JP2008290357A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 複数のマイクロレンズを有するマイクロレンズアレイの製造方法であって、
   基材に複数の貫通孔を形成する第１の工程と、
   前記複数の貫通孔の一方の端部を蓋材で塞ぐ第２の工程と、
   前記貫通孔の一方の端部を真球状の球体である蓋材で塞いだ状態で、前記貫通孔の他方の端部から前記貫通孔内に樹脂を注入する第３の工程と、
   前記樹脂を硬化させることにより、前記樹脂に前記蓋材の表面形状を転写した成形面を形成する第４の工程と、
   前記樹脂から前記蓋材を除去することで、前記複数の貫通孔の各々に形成された成形面を有する基材をマイクロレンズアレイの成形型として作製する第５の工程と、
   前記成形型を用いて前記マイクロレンズアレイを製造する第６の工程を含むことを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
2. 前記複数の貫通孔をそれぞれ１個おき又は複数個おきに配置された複数の貫通孔からな
   る複数のグループに分け、それぞれのグループ毎に前記第２の工程から前記第５の工程を
   繰り返すことにより、全ての貫通孔に対して前記成形面を形成することを特徴とする請求
   項１に記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
3. 前記第２の工程では、複数の前記蓋材が配置された台の上に前記基材を載せ、前記基材と前記台との間で前記複数の蓋材を移動させることにより、前記複数の貫通孔の各々の端部に前記蓋材を嵌め込ませることを特徴とする請求項２１に記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
4. 前記第３の工程では、脱気処理することを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
5. 前記樹脂が紫外線硬化樹脂であり、
   前記第４の工程では、前記貫通孔の他方の端部から前記樹脂に紫外線を照射することにより硬化が行われることを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
6. 前記第５の工程では、前記基材の成形面に金属薄膜を成膜し、前記金属薄膜を含む基材を成形型として作製することを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
7. 前記蓋材の表面に離型処理が施されていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
8. 前記成形面の深さが１００μｍよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズアレイの製造方法。