JP2008302354A - 光洗浄装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】照射窓と被照射物の距離を縮めてＵＶ減衰を少なくできる光洗浄装置を提供する。
【解決手段】光洗浄装置１の本体を構成する筐体２２と、筐体２２内に配置されたランプ２と、ランプ２を点灯するための−電極３および＋電極４と、ランプ２からのＵＶ光を透過する照射窓材５と、この照射窓材５の端部を支持するための支持部６を備える。支持部６は照射窓材５の端面７と、筐体２２の下部に形成された窓枠開口部２０の内周に設けられる接合面８と、端面７と接合面８の間に挟持されたパッキング９により構成される。端面７の全周に突起が設けられ、接合面８にも同様に突起が形成され、互いに係合させて嵌合することにより固定される。
【選択図】図１

Description

本発明は、光洗浄に用いられる光洗浄装置に関する。
従来において、液晶パネルの製造における光洗浄工程では、被洗浄物と光洗浄装置の照射窓とエキシマランプとの距離を縮めて、空気中の酸素によるＵＶ減衰を少なくしている。（特許文献１参照）。
特開２００１−１２９３９１号公報
ところが、照射窓を光洗浄装置の下側から固定するために、この照射窓を支持し固定するための押さえ部材を用いる必要があり、この押さえ部材の厚みの長さ分は被照射物と照射窓との間を縮めることができなかった。
本発明の目的は、上記に鑑みてなされたものであり、照射窓と被照射物の距離を縮めてＵＶ減衰を少なくできる光洗浄装置を提供することにある。
本発明に係る光洗浄装置は、エキシマ生成ガスを封入した誘電体バリア放電ランプが点灯して発生する紫外線光を透過させる照射窓材を備えた光洗浄装置において、前記照射窓材の端面は、該端面に密接して接合面を内周に有して開口する前記光洗浄装置の開口部に嵌合して支持されてなることを特徴とする。
また、請求項２に記載の本発明は、請求項１において、前記支持部は、前記端面の全周において設けられた突起を前記開口部の前記接合面の全周に設けられた突起に嵌合して前記支持を行うことを特徴とする。
また、請求項３に記載の本発明は、請求項１において、前記支持部は、前記端面の全周において下方へ向けて設けられた斜面を前記開口部の前記接合面の全周に上方へむけて設けられた斜面に嵌合して支持することを特徴とする。
本発明によれば、照射窓と被照射物の距離を縮めてＵＶ減衰を少なくできる光洗浄装置を提供することができる。
図１には、本発明の光洗浄装置の実施の形態を説明するための構成図を示している。この図１には、光洗浄装置１と、この光洗浄装置１の本体を構成する筐体２２と、この筐体２２の内部空間に配置された誘電体バリア放電ランプによるランプ２と、ランプ２に電圧印加して点灯させるための−電極３および＋電極４と、ランプ２から筐体２２の外部へ照射するＵＶ光を透過させるために合成石英ガラスなどで構成される照射窓材５と、この照射窓材５の端部を支持するための支持部６と、筐体２２の最下部に配置されて照射窓材５が嵌めこまれた窓枠開口部２０と、が示されている。なお、窓枠開口部２０は専用の枠部材で筐体２２と別体に構成されてもよく、あるいは筐体２２の端部そのものを枠部材として窓枠開口部２０を一体に構成してもよい。
この図１に示した光洗浄装置１はＵＶ光を対象物へ照射するための構成を備え、たとえば液晶パネルの製造工程において、製造過程の液晶パネルにＵＶ照射をして不純物を除去するための光洗浄工程に用いられる。
光洗浄装置１は、その内部にＵＶ光を発生させるための誘電体バリア放電ランプによるランプ２を複数本備えている。このランプ２には、合成石英ガラス管などで形成された中空パイプ内にエキシマ生成ガスが封入され、さらに電圧印加のために中空ガラスパイプの外周に配置の−電極３と、この−電極３に対向して中空パイプの壁面を挟んで配置された＋電極４により構成されている。そしてランプ２の＋電極４と−電極３との間に電源から電圧を印加することによりエキシマ状態となり、波長１７２nmのＵＶ光（ＵＶ光：UltraViolet）が放射される。
また、誘電体バリア放電ランプとしてキセノンランプを用いた場合は、ランプ２を形成する合成石英ガラス管の中空内部空間にキセノンガスが封入される。封入するキセノンガスとしては、たとえばキセノン、クリプトン、アルゴンとの希ガスを用いてもよい。それぞれのランプ２から放射されたＵＶ光は、光洗浄装置１の外部方向へ放射される。
また、筐体２２の内部にはランプ２が放射するＵＶ光が空気中の酸素によって減衰されるのを防ぐために、窒素パージやフローを実施している。この状態を保持するために照射窓材５と筐体２２の間は気密が保たれている。そして、ランプ２から放射されたＵＶ光は照射窓部材５に入射して透過し、たとえば製造過程の液晶パネルなどの被照射物２１へ照射される。
次の図２には、照射窓材５の支持部６を説明するための構成図を示している。
この図２には、支持部６を構成する照射窓材５の端面７と、筐体２２の下部に形成された窓枠開口部２０の内周に設けられる接合面８と、端面７と接合面８の間に挟持されたパッキング９と、が示されている。
この端面７は照射窓材５の端辺を加工して形成され、この図２においてはその加工の一例として端面７の全周に突起が設けられている。この端面７の突起に対して筐体２２の窓枠開口部２０の内周面に設けられた接合面８にも同様に突起が形成されている。端面７の突起と接合面８の突起とを互いに係合させて嵌合することにより固定され、筐体２２が照射窓材５により密閉される。
なお、さらに密閉度を良好なものとするために端面７と接合面８との間にはパッキング９が配置されて挟持されている。パッキング９は端面７と接合面８の両方に密着して気密を保持している。パッキング９は常にＵＶ光に晒されるため、耐ＵＶ特性に優れたテフロン（登録商標）系のパッキング材を使用することが好ましい。
また、この図２に示すように被照射物２１と照射窓材５の表面との距離ｔは、両者が接触しない限度において最小とすることができる。被照射物２１は空気中に配置されているので、ランプ２から照射されるＵＶ光が空気中の酸素によりＵＶ減衰することを最小限度に抑えることができる。
距離ｔを最小に設定できるのは、照射窓材５を窓枠開口部２０に取り付ける際に端面７と接合面８のそれぞれに設けられた突起が嵌合して支持されるので、筐体２２の外部表面上に不要な突出物が無いことによる。不要な突出物（たとえば照射窓材５を支持するための窓枠部材などの付加物）を要しないので被照射物２１と照射窓材５の表面との距離を必要最小限度にできる。
なお、端面７の突起形状は図２においては略階段状の突起としたが、これを変形して断面が略凸状としてもよい。この場合、接合面８の形状は略凹状とすることで両者は容易に嵌合可能となる。嵌合部分には気密を保持するための補助として、パッキング９を配し挟持させてもよい。
次の図３には、図２に示した照射窓材５の支持部６の変形例を説明するための構成図を示している。
この図３においては、支持部６の変形例として支持部１０が示されている。この支持部１０は、全周の端面７が斜め下方へ入り込むように斜めに面加工された端部７と、この端部７の斜面と向かい合う逆傾斜の斜面が形成された接合面８と、端部７と接合面８の間隙に配置されて挟持されるパッキング９が示されている。
このような構成において、端部７の斜面の傾斜と接合面８の斜面の傾斜の角度は同一であり、図３に示すようにこの両者の斜面同士が向かい合って嵌合する。なお、パッキング９は気密を保持するための封止材であり、嵌合における気密維持の補助的役割を担っている。
このような構成の支持部１０においても、支持部６と同じく外部への突起物が存在しないので、被照射物２１と照射窓材５との距離ｔを最小に設定することができる。
図４には、大気中でのＵＶ減衰率を説明するためのグラフを示している。このグラフには縦軸に波長１７２nmのＵＶ光の大気中での減衰率％で示し、横軸にはＵＶを放射する誘電体バリア放電ランプからの距離をｍｍ単位で表している。大気中に含まれる酸素によりＵＶの照度が減衰する性質があり、ランプからの距離が０ｍｍでは減衰率も０％（グラフ上は照度１００％と表記）であるが、たとえばランプから２ｍｍ程度離れた位置では減衰率は約８０％（グラフ上は照度２０％と表記）となる。このため少しでもランプに近い位置に被照射物２１を置くことが肝要となる。
以上説明した本発明の実施の形態によれば、照射窓と被照射物の距離を縮めてＵＶ減衰を少なくできる光洗浄装置を提供することができる。
光洗浄装置の実施の形態を説明するための構成図を示す。 光洗浄装置の実施の形態に係る照射窓材の支持部を説明するための構成図を示す。 光洗浄装置の実施の形態に係る照射窓材の支持部を説明するための構成図を示す。 大気中でのＵＶ減衰率を説明するためのグラフを示す。
符号の説明
１…光洗浄装置
２…ランプ
３…−電極
４…＋電極
５…照射窓材
６、１０…支持部
７…端面
８…接合面
９…パッキング
２２…筐体

Claims (3)

  1. エキシマ生成ガスを封入した誘電体バリア放電ランプが点灯して発生する紫外線光を透過させる照射窓材を備えた光洗浄装置において、
    前記照射窓材の端面は、該端面に密接して接合面を内周に有して開口する前記光洗浄装置の開口部に嵌合して支持されてなることを特徴とする光洗浄装置。
  2. 前記支持部は、
    前記端面の全周において設けられた突起を前記開口部の前記接合面の全周に設けられた突起に嵌合して前記支持を行うこと
    を特徴とする請求項１に記載の光洗浄装置。
  3. 前記支持部は、
    前記端面の全周において下方へ向けて設けられた斜面を前記開口部の前記接合面の全周に上方へむけて設けられた斜面に嵌合して支持すること
    を特徴とする請求項１に記載の光洗浄装置。
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