含み、
前記微細シリカウエブは固体構造により囲まれる、請求項9記載の装置。 - 前記中空コアファイバには比較的高圧のガスが充填される、請求項9記載の装置。
- 予め決められた個々の実質的に円形なファイバ直径を含む予め決められた集合的直径の環状に分布した円形の集合を含む、請求項9記載の装置。
- 前記複数の光ファイバは、さらに、前の領域の周りの同心円配列の1つまたは複数のストリングから構成され、
ここで、各領域は2つの規定されたパラメータΛおよびdを有し、ここでΛはストリング中の各円の中心〜中心間隔であり、dは各ストリング中の穴の直径であり、ここで、少なくとも1つの領域は約0.7を超えるd/Λ比を有する、請求項12記載の装置。 - 前記複数のファイバは、ガラス、低水、ヒドロキシル含有ガラス、およびセラミックを含む群から少なくとも1つを含む、請求項9記載の装置。
- 前記比較的高圧のガスは活性高周波数ラマンモードを有する少なくとも1つのガスを含む、請求項11記載の装置。
- 高周波数ラマンモードは、振動ラマンモードと回転ラマンモードを含む群から少なくとも1つを含む、請求項16記載の装置。
- 光エネルギー源と、
前記光エネルギー源から受け取ったエネルギーの周波数をブロード化し、周波数がブロード化された放射線とするのに使用される、複数の光ファイバにより囲まれたコアを含む光ファイバ配列と、
を備え、
前記周波数がブロード化された放射線を、半導体ウエハを検査するための照明源として使用する、ブロードバンド検査装置。 - 複数の高圧容器をさらに備え、
前記高圧容器は、前記光ファイバ配列の第1の端に1つの容器を、前記光ファイバ配列の第2の端に別の容器を備える、請求項17記載のブロードバンド検査装置。 - 各高圧容器は、光エネルギーが、雰囲気空間環境から光ファイバ配列の端に光エネルギーを通過させるための窓を備える、請求項18記載のブロードバンド検査装置。
- 前記複数の光ファイバは、
中空コアファイバと、
テーパー光子ファイバと、
クモの巣状光結晶ファイバと、
カゴメ型中空光結晶ファイバと、
を含む群から少なくとも1つを含む、請求項17記載のブロードバンド検査装置。 - 前記中空コアファイバは、時折カゴメ格子と呼ばれる、微細シリカウエブのマトリクスにより囲まれた中空コアから構成され、
前記微細シリカウエブは固体構造により囲まれる、請求項20記載のブロードバンド検査装置。 - 前記中空コアファイバには比較的高圧のガスが充填される、請求項20記載のブロードバンド検査装置。
- 前記複数のファイバは、予め決められた個々の実質的に円形なファイバ直径を含む予め決められた集合的直径の環状に分布した円形の集合を含む、請求項17記載のブロードバンド検査装置。
- 前記光エネルギー源は、
ダイオードポンピング固体レザー(基本)と、
ダイオードポンピング固体レーザ(調和的にアップコンバートされたもの)と、
周波数がアップコンバートされたアルゴンイオンレーザと、
周波数がアップコンバートされたクリプトンイオンレーザと、
調和的にアップコンバートされたEr:ファイバレーザと、
周波数がアップコンバートされたダイオードポンピング原子法レーザと、
調和的にコンバートされたTi:Sレーザと、
エキシマレーザと、
基本波長が180と280nmとの間にある第1のDUVレーザと、
アップコンバートされた波長が180と280nmとの間にある第2のDUVレーザと、
を含む群から少なくとも1つを含む、請求項17記載のブロードバンド検査装置。
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