JP2008267928A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査装置100は、被検査体1を保持する被検査体保持手段としてのテーブル2と、コンタクトピン31群を収容するコンタクトピンブロック3,3,・・・と、計測回路基板41,41,・・・およびバックパネルボード42を収容するネストボックス4と、コンタクトピンブロック3,3,・・・およびネストボックス4を上下方向に同時に駆動するアクチュエータ5と、を備える。コンタクトピンブロック3,3,・・・と、ネストボックス4との間には、コンタクトピン31,31,・・・とバックパネルボード42とを接続するケーブル群7が設けられている。
【選択図】図1
Description
この検査装置によれば、コンタクトピン群と、計測回路との位置関係を一定に保つように計測回路を往復移動させるので、両者間を接続する接続構造への負担をなくすことができ、装置の信頼性を向上させることができる。
この検査装置によれば、コンタクトピン群と、計測回路とを一体に結合し、結合されたコンタクトピン群および計測回路を往復移動させるので、両者間を接続する接続構造への負担をなくすことができ、装置の信頼性を向上させることができる。
本発明による検査装置によれば、コンタクトピン群と、計測回路とを一体に結合し、結合されたコンタクトピン群および計測回路を往復移動させるので、両者間を接続する接続構造への負担をなくすことができ、装置の信頼性を向上させることができる。
2 テーブル(被検査体保持手段)
5 アクチュエータ(第1の移動手段、第2の移動手段、移動手段)
81 ダクト(流路)
9 緩衝器(振動遮断手段)
31 コンタクトピン
51 アクチュエータ(第1の移動手段)
52 アクチュエータ(第2の移動手段)
53 アクチュエータ(第1の移動手段、第2の移動手段、移動手段)
Claims (7)
- コンタクトピン群が被検査体に接触する第1の状態と、前記コンタクトピン群が前記被検査体から離れる第2の状態とを繰り返しながら、前記コンタクトピン群に接続された計測回路を用いて前記被試験体を検査する検査装置において、
前記被検査体を保持する被検査体保持手段と、
前記コンタクトピン群を前記被検査体保持手段により保持されている前記被検査体に接近させることで前記第1の状態を形成し、前記コンタクトピン群を前記被検査体保持手段により保持されている前記被検査体から引き離すことで前記第2の状態を形成するように、前記コンタクトピン群を往復移動させる第1の移動手段と、
前記第1の移動手段により移動される前記コンタクトピン群と、前記計測回路との位置関係を一定に保つように前記計測回路を往復移動させる第2の移動手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。 - 前記第1の移動手段および前記第2の移動手段を、共通のアクチュエータを用いて構成したことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記計測回路の側から前記コンタクトピン群の側への振動の伝達を遮断する振動遮断手段を備えることを特徴とする請求項2に記載の検査装置。
- 前記第1の移動手段および前記第2の移動手段を、互いに独立したアクチュエータを用いて構成したことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- コンタクトピン群が被検査体に接触する第1の状態と、前記コンタクトピン群が前記被検査体から離れる第2の状態とを繰り返しながら、前記コンタクトピン群に接続された計測回路により前記被試験体を検査する検査装置において、
前記被検査体を保持する被検査体保持手段と、
前記コンタクトピン群と、前記計測回路とを一体に結合する結合手段と、
前記コンタクトピン群を前記被検査体保持手段により保持されている前記被検査体に接近させることで前記第1の状態を形成し、前記コンタクトピン群を前記被検査体保持手段により保持されている前記被検査体から引き離すことで前記第2の状態を形成するように、前記結合手段により結合された前記コンタクトピン群および前記計測回路を往復移動させる移動手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。 - 前記計測回路を冷却するための流体の流路が、前記計測回路の移動に応じて変形可能とされていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記コンタクトピン群と、前記計測回路とが、ケーブル群により接続されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の検査装置。
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Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
JP2014071090A (ja) * | 2012-10-02 | 2014-04-21 | Hioki Ee Corp | 基板検査装置 |
WO2020149247A1 (ja) * | 2019-01-15 | 2020-07-23 | 日置電機株式会社 | 測定装置 |
WO2020153163A1 (ja) * | 2019-01-23 | 2020-07-30 | 日置電機株式会社 | 信号処理ユニットおよび測定装置 |
JP2021015109A (ja) * | 2019-01-15 | 2021-02-12 | 日置電機株式会社 | 測定装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05190716A (ja) * | 1992-01-08 | 1993-07-30 | Hitachi Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003264209A (ja) * | 2002-01-07 | 2003-09-19 | Samsung Electronics Co Ltd | ウェーハプロビング装置およびテストヘッドドッキング制御方法 |
JP2004028767A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Nec Corp | 回路基板調整用測定装置および回路基板調整方法 |
JP2005172603A (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置及びこれに用いられる接続治具の製造方法 |
JP2005533250A (ja) * | 2002-07-16 | 2005-11-04 | クレデンス システムズ コーポレーション | 試験装置および試験方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05190716A (ja) * | 1992-01-08 | 1993-07-30 | Hitachi Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003264209A (ja) * | 2002-01-07 | 2003-09-19 | Samsung Electronics Co Ltd | ウェーハプロビング装置およびテストヘッドドッキング制御方法 |
JP2004028767A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Nec Corp | 回路基板調整用測定装置および回路基板調整方法 |
JP2005533250A (ja) * | 2002-07-16 | 2005-11-04 | クレデンス システムズ コーポレーション | 試験装置および試験方法 |
JP2005172603A (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置及びこれに用いられる接続治具の製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014071090A (ja) * | 2012-10-02 | 2014-04-21 | Hioki Ee Corp | 基板検査装置 |
WO2020149247A1 (ja) * | 2019-01-15 | 2020-07-23 | 日置電機株式会社 | 測定装置 |
JP2021015109A (ja) * | 2019-01-15 | 2021-02-12 | 日置電機株式会社 | 測定装置 |
CN113287026A (zh) * | 2019-01-15 | 2021-08-20 | 日置电机株式会社 | 测定装置 |
JP7495232B2 (ja) | 2019-01-15 | 2024-06-04 | 日置電機株式会社 | 測定装置 |
WO2020153163A1 (ja) * | 2019-01-23 | 2020-07-30 | 日置電機株式会社 | 信号処理ユニットおよび測定装置 |
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