JP2008514959A - 閉ループ加速度計における振動修正誤差を低減するための方法および装置 - Google Patents
閉ループ加速度計における振動修正誤差を低減するための方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008514959A JP2008514959A JP2007534691A JP2007534691A JP2008514959A JP 2008514959 A JP2008514959 A JP 2008514959A JP 2007534691 A JP2007534691 A JP 2007534691A JP 2007534691 A JP2007534691 A JP 2007534691A JP 2008514959 A JP2008514959 A JP 2008514959A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vre
- closed loop
- feedback gain
- accelerometer
- adjusting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/13—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P21/00—Testing or calibrating of apparatus or devices covered by the preceding groups
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Description
本発明は、参照により内容が組み込まれている、2004年9月28日に出願した米国特許仮出願第60/613,864号の利益を主張する。
したがって、閉ループ加速度計に関するVREを最小限に抑えるための方法および装置の必要性が存在する。
x−プルーフマス変位の量
コントローラ34は、感知された距離値を復元力信号に変換する。
図3は、図2に示されるプロセス70のブロック80において説明されるKLまたはKUの調整を実行するための例示的なプロセスを示す。最初に、ブロック106で、加速度計30が、振幅Aを有する周波数fの既知の正弦周波数で振動させられる。次に、ブロック110で、VREが測定される。次いで、決定ブロック112で、測定されたVREが、容認できる閾値より下になっているか否かを、プロセス80が決定する。決定ブロック112において、VREが、容認できる閾値より下にない場合、KLの値は変更される、ブロック114を参照されたい。次いで、プロセスはブロック106に戻る。決定ブロック112において、VREが容認できる閾値より下にあることが測定された場合、プロセス70のその部分は完了する。
本発明の好ましい実施形態が、例示され、説明されているが、前述したとおり、本発明の趣旨および範囲を逸脱することなく、多くの変更が行われることが可能である。例えば、加速度計30は、シリコン、水晶、溶融石英、あるいは静電、磁界、圧電効果、または他の任意の手段を使用して再平衡化の力を生み出す他の任意の材料で作られていることが可能なMEMSデバイスまたは非MEMSデバイスである。したがって、本発明の範囲は、好ましい実施形態の開示によって限定されない。むしろ、本発明は、全面的に、添付の特許請求の範囲を参照して確定されなければならない。
Claims (9)
- VREが第1の閾値より下になるまで、フィードバックゲイン設定値を調整するステップと、
VREが第2の閾値より下になるまで、サーボ系比例ゲイン値を調整するステップと、
を含む閉ループ加速度計に関する振動修正誤差(VRE)を最小限に抑えるための方法。 - 前記第1の閾値と前記第2の閾値は等しい、請求項1に記載の方法。
- 前記フィードバックゲイン設定値を調整するステップは、既知の振動信号を第1の軸に沿って前記閉ループ加速度計に供給するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記既知の振動信号は、既知の周波数および既知の振幅を含む、請求項3に記載の方法。
- 前記サーボ系比例ゲインを調整するステップは、ランダムな振動信号を前記第1の軸に沿って前記閉ループ加速度計に供給するステップを含む、請求項4に記載の方法。
- 前記フィードバックゲイン設定値を調整するステップ、および前記サーボ系比例ゲイン値を調整するステップは、自動的に実行される、請求項5に記載の方法。
- 閉ループ加速度計のプルーフマスの位置を測定するための位置測定構成要素と、
前記プルーフマスの前記測定された位置、および事前設定されたサーボ系比例ゲイン設定値に基づいてアクチュエータ信号を生成するための、前記位置測定構成要素に結合されたコントローラと、
関連する事前設定されたフィードバックゲイン設定値に応じて、前記生成されたアクチュエータ信号を変更するための少なくとも1つのフィードバックゲイン構成要素とを含み、前記フィードバックゲイン設定値は、既知の振動信号が前記閉ループ加速度計に供給された場合に、VREを最小限に抑えるように調整され、前記サーボ系比例ゲイン設定値は、前記フィードバックゲイン設定値がVREを最小限に抑えるように調整された後に、ランダムな振動信号が前記閉ループ加速度計に供給された場合に、VREを最小限に抑えるように調整される、
閉ループ加速度計に関する振動修正誤差(VRE)を最小限に抑えるためのステム。 - 閉ループ加速度計のプルーフマスの位置を測定するための位置測定構成要素と、
前記プルーフマスの前記測定された位置、および事前設定されたサーボ系比例ゲイン設定値に基づいてアクチュエータ信号を生成するための、前記位置測定構成要素に結合されたコントローラと、
関連する事前設定されたフィードバックゲイン設定値に応じて、前記生成されたアクチュエータ信号を変更するための少なくとも1つのフィードバックゲイン構成要素と、
前記コントローラおよび前記少なくとも1つのフィードバックゲイン構成要素に結合されたコンピュータベースのデバイスとを備え、
前記コンピュータベースのデバイスは、
既知の振動信号が前記閉ループ加速度計に供給された場合に、VREを最小限に抑えるように前記フィードバックゲイン設定値を調整するための第1の構成要素と、
前記フィードバックゲイン設定値がVREを最小限に抑えるように調整された後に、ランダムな振動信号が前記閉ループ加速度計に供給された場合に、VREを最小限に抑えるように前記サーボ系比例ゲイン設定値を調整するための第2の構成要素とを含む、
閉ループ加速度計に関する振動修正誤差(VRE)を最小限に抑えるためのシステム。 - 前記第1の構成要素および前記第2の構成要素は、調整を自動的に実行する、請求項8に記載のシステム。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US61386404P | 2004-09-28 | 2004-09-28 | |
US60/613,864 | 2004-09-28 | ||
US10/908,090 US7131315B2 (en) | 2004-09-28 | 2005-04-27 | Methods and apparatus for reducing vibration rectification errors in closed-loop accelerometers |
US10/908,090 | 2005-04-27 | ||
PCT/US2005/034436 WO2006036897A1 (en) | 2004-09-28 | 2005-09-28 | Methods and apparatus for reducing vibration rectification errors in closed-loop accelerometers |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008514959A true JP2008514959A (ja) | 2008-05-08 |
JP2008514959A5 JP2008514959A5 (ja) | 2008-07-17 |
JP5139802B2 JP5139802B2 (ja) | 2013-02-06 |
Family
ID=35730629
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007534691A Expired - Fee Related JP5139802B2 (ja) | 2004-09-28 | 2005-09-28 | 閉ループ加速度計における振動修正誤差を低減するための方法および装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7131315B2 (ja) |
EP (1) | EP1794598B1 (ja) |
JP (1) | JP5139802B2 (ja) |
KR (1) | KR101197650B1 (ja) |
WO (1) | WO2006036897A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010054508A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Honeywell Internatl Inc | 閉ループ加速度計システムにおける振動整流誤差の削減システム及びその方法 |
JP2016070815A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 株式会社日立製作所 | 加速度センサ |
EP3483561A1 (en) | 2017-11-10 | 2019-05-15 | Seiko Epson Corporation | Processing apparatus, processing system, physical quantity measurement apparatus, and measurement method |
US11079403B2 (en) | 2018-04-20 | 2021-08-03 | Seiko Epson Corporation | Physical quantity sensor module, clinometer, and structure monitoring device |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070155271A1 (en) * | 2005-12-30 | 2007-07-05 | Touzov Igor V | Heat conductive textile and method producing thereof |
US7552637B2 (en) * | 2006-09-19 | 2009-06-30 | Honeywell International Inc. | Torque driving circuit |
US7437255B2 (en) * | 2007-01-22 | 2008-10-14 | General Electric Company | Method and system for calibrating triaxial acceleration sensors |
DE102007027652B4 (de) * | 2007-06-15 | 2013-06-20 | Litef Gmbh | Betriebsverfahren und Schaltungsanordnung für einen kapazitiven mikromechanischen Sensor mit analoger Rückstellung |
US9789919B1 (en) | 2016-03-22 | 2017-10-17 | Google Inc. | Mitigating sensor noise in legged robots |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05256870A (ja) * | 1991-01-11 | 1993-10-08 | Northrop Corp | 小型シリコン加速度計及びその方法 |
JPH08178955A (ja) * | 1994-12-22 | 1996-07-12 | Murata Mfg Co Ltd | 容量型静電サーボ加速度センサ |
JPH11326409A (ja) * | 1998-05-11 | 1999-11-26 | Mitsubishi Electric Corp | 容量検出回路 |
JP2001133479A (ja) * | 2000-09-21 | 2001-05-18 | Mitsubishi Electric Corp | 慣性力センサおよびその製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4891982A (en) * | 1986-06-27 | 1990-01-09 | Sundstrand Data Control, Inc. | Temperature compensation of a steady-state accelerometer |
FR2688315B1 (fr) * | 1992-03-09 | 1994-05-27 | Sagem | Capteur accelerometrique capacitif et accelerometre non asservi en comportant application. |
US5915278A (en) * | 1995-02-27 | 1999-06-22 | Mallick; Brian C. | System for the measurement of rotation and translation for modal analysis |
GB0000619D0 (en) * | 2000-01-13 | 2000-03-01 | British Aerospace | Accelerometer |
US6826960B2 (en) * | 2002-08-07 | 2004-12-07 | Quartz Sensors, Inc. | Triaxial acceleration sensor |
-
2005
- 2005-04-27 US US10/908,090 patent/US7131315B2/en active Active
- 2005-09-28 WO PCT/US2005/034436 patent/WO2006036897A1/en active Application Filing
- 2005-09-28 EP EP05799670.4A patent/EP1794598B1/en active Active
- 2005-09-28 JP JP2007534691A patent/JP5139802B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-09-28 KR KR1020077008269A patent/KR101197650B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05256870A (ja) * | 1991-01-11 | 1993-10-08 | Northrop Corp | 小型シリコン加速度計及びその方法 |
JPH08178955A (ja) * | 1994-12-22 | 1996-07-12 | Murata Mfg Co Ltd | 容量型静電サーボ加速度センサ |
JPH11326409A (ja) * | 1998-05-11 | 1999-11-26 | Mitsubishi Electric Corp | 容量検出回路 |
JP2001133479A (ja) * | 2000-09-21 | 2001-05-18 | Mitsubishi Electric Corp | 慣性力センサおよびその製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010054508A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Honeywell Internatl Inc | 閉ループ加速度計システムにおける振動整流誤差の削減システム及びその方法 |
JP2016070815A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 株式会社日立製作所 | 加速度センサ |
EP3483561A1 (en) | 2017-11-10 | 2019-05-15 | Seiko Epson Corporation | Processing apparatus, processing system, physical quantity measurement apparatus, and measurement method |
US11079403B2 (en) | 2018-04-20 | 2021-08-03 | Seiko Epson Corporation | Physical quantity sensor module, clinometer, and structure monitoring device |
US11733262B2 (en) | 2018-04-20 | 2023-08-22 | Seiko Epson Corporation | Physical quantity sensor module, clinometer, and structure monitoring device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006036897A1 (en) | 2006-04-06 |
US20060065039A1 (en) | 2006-03-30 |
KR20070057933A (ko) | 2007-06-07 |
EP1794598B1 (en) | 2018-08-08 |
JP5139802B2 (ja) | 2013-02-06 |
KR101197650B1 (ko) | 2012-11-07 |
EP1794598A1 (en) | 2007-06-13 |
US7131315B2 (en) | 2006-11-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5139802B2 (ja) | 閉ループ加速度計における振動修正誤差を低減するための方法および装置 | |
CN106052667B (zh) | 振动陀螺仪中谐振器和科里奥利轴控制的系统、装置、方法 | |
JP5365173B2 (ja) | 物理量測定装置および電子機器 | |
US10808790B2 (en) | Vibration isolation system | |
CN105045044B (zh) | 光学装置、投影光学系统、曝光装置及物品的制造方法 | |
JP2001041846A (ja) | 風洞試験の模型支持方法及びその装置 | |
JP2019505769A (ja) | 補助自己試験機能を備えたジャイロスコープ | |
US6848317B2 (en) | Method and apparatus for uniformizing output signal levels of micro-electro mechanical systems (MEMS) capacitive sensors | |
KR20040095164A (ko) | 전자기 장치의 적응 이득 조정 | |
JP2008514959A5 (ja) | ||
JPWO2008065836A1 (ja) | 電動機制御装置と出力フィルタ調整方法および出力フィルタ調整装置 | |
KR101420502B1 (ko) | 관성 센서의 자동이득제어 장치 및 방법 | |
US9665108B2 (en) | Vibration reduction apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article | |
JP4516053B2 (ja) | 制御装置 | |
TWI300844B (ja) | ||
CN108369097A (zh) | 双频陀螺仪补偿系统和方法 | |
US20220326013A1 (en) | Sensor and electronic device | |
CN100573156C (zh) | 用于在闭环加速度计中减小振动校正误差的方法和设备 | |
JP2009515502A (ja) | コンプライアンス・システムの制御方法および制御システム | |
JPH11102858A (ja) | ステージ位置決め制御装置および能動的除振装置 | |
KR20140143651A (ko) | Mems 공진 센서 및 mems 공진 센서의 제어 방법 | |
JP2005061588A (ja) | 除振台のアクティブ振動制御装置及びその制御ゲイン設定方法 | |
JP2006526223A (ja) | 加速度のフィードフォワードを使用した正確な動作制御 | |
US9762167B2 (en) | Computer-readable storage medium, generating method, generating apparatus, driving apparatus, processing apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article | |
JP2013257279A (ja) | 疲労試験機の振動制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080520 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101026 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110126 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110126 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110202 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110202 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110228 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110725 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20110913 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111025 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120330 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120406 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121019 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5139802 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151122 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |