JP2008290862A - Ventilation device of unmanned conveying vehicle - Google Patents
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Description
本発明は、クリーンルーム内で、複数の板状ワークを所定隙間をあけて積み重ね状に保持したカセットなどの搬器を、格納室に収容して搬送する無人搬送車の換気装置に関する。 The present invention relates to a ventilator for an automatic guided vehicle that accommodates and transports a transporter such as a cassette in which a plurality of plate-like works are stacked in a clean room with a predetermined gap.
クリーンルーム内で、無人搬送車により、塵埃を嫌うフラットパネルディスプレイやガラス基板などの板状ワークを格納室に収容し搬送する場合、格納室の出し入れ口を開閉するシャッターの摺動部から発生する塵埃が、板状ワークに付着するのを防止するため、特許文献1には、出し入れ口を開放するとともに、クリーンルーム内から取り込んだエアを、出し入れ口の開放面に沿って進行方向の前部から後方に向かって放出し、エアカーテンを形成するものが提案されている。
しかしながら、出し入れ口の近傍では、エアカーテンによるエアの流れによるエアの滞留は少ないが、板状ワーク近傍ではエアが滞留しやすく、格納室に侵入した塵埃があると、板状ワークに付着しやすく汚染されやすいという問題があった。 However, in the vicinity of the entrance / exit, there is little stagnation of air due to the air flow by the air curtain, but air tends to stay in the vicinity of the plate-like workpiece, and if there is dust that has entered the storage chamber, it tends to adhere to the plate-like workpiece. There was a problem of being easily contaminated.
本発明は、上記問題点を解決して、格納室に収容した板状ワークの汚染を効果的に防止することができる無人搬送車の換気装置を提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the ventilation apparatus of the automatic guided vehicle which solves the said problem and can prevent the contamination of the plate-shaped workpiece | work accommodated in the storage chamber effectively.
請求項1記載の発明は、クリーンルーム内で、複数の板状ワークを所定隙間をあけて積み重ね状に保持する搬器を搬送するための無人搬送車の換気装置であって、走行車輪を有する台車本体に、少なくとも対称側面に板状ワークの積み重ね隙間が開口するように板状ワークを保持する搬器の格納室を設け、格納室で板状ワークの積み重ね隙間が開口される対称側面が対面する対向側面の一方を給気面とするとともに、他方を排気面とし、格納室の他の組の一対の対向側面の少なくとも一方に、開閉扉を有する出し入れ口を形成し、前記給気面に、クリーンルームから吸引されたクリーンエアを、板状ワークの積み重ね隙間の全面に均一に放出する分散給気部を設け、前記排気面に、板状ワークの積み重ね隙間から排出されるクリーンエアを均一に排出する分散排気部を設け、台車本体の底部に、前記分散排気部から排出されるクリーンエアを走行用床面に向かって排出する排気口を設けたものである。
The invention according to
請求項2記載の発明は、請求項1記載の構成において、分散給気部は、台車本体の外面に開口された吸気口と、前記吸気口からフィルタを介してろ過されたクリーンエアを吸引して加圧する吸気ファンと、クリーンエアのエア圧を保持する給気加圧室と、当該給気加圧室内のクリーンエアを格納室に均一に放出する多数の通気孔を有する給気分散板とを具備し、分散排気部は、多数の通気孔からクリーンエアを均一に排出する排気分散板と、当該排気分散板から排出したクリーンエアのエア圧を調整する排気調圧室とを具備したものである。 According to a second aspect of the present invention, in the configuration according to the first aspect, the distributed air supply unit sucks the intake air that is opened on the outer surface of the carriage main body and clean air that has been filtered from the intake port through a filter. An intake fan that pressurizes and pressurizes, an air supply pressurizing chamber that holds the air pressure of clean air, and an air supply dispersion plate that has a large number of vent holes for uniformly releasing clean air in the air supply and pressurizing chamber into the storage chamber; And the dispersion exhaust section includes an exhaust dispersion plate that uniformly discharges clean air from a large number of vent holes, and an exhaust pressure adjustment chamber that adjusts the air pressure of the clean air discharged from the exhaust dispersion plate. It is.
請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の構成において、格納室の底板に形成された複数のローラ用開口部に、搬器を案内する複数の移載ローラを設け、前記ローラ用開口部と排気口とを連通して、格納室のクリーンエアの一部を排気口から排出するように構成したものである。 According to a third aspect of the present invention, in the configuration of the first or second aspect, a plurality of transfer rollers for guiding a transporter are provided in a plurality of roller openings formed in a bottom plate of the storage chamber, and the roller openings And a part of the clean air in the storage chamber is discharged from the exhaust port.
請求項4記載の発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載の構成において、搬器に、複数の板状ワークを水平姿勢で上下方向に積み重ね隙間をあけて保持させ、格納室の天井部に、昇降自在な可動整流板と、当該可動整流板を昇降して可動整流板と最上段の板状ワークとの間にクリーンエアを流送可能な整流用隙間を形成する整流板昇降装置とを設けたものである。 According to a fourth aspect of the present invention, in the configuration according to any one of the first to third aspects, the portable unit causes a plurality of plate-like workpieces to be stacked in a horizontal posture in the vertical direction and held with a gap therebetween, and the ceiling portion of the storage chamber And a movable rectifying plate that can be moved up and down, and a rectifying plate lifting and lowering device that lifts and lowers the movable rectifying plate to form a rectifying gap that can flow clean air between the movable rectifying plate and the uppermost plate-like workpiece; Is provided.
請求項1記載の発明によれば、格納室では、給気面に設けられた分散給気部から、板状ワークの積み重ね隙間の全面にわたってクリーンエアを均一に吹き込んで、板状ワークの表面と裏面に沿ってクリーンエアを流送し、通過後のクリーンエアを排気面に設けられた分散排気部から均一に排出するので、板状ワークの周辺部にクリーンエアの渦流や滞留が発生することがなく、板状ワークが汚染されるのを効果的に防止することができる。 According to the first aspect of the present invention, in the storage chamber, clean air is uniformly blown from the distributed air supply portion provided on the air supply surface over the entire stack gap of the plate workpieces, Clean air is sent along the back surface, and the clean air after passing is uniformly discharged from the distributed exhaust section provided on the exhaust surface, so clean air swirls and stagnation may occur around the plate workpiece It is possible to effectively prevent the plate-like workpiece from being contaminated.
請求項2記載の発明によれば、分散給気部では、吸気ファンにより吸引されたクリーンエアを給気加圧室に一旦溜めてエア圧を高めることにより、給気分散板の通気孔から全面にわたって均一にクリーンエアを放出することができる。また板状ワークの積み重ね隙間を通過後のクリーンエアを、排気分散板の通気孔から排気調圧室に流入させるので、クリーンエアが滞留することなく格納室からスムーズに排気され、板状ワークが汚染されることがない。 According to the second aspect of the present invention, in the distributed air supply unit, the clean air sucked by the intake fan is temporarily stored in the air supply pressurizing chamber to increase the air pressure, so that the entire surface can be opened from the air holes of the air supply dispersion plate. Clean air can be discharged uniformly over the entire area. In addition, clean air after passing through the stacking gap between the plate-shaped workpieces flows into the exhaust pressure adjustment chamber from the vent holes of the exhaust dispersion plate, so that clean air is smoothly exhausted from the storage chamber without stagnation, and the plate-shaped workpiece is There is no contamination.
請求項3記載の構成によれば、格納室内のクリーンエアの一部を、ローラ用開口部から排気口に排出するので、移載ローラと搬器との摺接部や開閉扉の摺接部で発生した塵埃をスムーズに排出することができ、板状ワークの汚染を防止することができる。 According to the configuration of the third aspect, since a part of the clean air in the storage chamber is discharged from the roller opening to the exhaust port, the sliding contact portion between the transfer roller and the transporter and the sliding contact portion of the opening / closing door are used. The generated dust can be discharged smoothly, and contamination of the plate-like workpiece can be prevented.
請求項4記載の構成によれば、最上段の板状ワークの上方部に、クリーンエアが滞留しやすい大きい空間ができる場合、整流板昇降装置により可動整流板を下降し、最上段の板状ワークの上方に、クリーンエアを流送する整流用隙間を形成することにより、最上段の板状ワークの汚染を効果的に防止することができる。 According to the fourth aspect of the present invention, when there is a large space where clean air tends to stay in the upper part of the uppermost plate-like workpiece, the movable rectifier plate is lowered by the rectifier plate lifting device, and the uppermost plate-like workpiece is lowered. By forming a rectifying gap for flowing clean air above the workpiece, contamination of the uppermost plate-like workpiece can be effectively prevented.
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
[実施の形態1]
本発明に係る無人搬送車の換気装置を図1〜図4を参照して説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[Embodiment 1]
A ventilation device for an automatic guided vehicle according to the present invention will be described with reference to FIGS.
この無人搬送車1は、クリーンルームCR内の製造室や貯蔵庫などの出庫ゲートで、板状ワークWを保持したカセットなどの搬器2を格納室21に移載し、通路の通気床(走行用床面)F上を走行させて製造室や貯蔵庫などの入庫ゲートに搬器2を搬送するものである。
The automatic guided
搬器2は、図3に示すように、フラットパネルディスプレイやガラス基板などのような板状ワークWを数十枚、たとえば水平姿勢で一定の隙間(以下、積み重ね隙間Wdという)をあけて保持するもので、この搬器2は、積み重ね状の板状ワークWの対称側面である少なくとも前面と後面が開放され、板状ワークWの積み重ね隙間Wdの前面と後面の全面がそれぞれ開口されている。
As shown in FIG. 3, the
無人搬送車1の台車本体3の底部には、複数の操向用および走行駆動用の走行車輪4と、通気床Fに敷設された磁気テープなどからなる誘導路の位置識別部を検出する検出センサ5が設けられており、入力された搬送指令と、検出センサ5により位置識別部から検出された位置データとに基づいて、図示しない操向装置および走行駆動装置により、走行車輪4を操向および回転駆動し、無人搬送車1を出庫ゲートから目的の入庫ゲートまで走行する。
Detection at the bottom of the
台車本体3上には、搬器2を収容可能な格納室21が設けられている。そして台車本体3の左右側面(対向側面)に、シャッター(開閉扉)12を有する出し入れ口13がそれぞれ形成されている。なお、左右の出し入れ口13は、左右の一方の側面のみであってもよい。前記シャッター12は、上下方向に複数段に分割され連動して上下動可能な分割扉12aからなり、図示しないが、たとえば防塵用のプーリとタイミングベルトなどからなる開閉駆動装置により、分割扉12aを連動して昇降させ、出し入れ口13を開閉するように構成されている。
A
格納室21は、収容された搬器2の板状ワークWの積み重ね隙間Wdの前面(対向側面の一方)に対面する面を給気面21Fとし、積み重ね隙間Wdの後面(対向側面の他方)に対面する面を排気面21Rとしており、本発明に係る換気装置22は、給気面21Fに設けられた分散給気部24から板状ワークWの積み重ね隙間Wdの開口面全面に均一にクリーンエアAを放出して、全ての積み重ね隙間Wdに沿ってクリーンエアAをそれぞれ流送する。そして、通過後のクリーンエアAを排気面21Rの分散排気部25に均一に排出し、さらに排出後のクリーンエアAを分散排気部25から排気空間部26を介して台車本体3の底部の排気口23に排出する。排気口23から排気されるクリーンエアAは、クリーンルームCRの通路内のエアを吸引している通気床(床面)Fに排出される。
The
これにより、格納室21では、クリーンエアAを積み重ね隙間Wdに沿ってそれぞれ均一に流送することで、クリーンエアAの滞留を防止して板状ワークWの汚染を効果的に防止することができる。
As a result, in the
なお、格納室21の給気面21Fと排気面21Rとが前後逆であってもよい。
前記分散給気部24は、台車本体3の前面に開口された吸気口31と、この吸気口31に取り付けられた高効率粒子除去用のフィルタ32と、前記吸気口31からクリーンルームCRの通路内のエアを吸引して加圧する吸気ファン33と、クリーンエアAを所定のエア圧P1に保持する給気加圧室34と、給気加圧室34内のクリーンエアAを多数の通気孔から格納室21内に均一に放出する給気分散板35とを具備している。前記給気分散板35は、搬器21に保持された板状ワークWの積み重ね隙間Wdの前面全体に広がる大きさに形成されるとともに、全面に均一に多数の小径の通気孔が形成され、給気ファン33の能力と通気孔の開口率とにより、給気加圧室34のクリーンエアAのエア圧P1を保持可能に構成されている。
Note that the
The distributed
したがって、吸気ファン33によりフィルタ32を介して給気加圧室34に吸引されたクリーンエアAがエアP1に保持され、クリーンエアAを、給気分散板35の通気孔から板状ワークWの積み重ね隙間Wdの開口面に均一に供給することができる。
Therefore, the clean air A sucked into the supply
前記分散排気部25は、排気面21Rに配置された排気分散板36と、この排気分散板36の後面側に形成された中空状の排気調圧室37とで構成されている。前記排気分散板36は給気分散板35と同一の大きさに形成され、全面にわたって多数の小径の通気孔が均一に形成されている。排気分散板36の通気孔は、格納室21を給気加圧室34のエア圧P1より低く、かつクリーンルームCRの通路のエア圧Pより高いエア圧P2に保持することができる開口率に形成されている。これにより、搬器2に保持された板状ワークWの積み重ね隙間Wdの開口面から排出されるクリーンエアAを排気分散板36から排気調圧室37に均一に排出することができる。ここで、排気空間部26のエア圧をP3とすると、換気装置22と通路のクリーンエア圧の関係は、P1>P2>P3>Pとなる。
The
また格納室21の底板14には、前後両側に搬器2を案内する左右一対のガイドレール15が取り付けられている。そしてガイドレール15の内側の底板14に、幅方向に一定間隔毎にローラ用開口部16がそれぞれ形成され、これらローラ用開口部16に移載ローラ17がそれぞれ配置されている。そして、これら移載ローラ17は、図示しない移載用駆動装置により前後方向の軸心周りに回転駆動されて、搬器2を出し入れ口13から移載可能に構成されている。前記ローラ用開口部16は排気空間部26を介して排気口23に連通され、格納室21内のクリーンエアAの一部をローラ用開口部16から排気空間部26を介して排気口23に排出するように構成されている。この構成により、移載ローラ17と搬器2との摺接部やシャッター12の摺接部で発生する塵埃を、ローラ用開口部16から排気口23に排出することができる。
A pair of left and
格納室21内で、搬器2に保持された板状ワークWの高さが低い場合、最上段の板状ワークWの上方に広い空間が形成されるが、この広い空間は、クリーンエアAに渦流などが生じて滞留しやすく、板状ワークWが汚染されやすいという問題がある。これを解決するために、格納室21の天井部に、整流板昇降装置41により昇降自在な可動整流板42が配置されている。
In the
すなわち、最上段の板状ワークWの上方に、搬器2に保持された板状ワークWの積み重ね隙間Wdと同一間隔か、大きいが渦流を生じない程度の整流用隙間Wcをあけて可動整流板42を配置することにより、整流用隙間WcにクリーンエアAを流送することで最上段の板状ワークWの汚染を防止することができる。
That is, a movable rectifying plate is provided above the uppermost plate-like workpiece W with a rectifying gap Wc that is the same interval as the stacking gap Wd of the plate-like workpieces W held by the
前記整流板昇降装置41は、図4に示すように、格納室21の天井板21aの少なくとも四隅位置から可動整流板42に、吊下用ばね41aが内挿された蛇腹状の伸縮筒41bを連結し、台車本体1に搭載したエアユニット(図示せず)から加圧エアをポート41cを介して伸縮筒41bに供給、排出することにより、吊下用ばね41aに抗して伸縮筒41bを進展、収縮させ、可動整流板42を昇降させることにより、整流用隙間Wcを形成することができる。
As shown in FIG. 4, the rectifying plate lifting / lowering
また図5は整流板昇降装置の他の実施の形態を示す。この整流板昇降装置51は、格納室21の天井板21aから格納室21の四隅位置近傍に垂設されたボールねじ軸51aと、可動整流板42の四隅位置に取り付けられてボールねじ軸51aにそれぞれ螺合する雌ねじ部材52bと、前記ボールねじ軸51aを減速機51cを介して回転駆動する昇降用モータ51dなどの防塵仕様の構成部材で構成されている。これにより、先の整流板昇降装置41と同様の作用効果を奏することができる。
FIG. 5 shows another embodiment of the current plate elevating device. This rectifying plate lifting / lowering
さらに整流板昇降装置のさらに他の実施の形態として、シャッター12の開閉駆動装置と同様に、防塵用のタイミングベルトとプーリとで構成することもできる。
上記実施の形態によれば、格納室21の換気装置22を、給気面21Fの分散給気部24から、クリーンエアAを板状ワークWの前面で積み重ね隙間Wdの開口面全面に均一に吹き込み、各板状ワークWの表面と裏面に沿ってクリーンエアを流送し、積み重ね隙間Wdを通過後のクリーンエアAを排気面21Rの分散排気部25から均一に排出するように構成したので、板状ワークAの積み重ね隙間Wd内にクリーンエアAの渦流が生じたり、滞留することがなく、板状ワークWが汚染されるのを効果的に防止することができる。
Furthermore, as still another embodiment of the rectifying plate lifting / lowering device, similarly to the opening / closing driving device of the
According to the above-described embodiment, the
また分散給気部24では、吸気ファン33により吸引されたクリーンエアAを給気加圧室34に一旦溜めてエア圧を高めることにより、給気分散板35の通気孔から均一にクリーンエアAを放出することができる。また板状ワークWの積み重ね隙間Wdを通過後のクリーンエアAを、排気分散板36の通気孔から均一に排気調圧室37にスムーズに排気することができ、板状ワークWが汚染されるのを防止することができる。
In the distributed
さらに格納室21内のクリーンエアAの一部を、ローラ用開口部16から排気空間部26を介して排気口23に排出するので、移載ローラ17と搬器2との摺接部やシャッター12の摺接部で発生した塵埃を、格納室21からスムーズに排出することができ、板状ワークWの汚染を防止することができる。
Further, since a part of the clean air A in the
さらにまた最上段の板状ワークWの上方にクリーンエアAが滞留しやすい大きい空間が生じた場合、整流板昇降装置41により可動整流板42を下降して、可動整流板42と最上段の板状ワークWとの間にクリーンエアAを流送する整流用隙間Wcを形成することにより、整流用隙間WcにクリーンエアAを流送することができ、最上段の板状ワークWの汚染を効果的に防止することができる。
Furthermore, when a large space in which clean air A is likely to stay is formed above the uppermost plate-like workpiece W, the
なお、上記実施の形態の搬器2では、水平姿勢の複数の板状ワークWを上下方向に複数段に積み重ね隙間Wdをあけて保持させたが、図6に示すように、垂直姿勢の複数の板状ワークWを、幅方向(左右方向)に積み重ね隙間Wdをあけて積み重ね状に保持させてもよいし、また図7に示すように、傾斜姿勢の複数の板状ワークWを、幅方向(左右方向)に積み重ね隙間Wdをあけて積み重ね状に保持させてもよい。
In the
W 板状ワーク
Wd 積み重ね隙間
Wc 整流用隙間
A クリーンエア
CR クリーンルーム
F 通気床
1 無人搬送車
2 搬器
3 台車本体
4 走行車輪
12 シャッター
13 出し入れ口
14 床板
15 ガイドレール
16 ローラ用開口部
17 移載ローラ
21 格納室
21F 給気面
21R 排気面
22 換気装置
23 排気口
24 分散給気部
25 分散排気部
26 排気空間部
31 吸気口
32 フィルタ
33 吸気ファン
34 給気加圧室
35 給気分散板
36 排気分散板
37 排気調圧室
41 整流板昇降装置
42 可動整流板
W Plate-like work Wd Stacking gap Wc Rectification gap A Clean air CR Clean room F Ventilated
Claims (4)
走行車輪を有する台車本体に、少なくとも対称側面に板状ワークの積み重ね隙間が開口するように板状ワークを保持する搬器の格納室を設け、
格納室で板状ワークの積み重ね隙間が開口される対称側面が対面する対向側面の一方を給気面とするとともに、他方を排気面とし、
格納室の他の組の一対の対向側面の少なくとも一方に、開閉扉を有する出し入れ口を形成し、
前記給気面に、クリーンルームから吸引されたクリーンエアを、板状ワークの積み重ね隙間の全面に均一に放出する分散給気部を設け、
前記排気面に、板状ワークの積み重ね隙間から排出されるクリーンエアを均一に排出する分散排気部を設け、
台車本体の底部に、前記分散排気部から排出されるクリーンエアを走行用床面に向かって排出する排気口を設けた
ことを特徴とする無人搬送車の換気装置。 In a clean room, a ventilator for an automatic guided vehicle for transporting a transporter that holds a plurality of plate-shaped workpieces in a stacked state with a predetermined gap therebetween,
The carriage body having the traveling wheels is provided with a storage chamber for a carrier for holding the plate-like workpiece so that the stacking gap of the plate-like workpiece is opened at least on the symmetrical side surface,
One of the opposing side surfaces facing the symmetrical side surface where the stacking gap of the plate-like workpieces is opened in the storage chamber is the air supply surface, and the other is the exhaust surface
At least one of a pair of opposing side surfaces of the other pair of storage chambers is formed with a doorway having an opening and closing door,
The air supply surface is provided with a distributed air supply unit that uniformly discharges clean air sucked from a clean room to the entire surface of the stack of plate-like workpieces,
The exhaust surface is provided with a distributed exhaust part that uniformly exhausts clean air discharged from the stacking gap of the plate-like workpieces,
A ventilator for an automated guided vehicle, characterized in that an exhaust port for discharging clean air discharged from the distributed exhaust unit toward the traveling floor is provided at the bottom of the cart body.
分散排気部は、多数の通気孔からクリーンエアを均一に排出する排気分散板と、当該排気分散板から排出したクリーンエアのエア圧を調整する排気調圧室とを具備した
ことを特徴とする請求項1記載の無人搬送車の換気装置。 The distributed air supply unit includes an air intake opening that is opened on the outer surface of the carriage body, an air intake fan that sucks and pressurizes clean air filtered from the air intake opening through a filter, and a air supply that maintains the air pressure of the clean air. An air pressurization chamber, and an air supply dispersion plate having a large number of ventilation holes for uniformly discharging clean air in the supply air pressurization chamber to the storage chamber,
The dispersion exhaust section includes an exhaust dispersion plate that uniformly discharges clean air from a large number of vent holes, and an exhaust pressure adjustment chamber that adjusts the air pressure of the clean air discharged from the exhaust dispersion plate. The ventilation device of the automatic guided vehicle according to claim 1.
前記ローラ用開口部と排気口とを連通して、格納室のクリーンエアの一部を排気口から排出するように構成した
ことを特徴とする請求項1または2記載の無人搬送車の換気装置。 A plurality of transfer rollers for guiding the transporter are provided in a plurality of roller openings formed in the bottom plate of the storage chamber,
The ventilator for an automatic guided vehicle according to claim 1 or 2, wherein the roller opening and the exhaust port are communicated with each other so that a part of clean air in the storage chamber is discharged from the exhaust port. .
格納室の天井部に、昇降自在な可動整流板と、当該可動整流板を昇降して可動整流板と最上段の板状ワークとの間にクリーンエアを流送可能な整流用隙間を形成する整流板昇降装置とを設けた
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の無人搬送車の換気装置。 Have the transporter hold a plurality of plate-like workpieces in a horizontal posture in the vertical direction with a gap,
A movable rectifying plate that can be moved up and down and a rectifying gap capable of flowing clean air between the movable rectifying plate and the uppermost plate-like work are formed on the ceiling portion of the storage chamber by raising and lowering the movable rectifying plate. A ventilation device for an automatic guided vehicle according to any one of claims 1 to 3, further comprising a rectifying plate lifting device.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012089645A (en) * | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Muratec Automation Co Ltd | Article conveyance vehicle |
WO2013157462A1 (en) * | 2012-04-16 | 2013-10-24 | ローツェ株式会社 | Accommodating container, shutter opening and closing unit for accommodating container, and wafer stocker using same |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11301475A (en) * | 1998-04-22 | 1999-11-02 | Toyota Autom Loom Works Ltd | Carrying vehicle |
JP2003174073A (en) * | 2001-09-25 | 2003-06-20 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | Clean guided vehicle |
-
2007
- 2007-05-28 JP JP2007139817A patent/JP5183097B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11301475A (en) * | 1998-04-22 | 1999-11-02 | Toyota Autom Loom Works Ltd | Carrying vehicle |
JP2003174073A (en) * | 2001-09-25 | 2003-06-20 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | Clean guided vehicle |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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