JP2008288987A - Ccd型固体撮像素子の駆動方法並びに撮像装置 - Google Patents

Ccd型固体撮像素子の駆動方法並びに撮像装置 Download PDF

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Abstract

【課題】1画面の撮像画像中の暗所部分(低輝度部分)の暗電流ノイズを低減する。
【解決手段】電荷転送路に形成された電位パケットA(B)内に光電変換素子の検出電荷を読み出し該検出電荷を電荷転送路に沿って転送するCCD型固体撮像素子の駆動方法において、電位パケット間を画成する仕切バリアCより障壁高さが低い分割バリアDを該電位パケットA(B)の一端から他端側に移動させることで該電位パケットA(B)内の電荷の存在範囲を狭めながら該電位パケットA(B)を複数の分割パケットA1,A2(B1,B2)に分割し、その後に、前記転送を行う。
【選択図】図3

Description

本発明は、CCD(Charge Coupled Device:電荷結合素子)型固体撮像素子の駆動方法並びに撮像装置に係り、特に、撮像画面中の低輝度画像部分に含まれる暗電流成分を低減するのに好適なCCD型固体撮像素子の駆動方法並びに撮像装置に関する。
CCD型固体撮像素子は、光電変換素子が検出した信号電荷を、電荷転送路で転送し出力する構成になっている。このため、電荷転送中に、信号電荷に暗電流が混入してしまうという問題がある。暗電流の影響は、信号成分つまり信号電荷量が少ないほど大きく、信号電荷量が多い高輝度な画像では暗電流が少し混入しても影響は小さい。
そこで、例えば下記特許文献1記載の従来技術では、カメラで被写体を撮像するときに、ISO感度等の撮影条件によって入射光量が少ないと判断できるときは電荷転送を行う電位パケットの容量つまり転送電極数を少なくし、入射光量が多いと判断できるときは電位パケットの容量を大きくし、入射光量が少ないときの暗電流の混入を低減する様にしている。
暗電流の発生量は、電位パケットの容量が大きいほど多くなるため、特許文献1記載の様に、入射光量が少なく信号電荷量が少ないときに電位パケット容量を小さくすれば、暗電流の発生量を減らしS/Nを向上させることができる。
特開2005―286470号公報
上述したように、入射光量が少ないときに電荷転送に用いる電位パケットの容量を減らせば、暗電流を低減することができる。しかし、特許文献1記載の従来技術では、入射光量が多い/少ないという撮影条件により、電位パケットの容量の大/小を一律に制御しているため、例えば、入射光量が多い撮影条件下で撮影した高輝度な被写体画像の影の部分の暗い画像部分に含まれる暗電流成分が信号電荷量に対して相対的に増加してしまい、高輝度画像部分のS/Nは高いが、暗所の低輝度画像部分のS/Nが劣化し、画面全体で高品質な画像を得ることができないという問題が生じる。
この問題は、入射光量が多い撮影条件下でも電位パケットの容量をある程度小さくすることで解決できるが、そうすると、高輝度画像の飽和信号電荷量を減らさなければならず、画像のダイナミックレンジが狭くなってしまうという別の問題が発生する。
本発明の目的は、画像のダイナミックレンジを狭くすることなく、画面全体で高品質な被写体画像を撮像することができるCCD型固体撮像素子の駆動方法及び撮像装置を提供することにある。
本発明のCCD型固体撮像素子の駆動方法は、電荷転送路に形成された電位パケット内に光電変換素子の検出電荷を読み出し該検出電荷を前記電荷転送路に沿って転送するCCD型固体撮像素子の駆動方法において、前記電位パケット間を画成する仕切バリアより障壁高さが低い分割バリアを該電位パケットの一端から他端側に移動させることで該電位パケット内の電荷の存在範囲を狭めながら該電位パケットを複数の分割パケットに分割し、その後に、前記転送を行うことを特徴とする。
本発明のCCD型固体撮像素子の駆動方法は、前記分割バリアの障壁高さを前記仕切バリアと同じにしてから前記転送を行うことを特徴とする。
本発明のCCD型固体撮像素子の駆動方法は、前記分割バリアの移動方向を前記転送の方向と同方向にすることを特徴とする。
本発明のCCD型固体撮像素子の駆動方法は、前記複数の分割パケットを同容量とすることを特徴とする。
本発明の撮像装置は、二次元アレイ状に配列形成された複数の光電変換素子及び各光電変換素子の検出電荷が読み出されて転送する電位パケットが形成される電荷転送路を有するCCD型固体撮像素子と、前記転送前に前記電位パケット間を画成する仕切バリアより障壁高さが低い分割バリアを該電位パケットの一端から他端側に移動させることで該電位パケット内の電荷の存在範囲を狭めながら該電位パケットを複数の分割パケットに分割しその後に前記転送を行う駆動制御手段とを備えることを特徴とする。
本発明の撮像装置の前記駆動制御手段は、前記分割バリアの障壁高さを前記仕切バリアと同じにしてから前記転送を行うことを特徴とする。
本発明の撮像装置の前記駆動制御手段は、前記分割バリアの移動方向を前記転送の方向と同方向に制御することを特徴とする。
本発明の撮像装置の前記駆動制御手段は、前記複数の分割パケットを同容量に制御することを特徴とする。
本発明の撮像装置は、更に、前記光電変換素子毎に、同一電位パケットを分割した複数の分割パケットの夫々によって転送されてきた電荷から得られる信号を合成処理して各光電変換素子毎の撮像画像データを生成する信号処理手段を備えることを特徴とする。
本発明の撮像装置の前記信号処理手段は、一つの電位パケットを分割した複数の分割パケットのうちいずれかの分割パケットが空パケットになると判断した場合には空パケットとならない分割パケットによって転送されてきた電荷から得られた信号だけを該電位パケットに対応する前記光電変換素子の撮像画像データとし該空パケットから得られた信号を加算しないことを特徴とする。
本発明の撮像装置の前記信号処理手段は、一つの電位パケットを分割した複数の分割パケットのうちいずれかの分割パケットが空パケットになると判断した場合には該空パケットにより転送されてきた電荷から得られる信号を暗電流ノイズ信号として他の分割パケットにより転送されて来た電荷から得られる信号を補正することを特徴とする。
本発明の撮像装置の前記信号処理手段は、一つの電位パケットを分割した複数の分割パケットのうちどの分割パケットも空パケットにならないと判断した場合には各分割パケットによって転送されてきた電荷から得られる信号を加算して該電位パケットに対応する光電変換素子の撮像画像データとすることを特徴とする。
本発明によれば、転送するときの電位パケット容量を小さくするため、信号電荷に混入する暗電流を低減することが可能となる。また、分割パケットのうち空パケットが生じた場合には空パケットの信号を加算しないため、1画面の撮像画像のうち低輝度部分(暗所部分)の暗電流を削減することが可能となり、高品質の画像を撮像することが可能となる。
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るデジタルスチルカメラの構成図である。この実施形態ではデジタルスチルカメラを例に説明するが、デジタルビデオカメラや携帯電話機等の小型電子機器に搭載されたカメラ等の他の種類のデジタルカメラにも本発明を適用可能である。
図1に示すデジタルスチルカメラは、撮影レンズ10と、CCD型固体撮像素子11と、この両者の間に設けられた絞り及びメカニカルシャッタ12と、赤外線カットフィルタ13と、光学ローパスフィルタ14とを備える。デジタルスチルカメラの全体を制御するCPU15は、フラッシュ用の発光部16及び受光部17を制御し、また、レンズ駆動部18を制御して撮影レンズ10の位置をフォーカス位置に調整し、絞り及びシッャタ駆動部19を介し絞りの開口量を制御して露光量が適正露光量となるように調整すると共にメカニカルシャッタの閉タイミングを制御する。
また、CPU15は、撮像素子駆動部20を介して、固体撮像素子11を、詳細は後述するようにして駆動し、撮影レンズ10を通して撮像した被写体画像を色信号として出力させる。また、CPU15には、操作部21を通してユーザの指示信号が入力され、CPU15はこの指示に従って各種制御を行う。
CPU15は各種データを設定しておくROM15aを備え、このROM15a内に、詳細は後述する分割電位パケットの飽和容量の大きさが設定されている。
操作部21はシャッタボタンを含み、シャッタボタンが半押し状態(スイッチS1)になったときにフォーカス調整等が為されると共に、シャッタボタンが全押し状態(スイッチS2)になると、撮像が行われる。
デジタルスチルカメラの電気制御系は、固体撮像素子11の出力に接続されたアナログ信号処理部22と、このアナログ信号処理部22から出力されたRGBの色信号をデジタル信号に変換するA/D変換回路23とを備え、これらはCPU15によって制御される。
更に、このデジタルスチルカメラの電気制御系は、メインメモリ24に接続されたメモリ制御部25と、デジタル信号処理部26と、撮像画像をJPEG画像に圧縮したり圧縮画像を伸張したりする圧縮伸張処理部27と、測光データを積算してホワイトバランスのゲインを調整させる積算部28と、着脱自在の記録媒体29が接続される外部メモリ制御部30と、カメラ背面等に搭載された液晶表示部31が接続される表示制御部32とを備え、これらは、制御バス33及びデータバス34によって相互に接続され、CPU15からの指令によって制御される。
図2は、図1に示すCCD型固体撮像素子の表面模式図である。図2(a)は光電変換素子(フォトダイオードPD:画素)42が、所謂、ハニカム画素配列された固体撮像素子、即ち、奇数行の画素42に対して偶数行の画素42が1/2ピッチずらして配列された固体撮像素子を示している。図2(b)は、光電変換素子42が正方格子配列された固体撮像素子を示している。
本実施形態に係るデジタルスチルカメラでは、図2(a),(b)のいずれの固体撮像素子にも適用可能であり、また、垂直電荷転送路を備える他の形式の固体撮像素子にも適用可能である。
垂直方向に並ぶ光電変換素子列に沿って、周知の構成の垂直電荷転送路(VCCD)41が形成されており、各垂直電荷転送路41の端部に沿って水平電荷転送路(HCCD)43が形成され、水平電荷転送路43の出力端部に、転送されてきた信号電荷量に応じた電圧値信号を出力する出力アンプ44が設けられている。
図2に示す各垂直電荷転送路41に沿って夫々一列に並べられたV1,V2,…は、垂直電荷転送路41の転送電極を示している。従来の場合、例えば、連続する転送電極V1,V2,V3下に電位パケットを形成し、この電位パケット内に、転送電極V1脇の光電変換素子42の検出電荷を読み出す。
そして、この3電極分の電位パケットの長さを、水平電荷転送路43方向に1電極分つまり電極V1,V2,V3,V4下に伸ばし、次に、電位パケットを電極V2,V3,V4下に縮め、次に、電位パケットを電極V2,V3,V4,V5に伸ばし、次に、電位パケットを電極V3,V4,V5下に縮め、という伸縮動作を繰り返すことで、水平電荷転送路43まで信号電荷を転送する様にしている。
上記の従来の転送駆動の説明では、説明を簡単にするために、電位パケット容量を少なくとも3電極分としたが、垂直電荷転送路の幅が光電変換素子の受光面積に対して狭く製造された固体撮像素子では、更に多数の連続する電極分の長さを有する電位パケットを形成する必要があり、これを伸縮しながら信号電荷の転送を行うことになる。
図3は、本発明の一実施形態に係る垂直電荷転送路の駆動方法を説明する図である。
先ず、図1のCPU15は、撮像素子駆動部20に対して制御指令を出力し、図3(a)に示す様に、連続する複数電極に対し、例えば0Vの中間電圧を印加して容量の大きい(長さの長い)電位パケットを形成し(図3(a)には、2つの電位パケットA,Bを図示している。)、電位パケット間の電極に対し、例えば−8Vの低電圧を印加することで、電位パケット間を画成する仕切バリアCを形成する。
そして、各電位パケット脇の1つの光電変換素子に隣接する読出電極兼用の転送電極に対し、例えば+15Vの高電圧を印加する(図示せず)ことで、この光電変換素子の検出電荷を隣接する電位パケット内に読み出す。
図示する例では、電位パケットAには、1画面を構成する被写体画像のうち高輝度部分を撮像した光電変換素子の蓄積電荷(信号電荷量が多い)が読み出され、電位パケットBには、この被写体画像のうち低輝度部分(例えば影の部分)を撮像した光電変換素子の蓄積電荷(信号電荷量が少ない)が読み出された状態を示している。
この電位パケットA,Bを、単に伸縮しながら水平電荷転送路の方向(図示の左側の方向)に転送したのでは、電位パケットA,Bの長さが長いため、各パケットA,B内の信号電荷に混入する暗電流分が多くなってしまう。
また、暗電流の発生量は、電荷を転送する時間にも比例するため、電荷転送前の早い段階、つまり信号電荷を電位パケット内に読み出した直後に、電位パケットAを2つの電位パケットA1,A2に分割し、電位パケットBを2つの電位パケットB1,B2に分割し、その後に、水平電荷転送路の方向に転送駆動する。
そこで先ず、図3(b)に示す様に、各電位パケットA,Bの転送方向後端の電極に対し、中間電位(上記例では0V)より若干低い電圧、例えば−2Vを印加して、電位パケットA,B間を画成する仕切バリアCより若干低い分割バリアDを形成し、各電位パケットA,B内の信号電荷を、転送方向前方向に集める。
更に、−2Vを印加した電極に対し転送方向前方に隣接する電極にも−2Vを印加して分割バリアDの幅を増加させ、図3(c)に示す様に、各電位パケットA,B内の信号電荷を転送方向前方に集める。
次に、図3(d)に示す様に、仕切バリアCに隣接する−2Vを印加している電極の印加電圧を−8Vにして第2の分割電位パケットA2,B2を形成する。以後、図3(e)(f)(g)と、分割バリアDの形成電極数を2電極→1電極→2電極と変化させて、分割バリアDを図3(a)の各電位パケットA,Bの中央位置に持ってくる。
これにより、電位パケットAは、電位パケットA内の信号電荷を転送方向前方に寄せ集めながら同容量の2つの分割電位パケットA1,A2に分割される。このとき、図示する例では、電位パケットA内の信号電荷量は、第1の分割電位パケットA1の容量より多いため、超過した信号電荷は、仕切バリアCより低い分割バリアDを越えて第2の分割電位パケットA2に流れ込むことになる。
電位パケットBも同様に第1,第2の分割電位パケットB1,B2に分割されるが、図示する例では、電位パケットB内の信号電荷量は、分割電位パケットB1の容量より少ないため、第2の分割電位パケットB2は空パケットとなる。
本実施形態では、以上述べた様にして、各電位パケットA,Bを夫々2つの分割パケットに分割し、各信号電荷を、第1分割パケットA1,B1内の第1信号成分と、第2分割パケットA2,B2内の第2信号成分とに分ける(図4(a)=図3(g))。
そして、図4(b)に示す様に、分割バリアDの高さを仕切バリアCの高さと同じにし、各電位パケットB1,B2,A1,A2の長さを、図4(c)(d)に示す様に伸縮しながら、水平電荷転送路まで転送し、次に水平電荷転送路に沿って出力アンプまで転送し、出力アンプから、電圧値信号を出力する。尚、バリアDの高さをバリアCと同一にする必要はないが、同一とすることで、2値の信号で生成される転送パルスの作成が容易となる。
出力アンプからは、電位パケットB1により転送されてきた電荷の電荷量に応じた電圧値信号、電位パケットB2により転送されてきた電荷の電荷量に応じた電圧値信号、電位パケットA1により転送されてきた電荷の電荷量に応じた電圧値信号、電位パケットA2により転送されてきた電荷の電荷量に応じた電圧値信号が出力され、これらが図1のアナログ信号処理部22により処理され、デジタル変換された後、メインメモリ24に格納される。
デジタル信号処理部26は、分割電位パケットA1,B1により転送され出力された第1信号成分に対して、分割電位パケットA2,B2により転送された第2信号成分を、次の様に加減算処理することで、撮像画像データを合成する。
図5は、デジタル信号処理部26が実行する第1実施形態に係る合成処理手順を示すフローチャートである。先ず、半導体基板の受光面上の座標(x,y)位置にある画素の第1信号成分と第2信号成分とをメインメモリ24から取り出し、第1信号成分が閾値より小であるか否かを判定する(ステップS1)。閾値は、図1のROM15aに予め格納されており、分割電位パケット(A1,B1,A2,B2)の飽和電荷容量(図3(g)の状態における容量)を示している。
第1信号成分が閾値より小の場合(判定結果が肯定(Yes)の場合)には、元々の信号電荷量が少なく、図4(d)の電位パケットB1,B2に示す状態で転送されて来たと判断できる。即ち、第2の分割電位パケットB2は空パケットであり、信号電荷は分割パケットB2には無いと判断できる。そこで、ステップS2に進み、第1信号成分を、(x,y)画素の撮像画像データとして出力する。
ステップS1の判定の結果、第1信号成分が閾値以上の場合(判定結果が否定(No)の場合)には、元々の信号電荷量が多く、図4(d)の電位パケットA1,A2に示す状態で転送されて来たと判断でする。即ち、第2の分割電位パケットA2にも信号電荷が入っていると判断できる。そこで、この場合にはステップS3に進み、第1信号成分に第2信号成分を加算し、この加算値を座標(x,y)位置の画素の撮像画像データとして出力する(ステップS4)。
図6は、デジタル信号処理部26が実行する第2実施形態に係る合成処理手順を示すフローチャートである。本実施形態では先ず、半導体基板の受光面上の座標(x,y)位置にある画素の第1信号成分と第2信号成分とをメインメモリ24から取り出し、第2信号成分が“0”(と判断できる或る閾値以下)であるか否かを判定する(ステップS11)。
第2信号成分が“0”の場合(判定結果が肯定(Yes)の場合)には、元々の信号電荷量が少なく、図4(d)の電位パケットB1,B2に示す状態で信号電荷が転送されてきたと判断できる。即ち、電位パケットB2は空パケットであると判断できる。そこで、ステップS12に進み、第1信号成分を、座標(x,y)位置の画素の撮像画像データとして出力する。
ステップS11の判定の結果、第2信号成分が“0”で無い場合(判定結果が否定(No)の場合)には、元々の信号電荷量が多く、図4(d)の電位パケットA1,A2に示す状態で信号電荷が転送されてきたと判断できる。即ち、電位パケットA1,A2の両方に信号電荷が入っていると判断できる。そこで、この場合にはステップS13に進み、第1信号成分に第2信号成分を加算し、この加算値を座標(x,y)位置の画素の撮像画像データとして出力する(ステップS14)。
図5,図6の画像合成処理において、図4(d)に示す電位パケットA1と電位パケットA2の2つの電位パケットで転送されて来た信号電荷の合計が、本来の信号電荷量である。この合計の信号電荷を、図3(a)に示す容量の大きい(長さの長い)電位パケットAで転送したときに比べて、電位パケットA1,A2を構成する電極数が電位パケットAを構成する電極数より少ないため、それだけ、信号電荷に含まれる暗電流が少なくなり、高品質な画像データを得ることが可能となる。
電位パケットB1,B2も同様であるが、電位パケットB1,B2で転送されてきた場合には電位パケットB2の信号は加算しないため、加算した場合に比べて暗電流分が1/2となり、1画面の撮像画像のうち影などの暗所部分の更なるノイズ低減を図ることが可能となる。
図7は、デジタル信号処理部26が実行する第3実施形態に係る合成処理手順を示すフローチャートである。この実施形態では、先ず、半導体基板の受光面上の座標(x,y)位置にある画素の第1信号成分と第2信号成分とをメインメモリ24から取り出し、第1信号成分が閾値より小であるか否かを判定する(ステップS31)。この閾値は、第1実施形態と同様に、図1のROM15aに予め格納されており、分割電位パケット(A1,B1,A2,B2)の飽和電荷容量の大きさを示している。
第1信号成分が閾値より小の場合(判定結果が肯定(Yes)の場合)には、元々の信号電荷量が少なく、図4(d)の電位パケットB1,B2に示す状態で信号電荷が転送されてきた判断できる。即ち、電位パケットB2は空パケットでありね信号電荷はパケットB2には無いと判断できる。
空パケットを転送する場合でも、空パケットで発生した暗電流分の電荷がこの空パケット内に保持され転送される。即ち、出力アンプからは、暗電流ノイズ分の信号が第2信号成分として出力される。
分割電位パケットB2に混入する暗電流と、その直前に転送される分割電位パケットB1に混入する暗電流とは、同量であると判断できる。そこで、本実施形態では、ステップS31の判定の結果が肯定(Yes)の場合、第1信号成分から第2信号成分を減算し(ステップS32)、減算結果を、座標(x,y)位置の画素の撮像画像データとして出力する(ステップS33)。
ステップS31の判定の結果、第1信号成分が閾値以上の場合(判定結果が否定(No)の場合)には、元々の信号電荷量が多く、図4(d)の電位パケットA1,A2に示す状態で信号電荷が転送されてきた判断できる。即ち、電位パケットA2にも信号電荷が入っていると判断できる。そこで、この場合には、第1信号成分に第2信号成分を加算し(ステップS34)、この加算値を、座標(x,y)位置の画素の撮像画像データとして出力する(ステップS35)。
この様に、本実施形態によれば、分割電位パケットB1の信号から暗電流分を減算するため、第1,第2実施形態の合成処理に比べて更に暗所部分のノイズを低減することが可能となる。
高輝度画像部分は、暗電流のノイズ成分を除去をしなくても、元々の信号量が多いため、S/Nが高い撮像画像データを得ることができる。しかし、高輝度画像部分の信号電荷を転送する電位パケットA1,A2の近隣に、電位パケットB2の空パケットが存在した場合には、この空パケットで転送されてきた暗電流ノイズ成分を検出することができるため、このノイズ成分で、近隣の高輝度画像部分を補正し、高輝度画像部分のS/Nを更に高めることも可能である。
尚、以上述べた実施形態では、1つの電位パケットを2つの同容量の分割パケットに分割したが、3つの以上に分割し転送する構成とすることでも良く、また、必ずしも同容量である必要もない。
また、実施形態では、1画素分の信号電荷を読み出す1つの電位パケットA(またはB)を、転送方向後端側から転送方向に向かって分割バリアCを移動させて該電位パケットA(またはB)を等量の分割パケットA1,A2(またはB1,B2)に分割した。
しかし、これは、信号電荷を該電位パケットA(またはB)内で押し縮める方向を転送方向と同一にした方が、転送不良が少なくなり高画質化を図ることができるためであるが、転送不良の少ない電荷転送路であれば、信号電荷を押し縮める方向を転送方向と逆にしても良い。
本発明に係るCCD型固体撮像素子の駆動方法は、撮像画像の広ダイナミックレンジを保ったまま画面中の暗所部分の暗電流ノイズを低減できるため、高品質な画像を撮像することが可能となり、デジタルカメラ等に適用すると有用である。
本発明の一実施形態に係るデジタルスチルカメラのブロック構成図である。 図1に示す固体撮像素子の一例を示す表面模式図である。 図1に示す固体撮像素子の垂直転送前における垂直転送路の駆動方法を示すタイミングチャートである。 図3の駆動方法の後に行われる垂直転送の様子を示すタイミングチャートである。 図4の垂直転送によって得られた第1信号成分と第2信号成分とにより画像合成処理を行うときの第1例に係るフローチャートである。 図4の垂直転送によって得られた第1信号成分と第2信号成分とにより画像合成処理を行うときの第1例に係るフローチャートである。 図4の垂直転送によって得られた第1信号成分と第2信号成分とにより画像合成処理を行うときの第3例に係るフローチャートである。
符号の説明
11 CCD型固体撮像素子
15 CPU(演算処理制御装置)
15a ROM
26 デジタル信号処理部(DSP)
41 垂直電荷転送路(VCCD)
42 フォトダイオード(PD:光電変換素子)
43 水平電荷転送路(HCCD)
44 出力アンプ
A,B 電位パケット
A1,A2,B1,B2 分割電位パケット
C 電位パケット間の仕切バリア
D 分割電位パケット間の分割バリア

Claims (12)

  1. 電荷転送路に形成された電位パケット内に光電変換素子の検出電荷を読み出し該検出電荷を前記電荷転送路に沿って転送するCCD型固体撮像素子の駆動方法において、前記電位パケット間を画成する仕切バリアより障壁高さが低い分割バリアを該電位パケットの一端から他端側に移動させることで該電位パケット内の電荷の存在範囲を狭めながら該電位パケットを複数の分割パケットに分割し、その後に、前記転送を行うことを特徴とするCCD型固体撮像素子の駆動方法。
  2. 前記分割バリアの障壁高さを前記仕切バリアと同じにしてから前記転送を行うことを特徴とする請求項1に記載のCCD型固体撮像素子の駆動方法。
  3. 前記分割バリアの移動方向を前記転送の方向と同方向にすることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のCCD型固体撮像素子の駆動方法。
  4. 前記複数の分割パケットを同容量とすることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のCCD型固体撮像素子の駆動方法。
  5. 二次元アレイ状に配列形成された複数の光電変換素子及び各光電変換素子の検出電荷が読み出されて転送する電位パケットが形成される電荷転送路を有するCCD型固体撮像素子と、前記転送前に前記電位パケット間を画成する仕切バリアより障壁高さが低い分割バリアを該電位パケットの一端から他端側に移動させることで該電位パケット内の電荷の存在範囲を狭めながら該電位パケットを複数の分割パケットに分割しその後に前記転送を行う駆動制御手段とを備えることを特徴とする撮像装置。
  6. 前記駆動制御手段は、前記分割バリアの障壁高さを前記仕切バリアと同じにしてから前記転送を行うことを特徴とする請求項5に記載の撮像装置。
  7. 前記駆動制御手段は、前記分割バリアの移動方向を前記転送の方向と同方向に制御することを特徴とする請求項5または請求項6に記載の撮像装置。
  8. 前記駆動制御手段は、前記複数の分割パケットを同容量に制御することを特徴とする請求項5乃至請求項7のいずれかに記載の撮像装置。
  9. 前記光電変換素子毎に、同一電位パケットを分割した複数の分割パケットの夫々によって転送されてきた電荷から得られる信号を合成処理して各光電変換素子毎の撮像画像データを生成する信号処理手段を備えることを特徴とする請求項5乃至請求項8のいずれかに記載の撮像装置。
  10. 前記信号処理手段は、一つの電位パケットを分割した複数の分割パケットのうちいずれかの分割パケットが空パケットになると判断した場合には空パケットとならない分割パケットによって転送されてきた電荷から得られた信号だけを該電位パケットに対応する前記光電変換素子の撮像画像データとし該空パケットから得られた信号を加算しないことを特徴とする請求項9に記載の撮像装置。
  11. 前記信号処理手段は、一つの電位パケットを分割した複数の分割パケットのうちいずれかの分割パケットが空パケットになると判断した場合には該空パケットにより転送されてきた電荷から得られる信号を暗電流ノイズ信号として他の分割パケットにより転送されて来た電荷から得られる信号を補正することを特徴とする請求項9または請求項10に記載の撮像装置。
  12. 前記信号処理手段は、一つの電位パケットを分割した複数の分割パケットのうちどの分割パケットも空パケットにならないと判断した場合には各分割パケットによって転送されてきた電荷から得られる信号を加算して該電位パケットに対応する光電変換素子の撮像画像データとすることを特徴とする請求項9乃至請求項11のいずれかに記載の撮像装置。
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