JP2008304622A - レーザ用マイクロレンズ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光が透過し得る材質からなる基板1上に少なくとも1つのマイクロレンズ2が形成されている。マイクロレンズ2を透過するレーザ光と、当該マイクロレンズ2周辺を透過するレーザ光との干渉を調整するために、前記マイクロレンズ2の領域とその周辺領域との間に光軸方向に沿った段差s、又は位相段差が形成されている。
【選択図】 図1
Description
具体的には、位相段差(Φ)を変えることにより、レーザ光のピーク強度を強くしたり、弱くしたりすることができる。また、レーザ光のスポット形状の歪みを小さくすることができ、加工精度を上げることができる。
2 マイクロレンズ
3 凸部
4 凹部
11 基板
12 マイクロレンズ
13 凸部
14 凹部
s 段差
Claims (2)
- レーザ光が透過し得る材質からなる基板上に少なくとも1つのマイクロレンズが形成されており、マイクロレンズを透過するレーザ光と、当該マイクロレンズ周辺を透過するレーザ光との干渉を調整するために、前記マイクロレンズの領域とその周辺領域との間に光軸方向に沿った段差が形成されていることを特徴とするレーザ用マイクロレンズ。
- レーザ光が透過し得る材質からなる基板上に少なくとも1つの回折型マイクロレンズが形成されており、マイクロレンズを透過するレーザ光と、当該マイクロレンズ周辺を透過するレーザ光との干渉を調整するために、前記マイクロレンズの領域とその周辺領域との間に位相段差が形成されていることを特徴とするレーザ用マイクロレンズ。
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