JP2008506548A - ナノスケール静電および電磁モータおよび発電機 - Google Patents

ナノスケール静電および電磁モータおよび発電機 Download PDF

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Abstract

本発明の目的は、静電力および電磁力を活用して作動するＮＥＭを提供することである。一つのナノ静電実施形態においては、ナノスケールビームが電界に張られる。帯電されたレールがビームの周りに置かれる。ビームがレールに接触するときには、ビームは電界の中を特定の方向に動かされる。一つのナノ電磁実施形態においては、ナノスケールビームが磁界に張られる。ビームの付近にレールが置かれており、極性の異なる電荷がレールおよびビームに加えられる。この形態において、ビームおよびレールが互いに接触するときには、ビームとレールとの間に電流が流れ得る。この電流は磁界と相互作用し、その結果ビームを特定の方向に動かす。

Description

本出願は、２００４年７月１９日に出願され「Ｎａｎｏｍｅｔｅｒ−Ｓｃａｌｅ Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ ａｎｄ Ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ Ｍｏｔｏｒｓ ａｎｄ Ｇｅｎｅｒａｔｏｒｓ」と題された、米国特許仮出願第６０／５８９，４１７号（代理人整理番号ＡＭＢ／００６ ＰＲＯＶ）の利益を主張するものであり、前記出願は本明細書において、参考としてその全体が援用される。
（技術分野）
本発明は、ナノスケール電気機械システム（ＮＥＭ）に関する。本発明は特に、例えばモータ、発電機、ポンプ、ファン、コンプレッサ、推進システム、送信器、受信器、ヒートエンジン、ヒートポンプ、磁界センサ、磁界発生器、トランジスタ、メモリセル、慣性エネルギ保存デバイス、および音響エネルギ変換器などの多様な用途に使用され得る、ＮＥＭに関する。
（背景技術）
カーボンナノチューブおよびナノワイヤなどのナノスケールビーム（ｎａｎｏｍｅｔｅｒ−ｓｃａｌｅ ｂｅａｍ）は現在、多種多様な構成に生成され、組み立てられ得る。したがって、多様な機能を達成するように作動可能な、ミクロスケール電気機械構造（ｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）に加えて、ナノスケール電気機械構造を作成することが望まれる。
本発明の目的は、多様な用途において活用され得る、ミクロスケール構造に加えて、ナノスケール構造を提供することである。そのようなシステムは、例えばモータ、発電機、ポンプ、ファン、コンプレッサ、推進システム、送信器、受信器、ヒートエンジン、ヒートポンプ、磁界センサ、磁界発生器、トランジスタ、メモリセル、慣性エネルギ保存デバイス、および音響エネルギ変換器などを実現するために静電力および電磁力を活用し得る。
一つのナノ静電（ｎａｎｏｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ）実施形態においては、ナノスケールビームが電界に張られている。帯電したレールがビームの周りに置かれ、ビームがレールに接触すると、ビームはレールの電荷と同様の電荷を獲得し得る。この形態において、電界はビームの電荷と相互作用し得、ビームに対して静電力を提供し得る。静電力が十分強力な場合、ビームは特定の方向に動き得る。レールに加えられる電荷のマグニチュードおよび極性、レールの位置、ならびに電界の方向および強度は、ビームに加えられる静電力の方向およびマグニチュードの制御に使用される要因のいくつかであり得る。このような実施形態の任意のレールまたはビームは例えば、機械的に柔軟性があり、かつ電気的に導電性がある任意の構造（例えば、カーボンナノチューブまたはナノワイヤ）であり得る。
一つのナノ電磁（ｎａｎｏｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ）実施形態においては、ナノスケールビームが磁界に張られている。レールがビームの付近／近傍に置かれており、レールおよびビームには逆の電荷が加えられている。この形態において、ビームとレールが互いに接触すると、電流がビームとレールとの間を流れ得る。この電流は磁界と相互作用し得、ビームに対して電磁力を提供する。電磁力が十分強力な場合、ビームは特定の方向に動き得る。このような電磁力の方向およびマグニチュードを制御することにおいて、ビームの動きが制御され得る。
例えばレール、または帯電部材層が静電的にビームを操作し得たり、またはビームと接触するように動作可能である場合には、レール、または電荷部材がビームの付近／近傍に置かれる。
上述のように、本発明の静電ＮＥＭおよび電磁ＮＥＭは、多様な用途において活用され得る。例えば、帯電部材層がビームの付近に置かれ得、ビームは時計方向または反時計方向へ動かされ得る。この形態において、ビームが近くのレールに接触するとき、磁界の中で回転するナノスケールビームが電圧を発生し得るので、発電機が実現され得る。代替案として、ナノスケールビームがレールに接触する頻度を制御することがレールに移送される電流の量を制御するので、トランジスタが実現され得る。
本発明のここに記述される目的および利点、ならびに他の目的および利点は、本明細書の詳細な記述を添付の図面とともに検討することにより明らかになる。すべての図面を通じて、同類の参照文字は同類の部分を参照する。
２００３年７月１５日に米国特許第６，５９３，６６６号（代理人整理番号ＪＰ／００１）として公布された、２００１年６月２０日に出願された米国特許出願第０９／８８５，３６７号が、本明細書において参考としてその全体が援用される。
２００３年６月２日に出願された特許出願第１０／４５３，３２６号（代理人整理番号ＡＭＢ／００２）が、本明細書において参考としてその全体が援用される。
２００３年６月２日に出願された特許出願第１０／４５３，７８３号（代理人整理番号ＡＭＢ／００３）が、本明細書において参考としてその全体が援用される。
２００３年６月２日に出願された特許出願第１０／４５３，１９９号（代理人整理番号ＡＭＢ／００４）が、本明細書において参考としてその全体が援用される。
２００３年６月２日に出願された特許出願第１０／４５３，３７３号（代理人整理番号ＡＭＢ／００５）が、本明細書において参考としてその全体が援用される。
まず、図１を参照する。ナノ静電システム１００が基板１１０上に提供される。システム１００は、ナノ静電アセンブリ１２０、１４０、および１６０を含み、かつアセンブリそれぞれがナノスケールビーム１２１、１４１、および１６１を含み得る。ナノスケールビーム１２１、１４１、および１６１は例えば、機械的に柔軟性があり、電気的に導電性がある任意のナノスケール材料であり得る。この形態において、ナノスケールビーム１２１、１４１、および１６１は、ナノチューブ、ナノテストチューブ、またはナノワイヤであり得る。
ナノスケールビーム１２１、１４１、および１６１は、それぞれトラフ１２５、１４５、および１６５の内部または上部に提供され得る。ナノスケールビーム１２１、１４１、および１６１は各端において、それぞれピラー１２６および１２７、１４６および１４７、ならびに１６６および１６７に固定され得る。システム１００のピラーは例えば、基板１１０の任意の部分、もしくは基板１１０上または内に作成された任意の材料であり得る。ナノスケールビームが揺動し得るように、張られたナノスケールビームにたるみが提供され得る。特定のビームのたるみの量を調整することが、そのビームを揺動させる、または動かすのに必要な仕事の量を調整し得る。ナノスケールビーム１２１、１４１、および１６１のたるみの量は互いに異なるように作成され得る。当業者は、ナノスケールビームがたるみなしでも作動することを理解する。張りつめたナノスケールビームはまた、例えば揺動の結果として伸張し得るので、たるみをナノスケールビームへ導入する。
代替案として、任意のナノスケールビームのたるみが作動の最中に調整され得る。ナノスケールビームが固定されている、ピラーのうちの一つの高さを調整することが、ビームのたるみを調整し得る。ピラーの高さは例えば、材料全体に電圧を印加すると膨張する圧電材料を用いてピラーを作成することで（そして、電圧を印加することで）調整され得る。一つ以上のピラーの高さを変化させることはまた、ナノスケールビーム（またはレール）の位置を変化させ得る。このような機能性は、多様な用途で活用され得る。
ピラー１８０に、調整可能ピラーが特に示されている。ピラー１８０は、ナノスケールビーム１８１に取り付けられた金属層１８２を含み得る。金属層１８２の基板からの高さを調整するために、または金属層１８２に取り付けられたナノスケールビームの一部分の高さを調整するために、圧電層１８５が提供され得る。圧電層１８５は、圧電セラミックの任意の種類を用いて作成され得る。圧電層１８５は、金属層１８４と金属層１８６との間に挟まれ得、電位が層１８４と層１８６にわたり提供されるときに圧電層１８５は機械的にゆがむ（例えば、層１８４および層１８６には、制御回路網により異なる電圧が提供される）。
例えば、膨張／収縮する幅を有する圧電層は、圧電層の幅の変化が圧電層の高さを変化させ得るので、ピラー１８０の高さを変化させることに活用され得る。隔離層１８３および隔離層１８７がまた含まれ得る。当業者は、ピラー１８０に隔離層１８３および金属層１８２が提供されずに、金属層１８２が金属層１８４として活用され得ることを理解する。さらにまた、ピラー１８０に隔離層１８７が提供されずに、金属層１８６が直接基板、または他の部品に取り付けられ得る。
一般に、ナノスケールビームは、二点において基板１１０に取り付けられる。これらの二点は例えば、ナノスケールビームの二つの端であり得る。二点の間の部分（例えば、ナノスケールビームの中間部分）が自由に動くように、たるみがこの二点の間に提供され得る。ナノスケールビームは例えば、基板１１０への直接接続、ピラー、またはナノ電気機械システムの他の任意の部品のいずれかによって、基板１１０と接続され得る。
アセンブリ１２０、１４０、および１６０は、レール１２２および１２３、１４２および１４３、ならびに１６２および１６３を含み得、レールはそれぞれナノスケールビーム１２１、１４１、および１６１の付近に置かれ得る。例えば、レール１２２およびレール１２３は、ナノスケールビーム１２１に対して直角に置かれ得る。
ナノスケールビーム１２１に運動を誘発するために、レール１２２およびレール１２３に逆の電荷が加えられ得る。レール１２３にプラスの電荷が加えられる実施形態においては、ナノスケールビーム１２１は、プラス電荷のレール１２３に接触し、プラス電荷を獲得し得る。ナノスケールビーム１２１により獲得されたプラス電荷は、電界１９３と静電気的に相互作用し得、ナノスケールビーム１２１は垂直に上方向にレール１２２に向かって動かされ得る。電界１９３によってナノスケールビーム１２１に加えられた静電力に加え、プラスに帯電したナノスケールビーム１２１は、プラスに帯電したレール１２３から反発され得（同極性の電荷は反発する）、マイナスに帯電したレール１２２に引き付けられ得る（異なる極性の電荷は引き合う）。
当業者は、層１２６および／または層１２７は例えば、駆動、開始、または感知回路（示されていない）に取り付けられ得ることを理解する。開始回路は例えば、ナノスケールビーム１２１に初期電荷を提供し得、ナノスケールビーム１２１はビーム１２２またはビーム１２３に接触するようにまず影響を受ける。いったん初期接触が生じると、レール１２２および１２３（または帯電部材層１３１および１３２）に供給された電荷は、ナノスケールビーム１２１の動きに影響を与え続け得る。当業者はまた、システム１００が浸没されている任意の作動流体の分子のブラウン運動（またはナノスケールビーム１２１の熱振動）が、ナノスケールビーム１２１をしてランダムにレール１２２またはレール１２３へ接触または電気的に結合させ得ることを、理解する。この形態において、システム１００が作動するのに、層１２６および／または１２７へ電荷がまず供給される必要はない。
ナノスケールビーム１２１に対する静電力が十分強い場合には、ナノスケールビーム１２１はマイナスに帯電されたレール１２２に接触し得、マイナスの電荷を獲得し得る。ナノスケールビーム１２１のマイナス電荷は、電界１９３と静電的に相互作用し得、ナノスケールビーム１２１は垂直に下方向にレール１２３に向かって動かされる。電界１９３によってナノスケールビーム１２１に加えられた静電力に加えて、マイナスに帯電されたナノスケールビーム１２１は、マイナスに帯電されたレール１２２から反発され得、プラスに帯電されたレール１２３に引き付けられ得る。
ナノスケールビーム１２１に対する静電力が十分強い場合には、ナノスケールビーム１２１は、プラスに帯電したレール１２３に接触し得、プラス電荷を帯び得る。この形態において、レール１２２とレール１２３との間を継続して動くナノスケールビームの機能性が実現され得る。換言すると、ナノスケールビーム１２１は、例えば爪弾かれたギターの弦のように、垂直に上下に振動させられ得る。
当業者は、重力または基板１１０のランダムな振動により、最初のビーム／レール接触が自律的に生じ得ることを理解する。代替案として、最初のビーム／レール接触は例えば、システム１００のレール、ビーム、または帯電部材層に対して特定の電圧を印加することの結果として生じ得る。
本発明のレールは例えば、機械的に柔軟性がある、および電気的に導電性のある任意の材料を用いて作成され得る。この形態においてレールは、ナノチューブ、ナノテストチューブ、またはナノワイヤから作成され得る。さらにまた、本発明のレールは、下た剛体として、基板１００に固定され得る。あるいは、レールはたるみのないように提供され得る。例えばレール１２２は、ナノスケールビーム１２１によって接触されたとき、レール１２２が実質的に振動しないように、たるみなしでピラー１２８とピラー１２９との間に張られ得るか、または基板１１０へ固定され得る。この結果、例えばナノスケールレールが完璧な分子（ｐｅｒｆｅｃｔ ｍｏｌｅｃｕｌｅ）（例えば、カーボンナノチューブ）から作成されたものでない場合には、ナノスケールレール（またはピラー１２８およびピラー１２９）における摩耗が低減し得る。
アセンブリ１２０、１４０、および１６０は帯電部材層１３１および１３２、１５１および１５２、ならびに１７１および１７２をそれぞれ含み得る。帯電部材層は、システム１００のナノスケールビームが電界１９３内を動く形態を操作するために、含まれ得る。例えば、電荷部材１３１および１３２が、ナノスケールビーム１２１の付近に、その異なる側に提供され得る。帯電部材層１３１および１３２は、ナノスケールビーム１２１が時計方向または反時計方向へ回転するように、異なる極性の電荷を提供され得る。
一つの例として、レール１２３がプラスで、レール１２２がマイナスであるとする。そして、帯電部材層１３１がプラス電荷を提供され、帯電部材層１３２がマイナス電荷を提供されているとする。結果として、ナノスケールビーム１２１は、反時計方向に回転する。
詳細には、ナノスケールビーム１２１がレール１２３に接触するときに、ナノスケールビーム１２１はプラスの電荷を獲得する。電界１９３は、ナノスケールビーム１２１のプラス電荷と相互作用し得、ナノスケールビーム１２１をして上方向にレール１２２に向かって動かす。しかも、ナノスケールビーム１２１はまた、帯電部材層１３２の逆の電荷（つまり、マイナス電荷）、および帯電部材層１３１の同じ電荷（つまり、プラス電荷）のために、帯電部材層１３２に引き付けられる。いったんナノスケールビーム１２１がレール１２２に接触すると、ナノスケールビーム１２１はマイナス電荷を帯び得る。電界１９３は、ナノスケールビーム１２１のマイナス電荷と相互作用し得、ナノスケールビーム１２１をして下方向にレール１２３に向かって動かし得る。しかも、ナノスケールビーム１２１はまた、帯電部材層１３１の逆の電荷（つまり、プラス電荷）および帯電部材層１３２の同じ電荷（つまり、マイナス電荷）のために、帯電部材層１３１に引き付けられ得る。この形態において、帯電部材層１２１は、反時計方向に回転し得る。
当業者は、帯電部材層１３１および１３２上の定電荷が、ナノスケールビーム２２１を時計方向または反時計方向に動かし得ないことを理解する。したがって、制御回路網および駆動回路網（示されていない）が、帯電部材層１３１および帯電部材層１３２に供給される電荷を任意の所与の時刻に変化させるために含まれ得る。例えば、ナノスケールビーム１２１は、プラスに帯電したレール１２３に接触し得、電界１９３によって上方向にレール１２２に向かって動かされ得る。帯電部材層１３２がマイナスに帯電されている場合、ナノスケールビーム１２１はナノスケールビーム１３２に向かって引き付けられ得る。ナノスケールビーム１３２の電荷の極性は、ナノスケールビーム１２１がレール１２２およびレール１２３に接触する間にプラスの極性に変化させられ得る。レール１３２の極性がプラスの極性に変化させられると、ナノスケールビーム１２１は帯電部材層１３２に反発され得る。この形態において、ナノスケールビーム１２１のさらに環状的な動きが提供される。帯電部材層１３１の極性はまた、帯電部材層１３２の極性の切り替えと同期して、切り替えられ得る。
当業者は、ナノスケールビーム１２１が多様な方向に動き得るように、追加の帯電部材層がナノスケールビーム１２１の付近に提供され得ることを理解する。そのような帯電部材層（もしくはシステム１００のレールまたは電界）に加えられる電荷はまた制御され得、その結果ナノスケールビーム１２１の動きがまた制御される。
ナノスケールビーム１２１が回転する周期は、多様な要因に依存し得る。例えば、レール１２２およびレール１２３に加えられる電荷のマグニチュードを変化させることは、回転の周期を変化させ得る。加えて、帯電部材層１３１および１３２へ加えられる電荷のマグニチュードを変化することは、回転の周期を変化させ得る。あるいは、レール１２２およびレール１２３が互いにより近くに配置されるように、レール１２２およびレール１２３の高さが変化され得る。システム１００の帯電部材層はまた、システム１００の作動の最中に自身が調整され得る、ピラーに置かれ得る。
ピラー１２８および／または１２９は、レール１２２へ電荷を提供するために、ピラー１２８および／または１２９は、導電性を有し得る。この形態において、レール１２２は、ピラー１２８および／または１２９を介して共通のノード１９１と電気的に結合され得る。代替案として、ピラーの一部のみが、導電性を有し得るか、または共通ノード１９１へ結合され得る。
システム１００において、レール１２２、１４２、および１６２は、共通のノード１９１を介して互いに結合され、かつレール１２３、１４３、および１６３は共通ノード１９２を介して互いに結合され得る。しかしながら、システム１００のレールは、互いに結合される必要はなく、異なる量（または極性）の電荷を供給され得る。追加の共通ノードが例えば任意の数のレール、帯電部材層、またはナノスケールビームを、任意の構成形態で電気的に結合するために提供され得る。
前述のように、システム１００は好適も、電界１９３に浸される。しかしながら、アセンブリ１２０、１４０、および１６０は、個別の電界に各々浸され得る。これら磁界の各々の特性（例えば、マグニチュード、極性、あるいは方向）は、多様な用途を実現するために操作され得る。例えば、アセンブリ１６０は、アセンブリ１４０よりも強力な電界を提供され得る。結果として、ナノスケールビーム１６１は、アセンブリ１４０よりも高い周波数で回転／移動し得、または特定の方向により強い力を提供され得る。これは、多様な用途において活用されることが可能なシステムを実現する。例えば、基板１１０が作動流体の中に置かれ、かつナノスケールビーム１６１がナノスケールビーム１４１よりも早く回転すると、基板１１０が回転し得る。
電界１９３は例えば、基板１１０をコンデンサ（示されていない）の二つのプレートの間に置くことによって提供され得る。電界１９３の極性、マグニチュード、または方向は、システム１００が多様な用途において活用され得るように制御（例えば、変化）され得る。電界１９３の方向は例えば、電界１９３が二つのコンデンサプレートから発生されており、これらコンデンサプレートの位置が操作されると変化され得る。電界１９３の極性およびマグニチュードは例えば、電界１９３が二つのコンデンサプレートから発生されており、これらコンデンサプレートに供給される電圧が操作されると変化され得る。電荷は、例えば一つ以上の電圧ソースによって、システム１００のレール、帯電部材層、およびナノスケールビームへ提供され得る。
当業者は、システム１００の多数の代替実施形態、または本明細書に記述される他の構造が、本発明の原理にしたがって構成され得ることを理解する。例えば、ナノスケールビーム１２２、１４２、および１６２は、ピラー１２８とピラー１６９との間に配置された単一のナノチューブであり得る。さらにまた、二つを超えるレール、または帯電部材層が、ナノスケールビーム１２１の周りに提供され得る。このようなレールまたは帯電部材層は、ナノスケールビーム１２１に対して例えば、垂直、または平行以外の構成で提供され得るが、ナノスケールビーム１２１に対して任意の位置に提供され得る。
システム１００は多様な用途において活用され得る。例えば、システム１００は、作動流体の中に提供され得、ナノ静電推進システムとして活用され得る。この形態において、可動ナノスケールビームは例えば、基板１１０を推進するために使用され得る。別の例におけるように、システム１００は、作動流体の中に提供され得、ナノ静電ポンプとして活用され得る。この形態において、可動ナノスケールビームは例えば、特定の方向に作動流体を推進するために使用され得る。
別の例おけるように、システム１００は、並列に構成される、三つのトランジスタとして活用され得る。ナノスケールビーム１２１、１４１、および１６１を横切る外部電界のマグニチュードを増加させることは、ナノスケールビームの回転周波数を増加し得る。このように、レールへ移動される、単位時間当たりの電荷（例えば、単位時間当たりの電流）が増加され得る。逆に、外部電界のマグニチュードを低減することは、レールへ移送される単位時間当たりの電荷（例えば、単位時間当たりの電流）を減少し得る。
次に、図２を参照する。基板２１０上に作成された、ナノ静電システムの断面である、システム２００が示されている。電界２９３が、システム２００に提供されている。詳細には、電界２９３を実現するために、基板２１０がコンデンサプレート２０３とコンデンサプレート２０４との間に提供され得る。代替案として、任意の種類の電界発生器が、電界２９３を実現するために提供され得る。
システム２００は、アセンブリ２２０、２４０、および２６０を含み、アセンブリはそれぞれナノスケールビーム２２１、２４１、および２６１を含み得る。ナノスケールビーム２２１、２４１、および２６１は、図１のナノスケールビーム１２１、１４１、および１６１と類似した形態で動くように操作され得る。例えば、レール２２２およびレール２２３は、ナノスケールビーム２２１が動かされるように、電界２９３と相互作用する電荷をナノスケールビーム２２１に提供し得る。帯電部材層２３１および２３２は、ナノスケールビーム２２１の位置、または動きを静電的に操作するために提供され得る。例えば、電圧ソース２０１のような電圧ソースは、システム２００の任意のレール、ナノスケールビーム、または帯電部材層に接続され得る。レール２２２および２２３ならびに帯電部材層２３１および２３２上の電荷、または位置を操作することによって、ナノスケールビーム２２１は、多様に動くように影響を与えられ得る。
例えば、レール２２２および２２３をナノスケールビーム２２１に対して異なる側に垂直に、かつ直角に置くことは、ナノスケールビーム２２１が水平面においてレール２２２と２２３との間で振動することを可能にする。例えば、図２において、左から右へ電界２９３を提供し、かつ電荷の適切な極性をレール２２２およびレール２２３へ加えることにより、ナノスケールビーム２２１は、水平に振動し得る。ナノスケールビーム２２１が水平に動くように操作することは、特定の用途において有利であり得る。例えば、水平に動くナノスケールビーム２２１に対する重力の影響は、ナノスケールビーム２２１が動く方向（左または右）に関係なく同じであり得る（重力がシステム２００にかかる垂直方向の力であるとして）。
帯電部材層２３１および２３２は、例えばナノスケールビーム２２１の運動、または位置に対して影響を与えるために、システム２００に含まれ得る。例えば、帯電部材層２３１および２３２が、基板２１０に提供され得る。帯電部材層２３１および２３２の電位による影響の性質を説明するために、ナノスケールビーム２２１が、マイナスに帯電されたレール２２２とプラスに帯電されたレール２２３との間を垂直方向に振動しているとする。そして、帯電部材層２３２がマイナスに帯電され、帯電部材層２３１がプラスに帯電されているとする。帯電部材層２３１および２３２によって提供された静電力の結果として、ナノスケールビーム２２１は、反時計方向２８１に回転し得る。帯電部材層２３１へマイナスの電荷を提供し、帯電部材層２３２へプラスの電荷を提供することは、例えば、ナノスケールビーム２２１をして時計方向（方向２８１の逆の方向）に回転させ得る。制御回路網（示されていない）が、特定の電荷層へ加えられる電荷の極性またはマグニチュードを制御するために含まれ得る。
当業者は、帯電部材層２３１および帯電部材層２３２が互いにずらされ得ることを理解する。例えば、帯電部材層２３１が位置２９６に提供され得る。あるいは、第二の帯電部材層（示されていない）が位置２９６に提供され得、または帯電部材層２３１が、位置２９６にまで下方に伸張し得、その結果、帯電部材層２３１が帯電部材層２３２よりも大きくなり得る。
追加的帯電部材層が、ナノスケールビームの動き、または位置に影響を与えるように、システム２００のどの位置にでも配置され得る。例えば、帯電部材層２９９は、ナノスケールビーム２４１の直下に提供され得る。別の例にのように、帯電部材層２９８および２９７は、ナノスケールビーム２６１の下に、しかしずらして提供され得る。システム２００の帯電部材層に提供される電荷の極性に応じて、ナノスケールビームは、特定の方向に動くように影響され得、または特定の位置に留まるように影響され得る。
アセンブリ２２０、２４０、および２６０は、ナノスケールビーム２２１、２４１、および２６１が互いに同期して動くように構成され得る。例えば、ナノスケールビーム２２１、２４１、および２６１は、それぞれ反時計方向２８１、２８２、および２８３に同周期で、および同位相で回転し得る。この形態において、アセンブリ２２０、２４０、および２６０は、同じ制御信号（例えば、帯電部材層および／またはレールに提供される電荷）を提供され得る。
代替案として、アセンブリ２２０、２４０、および２６０は、ナノスケールビーム２２１、２４１、および２６１が互いに独立して動くように、構成され得る。例えば、ナノスケールビーム２２１、２４１、および２６１は、異なる制御信号を提供され得る。この形態において、アセンブリ２４０は、アセンブリ２２０が反時計方向に回転し、アセンブリ２６０がまったく回転しないのに、時計方向に回転するように構成され得る。制御および駆動回路網（示されていない）が、アセンブリ２２０、２４０、および２６０に異なる制御信号（例えば、電荷）を提供するために含まれ得る。
電荷（例えば、電圧）は、システム２００のナノスケールビームへ直接提供され得る。そうすることにより、システム２００のレールは除去されることが可能になる。例えば、ナノスケールビームは、特定の極性およびマグニチュードの電圧を直接提供され得る。電圧のマグニチュードおよび極性にしたがって、ナノスケールビームは、電界２９３の中で、特定の方向、かつ特定の速度で動き得る。帯電部材層が、ナノスケールビームの動きを制御するために提供され得る。代替案として、システム２００へ帯電部材層を含めることは、電界２９３がないシステムを可能とし得る。例えば、帯電部材層２９９がマイナスの電荷を提供され、ナノスケールビーム２４１が直接プラスの電荷を提供される場合には、これら二つの力の間の静電相互作用は、ナノスケールビーム２４１の動き、または位置に影響を与える。
システム２００は例えば、ナノスケールビームが、特定の位置に容易に張られ得るので、ナノ電気機械メモリセル（例えば、ナノ静電メモリセル）のアレイとして活用され得る。各位置が、メモリの状態と関連付けられ得る。ナノスケールビームの位置の読み出しは、帯電部材層またはレールに特定の電圧を印加すること、およびナノスケールビームが帯電部材層またはレールと電気的に結合するためにかかる時間を判定することによって、感知し得る。
システム２００のアセンブリもまた、トランジスタとして活用され得る。一実施形態におけるように、ナノスケールビームとコンタクト（例えば、レールまたは帯電部材層）との間に生じるコンタクトレートは、感知回路網（示されていない）によって感知され得る。例えば、ナノスケールビームは、ノードに接続され得る。ナノスケールビームが帯電されたレールに接触するたびに、ある量の電流がノードを経由して流れる。したがって、電界２９３のマグニチュードを増加すると例えば、ナノスケールビームの接触頻度を増加し得る（結果として、ノードを流れる電流を増加する）。当業者は、システム２００が例えば、ナノスケールビームへ電荷を継続的に提供することなく、トランジスタとして活用され得ることを理解する。この形態において、ナノスケールビームは、ナノスケールビームが帯電したレールに接触するたびに、電荷を帯び得る。ナノスケールビームが、ナノスケールビームがレールに接触する時点ですでに帯電している場合には、レールにある量の電流が供給され得る。ナノスケールビームがレールに接触する頻度が多いほど、ある単位時間にレールから得られる平均的電流は多くなる。制御信号を変化させること（例えば、電界２９３のマグニチュードを変化させること）は、ナノスケールビームがレールに接触する頻度を変化させ得る。また、制御信号を変化させることは、レール間で移送される電流の平均的量を変化させ得る。この形態において、トランジスタが提供され得る。
次に、図３のシステム３００を参照する。本発明の原理にしたがって構成されたナノ静電システムの上から見た図が示されている。システム３００はアセンブリ３２０、３４０、および３６０を含み、かつアセンブリは、アセンブリ３２０、３４０および３６０が互いに独立して動作され得るように、それぞれ制御ノード３０１、３０２、３０３、および３０４、３０５、３０６を含み得る。例えば、制御ノード３０４は、レール３２３と結合され得、制御ノード３０１は、アセンブリ３４０およびアセンブリ３６０のナノスケールビームから独立して、ナノスケールビーム３２１を操作するために、レール３２２へ提供され得る。
上述のように、帯電部材層は、多様な位置に提供され得る。この形態において、帯電部材層３３１および３３２が、基板３１０上のナノスケールビーム３２１の下に提供され得る。帯電部材層３３１および３３２はまた、ナノスケールビーム３２１が帯電部材層３３１および３３２の上方で回転することを可能とするような位置に、ナノスケールビーム３２１の異なる側に提供され得る。当業者は、ナノスケールビームのたるみの量を変化させることが、ナノスケールビームが上（または下）で回転し得る位置を変化し得ることを理解する。
図４は、ナノスケールビーム４２１、レール４２３、および磁界４９３を含む、ナノ電磁システム４００を示す。システム４００は、ナノスケールビーム４２１が単一のレールのみで回転することを可能にする。当業者はしかしながら、追加的レール、または帯電部材層が、ナノスケールビーム４２１の動き、または位置に影響を与えるために、システム４００に含まれ得ることを理解する。
システム４００は、次のように動作し得る。プラスの電圧が、ナノスケールビーム４２１に印加され得る。ナノスケールビーム４２１に電圧が提供されるように、導電性ノード（例えば、金属層）がナノスケールビーム４２１に結合され得る。この形態において、ピラー４９２は導電性を有し得、電圧ソースと結合され得る。ナノスケールビーム４２１が動くように電磁的に影響を与えるために、レール４２３は、マイナスの電圧を提供され得る（例えば、ナノスケールビーム４２１と逆の極性を有する電圧）。結果として、ナノスケールビーム４２１およびレール４２３が互いに接触するときに、電流がナノスケールビーム４２１からレール４２３へ流れ得る。電流は、磁界４９３と相互作用し得、ナノスケールビーム４２１に対する力を発生する。例えば、ナノスケールビーム４２１は、方向４８１（または、電流の流れの方向によっては、方向４８１と逆の方向）へ動かされ得る。レール４２３がプラス電圧を提供されていて、ナノスケールビーム４２１がマイナスの電圧を提供されている場合には、ナノスケールビーム４２１は例えば、反時計方向に回転し得、あるいは可能性として時計方向にも回転し得る（電流の流れの方向による）。帯電部材層（示されていない）はまた、ナノスケールビーム４２１の動き、または位置に影響を与えるために含まれ得る。加えて、磁界４９３の方向、またはマグニチュードは、システム４００が多様な用途において活用され得るように、変化され得る。
当業者は、システム４００が発電機として活用され得ることを理解する。例えば、ナノスケールビーム４２１が時計方向に回転する場合（例えば、方向４８１）であって、かつレール４２３とナノスケールビーム４２１が電圧を提供されていない場合には、ナノスケールビーム４２１は、ナノスケールビーム４２１の長さ方向にそって生じる電圧を発生し得る。導電性を有するナノスケールビーム４２１が磁場４９３を横切ること、およびレール４２３に接触することの結果として、電圧が発生され得る。この電圧は、ナノスケールビーム４２１の回転ごとに一回生じるパルスＤＣ電圧の形態を取り得る。追加的レールが、電圧パルスの周波数を増加するために、含まれ得る。代替案として、回転を速くするようにナノスケールビーム４２１に影響を与えることは、パルスＤＣ電圧の周波数を増加し得る。例えば、システム４００は、分子４５１、４５２、および４５３が一つ以上の方向に動くことによりナノスケールビーム４２１に特定の方向に回転するように影響を与える、作動流体（例えば、液体、プラズマ、または気体）の中において提供され得る。この形態において、作動流体は、システム４００内を特定の方向に送り込まれ得る。そうすることで、システム４００を運動／熱エネルギを電気エネルギへ変換する、エネルギ変換器として活用し得る。
ナノスケールビーム４２１が、ナノチューブとして実施される場合には、日光（または人工光）もまた、ナノスケールビーム４２１が振動するように影響を与え得る。ナノスケールビーム４２１に当たる日光の方向を切り替えることにより、ナノスケールビーム４２１が特定の方向／形態（例えば、方向４８１）で回転／振動することを可能にし得る。こうすることで、システム４００を機械的ソーラセルとして活用し得る。
システム４００は、エネルギ保存デバイスとして活用され得る。例えば、適切な電圧をレール４２３およびナノスケールビーム４２１へ提供することによって、電気エネルギがシステム４００へ入れられ得る。結果として、電気エネルギは、回転するナノスケールビーム４２１の形態の運動エネルギに変換され得る。電気エネルギが再び必要とされる場合には、回転するナノスケールビーム４２１の運動エネルギは、前述のように、電気エネルギに変換され得る。複数の構成が、電気エネルギへの同時変換を伴わずに、運動エネルギの保存を可能にする。例えば、レール４２３は、レール４２３およびナノスケールビーム４２１が互いに結合しないように、ナノスケールビーム４２１から物理的に離され得る。例えば、レール４２３上の電荷と逆の極性の電荷を有する帯電部材層は、レール４２３をナノスケールビーム４２１から静電的に動かし得る。別の実施形態において、磁界４９３ならびにナノスケールビーム４２１およびレール４２３に印加された電圧は、オフにされ得る。さらに別の実施形態において、ピラー４３９および４３８の高さは、ナノスケールビーム４２１がレール４２３へ接触し得るときを決定するために調節され得る（例えば、ピラーを圧電材を用いて作成することによって）。
二つ以上のシステム４００が、例えばシステムの電源出力を増加するために、またはパルスＤＣ出力を円滑化するために、並列に結合され得る。ＤＣ出力は、複数のシステム４００のナノスケールビームおよびレールの電気的結合が異なる時点で発生し得るので、円滑化され得る。
レール４２３に対して回転するために、およびレール４２３を電気的に結合するために、二つ以上のナノスケールビーム４２１が提供され得る。例えば、いくつかのナノスケールビーム４２１が、同じノードに結合され得、またレール４２３を電気的に結合するように構成され得る。当業者は、電力発生システム４００の出力密度が大きいことを理解する。例えば、回転するナノチューブは、大きな「先端速度」（ｔｉｐ ｓｐｅｅｄ）、および優れた電気的導電特性を有し得る。このような特性は、システム４００の出力密度を増加し得る。
磁界４９３は例えば、一つ以上の電磁石のような磁界発生器（示されていない）によって提供され得る。磁界４９３は、多様な用途での活用を可能にするために、多様な異なるマグニチュードおよび多様な異なる方向で提供され得る。同様に、磁界４９３の方向および／またはマグニチュードは、多様な用途における活用を可能にするため、変化させられ得る（例えば、制御回路網によって制御される）。例えば、磁界４９３を方向４９４に向けることは、ナノスケールビーム４２１を回転ではなく垂直方向に振動させ得る。
ナノスケールビーム４２１は、ホイップ（ｗｈｉｐ）（部分４２９がナノスケールビーム４２１の端面である）として、またはジャンプロープ（ｊｕｍｐ ｒｏｐｅ）（ピラー４９２に固定されたナノスケールビーム４２１の端の反対側の端もまた固定されている）として提供され得る。ナノスケールビームピボット４２８からのレール４２３の距離、およびナノスケールビーム４２１のたるみの量は例えば、図５のシステム５００に示されているように、システム４００の動作に影響し得る。
システム５００は、点５２８を回転の中心とする、ナノスケールビーム５２１を含む。点５２８は、図４の点４２８の図４のレール４２３からの距離よりも、レール５２３から離れている。詳細には、距離５７９は図４の距離４７９よりも大きい。この結果、図４のナノスケールビーム４２１が図４のレール４２３と電気的に結合すよりも短い時間、ナノスケールビーム５２１はレール５２３と電気的に結合し得る。この点を説明するために、ナノスケールビーム５２１は、位置５７３においてのみレール５２３に接触する。一方、図４のナノスケールビーム４２１は、図４のレール５２３に、位置４７１、４７２、４７３、４７４、および４７５において接触し得る。例えば、ナノスケールビームがレールに長く接触すればするほど、より大きな平均力がナノスケールビームに加えられ得る。逆に例えば、ナノスケールビームがレールに長く接触すればするほど、さらに多くの電力がナノスケールビームによって提供され得る。
距離５７９の変更は、多様な方法で達成され得る。ピラー５６２の高さが例えば、増加され得る。代替案として、回転の中心５２８がピラー５６２上で上方向に移動され得る。別の実施形態におけるように、レール５２３は下方向に移動され得る（例えば、距離５７８が操作され得る）。上述のとおり、ジャンプロープとして実施されている場合には、ナノスケールビーム５２１のたるみは、ナノスケールビーム５２１が一つ以上のレール、または帯電部材層に接触するときの時間の長さまたは位置の数を変更するために操作され得る。さらに別の実施形態において、例えばナノスケールビーム５２１がレール５２３に接触し得ないようにするために、帯電部材層５６１がレール５２３の位置を物理的にゆがめるために提供され得る。このような実施形態において、帯電層５６１に提供される電荷の極性は、レール５２３に提供される電荷の極性の電極の逆であり得る。
ピラー５６２はまた、図６のシステム６００に示されているようなトラフの一部として実施され得る。アセンブリ６２０に示されるように、ナノスケールビーム６２１は、トラフ６３０を規定する基板６１０の一部と結合され得る。
システム６００に示されるように、アセンブリ６２０、６４０、および６６０はそれぞれ、ノード６９１において互いに結合される、ナノスケールビーム６２１、６４１、および６６１とともに含まれ得る。加えて、レール６２３、６４３、および６６３は、ノード６９２において互いに結合され得る。システム６００に供給される電圧および／または電流のマグニチュードおよび極性は、一つ以上の制御／駆動回路６９０によって供給され得る。磁界６９３の量はまた、回路６９０または追加の制御／駆動回路（示されていない）によって供給され得、および制御され得る。
前述の説明から当業者は、本発明が、トランジスタ、増幅器、メモリセル、自動スイッチ、ダイオード、可変抵抗器、磁界センサ、温度センサ、電界センサ、およびロジック部品として使用され得る、ナノスケール電気機械アセンブリおよびシステムを提供することを理解する。加えて、当業者は、ここに説明された多様な構成が、本発明から逸脱することなく組み合わせられ得ることを理解する。例えば電界はまた、図６のシステム６００においても提供され得る。本発明がまた、本明細書において開示される形態以外にも多数の形態を取り得ることが理解される。したがって、本発明は、開示された方法、システムおよび装置に限定されるものではなく、特許請求の範囲の精神の下でのこれらに対する変形および変更の結果をも含むことを意図するものであることが強調される。
本発明の原理にしたがって形成されたナノ静電システムの説明図である。 本発明の原理にしたがって形成されたナノ静電システムの断面の説明図である。 本発明の原理にしたがって形成されたナノ静電システムの上面の説明図である。 本発明の原理にしたがって形成されたナノ電磁システムの断面の説明図である。 本発明の原理にしたがって形成された別のナノ電磁システムの断面の説明図である。 本発明の原理にしたがって形成されたナノ電磁システムの説明図である。

Claims (61)

  1. 基板と、
    該基板と結合される第一のピラーと、
    該基板と結合される第二のピラーと、
    該第一のピラーと該第二のピラーとの間に張られるナノスケールビームであって、該第一のピラーと該第二のピラーとの間の該ビームにたるみが提供される、ナノスケールビームと、
    該ビームの付近に位置する第一のレールであって、該ビームが該第一のレールと接触するように動作可能な第一のレールと、
    該ビームの付近に位置する第二のレールであって、該ビームが該第二のレールと接触するように動作可能な第二のレールと、
    該ビームに電界を提供するための電界発生器と
    を備える、ナノ電気機械システム。
  2. 前記第一のレールが前記ビームに対して実質的に直角に置かれる、請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  3. 前記第二のレールが前記ビームに対して実質的に直角に提供される、請求項２に記載のナノ電気機械システム。
  4. 前記第一のレールおよび前記第二のレールが実質的に前記ビームをはさむ反対側に置かれる、請求項３に記載のナノ電気機械システム。
  5. 前記第一のレールが前記ビームと前記基板との間に置かれ、前記第二のレールが該ビームの上方に置かれる、請求項４に記載のナノ電気機械システム。
  6. 前記電界発生器が少なくとも二つのコンデンサプレートを有するコンデンサであり、前記基板が該少なくとも二つのコンデンサプレートの少なくとも二つの間に置かれる、請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  7. 前記ビームがカーボンナノチューブである、請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  8. 前記第一のレールがカーボンナノチューブである、請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  9. 前記第二のレールがカーボンナノチューブである、請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  10. 前記ビームの少なくとも一部がトラフの上方に提供される、請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  11. 前記ビームの少なくとも一部がトラフの中に提供される、請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  12. 前記ビームが導電性材料と恒久的に結合されていない、請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  13. 第一の電荷が前記第一のレールに提供され、第二の電荷が前記第二のレールに提供され、かつ該第一および第二の電荷が逆の極性を有する、請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  14. 前記第一の電荷がプラスであり、前記第二の電荷がマイナスであり、前記ビームがプラスに帯電されたときには、該ビームが前記電界によって前記第二のレールの方向に動かされる、請求項１３に記載のナノ電気機械システム。
  15. 前記ビームの付近に置かれる第一の帯電部材層をさらに備える、請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  16. 制御回路網であって、前記第一の帯電部材層が第三の電荷を提供され、該制御回路網が該第三の電荷のマグニチュードを制御する、制御回路網をさらに備える、請求項１５に記載のナノ電気機械システム。
  17. 前記ビームの付近に置かれる第二の帯電部材層であって、該第二の帯電部材が前記制御回路網によって第四の電荷を提供される、第二の帯電部材層をさらに備える、請求項１５に記載のナノ電気機械システム。
  18. 前記制御回路網が、ほとんど同時に前記第三の電荷および前記第四の電荷の極性を変える、請求項１７に記載のナノ電気機械システム。
  19. 前記第一のレールにある期間提供される電流の量を測定するための感知回路網をさらに備える、請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  20. 前記感知回路網が、前記第二のレールに前記期間提供される電流の量を測定する、請求項１９に記載のナノ電気機械システム。
  21. 前記電界のマグニチュードおよび方向を制御するための制御回路網をさらに備える、請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  22. 前記基板と結合される第三のピラーと、
    該基板と結合される第四のピラーと、
    該第三のピラーと該第四のピラーとの間に張られる第二のナノスケールビームであって、該第三のピラーと該第四のピラーとの間の該ビームにたるみが提供される、第二のナノスケールビームと、
    該第二のビームの付近に置かれる第三のレールであって、該第三のレールが該第二のビームに接触するように動作可能な、第三のレールと、
    該ナノスケールビームの付近に置かれる第四のレールであって、該第四のレールが該第二のビームに接触するように動作可能な、第四のレールと
    をさらに備える、請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  23. 前記第一および第三のレールが互いに電気的に結合される、請求項２２に記載のナノ電気機械システム。
  24. 前記電界発生器が、前記第三のレール、前記第四のレール、および前記第二のビームに電界を供給するように動作可能である、請求項２２に記載のナノ電気機械システム。
  25. 前記第一のピラーの少なくとも一部が、該ピラーの高さを調整するための圧電材料を備える、請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  26. 前記第一のピラーは、
    第一の金属層と、
    第二の金属層と、
    該第一の金属層と該第二の金属層との間に結合される圧電層と
    を備える、
    請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  27. 前記第一のピラーが、該第一のピラーの高さを調整するための第一の圧電材料を備え、
    前記第二のピラーが、該第二のピラーの高さを調節するための第二の圧電材料を備える、
    請求項１に記載のナノ電気機械システム。
  28. 基板と、
    ナノスケールビームであって、
    該基板と結合される第一の部分
    該基板と結合される第二の部分
    該第一と第二の部分との間の中間部分であって、該中間部分が自由に動くようにたるみが提供されている、中間部分と、を含むナノスケールビームと、
    第一の電荷を有し、該ビームの付近に該ビームに対して直角に置かれる第一のレールであって、該ビームが該第一のビームに接触するように動作可能である、第一のレールと、
    該ビームが該第一のレールに接触するときには、該ビームが該第一のレールから離れるように電界を提供するための電界発生器と
    を備える、ナノ電気機械システム。
  29. 前記第一のレールに前記第一の電荷を提供するための制御回路網をさらに備える、請求項２８に記載のナノ電気機械システム。
  30. 前記制御回路網が、前記第一の電荷のマグニチュードを変更するように動作可能である、請求項２９に記載のナノ電気機械システム。
  31. 第一のピラーが、前記第一の部分と前記基板との間に結合される、請求項２８に記載のナノ電気機械システム。
  32. 前記第一の部分が、前記基板と接合される、請求項２８に記載のナノ電気機械システム。
  33. 前記ビームの付近に置かれる第二のレールであって、該ビームは該第二のレールに接触するように動作可能である、第二のレールをさらに備える、請求項２８に記載のナノ電気機械システム。
  34. 前記制御回路網が、前記第二のレールに第二の電荷を提供し、前記第一および第二の電荷の極性が異なる、請求項３３に記載のナノ電気機械システム。
  35. 前記第一のピラーの少なくとも一部が、該第一のピラーの高さを調整するための圧電材料を備える、請求項３１に記載のナノ電気機械システム。
  36. 基板と、
    第一の導電層と、
    第二の導電層と、
    該第一の導電層と該第二の導電層との間に結合される圧電層と、
    ナノスケール部品であって、該圧電層が、該基板と該ナノスケール部品との間に結合される、ナノスケール部品と、
    該基板からの、該ナノスケール部品の高さを変化させるために、該第一と該第二の導電層との間に制御信号を提供するための制御回路網と
    を備える、ナノ電気機械システム。
  37. 前記ナノスケール部品が、ナノチューブの少なくとも一部である、請求項３６に記載のナノ電気機械システム。
  38. 前記ナノスケール部品がナノワイヤである、請求項３６に記載のナノ電気機械システム。
  39. 基板と、
    ナノスケールビームであって、
    該基板と接合される第一の部分と、
    該基板と接合される第二の部分と、
    該第一と第二の部分との間の中間部分であって、該中間部分が自由に動くように、該中間部分にたるみが提供されている、中間部分と、
    を含むナノスケールビームと、
    前記ビームの付近において該ビームに対して直角に置かれる第一のレールであって、該ビームが該第一のレールに接触するように動作可能である、第一のレールと、
    該ビームが該第一のレールに接触するときには、該ビームを動かすために該ビームと該第一のレールとの間に磁界を提供するための磁界発生器と
    を備える、ナノ電気機械システム。
  40. 第一のピラーが前記第一の部分と前記基板との間に結合される、請求項３９に記載のナノ電気機械システム。
  41. 前記基板からの前記第一のピラーの高さが調節可能である、請求項４０に記載のナノ電気機械システム。
  42. 前記第一の部分が前記基板と結合されている、請求項３９に記載のナノ電気機械システム。
  43. 前記ビームが、該ビームに第一の電荷を提供するために恒久的に導電材料と結合される、請求項３９に記載のナノ電気機械システム。
  44. 前記第一の電荷が制御回路網によって提供される、請求項４３に記載のナノ電気機械システム。
  45. 前記ビームがナノチューブである、請求項３９に記載のナノ電気機械システム。
  46. 前記レールがナノチューブである、請求項３９に記載のナノ電気機械システム。
  47. 前記ビームが第一の電荷を提供され、前記第一のレールが第二の電荷を提供され、該第一および第二の電荷の極性が異なる、請求項３９に記載のナノ電気機械システム。
  48. 前記第一および第二の電荷が制御回路網によって提供される、請求項４７に記載のナノ電気機械システム。
  49. 前記第一および第二の電荷が第一の期間提供される、請求項４８に記載のナノ電気機械システム。
  50. 前記第一の電荷が前記ビームに前記第一の期間の後に提供されず、かつ前記第二の電荷が該ビームに該第一の期間の後に提供されない、請求項４９に記載のナノ電気機械システム。
  51. 前記ビームおよび前記第一レールが、前記第一の期間の後の第二の期間のあいだ、負荷と結合される、請求項５０に記載のナノ電気機械システム。
  52. 運動エネルギが、前記第一の期間のあいだに前記ビームに保存され、かつ前記第二の期間のあいだに該運動エネルギが電気エネルギに変換され、前記負荷に提供される、請求項５１に記載のナノ電気機械システム。
  53. 前記ビームが前記第一のレールに接触するときには、電流が該ビームから該第一のレールに流れ、該電流が前記磁界と相互作用することにより該ビームを動かす、請求項３９に記載のナノ電気機械システム。
  54. 前記負荷に提供される前記電気エネルギがパルスＤＣである、請求項５２に記載のナノ電気機械システム。
  55. 前記ビームが前記第一のレールに接触するときには、電流が第一のレールから該ビームに流れ、該電流が前記磁界と相互作用することにより該ビームを動かす、請求項３９に記載のナノ電気機械システム。
  56. 前記第一のレールが前記基板と結合される、請求項３９に記載のナノ電気機械システム。
  57. 前記第一のレールの少なくとも一部が前記基板と物理的に結合される、請求項５６に記載のナノ電気機械システム。
  58. 前記第一のレールが、少なくとも一つの第一のレールピラーを介して前記基板と結合される、請求項５６に記載のナノ電気機械システム。
  59. 前記少なくとも一つの第一のレールピラーのうちの少なくとも一つが調整可能である、請求項５８に記載のナノ電気機械システム。
  60. 前記磁界のマグニチュードを調整するための制御回路網をさらに備える、請求項３９に記載のナノ電気機械システム。
  61. 前記磁界の方向を調整するための制御回路網をさらに備える、請求項３９に記載のナノ電気機械システム。
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