JP2008275584A - 走査探針顕微鏡に用いられる探針ティップ及び探針の製造方法 - Google Patents
走査探針顕微鏡に用いられる探針ティップ及び探針の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明は、走査探針顕微鏡(SPM:Scannig Probe Microscope)に用いられる探針ティップを製造する方法において、(111)一般シリコンウェーハをパターニングし、両側壁に保護膜が形成されている三角柱を形成する段階と、前記シリコンウェーハをエッチングし、前記三角柱を三角錐状の探針ティップに形成する段階と、前記保護膜を取り除く段階と、を含む探針ティップの製造方法を提供する。
【選択図】図5
Description
以下、図6A乃至図6Iを参照して、本発明の第1の実施の形態に係る探針ティップの製造方法を詳しく説明する。図6A乃至図6Iは、本発明の第1の実施の形態に係る探針ティップを形成する過程を示す図である。図6Aの下の図は平面図であり、上の図は下の図のA−A’で切断した時の断面図である。また、図6Bの下の図は平面図であり、上の図は下の図のB−B’で切断した時の断面図である。
以下、図7A乃至図7Iを参照して、本発明の第2の実施の形態に係る探針ティップの製造方法を詳しく説明する。図7A乃至図7Iは、本発明の第2の実施の形態に係る探針ティップを形成する過程を示す図である。また、図7Aの下の図は平面図であり、上の図は下の図のC−C’で切断した時の断面図である。また、図7Eの下の図は平面図であり、上の図は下の図のD−D’で切断した時の断面図である。
以下、図8A乃至図8Iを参照して、本発明の第3の実施の形態に係るカンチレバーの製造方法を詳しく説明する。図8A乃至図8Iは、本発明の第3の実施の形態に係るカンチレバーを形成する過程を示す図である。
510、610 酸化膜
520、630、720、750、760 フォトレジスト層
530 トレンチ
540、620、730、740 保護膜
550、640、710 探針ティップ
Claims (16)
- 走査探針顕微鏡(SPM:Scannig Probe Microscope)に用いられる探針ティップを製造する方法において、
(a)(111)一般シリコンウェーハをパターニングし、両側壁に保護膜が形成されている三角柱を形成する段階と、
(b)前記シリコンウェーハをエッチングし、前記三角柱を三角錐状の探針ティップに形成する段階と、
(c)前記保護膜を取り除く段階と、
を含む探針ティップの製造方法。 - 前記(a)段階は、
(a−1)前記シリコンウェーハ上に三角形状のマスク層を形成する段階と、
(a−2)前記三角形状の前記マスク層の両辺の周りにトレンチを形成する段階と、
(a−3)前記シリコンウェーハの上部面、下部面、前記マスク層及び前記トレンチの全体に保護膜を形成する段階と、
(a−4)前記シリコンウェーハの上部面に形成された保護膜を取り除く段階と、
(a−5)前記マスク層をパターンとし、前記シリコンウェーハをエッチングして前記三角柱を形成する段階と、
(a−6)前記マスク層、及び前記マスク層の側面に形成された保護膜を取り除く段階と、
を含む請求項1記載の探針ティップの製造方法。 - 前記マスク層は酸化膜であり、かつ前記保護膜はシリコン酸化膜またはシリコン窒化膜である、請求項2記載の探針ティップの製造方法。
- 前記(b)段階はウェットエッチング工程により行われ、かつ前記(a−5)段階はDRIE(deep silicon reactive ion etching)工程により行われる、請求項2または3記載の探針ティップの製造方法。
- 前記(a)段階は、
(a−7)前記シリコンウェーハ上に三角形状の第1マスク層を形成する段階と、
(a−8)前記第1マスク層をパターンとし、前記シリコンウェーハをエッチングして前記三角柱を形成する段階と、
(a−9)前記シリコンウェーハの上部面、下部面の全体に保護膜を形成する段階と、
(a−10)前記三角柱の一側壁が露出するように前記保護膜上に第2マスク層を形成する段階と、
(a−11)前記第2マスク層を用いて前記三角柱の一側壁に形成された保護膜を取り除く段階と、
(a−12)前記第2マスク層、前記第1マスク層、及び前記第1マスク層の上部面及び側面に形成された前記保護膜を取り除く段階と、
を含む、請求項1記載の探針ティップの製造方法。 - 前記第1マスク層はシリコン酸化膜であり、前記第2マスク層はフォトレジスト層であり、かつ前記保護膜はシリコン酸化膜またはシリコン窒化膜である、請求項5記載の探針ティップの製造方法。
- 前記(b)段階はウェットエッチング工程により行われ、かつ前記(a−8)段階はDRIE工程により行われる、請求項5または6記載の探針ティップの製造方法。
- 走査探針顕微鏡に用いられる探針を製造する方法において、
前記探針は、探針ティップ、カンチレバー、及び探針胴体を含み、
(a)探針ティップが形成された(111)一般シリコンウェーハ上に前記カンチレバーを定義するマスク層を形成する段階と、
(b)前記マスク層を用いて前記シリコンウェーハを所定の深さまでエッチングする段階と、
(c)前記マスク層を取り除く段階と、
(d)前記シリコンウェーハの上部面、下部面の全体に保護膜を形成する段階と、
(e)前記シリコンウェーハの下部面に前記カンチレバーのダミーパターン及び前記探針胴体を形成する段階と、
(f)前記カンチレバーのダミーパターンをエッチングして前記カンチレバーを形成する段階と、
(g)前記保護膜を取り除く段階と、
を含む探針の製造方法。 - 前記保護膜はシリコン酸化膜またはシリコン窒化膜である、請求項8記載の探針の製造方法。
- 前記(d)段階の以後に追加保護膜を形成する段階と、前記(g)段階の以後に前記追加保護膜を取り除く段階と、を更に含む、請求項8記載の探針の製造方法。
- 前記保護膜はシリコン酸化膜であり、前記追加保護膜はシリコン窒化膜である、請求項10記載の探針の製造方法。
- 前記(e)段階は、前記シリコンウェーハの下部面に前記カンチレバーのダミーパターン及び前記探針胴体を定義するフォトレジスト層を形成した後、DRIE工程により前記シリコンウェーハをエッチングすることにより行われる、請求項8乃至11のいずれかに記載の探針の製造方法。
- 前記(b)段階はDRIE工程により行われ、かつ前記(f)段階はウェットエッチング工程により行われる、請求項8乃至11のいずれかに記載の探針の製造方法。
- 前記探針ティップは、請求項1に係る方法により製造されたものである、請求項8記載の探針の製造方法。
- 前記探針ティップは、請求項2に係る方法により製造されたものである、請求項8記載の探針の製造方法。
- 前記探針ティップは、請求項5に係る方法により製造されたものである、請求項8記載の探針の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019032341A (ja) * | 2012-08-31 | 2019-02-28 | ブルカー ナノ インコーポレイテッドBruker Nano,Inc. | 走査型プローブ顕微鏡検査法用の小型カンチレバー・プローブ、及びその製造方法 |
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