JP2008258583A - Substrate treatment apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate treatment apparatus and a substrate treatment system capable of performing appropriate treatment according to the operating state of the substrate treatment apparatus and improving the operation rate of the apparatus. <P>SOLUTION: The substrate treatment apparatus includes: a storage means for storing a plurality of recipes describing a procedure for treating a substrate and operating authorities of a user corresponding to the plurality of recipes; and a display means 18 for displaying an authority setting screen 400 for setting the operating authorities of the user to the respective recipes and an edition screen for editing a recipe stored in the storage means on the basis of the operating authority set via the authority setting screen 400. The substrate treatment apparatus can edit the authority setting screen 400 displayed by the display means 18 and can set different operating authorities to the recipe between when the operating state of the substrate treatment apparatus is online and when the operating state of the substrate treatment apparatus is offline. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体ウエハやガラス基板等を処理するための基板処理装置に関する。     The present invention relates to a substrate processing apparatus for processing semiconductor wafers, glass substrates, and the like.

この種の基板処理装置では、複数のファイルが扱われる。例えばプロセスレシピは、基板を処理するための詳細な手順等が記述されたファイルである。基板処理装置は、稼動している間、所定のレシピに記述された手順に基づいて基板を処理する。     In this type of substrate processing apparatus, a plurality of files are handled. For example, the process recipe is a file in which detailed procedures for processing a substrate are described. During operation, the substrate processing apparatus processes a substrate based on a procedure described in a predetermined recipe.

一般に基板処理装置においては、ユーザの操作権限は、操作実行時に入力されるユーザ名及び当該ユーザに対応するパスワードで管理される。一方、基板処理装置を操作するユーザ（作業者）は、ライン担当者、メンテナンスエンジニア等があり、基板処理装置の稼動状態に応じて作業内容が異なる。例えばライン担当者は、オンライン時に基板処理装置を操作し、メンテナンスエンジニアは、オフライン時に基板処理装置を操作する。このように一般的に、半導体製造工場では、オンライン時に基板処理装置を操作するエンジニア（ライン担当者）とオフライン時に基板処理装置を操作する担当者（メンテナンスエンジニア、プロセスエンジニア）が区別されている。     In general, in a substrate processing apparatus, a user's operation authority is managed by a user name input at the time of executing the operation and a password corresponding to the user. On the other hand, a user (operator) who operates the substrate processing apparatus includes a person in charge of a line, a maintenance engineer, and the like. For example, the person in charge of the line operates the substrate processing apparatus when online, and the maintenance engineer operates the substrate processing apparatus when offline. As described above, in general, in a semiconductor manufacturing factory, an engineer (a person in charge of a line) operating a substrate processing apparatus when online and a person (a maintenance engineer or process engineer) operating a substrate processing apparatus when offline are distinguished.

しかしながら、上記従来の技術においては、基板処理装置の稼動状態に応じて操作権限を設定することができなかった。       However, in the above conventional technique, it is not possible to set the operation authority according to the operating state of the substrate processing apparatus.

本発明は、上記従来の問題を解消し、基板処理装置の稼動状態に対応して適切な処理を行うことができ、ひいては装置の稼働率の向上を実現することができる基板処理装置及び基板処理システムを提供することを目的とする。       The present invention solves the above-mentioned conventional problems, can perform an appropriate process corresponding to the operating state of the substrate processing apparatus, and thus can realize an improvement in the operating rate of the apparatus and the substrate processing. The purpose is to provide a system.

本発明の特徴とするところは、基板を処理する手順が記載された複数のレシピを含む種々のファイルと、当該複数のレシピに対応するユーザの操作権限と、を記憶する記憶手段と、基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、前記各レシピに対する前記ユーザの操作権限を設定する権限設定画面と、前記記憶手段に記憶されているレシピを編集するための編集画面と、を表示する表示手段と、を有する基板処理装置にある。       A feature of the present invention is that a storage means for storing various files including a plurality of recipes describing a procedure for processing a substrate, a user's operation authority corresponding to the plurality of recipes, and substrate processing In each case when the operating state of the device is online or offline, an authority setting screen for setting the user's operation authority for each recipe, an editing screen for editing the recipe stored in the storage means, A substrate processing apparatus having display means for displaying.

本発明によれば、基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時である場合それぞれにおける各レシピに対する作業者の操作権限を設定することにより、基板処理装置の稼動状態に応じて適切な処理が行える。例えば、トラブルが発生した場合、ライン担当者に操作権限を与えず、メンテナンスエンジニアに操作権限を与えることで、トラブルの内容に応じた処理が行えるので、トラブル処理に費やす時間を短縮させ、もって生産性の向上を実現することができる。       According to the present invention, when the operating state of the substrate processing apparatus is online or offline, the operator's operation authority for each recipe is set, so that appropriate processing can be performed according to the operating state of the substrate processing apparatus. Yes. For example, if a trouble occurs, the operation authority can be given to the maintenance engineer without giving the operation authority to the line manager, so that processing according to the content of the trouble can be performed, so the time spent for trouble processing can be shortened and production The improvement of property can be realized.

図１は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０を含む基板処理システム１の構成を示す図である。
図１に示すように、基板処理システム１は、基板処理装置１０及びホスト装置２０を有する。基板処理装置１０及びホスト装置２０は、例えばＬＡＮなどのネットワーク１２を介して接続されている。したがって、ホスト装置２０からの指示は、基板処理装置１０に対してネットワーク１２を介して送信される。なお、基板処理システム１には、複数の基板処理装置１０が含まれてもよい。 FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a substrate processing system 1 including a substrate processing apparatus 10 according to an embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, the substrate processing system 1 includes a substrate processing apparatus 10 and a host device 20. The substrate processing apparatus 10 and the host apparatus 20 are connected via a network 12 such as a LAN. Therefore, an instruction from the host apparatus 20 is transmitted to the substrate processing apparatus 10 via the network 12. The substrate processing system 1 may include a plurality of substrate processing apparatuses 10.

基板処理装置１０において、入出力装置１６は、基板処理装置１０と一体に、又はネットワーク１２を介して設けられており、操作表示画面１８を有する。操作表示画面１８には、ユーザ（作業者）により所定のデータが入力される入力画面及び装置の状況等を示す表示画面が表示される。また、基板処理装置１０内には、プロセス系コントローラ１４が設けられ、該プロセス系コントローラ１４により、基板処理装置１０内の各装置が制御される。       In the substrate processing apparatus 10, the input / output device 16 is provided integrally with the substrate processing apparatus 10 or via the network 12 and has an operation display screen 18. On the operation display screen 18, an input screen for inputting predetermined data by a user (operator) and a display screen indicating the status of the apparatus are displayed. Further, a process system controller 14 is provided in the substrate processing apparatus 10, and each apparatus in the substrate processing apparatus 10 is controlled by the process system controller 14.

基板処理装置１０は、一例として、半導体装置（ＩＣ）の製造方法を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置（以下、単に処理装置という）に適用した場合について述べる。図２は、本発明に適用される基板処理装置の斜視図として示されている。また、図３は図２に示す基板処理装置の側面透視図である。       As an example, the substrate processing apparatus 10 is configured as a semiconductor manufacturing apparatus that performs a semiconductor device (IC) manufacturing method. In the following description, a case where the substrate processing apparatus is applied to a vertical apparatus (hereinafter simply referred to as a processing apparatus) that performs oxidation, diffusion processing, CVD processing, or the like on the substrate will be described. FIG. 2 is a perspective view of a substrate processing apparatus applied to the present invention. FIG. 3 is a side perspective view of the substrate processing apparatus shown in FIG.

図２および図３に示されているように、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器。以下ポッドという。）１１０が使用されている本発明の基板処理装置１０は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４、１０４がそれぞれ建て付けられている。なお、操作装置３０４については、後述するのでここでは省略する。       As shown in FIGS. 2 and 3, the substrate processing according to the present invention uses a hoop (substrate container; hereinafter referred to as a pod) 110 as a wafer carrier containing a wafer (substrate) 200 made of silicon or the like. The apparatus 10 includes a housing 111. A front maintenance port 103 serving as an opening provided for maintenance is opened at the front front portion of the front wall 111a of the casing 111, and front maintenance doors 104 and 104 for opening and closing the front maintenance port 103 are respectively constructed. It is attached. Since the operation device 304 will be described later, it will be omitted here.

筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。 A pod loading / unloading port (substrate container loading / unloading port) 112 is opened on the front wall 111a of the casing 111 so as to communicate between the inside and the outside of the casing 111. The pod loading / unloading port 112 has a front shutter (substrate container loading / unloading port). The loading / unloading opening / closing mechanism 113 is opened and closed.
A load port (substrate container delivery table) 114 is installed in front of the front side of the pod loading / unloading port 112, and the load port 114 is configured so that the pod 110 is placed and aligned. The pod 110 is loaded onto the load port 114 by an in-process transfer device (not shown) and unloaded from the load port 114.

筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。 A rotary pod shelf (substrate container mounting shelf) 105 is installed at an upper portion of the casing 111 in a substantially central portion in the front-rear direction. The rotary pod shelf 105 stores a plurality of pods 110. It is configured. In other words, the rotary pod shelf 105 is vertically arranged and intermittently rotated in a horizontal plane, and a plurality of shelf boards (supported by a substrate container) that are radially supported by the support 116 at each of the upper, middle, and lower positions. And a plurality of shelf plates 117 are configured to hold the pods 110 in a state where a plurality of pods 110 are respectively placed.
A pod transfer device (substrate container transfer device) 118 is installed between the load port 114 and the rotary pod shelf 105 in the housing 111, and the pod transfer device 118 moves up and down while holding the pod 110. A pod elevator (substrate container lifting mechanism) 118a and a pod transfer mechanism (substrate container transfer mechanism) 118b as a transfer mechanism are configured. The pod transfer device 118 includes a pod elevator 118a and a pod transfer mechanism 118b. The pod 110 is transported between the load port 114, the rotary pod shelf 105, and the pod opener (substrate container lid opening / closing mechanism) 121 by continuous operation.

筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。       A sub-housing 119 is constructed across the rear end of the lower portion of the housing 111 at a substantially central portion in the front-rear direction. A pair of wafer loading / unloading ports (substrate loading / unloading ports) 120 for loading / unloading the wafer 200 into / from the sub-casing 119 are arranged on the front wall 119a of the sub-casing 119 in two vertical stages. A pair of pod openers 121 and 121 are installed at the wafer loading / unloading ports 120 and 120 at the upper and lower stages, respectively. The pod opener 121 includes mounting bases 122 and 122 on which the pod 110 is placed, and cap attaching / detaching mechanisms (lid attaching / detaching mechanisms) 123 and 123 for attaching and detaching caps (lids) of the pod 110. The pod opener 121 is configured to open and close the wafer loading / unloading port of the pod 110 by attaching / detaching the cap of the pod 110 placed on the placing table 122 by the cap attaching / detaching mechanism 123.

サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａおよびウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図２に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂおよびウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）および脱装（ディスチャージング）するように構成されている。       The sub-housing 119 constitutes a transfer chamber 124 that is fluidly isolated from the installation space of the pod transfer device 118 and the rotary pod shelf 105. A wafer transfer mechanism (substrate transfer mechanism) 125 is installed in the front region of the transfer chamber 124, and the wafer transfer mechanism 125 rotates the wafer 200 in the horizontal direction or can move the wafer 200 in the horizontal direction. Substrate transfer device) 125a and wafer transfer device elevator (substrate transfer device lifting mechanism) 125b for raising and lowering wafer transfer device 125a. As schematically shown in FIG. 2, the wafer transfer device elevator 125 b is installed between the right end of the pressure-resistant casing 111 and the right end of the front area of the transfer chamber 124 of the sub casing 119. By the continuous operation of the wafer transfer device elevator 125b and the wafer transfer device 125a, the tweezer (substrate holder) 125c of the wafer transfer device 125a is used as a placement portion for the wafer 200 with respect to the boat (substrate holder) 217. The wafer 200 is loaded (charged) and unloaded (discharged).

移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。       In the rear region of the transfer chamber 124, a standby unit 126 that houses and waits for the boat 217 is configured. A processing furnace 202 is provided above the standby unit 126. The lower end portion of the processing furnace 202 is configured to be opened and closed by a furnace port shutter (furnace port opening / closing mechanism) 147.

図２に模式的に示されているように、耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。 As schematically shown in FIG. 2, a boat elevator (substrate holder lifting / lowering) for raising and lowering the boat 217 is provided between the right end of the pressure-resistant casing 111 and the right end of the standby section 126 of the sub casing 119. Mechanism) 115 is installed. A seal cap 219 serving as a lid is horizontally installed on an arm 128 serving as a connecting tool connected to a lifting platform of the boat elevator 115, and the seal cap 219 supports the boat 217 vertically, and a lower end of the processing furnace 202. It is comprised so that a part can be obstruct | occluded.
The boat 217 includes a plurality of holding members, and is configured to hold a plurality of (for example, about 50 to 125) wafers 200 horizontally in a state where the centers are aligned in the vertical direction. Has been.

図２に模式的に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側およびボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファンおよび防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置が設置されている。       As schematically shown in FIG. 2, the left end of the transfer chamber 124 opposite to the wafer transfer device elevator 125b side and the boat elevator 115 side is a cleaned atmosphere or inert gas. A clean unit 134 composed of a supply fan and a dust-proof filter is installed so as to supply clean air 133. Between the wafer transfer device 125a and the clean unit 134, although not shown, the circumferential direction of the wafer A notch aligning device is installed as a substrate aligning device for aligning the positions.

クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置およびウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。       The clean air 133 blown out from the clean unit 134 is circulated through the notch aligning device, the wafer transfer device 125a, and the boat 217 in the standby unit 126, and then sucked in by a duct (not shown) and exhausted to the outside of the casing 111. Or is circulated to the primary side (supply side) that is the suction side of the clean unit 134 and is again blown out into the transfer chamber 124 by the clean unit 134.

次に、本発明の基板処理装置１０の動作について説明する。
図２および図３に示されているように、ポッド１１０がロードポット１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。 Next, the operation of the substrate processing apparatus 10 of the present invention will be described.
As shown in FIGS. 2 and 3, when the pod 110 is supplied to the load pot 114, the pod loading / unloading port 112 is opened by the front shutter 113, and the pod 110 above the load port 114 is connected to the pod transfer device. 118 is carried into the housing 111 from the pod loading / unloading port 112.

搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。       The loaded pod 110 is automatically transported and delivered by the pod transport device 118 to the designated shelf 117 of the rotary pod shelf 105, temporarily stored, and then one pod opener from the shelf 117. After being transferred to 121 and delivered and temporarily stored, it is transferred from the shelf 117 to one of the pod openers 121 and transferred to the mounting table 122 or directly transferred to the pod opener 121 and mounted. It is transferred to the mounting table 122. At this time, the wafer loading / unloading port 120 of the pod opener 121 is closed by the cap attaching / detaching mechanism 123, and the transfer chamber 124 is filled with clean air 133. For example, the transfer chamber 124 is filled with nitrogen gas as clean air 133, so that the oxygen concentration is set to 20 ppm or less, which is much lower than the oxygen concentration inside the casing 111 (atmosphere).

載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。 The pod 110 mounted on the mounting table 122 has its opening-side end face pressed against the opening edge of the wafer loading / unloading port 120 on the front wall 119a of the sub-housing 119, and the cap is removed by the cap attaching / detaching mechanism 123. The wafer loading / unloading port is opened.
When the pod 110 is opened by the pod opener 121, the wafer 200 is picked up from the pod 110 by the tweezer 125c of the wafer transfer device 125a through the wafer loading / unloading port, aligned with the notch alignment device 135 (not shown), and then transferred. It is carried into the standby section 126 behind the chamber 124 and loaded (charged) into the boat 217. The wafer transfer device 125 a that has delivered the wafer 200 to the boat 217 returns to the pod 110 and loads the next wafer 110 into the boat 217.

この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。       During the loading operation of the wafer into the boat 217 by the wafer transfer mechanism 125 in the one (upper or lower) pod opener 121, the other (lower or upper) pod opener 121 receives another pod from the rotary pod shelf 105. 110 is transferred and transferred by the pod transfer device 118, and the opening operation of the pod 110 by the pod opener 121 is simultaneously performed.

予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されて行く。       When a predetermined number of wafers 200 are loaded into the boat 217, the lower end portion of the processing furnace 202 closed by the furnace port shutter 147 is opened by the furnace port shutter 147. Subsequently, the boat 217 holding the wafers 200 is loaded into the processing furnace 202 when the seal cap 219 is lifted by the boat elevator 115.

ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００およびポッド１１０は筐体の外部へ払出される。 After loading, arbitrary processing is performed on the wafer 200 in the processing furnace 202.
After the processing, the wafer 200 and the pod 110 are ejected to the outside of the casing in the reverse order of the above-described procedure except for the wafer alignment process in the notch alignment device 135 (not shown).

次に、基板処理装置１０の構成要素を制御する制御手段（メインコントローラ）について説明する。
図４は、制御手段（メインコントローラ）を中心としたハードウェア構成を示す。
メインコントローラは、プロセス系コントローラ１４と入出力装置１６とから構成される。プロセス系コントローラ１４は、ＣＰＵ１４０、ＲＯＭ（read-only memory）１４２、ＲＡＭ（random-access memory）１４４、入出力装置１６との間でのデータの送受信を行う送受信処理部１４６、温度制御部１５０、ガス制御部１５２、圧力制御部１５４、搬送制御部１５６、及び温度制御部１５０等とのＩ／Ｏ制御を行うＩ／Ｏ制御部１４８を有する。ＣＰＵ１４０は、上述した入出力装置１６の操作表示画面１８で作成又は編集され、ＲＡＭ１４４等に記憶されているレシピに基づいて、基板を処理するための制御データ（制御指示）を、温度制御部１５０、ガス制御部１５２及び圧力制御部１５４に対して出力する。なお、ＣＰＵ１４０は、搬送制御部１５６に対しても同様に制御指示を出力する。また、これら制御部より送信されるデータを受信する。 Next, control means (main controller) for controlling the components of the substrate processing apparatus 10 will be described.
FIG. 4 shows a hardware configuration centering on the control means (main controller).
The main controller includes a process system controller 14 and an input / output device 16. The process system controller 14 includes a CPU 140, a ROM (read-only memory) 142, a RAM (random-access memory) 144, a transmission / reception processing unit 146 that transmits and receives data to and from the input / output device 16, a temperature control unit 150, An I / O control unit 148 that performs I / O control with the gas control unit 152, the pressure control unit 154, the transfer control unit 156, the temperature control unit 150, and the like is provided. The CPU 140 generates control data (control instruction) for processing the substrate based on the recipe created or edited on the operation display screen 18 of the input / output device 16 and stored in the RAM 144 or the like, and the temperature control unit 150. And output to the gas control unit 152 and the pressure control unit 154. The CPU 140 similarly outputs a control instruction to the transport control unit 156. In addition, data transmitted from these control units is received.

ＲＯＭ１４２又はＲＡＭ１４４には、シーケンスプログラム、複数のレシピや入出力装置１６より入力される入力データ、レシピのコマンド及びレシピ実行時の履歴データ等が格納される。なお、プロセス系コントローラ１４には、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）等により実現される記憶装置（不図示）が含まれてもよく、この場合、該記憶装置には、ＲＡＭ１４４に格納されるデータと同様のデータが格納される。このように、ＲＯＭ１４２又はＲＡＭ１４４は基板を処理する手順が記載されているレシピを記憶する記憶手段として用いられる。入力指示（入力データ）は、入出力装置１６の操作表示画面１８からの指示をいう。入力指示（入力データ）は、レシピを実行させる指示のほか、各ユーザの操作権限を設定する指示などがその一例として挙げられるが、これに限定されない。       The ROM 142 or RAM 144 stores a sequence program, a plurality of recipes, input data input from the input / output device 16, recipe commands, recipe execution history data, and the like. The process system controller 14 may include a storage device (not shown) realized by a hard disk drive (HDD) or the like. In this case, the storage device is similar to the data stored in the RAM 144. Data is stored. As described above, the ROM 142 or the RAM 144 is used as a storage unit that stores a recipe describing a procedure for processing a substrate. The input instruction (input data) refers to an instruction from the operation display screen 18 of the input / output device 16. Examples of the input instruction (input data) include an instruction to execute a recipe and an instruction to set the operation authority of each user, but are not limited thereto.

入出力装置１６は、操作表示画面１８からのユーザ（作業者）の入力指示を受け付ける入力部１６０、ＲＡＭ１４４等に格納されているデータ等を表示する表示部１６２、入力部１６０に受け付けられた入力指示が後述する表示制御部１６４により送受信処理部１４６に送信されるまでの間記憶する一時記憶部１６６、入力部１６０からの入力指示を受け付け、該入力指示を表示部１６２もしくは送受信処理部１４６に送信する表示制御部１６４を有する。なお、後述するように、表示制御部１６４は、送受信処理部１４６を介してＲＯＭ１４２又はＲＡＭ１４４に格納された複数のレシピのうち任意のレシピをＣＰＵ１４０により実行させる指示（制御指示）を受け付けるようになっており、また表示部１６２は、表示制御部１６４からの指示により指示された任意のレシピを操作表示画面１８に表示するようになっている。さらに表示部１６２は、後述するように、ユーザ（作業者）の操作権限を設定するための権限設定画面やレシピを編集するための編集画面等を操作表示画面１８に表示する。       The input / output device 16 includes an input unit 160 that receives an input instruction of a user (worker) from the operation display screen 18, a display unit 162 that displays data stored in the RAM 144 and the like, and an input received by the input unit 160. Input instructions from the temporary storage unit 166 and the input unit 160 that are stored until the instruction is transmitted to the transmission / reception processing unit 146 by the display control unit 164 described later are received, and the input instructions are received by the display unit 162 or the transmission / reception processing unit 146. A display control unit 164 for transmission is included. As will be described later, the display control unit 164 receives an instruction (control instruction) for causing the CPU 140 to execute an arbitrary recipe among a plurality of recipes stored in the ROM 142 or the RAM 144 via the transmission / reception processing unit 146. The display unit 162 displays an arbitrary recipe instructed by an instruction from the display control unit 164 on the operation display screen 18. Further, as will be described later, the display unit 162 displays on the operation display screen 18 an authority setting screen for setting the operation authority of the user (worker), an editing screen for editing the recipe, and the like.

温度制御部１５０は、上述した処理炉２０２の外周部に設けられたヒータ３３８により該処理室２０２内の温度を制御する。ガス制御部１５２は、処理炉２０２のガス配管３４０に設けられたＭＦＣ（マスフローコントローラ）３４２からの出力値に基づいて処理炉２０２内に供給する反応ガスの供給量等を制御する。圧力制御部１５４は、処理炉２０２の排気配管３４４に設けられた圧力センサ３４６の出力値に基づいてバルブ３４８を開閉することにより処理室２０２内の圧力を制御する。このように、温度制御部１５０等のサブコントローラは、ＣＰＵ１４０からの制御指示に基づいて基板処理装置１０の各部（ヒータ３３８、ＭＦＣ３４２及びバルブ３４８等）の制御を行う。       The temperature control unit 150 controls the temperature in the processing chamber 202 by the heater 338 provided on the outer periphery of the processing furnace 202 described above. The gas control unit 152 controls the supply amount of the reaction gas supplied into the processing furnace 202 based on the output value from the MFC (mass flow controller) 342 provided in the gas pipe 340 of the processing furnace 202. The pressure control unit 154 controls the pressure in the processing chamber 202 by opening and closing the valve 348 based on the output value of the pressure sensor 346 provided in the exhaust pipe 344 of the processing furnace 202. As described above, the sub controller such as the temperature control unit 150 controls each unit (the heater 338, the MFC 342, the valve 348, and the like) of the substrate processing apparatus 10 based on a control instruction from the CPU 140.

例えば、入出力装置１６の操作表示画面１８を介して入力部１６０により、レシピを設定する為のデータや該レシピに対するユーザ（作業者）の操作権限等のデータ（入力データ）が入力されると、該入力データ（入力指示）は、記憶部１６６に格納されると共に表示制御部１６４を介して表示部１６２に表示され、さらに表示制御部１６４によりＰＭＣ１４の送受信処理部１４６に送信される。ＣＰＵ１４０は、該入力データをＲＡＭ１４４に格納し、例えばＲＯＭ１４２に格納されたレシピや該レシピに対するユーザ（作業者）の操作権限等の設定入力を確定させる。ＣＰＵ１４０は、シーケンスプログラムを起動し、該シーケンスプログラムに従って、例えばＲＡＭ１４４に格納されたレシピのコマンドを呼び込み実行することで、ステップが逐次実行され、Ｉ／Ｏ制御部１４８を介して温度制御部１５０、ガス制御部１５２、圧力制御部１５４、及び搬送制御部１５６に対して基板を処理するための制御指示が送信される。温度制御部１５０等のコントローラは、ＣＰＵ１４０からの制御指示に従って基板処理装置１０内の各部（ヒータ３３８、ＭＦＣ３４２及びバルブ３４８等）の制御を行う。これにより、上述したウエハ２００の処理が行われる。       For example, when data for setting a recipe and data (input data) such as a user (operator) operation authority for the recipe are input by the input unit 160 via the operation display screen 18 of the input / output device 16. The input data (input instruction) is stored in the storage unit 166, displayed on the display unit 162 via the display control unit 164, and further transmitted to the transmission / reception processing unit 146 of the PMC 14 by the display control unit 164. The CPU 140 stores the input data in the RAM 144 and finalizes setting inputs such as recipes stored in the ROM 142 and user (operator) operation authority for the recipes. The CPU 140 activates the sequence program, and in accordance with the sequence program, for example, by calling and executing a recipe command stored in the RAM 144, the steps are sequentially executed, and the temperature control unit 150, the I / O control unit 148, and the like. A control instruction for processing the substrate is transmitted to the gas control unit 152, the pressure control unit 154, and the transfer control unit 156. A controller such as the temperature control unit 150 controls each unit (heater 338, MFC 342, valve 348, etc.) in the substrate processing apparatus 10 in accordance with a control instruction from the CPU 140. Thereby, the processing of the wafer 200 described above is performed.

本実施形態における基板処理装置においては、ファイルの種類毎に、ユーザ（作業者）の操作権限が設定される。また、ファイルの種類毎に、複数のユーザを登録したグループの操作権限が設定される。例えば、種々のレシピのうちプロセスレシピについていえば、プロセスレシピに対して所定のグループの操作権限が編集可能に設定された場合、当該グループに登録された各ユーザは、プロセスレシピであるファイルの参照、編集を行なうことができる。なお、操作権限は、管理者（マスターユーザともいう）などの所定の作業者により設定される。   In the substrate processing apparatus according to the present embodiment, the operation authority of the user (operator) is set for each file type. In addition, for each file type, an operation authority for a group in which a plurality of users are registered is set. For example, regarding a process recipe among various recipes, when the operation authority of a predetermined group is set to be editable for a process recipe, each user registered in the group refers to a file that is a process recipe. Can be edited. The operation authority is set by a predetermined operator such as an administrator (also referred to as a master user).

これら各ユーザの操作権限は、基板処理装置の稼動状態に対応して設定されることが好ましい。すなわち、オフライン時においては、ライン担当者等によるレシピ編集を許可し、オンライン時においては、ホストコンピュータからの指示により基板処理装置が稼動するのでレシピの内容を変更できないようにする必要がある。従い、ライン担当者等によるレシピ編集を禁止する。オンライン時であり且つトラブル発生時においては、例えばメンテナンスエンジニアによるレシピの編集を許可することが好ましい。   The operation authority of each user is preferably set in accordance with the operating state of the substrate processing apparatus. In other words, it is necessary to permit recipe editing by a line person or the like when offline, and to prevent the contents of the recipe from being changed because the substrate processing apparatus operates in response to an instruction from the host computer when online. Therefore, recipe editing by line managers is prohibited. When online and when trouble occurs, it is preferable to allow the maintenance engineer to edit the recipe, for example.

次に、基板処理装置１０に格納されている各レシピに対するユーザ（作業者）の操作権限の設定方法を図５乃至８に基づいて説明する。   Next, a method for setting the operation authority of the user (operator) for each recipe stored in the substrate processing apparatus 10 will be described with reference to FIGS.

図５は、基板処理装置１０の入出力装置１６に操作表示画面１８として表示され、例えば管理者により操作されるユーザ設定画面３００を例示する図である。このユーザ設定画面３００には、ユーザ名、各ユーザの属するグループ名及び各ユーザに対応するパスワードが表示され、各項目を編集（更新、修正、入力等）できる。   FIG. 5 is a diagram illustrating a user setting screen 300 that is displayed on the input / output device 16 of the substrate processing apparatus 10 as the operation display screen 18 and is operated by, for example, an administrator. The user setting screen 300 displays a user name, a group name to which each user belongs, and a password corresponding to each user, and can edit (update, modify, input, etc.) each item.

図５に例示するように、ユーザ設定画面３００には、テーブル選択表示部３０２と、ユーザ設定テーブル３０４とが含まれる。テーブル選択表示部３０２は、複数の選択部３０６を有し、いずれかの選択部３０６を選択（押下）すると該選択部３０６に対応する所定数のユーザ設定テーブル３０４が表示されるようになっている。   As illustrated in FIG. 5, the user setting screen 300 includes a table selection display unit 302 and a user setting table 304. The table selection display unit 302 has a plurality of selection units 306, and when any selection unit 306 is selected (pressed), a predetermined number of user setting tables 304 corresponding to the selection unit 306 are displayed. Yes.

ユーザ設定テーブル３０４には、グループ名と称されるユーザの属性を編集するためのグループ名設定部３０８、ユーザ名を編集するためのユーザ名設定部３１０及び各ユーザ名に対応するパスワードを入力するためのパスワード設定部３１２が含まれる。グループ名には、各ユーザの属するグループの名称、例えばプロダクト(Product)、エンジニア(Engineer)、メンテナンス(Maintenance)、リカバリー(Recovery)等が入力又は選択される。例えば、「プロダクト」にはライン担当者であるユーザが含まれ、「エンジニア」にはプロセスエンジニアであるユーザが含まれ、「メンテナンス」にはメンテナンスエンジニアであるユーザが含まれる。なお、グループ名の数は限定されず、グループ名の名称も必要に応じて任意に設定される。例えば、グループ名として、オンラインエンジニアや保守担当者等の名称を付与してもよい。ユーザ名は、ユーザの名称を表し、パスワードは、例えば英数字からなる文字列である。図５に示すように、例えば、管理者は、ユーザ名入力部３１０に「ユーザ１（ＵＳＥＲ１）」を入力し、グループ名入力部３０８に「プロダクト(Product)」を入力し、パスワード入力部３１２に「１」を入力する。   In the user setting table 304, a group name setting unit 308 for editing a user attribute called a group name, a user name setting unit 310 for editing a user name, and a password corresponding to each user name are input. A password setting unit 312 is included. As the group name, a name of a group to which each user belongs, for example, a product, an engineer, maintenance, and recovery are input or selected. For example, “product” includes a user who is in charge of a line, “engineer” includes a user who is a process engineer, and “maintenance” includes a user who is a maintenance engineer. Note that the number of group names is not limited, and the name of the group name is arbitrarily set as necessary. For example, a name such as an online engineer or a maintenance person may be given as the group name. The user name represents the name of the user, and the password is a character string made up of alphanumeric characters, for example. As shown in FIG. 5, for example, the administrator inputs “user 1 (USER1)” in the user name input unit 310, inputs “Product” in the group name input unit 308, and the password input unit 312. Enter “1” in.

図６は、基板処理装置１０の入出力装置１６に操作表示画面１８として表示され、例えば管理者により操作される権限設定画面４００を例示する図である。この権限設定画面４００においては、各レシピに対するユーザ（グループ）の操作権限が設定される。   FIG. 6 is a diagram illustrating an authority setting screen 400 that is displayed on the input / output device 16 of the substrate processing apparatus 10 as the operation display screen 18 and operated by, for example, an administrator. On this authority setting screen 400, the operation authority of the user (group) for each recipe is set.

図６に例示するように、権限設定画面４００には、対象のグループ名を選択するグループ選択部４０２と、複数のレシピ等を表示するファイル一覧表示部４０４と、これら複数のレシピそれぞれに対する当該グループの操作権限を入力する権限入力部４０６とが含まれる。グループ選択部４０２には、上述したユーザ設定テーブル３０４において設定された複数のグループ名が表示され、対象のグループ名を選択することができるようになっている。   As illustrated in FIG. 6, the authority setting screen 400 includes a group selection unit 402 that selects a target group name, a file list display unit 404 that displays a plurality of recipes, and the group for each of the plurality of recipes. And an authority input unit 406 for inputting the operation authority. The group selection unit 402 displays a plurality of group names set in the above-described user setting table 304 so that a target group name can be selected.

ファイル一覧表示部４０４には、基板処理装置１０にファイルとして格納されている複数のレシピ等が一覧表示されるようになっている。なお、レシピに限らず、所定の処理をするためのファイルを表示するようにしてもよい。例えば、このファイル一覧表示部４０４には、プロセスレシピ、サブレシピ及びアラームレシピ等が表示される。なお、ファイル一覧表示部４０４は、表示切替ボタン４０８を有しており、レシピの一覧が一画面に表示できない場合には、必要に応じて切替表示又はスクロール表示させることができるようになっている。   The file list display unit 404 displays a list of a plurality of recipes stored as files in the substrate processing apparatus 10. In addition, you may make it display the file for not only a recipe but a predetermined | prescribed process. For example, the file list display unit 404 displays process recipes, sub recipes, alarm recipes, and the like. Note that the file list display unit 404 has a display switching button 408, and when the list of recipes cannot be displayed on one screen, it can be switched or scrolled as necessary. .

権限設定部４０６には、オンライン権限設定部４１０と、オフライン権限設定部４１２とが含まれる。オンライン権限設定部４１０には、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン（オンラインリモート：ホスト装置２０等の管理装置からの指示により処理対象の基板処理装置１０が稼動する状態）である場合の各レシピに対するグループ（ユーザ）の操作権限が入力（選択）されるようになっている。オフライン権限設定部４１２には、基板処理装置１０の稼動状態がオフライン（非オンラインリモート）である場合の各レシピに対するグループ（ユーザ）の操作権限が入力（選択）されるようになっている。グループ（ユーザ）の操作権限は、各レシピに対して設定され、例えば「禁止(Inhibit)」、「参照可(ReadOnly)」、「編集可(Edit)」及び「実行可(Exec)」のいずれかである。   The authority setting unit 406 includes an online authority setting unit 410 and an offline authority setting unit 412. In the online authority setting unit 410, each recipe when the operation state of the substrate processing apparatus 10 is online (online remote: a state in which the substrate processing apparatus 10 to be processed operates according to an instruction from a management apparatus such as the host apparatus 20). The operation authority of the group (user) is input (selected). The offline authority setting unit 412 is configured to input (select) a group (user) operation authority for each recipe when the operation state of the substrate processing apparatus 10 is offline (non-online remote). The operation authority of the group (user) is set for each recipe. For example, any one of “Inhibit”, “ReadOnly”, “Edit”, and “Exec” It is.

ここで、禁止(Inhibit)とはレシピ等のファイルを編集及び参照を禁止する権限であり、参照可(ReadOnly)とはレシピ等のファイルを編集を禁止し参照を許可する権限であり、編集可(Edit)とはレシピ等のファイルを編集及び参照を許可する権限であり、実行可(Exec)とはレシピ等の実行（スタート）を許可する権限である。   Here, “Inhibit” is an authority to prohibit editing and referencing a file such as a recipe, and “ReadOnly” is an authority to prohibit editing and permit referencing of a file such as a recipe. (Edit) is an authority to permit editing and reference of files such as recipes, and Execution (Exec) is an authority to permit execution (start) of recipes and the like.

また、権限設定画面４００には複数のボタンからなるボタン群４１４が含まれる。このボタン群４１４には例えば編集ボタン４１６、コマンドボタン４１８等が配置されている。尚、図６は、編集ボタン４１６が押下されているときの図面である。コマンドボタン４１８が押下されると、図示しないがファイル一覧表示部４０４にはコマンドとして格納されている複数のファイルが表示される。そして、権限設定画面４００上でコマンドボタンについても設定できるようになっている。   The authority setting screen 400 includes a button group 414 including a plurality of buttons. For example, an edit button 416 and a command button 418 are arranged in the button group 414. FIG. 6 is a diagram when the edit button 416 is pressed. When the command button 418 is pressed, a plurality of files stored as commands are displayed on the file list display unit 404 (not shown). The command button can also be set on the authority setting screen 400.

図７に示すように、権限設定画面４００において、編集ボタン４１２を選択し、さらに例えば所定のレシピに対応するオンライン権限入力部４１０又はオフライン権限入力部４１２を選択すると、選択画面４２０が表示されるようになっている。選択画面４２０において、例えば「禁止(Inhibit)」、「参照可(ReadOnly)」、「編集可(Edit)」及びキャンセルのいずれかを選択できるようになっている。   As shown in FIG. 7, when the edit button 412 is selected on the authority setting screen 400 and, for example, the online authority input unit 410 or the offline authority input unit 412 corresponding to a predetermined recipe is selected, a selection screen 420 is displayed. It is like that. On the selection screen 420, for example, any one of “Inhibit”, “ReadOnly”, “Edit”, and Cancel can be selected.

例えば、管理者は、権限設定画面４００において、グループ名選択部４０２で「Default」を選択し、編集ボタン４１６を選択し、プロセスレシピに対応するオフライン権限入力部４１２を選択し、選択画面４２０において「参照可(ReadOnly)」を選択する。これにより、「Default」のグループに属するユーザに対し、オフライン時における基板処理装置１０側でのプロセスレシピの参照を許可する設定を行なうことができる。   For example, in the authority setting screen 400, the administrator selects “Default” in the group name selection unit 402, selects the edit button 416, selects the offline authority input unit 412 corresponding to the process recipe, and in the selection screen 420 Select “ReadOnly”. Accordingly, it is possible to perform setting for permitting users belonging to the “Default” group to refer to the process recipe on the substrate processing apparatus 10 side when offline.

また、例えば、権限設定画面４００において、グループ名選択部４０２で「エンジニア(Engineer)」又は「メンテナンス(Maintenance)」を選択し、選択画面４２０を介して所定のレシピに対応するオンライン権限設定部４１０に対し「編集可(Edit)」を選択すると、「エンジニア」又は「メンテナンス」のグループに属するユーザに対し、オンライン時における基板処理装置１０側での所定のレシピの参照及び編集を許可する設定を行なうことができる。   Further, for example, in the authority setting screen 400, the group name selection unit 402 selects “Engineer” or “Maintenance”, and the online authority setting unit 410 corresponding to a predetermined recipe via the selection screen 420. When “Edit” is selected for the user, a setting for permitting users belonging to the “engineer” or “maintenance” group to refer to and edit a predetermined recipe on the substrate processing apparatus 10 side at the time of online. Can be done.

また、権限設定画面４００において、ユーザは、例えば、グループ名選択部４０２で「プロダクト(Product)」を選択し、選択画面４２０を介し所定のレシピに対応するオンライン権限設定部４１０に「参照可(ReadOnly)」又は「禁止(Inhibit)」を選択する。これにより、「プロダクト」のグループに属するユーザに対し、オンライン時における基板処理装置１０側での所定のレシピの編集を禁止する設定を行なうことができる。   In the authority setting screen 400, the user selects “Product” in the group name selection unit 402, for example, and enters the online authority setting unit 410 corresponding to a predetermined recipe via the selection screen 420. Select “ReadOnly” or “Inhibit”. Accordingly, it is possible to perform a setting for prohibiting editing of a predetermined recipe on the substrate processing apparatus 10 side at the time of online for a user belonging to the “product” group.

図８に示すように、権限設定画面４００において、コマンドボタン４１８を選択し、さらに表示された所定のコマンドに対応するオンライン権限設定部４１０又はオフライン権限設定部４１２を選択すると、選択画面４２０が表示されるようになっている。選択画面４２０において、例えば「禁止(Inhibit)」、「実行可(Exec)」及びキャンセルのいずれかを選択できるようになっている。ここで、「プロダクト」のグループに属するユーザに対し、オンライン権限設定部４１０を選択して、所定のコマンドのうち搬送コマンドを「禁止（(Inhibit)」することで、搬送コマンドボタンを表示させない（もしくは操作できない）ようにすることができる。これにより、オンライン時におけるフープ１１０の投入などを実施させないようにすることができる。   As shown in FIG. 8, when the command button 418 is selected on the authority setting screen 400 and the online authority setting unit 410 or offline authority setting unit 412 corresponding to the displayed predetermined command is selected, a selection screen 420 is displayed. It has come to be. On the selection screen 420, for example, one of “Inhibit”, “Exec”, and cancellation can be selected. Here, for the users belonging to the “product” group, the online authority setting unit 410 is selected, and the transfer command is “inhibit” among the predetermined commands, so that the transfer command button is not displayed ( In other words, it is possible to prevent the hoop 110 from being put in during online operation.

例えば、管理者は、権限設定画面４００において、グループ名選択部４０２で「Default」を選択し、コマンドボタン４１８を選択し、ファイルメンテナンスのコマンドに対応するオフライン権限設定部４１２を選択し、選択画面４２０において「実行可(Exec)」を選択する。これにより、「Default」のグループに属するユーザに対し、オフライン時における基板処理装置１０側でのファイルメンテナンスの実行を許可する設定を行なうことができる。この場合、ファイルメンテナンスを実行するためのコマンドボタンが画面に表示される。
尚、ここでファイルメンテナンスとは、ハードディスク内とフロッピィディスク等の外部記憶メディアとの間のファイルコピーやシステムに設定されているファイルのバックアップ等、本装置で取り扱うファイルのメンテナンス作業を行うための機能である。 For example, in the authority setting screen 400, the administrator selects “Default” in the group name selection unit 402, selects the command button 418, selects the offline authority setting unit 412 corresponding to the file maintenance command, and selects the selection screen. In 420, “Exec” is selected. Accordingly, it is possible to perform a setting for permitting users belonging to the “Default” group to execute file maintenance on the substrate processing apparatus 10 side when offline. In this case, a command button for executing file maintenance is displayed on the screen.
Here, file maintenance is a function for performing maintenance work on files handled by this device, such as copying files between the hard disk and an external storage medium such as a floppy disk or backing up files set in the system. It is.

以上のように、権限設定画面４００は、ＲＯＭ１４２又はＲＡＭ１４４に記憶された所定のレシピに対するユーザ（作業者）の操作権限を設定する設定画面として用いられる。     As described above, the authority setting screen 400 is used as a setting screen for setting a user (operator) operation authority for a predetermined recipe stored in the ROM 142 or the RAM 144.

図９は、基板処理装置１０の入出力装置１６に操作表示画面１８として表示され、例えばユーザ（作業者）により操作されるメイン画面５００を例示する図である。     FIG. 9 is a diagram illustrating a main screen 500 that is displayed on the input / output device 16 of the substrate processing apparatus 10 as the operation display screen 18 and is operated by, for example, a user (operator).

図９に示すように、メイン画面５００には、ログインボタン５０２、編集ボタン５０４及びレシピや基板を処理するための諸条件（例えば温度条件、圧力条件など）を表示する条件表示部５０６ａ〜５０６ｇが含まれる。     As shown in FIG. 9, the main screen 500 includes a login button 502, an edit button 504, and condition display units 506a to 506g for displaying various conditions (for example, temperature condition, pressure condition, etc.) for processing a recipe and a substrate. included.

ログイン画面６００は、ログインボタン５０２を選択（押下）することによりメイン画面５００上に表示される。このログイン画面６００には、ユーザ名を入力するためのユーザ名入力部６０２と、このユーザ名に対応するパスワードを入力するためのパスワード入力部６０４と、ログインを実行するためのログインボタン６０６と、ログインをキャンセルするためのキャンセルボタン６０８とが含まれる。ユーザは、ログイン画面６００において、ユーザ名入力部６０２にユーザ名を入力し、パスワード入力部６０４にパスワードを入力し、ログインボタン６０６を押下することによりログインを行なう。     The login screen 600 is displayed on the main screen 500 when the login button 502 is selected (pressed). The login screen 600 includes a user name input unit 602 for inputting a user name, a password input unit 604 for inputting a password corresponding to the user name, a login button 606 for executing login, A cancel button 608 for canceling login is included. On the login screen 600, the user logs in by inputting a user name in the user name input unit 602, inputting a password in the password input unit 604, and pressing a login button 606.

ログイン後に編集ボタン５０４を選択すると、後述する編集メニュー画面７００が表示される。したがって、所定のレシピを編集（又は参照）する毎にユーザ名とパスワードを入力する必要がなくなる。これにより、レシピを編集（又は参照）する際の操作時間が低減される。     When the edit button 504 is selected after login, an edit menu screen 700 described later is displayed. Therefore, it is not necessary to input the user name and password every time a predetermined recipe is edited (or referred). Thereby, the operation time at the time of editing (or referencing) a recipe is reduced.

図１０は、基板処理装置１０の入出力装置１６に操作表示画面１８として表示され、例えばユーザ（作業者）により操作される編集メニュー画面７００を例示する図である。この編集メニュー画面７００は、上述したメイン画面５００の編集ボタン５０４を選択すると表示される。     FIG. 10 is a diagram illustrating an edit menu screen 700 that is displayed on the input / output device 16 of the substrate processing apparatus 10 as the operation display screen 18 and that is operated by, for example, a user (operator). The edit menu screen 700 is displayed when the edit button 504 on the main screen 500 described above is selected.

編集メニュー画面７００には、例えばレシピ選択部７０２、温度設定選択部７０４及び圧力設定選択部７０６等が含まれる。レシピ選択部７０２には、例えばプロセスレシピ選択ボタン７１０、サブレシピ選択部７１２及びアラームレシピ選択部７１４等が表示されている。これらプロセスレシピ選択ボタン７１０、サブレシピ選択部７１２及びアラームレシピ選択部７１４等は、上述した権限設定画面４００の権限入力部４０６において、「参照可(ReadOnly)」、「編集可(Edit)」及び「実行可(Exec)」が選択されている場合に表示されるようになっている。すなわち、ＲＯＭ１４２又はＲＡＭ１４４に記憶されている複数のレシピのうち、権限入力部４０６において「禁止(Inhibit)」が選択されているレシピは編集メニュー画面７００上に表示されないようになっている。     The edit menu screen 700 includes, for example, a recipe selection unit 702, a temperature setting selection unit 704, a pressure setting selection unit 706, and the like. In the recipe selection unit 702, for example, a process recipe selection button 710, a sub recipe selection unit 712, an alarm recipe selection unit 714, and the like are displayed. These process recipe selection button 710, sub-recipe selection unit 712, alarm recipe selection unit 714, and the like are displayed in the authority input unit 406 of the authority setting screen 400 described above by “Read Only”, “Edit”, Displayed when “Exec” is selected. That is, a recipe for which “Inhibit” is selected in the authority input unit 406 among a plurality of recipes stored in the ROM 142 or the RAM 144 is not displayed on the edit menu screen 700.

上述した編集メニュー画面７００においてプロセスレシピ選択ボタン７１０を押下（選択）すると図示しないレシピ編集メニュー画面が表示される。     When the process recipe selection button 710 is pressed (selected) on the edit menu screen 700 described above, a recipe edit menu screen (not shown) is displayed.

レシピ編集メニュー画面には、例えばプロセスレシピボタン、バリアブルパラメータボタン及びレシピデータ範囲チェックパラメータボタン等が表示される。     On the recipe edit menu screen, for example, a process recipe button, a variable parameter button, a recipe data range check parameter button, and the like are displayed.

上述したレシピ編集メニュー画面８００においてプロセスレシピボタンを選択すると図示しないプロセスレシピ一覧画面が表示される。     When a process recipe button is selected on the above-described recipe edit menu screen 800, a process recipe list screen (not shown) is displayed.

プロセスレシピ一覧表示画面は、プロセスレシピに関する複数のレシピの一覧を表示し、それぞれのレシピに対するファイル名（レシピ名）、編集日時、編集者及びコメント等の属性を表示する。このプロセスレシピ一覧表示画面には、例えば、編集者ＡＢＣにより編集されたファイルＡＡＡ、編集者ＥＦＧにより編集されたファイルＢＢＢ等が表示されている。このプロセスレシピ一覧表示画面に表示されたファイル名を選択すると該ファイルに応じたレシピ編集画面９００（図１１を用いて後述）が表示されるようになっている。     The process recipe list display screen displays a list of a plurality of recipes related to the process recipe, and displays attributes such as a file name (recipe name), edit date / time, editor, and comment for each recipe. For example, a file AAA edited by the editor ABC, a file BBB edited by the editor EFG, and the like are displayed on the process recipe list display screen. When a file name displayed on the process recipe list display screen is selected, a recipe edit screen 900 (described later with reference to FIG. 11) corresponding to the file is displayed.

図１１は、基板処理装置１０の入出力装置１６に操作表示画面１８として表示され、例えばユーザ（作業者）により操作されるレシピ編集画面９００を例示する図である。このレシピ編集画面９００は、上述したプロセスレシピ一覧表示画面に表示された所定のファイル名（レシピ名）を選択すると表示される。このレシピ編集画面９００においては、所定のレシピの詳細内容が表示され、また、所定のレシピの編集（更新）等の指示が入力されるようになっている。本図においては、上述したプロセスレシピ一覧表示画面８５０においてレシピ名ＡＡＡが選択された状態を示している。     FIG. 11 is a diagram illustrating a recipe editing screen 900 displayed as an operation display screen 18 on the input / output device 16 of the substrate processing apparatus 10 and operated by, for example, a user (operator). The recipe editing screen 900 is displayed when a predetermined file name (recipe name) displayed on the process recipe list display screen described above is selected. On the recipe editing screen 900, detailed contents of a predetermined recipe are displayed, and an instruction to edit (update) a predetermined recipe is input. This figure shows a state where the recipe name AAA is selected on the process recipe list display screen 850 described above.

図１１に示すように、レシピ編集画面９００には、レシピ名表示部９０２、保存ボタン９０４及びレシピや基板を処理するための諸条件を編集する複数入力部、例えば、反応ガスなどの流量を設定する流量条件入力部９０６、炉内温度等を設定する温度条件入力部９０８、炉内圧力等を設定する圧力条件入力部９１０、レシピの各ステップを設定するステップ入力部９１２等が含まれる。ユーザは、レシピ編集画面９００において、レシピ名表示部９０２に表示されたレシピ（例えばレシピＡＡＡ）における各条件やコマンド等を各入力部に入力し、保存ボタン９０２を押下することにより、該レシピを更新する。     As shown in FIG. 11, on the recipe editing screen 900, a recipe name display unit 902, a save button 904, and a plurality of input units for editing various conditions for processing a recipe and a substrate, for example, flow rates of reactive gases and the like are set. A flow rate condition input unit 906 for setting the furnace temperature, a pressure condition input unit 910 for setting the furnace pressure, a step input unit 912 for setting each step of the recipe, and the like. On the recipe editing screen 900, the user inputs each condition, command, and the like in the recipe (for example, recipe AAA) displayed on the recipe name display unit 902 to each input unit, and presses the save button 902 to select the recipe. Update.

以上のように、レシピ編集画面９００は、権限設定画面４００を介して設定された操作権限に基づいてＲＯＭ１４２又はＲＡＭ１４４に記憶されたレシピを編集する編集画面として用いられる。また、入出力装置１６は、権限設定画面４００とレシピ編集画面９００とを表示する表示手段として用いられ、入出力装置１６により表示された権限設定画面４００を介して、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において操作権限を設定可能となっている。従って、オンライン時とオフライン時ではレシピ編集画面９００上で編集できる項目が異なる。また、レシピ編集画面９００では、レシピＡＡＡを編集したユーザに設定されている操作権限によって、項目名（ＭＦＣ、温度、圧力等）を表示するかどうかで区別しているが、操作権限がない項目については、画面に表示させないのが好ましい。     As described above, the recipe editing screen 900 is used as an editing screen for editing a recipe stored in the ROM 142 or the RAM 144 based on the operation authority set via the authority setting screen 400. The input / output device 16 is used as display means for displaying the authority setting screen 400 and the recipe editing screen 900, and the operation status of the substrate processing apparatus 10 is displayed via the authority setting screen 400 displayed by the input / output device 16. The operation authority can be set in each case when is online or offline. Therefore, items that can be edited on the recipe editing screen 900 differ between online and offline. In the recipe editing screen 900, the operation authority set for the user who edited the recipe AAA is distinguished depending on whether or not the item name (MFC, temperature, pressure, etc.) is displayed. Is preferably not displayed on the screen.

次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の制御方法を実現する制御プログラム８０を説明する。図１２は、基板処理装置１０のプロセス系コントローラ１４上で動作する制御プログラム８０の構成を示す図である。     Next, a control program 80 for realizing the control method of the substrate processing apparatus 10 according to the embodiment of the present invention will be described. FIG. 12 is a diagram showing a configuration of a control program 80 that operates on the process system controller 14 of the substrate processing apparatus 10.

図１２に示すように、制御プログラム８０は、ユーザインタフェース（ＵＩ）部８２、画面表示部８４、権限設定部８６、表示制御部８８、レシピ記憶部９０、権限記憶部９２及びユーザ情報記憶部９４を有する。制御プログラム８０は、例えば、ネットワークを介してホスト装置２０からプロセス系コントローラ１４に供給され、ＲＡＭ１４４にロードされて、図示しないＯＳ上でＣＰＵ１４０により実行される。なお、制御プログラム８０は、ＦＤ、ＣＤ又はＤＶＤなどの記憶媒体を介して供給されてもよいし、入出力装置１６を介して入力されてもよい。     As shown in FIG. 12, the control program 80 includes a user interface (UI) unit 82, a screen display unit 84, an authority setting unit 86, a display control unit 88, a recipe storage unit 90, an authority storage unit 92, and a user information storage unit 94. Have The control program 80 is supplied from the host device 20 to the process system controller 14 via a network, for example, loaded into the RAM 144, and executed by the CPU 140 on an OS (not shown). The control program 80 may be supplied via a storage medium such as FD, CD, or DVD, or may be input via the input / output device 16.

制御プログラム８０において、レシピ記憶部９０は、ファイルとして実現され、基板を処理する手順が記載されている複数のレシピを記憶する。レシピ記憶部９０は、ＲＡＭ１４４及び図示しないＨＤＤの少なくともいずれかにより実現される。     In the control program 80, the recipe storage unit 90 is realized as a file, and stores a plurality of recipes describing a procedure for processing a substrate. The recipe storage unit 90 is realized by at least one of the RAM 144 and an HDD (not shown).

ユーザ情報記憶部９４は、ユーザ情報（ユーザ名、該ユーザの属するグループ名及びパスワード等）を記憶する。このユーザ情報記憶部９４は、レシピ記憶部９０と同様にして実現される。     The user information storage unit 94 stores user information (user name, group name to which the user belongs, password, and the like). The user information storage unit 94 is realized in the same manner as the recipe storage unit 90.

権限記憶部９２は、レシピ記憶部９０に記憶される各レシピに対する各ユーザの操作権限を記憶する。より具体的には、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン又はオフラインである場合それぞれにおける各レシピに対する各ユーザの操作権限を記憶する。この権限記憶部９２は、レシピ記憶部９０と同様にして実現される。     The authority storage unit 92 stores the operation authority of each user for each recipe stored in the recipe storage unit 90. More specifically, when the operation state of the substrate processing apparatus 10 is online or offline, the operation authority of each user for each recipe is stored. This authority storage unit 92 is realized in the same manner as the recipe storage unit 90.

画面表示部８４は、入出力装置１６により操作表示画面１８にユーザ設定画面３００（図５）を表示させ、このユーザ設定画面３００を介した入力、すなわちユーザ情報（ユーザ名、該ユーザの属するグループ名及び該ユーザに対応するパスワード）を受け付けて、ユーザ情報記憶部９４に出力する。また、画面表示部８４は、入出力装置１６により操作表示画面１８に権限設定画面４００（図６）を表示させ、この権限設定画面４００を介した入力、すなわち各レシピに対する各ユーザの操作権限を受け付けて、権限記憶部８６に出力する。また、画面表示部８４は、後述する権限設定部８６により設定された操作権限を権限設定画面４００に表示する。     The screen display unit 84 displays the user setting screen 300 (FIG. 5) on the operation display screen 18 by the input / output device 16, and inputs via the user setting screen 300, that is, user information (user name, group to which the user belongs). Name and password corresponding to the user) are received and output to the user information storage unit 94. Further, the screen display unit 84 displays the authority setting screen 400 (FIG. 6) on the operation display screen 18 by the input / output device 16, and inputs via this authority setting screen 400, that is, the operation authority of each user for each recipe. Accept and output to the authority storage unit 86. The screen display unit 84 displays the operation authority set by the authority setting unit 86 described later on the authority setting screen 400.

表示制御部８８は、入出力装置１６により操作表示画面１８にログイン画面６００（図９）を表示させ、このログイン画面を介した入力、すなわちユーザ情報（ユーザ名及び該ユーザに対応するパスワード）を受け付けて、権限設定部９２に出力する。     The display control unit 88 causes the input / output device 16 to display the login screen 600 (FIG. 9) on the operation display screen 18, and inputs via this login screen, that is, user information (user name and password corresponding to the user). Accept and output to authority setting unit 92.

権限設定部９２は、表示制御部８８より出力されたユーザ情報とユーザ情報記憶部９４に記憶されているユーザ情報とを比較し、入力されたユーザ名がユーザ情報記憶部９４に存在し、かつ入力されたパスワードが正しいか否かを判定する。さらに、権限設定部８６は、判定した結果をユーザ照合情報として表示制御部８８に出力する。     The authority setting unit 92 compares the user information output from the display control unit 88 with the user information stored in the user information storage unit 94, the input user name exists in the user information storage unit 94, and Determine whether the entered password is correct. Furthermore, the authority setting unit 86 outputs the determined result to the display control unit 88 as user verification information.

また、権限設定部８６は、レシピ記憶部９０に記憶されたレシピと、権限記憶部９２に記憶されている該ユーザ（該ユーザの属するグループ）の操作権限情報と、基板処理装置１０の稼動状態とに基づいて、該ユーザの操作権限を設定する。より具体的には、権限設定部９２は、画面表示部８４により表示された権限設定画面４００を介して入力された操作権限情報と、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン又はオフラインである場合とに基づいて、該ユーザの操作権限を設定し、権限設定情報として表示制御部８８に出力する。すなわち、権限設定部８６は、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン又はオフラインである場合、画面表示部８４により表示された権限設定画面４００を介して、それぞれの操作権限を設定可能としている。このようにして、権限設定部８６は、レシピに対するユーザ（作業者）の操作権限を設定する操作権限設定手段を構成する。     In addition, the authority setting unit 86 includes the recipe stored in the recipe storage unit 90, the operation authority information of the user (the group to which the user belongs) stored in the authority storage unit 92, and the operating state of the substrate processing apparatus 10. Based on the above, the operation authority of the user is set. More specifically, the authority setting unit 92 includes the operation authority information input via the authority setting screen 400 displayed by the screen display unit 84 and the case where the operation state of the substrate processing apparatus 10 is online or offline. Based on the above, the operation authority of the user is set and output to the display control unit 88 as authority setting information. That is, the authority setting unit 86 can set each operation authority via the authority setting screen 400 displayed by the screen display unit 84 when the operation state of the substrate processing apparatus 10 is online or offline. In this way, the authority setting unit 86 constitutes an operation authority setting means for setting the operation authority of the user (worker) for the recipe.

また、表示制御部８８は、権限設定部８６より出力された権限設定情報を受け付けると、該権限設定情報に基づいて、入出力装置１６により操作表示画面１８にレシピ編集画面９００（図１２）の表示を制御する。すなわち、表示制御部８８は、権限設定部８６により表示された権限設定画面４００を介して設定された操作権限と、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン又はオフラインである場合とに基づいて、レシピ記憶部９０に記憶されている所定のレシピの詳細な表示又は該レシピの編集を許可するか否かを決定する。     When the display control unit 88 receives the authority setting information output from the authority setting unit 86, the input / output device 16 displays the recipe edit screen 900 (FIG. 12) on the operation display screen 18 based on the authority setting information. Control the display. That is, the display control unit 88 selects the recipe based on the operation authority set via the authority setting screen 400 displayed by the authority setting unit 86 and the case where the operation state of the substrate processing apparatus 10 is online or offline. It is determined whether to permit detailed display of a predetermined recipe stored in the storage unit 90 or editing of the recipe.

また、表示制御部８８は、権限設定部８６より出力されたユーザ照合情報に基づいて、レシピ編集画面９００の表示を制御する。具体的には、表示制御部８８は、ログイン画面６００に入力されたユーザ名又はパスワードがユーザ情報記憶部９４に記憶されているユーザ情報と一致しない場合には、入出力装置１６により操作表示画面１８にレシピ編集画面９００を表示させないようにする。このようにして、表示制御部８８は、画面表示部８４により表示された権限設定画面４００を介して設定された操作権限に基づいて、レシピ記憶部９０に記憶されているレシピを編集するためのレシピ編集画面９００を表示する表示手段を構成する。     Further, the display control unit 88 controls the display of the recipe editing screen 900 based on the user verification information output from the authority setting unit 86. Specifically, if the user name or password input on the login screen 600 does not match the user information stored in the user information storage unit 94, the display control unit 88 causes the input / output device 16 to display the operation display screen. 18 so that the recipe edit screen 900 is not displayed. In this manner, the display control unit 88 edits the recipe stored in the recipe storage unit 90 based on the operation authority set via the authority setting screen 400 displayed by the screen display unit 84. Display means for displaying the recipe editing screen 900 is configured.

ＵＩ部８２は、入出力装置１６に対するユーザの操作を受け入れ、制御プログラム８０の各構成部分に対して出力する。また、ＵＩ部８２は、制御プログラム８０の各構成部分により作成された情報・データ及び各構成部分の処理内容などを、入出力装置１６に対して出力する。     The UI unit 82 accepts a user operation on the input / output device 16 and outputs it to each component of the control program 80. Further, the UI unit 82 outputs information / data created by each component of the control program 80 and processing contents of each component to the input / output device 16.

次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の制御処理を説明する。
図１３は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０によるユーザ（操作者）の操作権限に基づく表示制御処理Ｓ１０を示すフローチャートである。 Next, control processing of the substrate processing apparatus 10 according to the embodiment of the present invention will be described.
FIG. 13 is a flowchart showing the display control process S10 based on the operation authority of the user (operator) by the substrate processing apparatus 10 according to the embodiment of the present invention.

図１３に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、ＰＭＣ１４上で動作する制御プログラム８０の表示制御部８８は、入出力装置１６により操作表示画面１８にログイン画面６００を表示させる。表示制御部８８は、このログイン画面６００を介した入力、すなわち、ユーザ名及びこのユーザ名に対応するパスワードを受け付ける。     As shown in FIG. 13, in step 100 (S100), the display control unit 88 of the control program 80 operating on the PMC 14 causes the input / output device 16 to display the login screen 600 on the operation display screen 18. The display control unit 88 receives an input via the login screen 600, that is, a user name and a password corresponding to the user name.

ステップ１０２（Ｓ１０２）において、権限設定部８６は、入力されたユーザ名が存在するか否かを判定する。具体的には、権限設定部８６は、ログイン画面６００を介して入力されたユーザ名がユーザ情報記憶部９４に記憶されているものと同一か否かを判定し、同一であると判定した場合にはステップ１０４（Ｓ１０４）の処理に移行し、同一でないと判定した場合はステップ１０６（Ｓ１０６）の処理に移行する。     In step 102 (S102), the authority setting unit 86 determines whether or not the input user name exists. Specifically, the authority setting unit 86 determines whether or not the user name input via the login screen 600 is the same as that stored in the user information storage unit 94 and determines that it is the same. In step 104 (S104), the process proceeds to step 106 (S106).

ステップ１０４（Ｓ１０４）において、権限設定部８６は、入力されたユーザ名に対して該当する操作権限をセットする。具体的には、権限設定部８６は、ログイン画面６００に入力されたユーザ名に対して権限記憶部９２に記憶されたユーザ（ユーザの属するグループ）の操作権限を設定する。より具体的には、権限設定部８６は、ログイン画面６００に入力されたユーザ名に対して、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン時又はオフライン時である場合それぞれにおける各レシピに対するユーザの操作権限を設定する。     In step 104 (S104), the authority setting unit 86 sets a corresponding operation authority for the input user name. Specifically, the authority setting unit 86 sets the operation authority of the user (group to which the user belongs) stored in the authority storage unit 92 for the user name input on the login screen 600. More specifically, the authority setting unit 86 operates the user with respect to each recipe when the operating state of the substrate processing apparatus 10 is online or offline for the user name input on the login screen 600. Set.

ステップ１０６（Ｓ１０６）において、権限設定部８６は、入力されたユーザ名に対して操作権限を「禁止(Inhibit)」にセットする。より具体的には、権限設定部８０４は、図６に示すように、入力されたユーザ名の属するグループを「デフォルト(Default)」に設定し、すべてのレシピに対する操作権限を「禁止(Inhibit)」とする。     In step 106 (S106), the authority setting unit 86 sets the operation authority to “Inhibit” for the input user name. More specifically, as shown in FIG. 6, the authority setting unit 804 sets the group to which the input user name belongs to “Default”, and sets the operation authority for all recipes to “Inhibit”. "

ステップ１０８（Ｓ１０８）において、表示制御部８８は、権限設定部９２により設定された操作権限に基づいてレシピ編集画面９００の表示を制御する。より具体的には、表示制御部８８は、権限設定部８６により設定された各レシピに対するユーザ（グループ）の操作権限と、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン又はオフラインである場合とに基づいて、レシピ編集画面９００を表示するか、又は表示したレシピの編集を許可するか否かを決定する。例えば、表示制御部８８は、入力されたユーザ名の属するグループの操作権限が、プロセスレシピに対して、オンラインである場合に「禁止(Inhibit)」、オフラインである場合に「編集可(Edit)」が設定されている場合、基板処理装置１０の稼動状態がオフラインである場合に限り、入出力装置１６により操作表示画面１８にレシピ編集画面９００を表示させ、当該ユーザによるプロセスレシピの編集（更新）を許可する。
本実施形態では、「デフォルト（Default）」を設け、入力されたユーザ名の登録がない場合でもログイン処理を可能にしているが、「デフォルト（Default）」は必ずしも設ける必要はなく、ユーザ名の登録がない場合、ログイン処理を不可とする形態でも構わない。 In step 108 (S108), the display control unit 88 controls the display of the recipe editing screen 900 based on the operation authority set by the authority setting unit 92. More specifically, the display control unit 88 is based on the operation authority of the user (group) for each recipe set by the authority setting unit 86 and when the operation state of the substrate processing apparatus 10 is online or offline. Then, it is determined whether to display the recipe editing screen 900 or to permit editing of the displayed recipe. For example, the display control unit 88 displays “Inhibit” when the operation authority of the group to which the input user name belongs is online with respect to the process recipe, and “Edit” when it is offline. ”Is set, the recipe editing screen 900 is displayed on the operation display screen 18 by the input / output device 16 only when the operation state of the substrate processing apparatus 10 is offline, and the process recipe is edited (updated) by the user. )
In this embodiment, “Default” is provided, and login processing is possible even when the input user name is not registered, but “Default” is not necessarily provided, and the user name is not necessarily provided. If there is no registration, the login process may be disabled.

具体的な実施例を記述する。例えば、図８に示される所定のコマンドにおける権限設定画面４００上で、ファイルメンテナンスの権限設定がオンライン時に「禁止（Inhibit）」、オフライン時に「実行可（Exec）」と設定することにより、オンライン時に基板処理装置１０が自動運転されている最中に、基板の処理に全く関係のないファイルメンテナンス処理が行われることがない。つまり、メインコントローラに余計な負荷を掛けなくて済む。
例えば、ユーザＡがライン担当者（オンライン担当者）であり、ユーザＢがプロセスエンジニア（オフライン担当者）とする。ユーザＡが図８に示される所定のコマンドにおける権限設定画面４００上で、搬送コマンド及びＰＭコマンドの権限設定がオンライン時もオフライン時もそれぞれ「禁止（Inhibit）」と設定される。一方、ユーザＢは、オンライン時は自動運転されており、ホスト装置２０に指定されるプロセスレシピが実行されているので、「禁止（Inhibit）」と設定されるが、オフライン時には、「実行可（Exec）」と設定される。次に、ユーザＡが図６に示される所定のレシピにおける権限設定画面４００上で、プロセスレシピの権限設定がオンライン時もオフライン時もそれぞれ「禁止（Inhibit）」もしくは「参照可（Readonly）」と設定されるのに対し、ユーザＢは、オンライン時は自動運転されているので「禁止（Inhibit）」もしくは「参照可（Readonly）」と設定されるが、オフライン時には、「編集可（Edit）」と設定される。このようにしておけば、オフライン時にマニュアルでのプロセスが可能（基板の搬送やレシピの実行が可能）となり、特に装置のセットアップ時に行うプロセスのテスト運転が権限のない人が操作を行えないようにしているので安全に行える。また、オンライン時にホスト装置２０が指定したプロセスレシピをダウンロードしているのに関らず、操作表示画面１８上でプロセスレシピを編集しダウンロードしてしまい発生するエラーを防止できる。
例えば、ユーザＡがライン担当者（オンライン担当者）であり、ユーザＢがメンテナンスエンジニア（オフライン担当者）であれば、ユーザＡが図８に示される所定のコマンドにおける権限設定画面４００上で、搬送コマンドの権限設定がオンライン時もオフライン時もそれぞれ「禁止（Inhibit）」と設定されるのに対し、ユーザＢは、オンライン時は自動運転されているので「禁止（Inhibit）」と設定されるが、オフライン時には、「実行可（Exec）」と設定される。このように設定しておけば、メンテナンス時にボートや反応管の洗浄の為の交換や移載機のティーチングなどの作業を手動で安全に行うことができる。また、トラブル発生時に割れた基板の回収なとの復旧処理を手動で安全に行うことができる。 A specific example will be described. For example, on the authority setting screen 400 for a predetermined command shown in FIG. 8, by setting the authority setting for file maintenance to “Inhibit” when online, and “Exec” when offline, While the substrate processing apparatus 10 is being automatically operated, file maintenance processing that is completely unrelated to substrate processing is not performed. That is, it is not necessary to apply an extra load to the main controller.
For example, it is assumed that the user A is a line person (online person) and the user B is a process engineer (offline person). On the authority setting screen 400 for the predetermined command shown in FIG. 8, the authority setting for the transport command and the PM command is set to “Inhibit” when the user A is online and offline. On the other hand, the user B is automatically operated when online and the process recipe designated by the host device 20 is being executed, so “Inhibit” is set. However, when the user B is offline, “executable ( Exec) ”. Next, on the authority setting screen 400 for the predetermined recipe shown in FIG. 6, the user A indicates “Inhibit” or “Readonly” when the authority setting of the process recipe is online or offline, respectively. On the other hand, user B is set to “Inhibit” or “Readonly” because it is automatically operated when online, but “Edit” when offline. Is set. In this way, manual processes can be performed offline (substrate transfer and recipe execution are possible), and in particular, it is possible to prevent unauthorized personnel from performing test operations during the process of equipment setup. It can be done safely. Further, it is possible to prevent an error that occurs because the process recipe is edited and downloaded on the operation display screen 18 regardless of whether the process recipe designated by the host device 20 is downloaded when online.
For example, if the user A is a line person (online person) and the user B is a maintenance engineer (offline person), the user A is transported on the authority setting screen 400 for a predetermined command shown in FIG. While the command authority setting is set to “Inhibit” both online and offline, user B is set to “Inhibit” because it is automatically operated when online. When offline, “Exec” is set. By setting in this way, it is possible to manually perform operations such as replacement for cleaning the boat and reaction tube and teaching the transfer machine during maintenance. In addition, recovery processing for recovering a substrate that has been broken when a trouble occurs can be performed manually and safely.

以上のように、本発明によれば、入出力装置１６の操作表示画面１８を介して、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン時又はオフライン時である場合それぞれにおけるユーザ（操作者）の操作権限を設定することができる。これにより、基板処理装置１０の稼動状態がオンラインであり且つトラブル発生時においても、所定のユーザ、例えばメンテナンスやエンジニア等のグループに属するユーザ（メンテナンスエンジニア、プロセスエンジニア）に対して通常は許可されていないレシピの編集やスタートを許可することが可能となる。したがって、トラブルにたいして基板処理装置１０側で迅速に対応することができ、トラブル処理に費やす時間を短縮させ、もって生産性の向上を実現することができる。一方、基板処理装置１０の稼動状態がオンラインである場合において、例えばプロダクトに属するユーザ（ライン担当者）のレシピの編集やスタートを禁止することも可能となり、誤操作等によるトラブルの発生を防止することができる。     As described above, according to the present invention, the operation authority of the user (operator) when the operation state of the substrate processing apparatus 10 is online or offline via the operation display screen 18 of the input / output device 16. Can be set. Thereby, even when the operation state of the substrate processing apparatus 10 is online and a trouble occurs, it is normally permitted to a predetermined user, for example, a user (maintenance engineer, process engineer) belonging to a group such as maintenance or engineer. It will be possible to allow no recipe editing or starting. Therefore, the substrate processing apparatus 10 can quickly deal with troubles, and the time spent for trouble processing can be shortened, thereby improving productivity. On the other hand, when the operation state of the substrate processing apparatus 10 is online, for example, it is possible to prohibit the editing and start of the recipe of the user (line manager) belonging to the product, thereby preventing troubles due to erroneous operations and the like. Can do.

なお、本発明は、基板処理装置として、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置でも適用することができる。成膜処理には、例えばＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理等を含む。また、本実施形態では、縦型処理装置について記載したが、枚葉装置についても同様に適用することができる。又、複数の基板処理装置と、各基板処理装置を管理する装置とを組み合わせたシステム又は管理装置にも適用できる。     The present invention can be applied not only to a semiconductor manufacturing apparatus but also to an apparatus for processing a glass substrate such as an LCD apparatus as a substrate processing apparatus. The film forming process includes, for example, a process for forming CVD, PVD, oxide film, nitride film, a process for forming a film containing metal, and the like. In the present embodiment, the vertical processing apparatus is described, but the present invention can be similarly applied to a single wafer apparatus. Further, the present invention can also be applied to a system or a management apparatus that combines a plurality of substrate processing apparatuses and an apparatus that manages each substrate processing apparatus.

本発明は、半導体ウエハやガラス基板等を処理するための基板処理装置において、トラブル発生時に費やす時間を短縮させる必要のあるものに利用することができる。     INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for a substrate processing apparatus for processing a semiconductor wafer, a glass substrate, or the like that needs to reduce time spent when trouble occurs.

なお、本発明は、特許請求の範囲に記載した以外に次の実施形態を含む。
（１）基板を処理する手順が記載された複数のレシピを含む種々のファイルと、当該複数のレシピに対応するユーザの操作権限と、を記憶する記憶手段と、基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、前記各レシピに対する前記ユーザの操作権限を設定する権限設定画面と、前記記憶手段に記憶されているレシピを編集するための編集画面と、を表示する表示手段と、を有する基板処理システム。
（２）前記複数のレシピのうち製品基板を製造するためのレシピ（プロセスレシピ）については、オンライン時に編集できないように設定されている（１）の基板処理システム。
（３）基板処理装置における所定の機能を実行するためのコマンドと、当該コマンドに対応するユーザの操作権限と、を記憶する記憶手段と、基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、前記コマンドに対する前記ユーザの操作権限を設定する権限設定画面と、当該権限設定画面を介して設定された操作権限に基づいて前記記憶手段に記憶されているコマンドを実行するための機能画面と、を表示する表示手段と、を有する基板処理システム。
（４）前記コマンドは、オンライン時に実行できないように設定されている（３）記載の基板処理システム。
（５）前記ユーザが所属するグループをユーザＩＤ及びパスワードに応じて予め設定したグループパラメータを有し、前記グループ毎に前記ユーザの権限を設定可能とすることを特徴とする（１）乃至（４）いずれか記載の基板処理システム。
（６）各レシピは、オンライン時とオフライン時でそれぞれ異なる設定がなされる（１）又は（２）記載の基板処理システム。
（７）前記コマンドは、オンライン時とオフライン時でそれぞれ異なる設定がなされる（３）又は（４）記載の基板処理システム。 In addition, this invention contains the following embodiment other than having described in the claim.
(1) Storage means for storing various files including a plurality of recipes describing a procedure for processing a substrate, a user's operation authority corresponding to the plurality of recipes, and an operating state of the substrate processing apparatus is online Display means for displaying an authority setting screen for setting the user's operation authority for each recipe and an editing screen for editing a recipe stored in the storage means in each case of time or offline A substrate processing system.
(2) The substrate processing system according to (1), wherein a recipe (process recipe) for manufacturing a product substrate among the plurality of recipes is set so as not to be edited when online.
(3) Storage means for storing a command for executing a predetermined function in the substrate processing apparatus and a user's operation authority corresponding to the command, and when the operating state of the substrate processing apparatus is online or offline In this case, an authority setting screen for setting the operation authority of the user for the command, and a function screen for executing the command stored in the storage unit based on the operation authority set via the authority setting screen And a display means for displaying the substrate processing system.
(4) The substrate processing system according to (3), wherein the command is set not to be executed when online.
(5) The group to which the user belongs has group parameters set in advance according to a user ID and a password, and the authority of the user can be set for each group. (1) to (4) ) A substrate processing system according to any one of the above.
(6) The substrate processing system according to (1) or (2), wherein each recipe is set differently between online and offline.
(7) The substrate processing system according to (3) or (4), wherein the command is set differently between online and offline.

本発明の実施形態に係る基板処理装置を含む基板処理システムの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the substrate processing system containing the substrate processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る基板処理装置の斜視図を示す図である。It is a figure which shows the perspective view of the substrate processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る基板処理装置の側面透視図を示す。1 is a side perspective view of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る基板処理装置の制御手段を中心としたハードウェア構成を示す。1 shows a hardware configuration centering on control means of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention. 基板処理装置の入出力装置に操作表示画面として表示されるユーザ設定画面を例示する図である。It is a figure which illustrates the user setting screen displayed as an operation display screen on the input / output device of a substrate processing apparatus. 基板処理装置の入出力装置に操作表示画面として表示される権限設定画面を例示する図である。It is a figure which illustrates the authority setting screen displayed as an operation display screen on the input / output device of a substrate processing apparatus. 選択画面を介して権限設定画面における所定レシピの権限の設定を説明する図である。It is a figure explaining the setting of the authority of the predetermined recipe in an authority setting screen via a selection screen. 選択画面を介して権限設定画面における所定コマンドの権限の設定を説明する図である。It is a figure explaining the setting of the authority of the predetermined command in an authority setting screen via a selection screen. 基板処理装置の入出力装置に操作表示画面として表示されるログイン画面を例示する図である。It is a figure which illustrates the login screen displayed as an operation display screen on the input / output device of a substrate processing apparatus. 基板処理装置の入出力装置に操作表示画面として表示される編集メニュー画面を例示する図である。It is a figure which illustrates the edit menu screen displayed as an operation display screen on the input / output device of a substrate processing apparatus. 基板処理装置の入出力装置に操作表示画面として表示されるレシピ編集画面を例示する図である。It is a figure which illustrates the recipe edit screen displayed as an operation display screen on the input / output device of a substrate processing apparatus. 基板処理装置のプロセス系コントローラ上で動作する制御プログラムの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the control program which operate | moves on the process system controller of a substrate processing apparatus. 本発明の実施形態に係る基板処理装置による操作権限に基づく表示制御処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the display control process based on the operation authority by the substrate processing apparatus which concerns on embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 基板処理装置
１６ 入出力装置
１８ 操作表示画面
１４２ ＲＯＭ
１４４ ＲＡＭ
４００ 権限設定画面
９００ レシピ編集画面 10 Substrate Processing Device 16 Input / Output Device 18 Operation Display Screen 142 ROM
144 RAM
400 Authority setting screen 900 Recipe edit screen

Claims (7)

基板を処理する手順が記載された複数のレシピを含む種々のファイルと、当該複数のレシピに対応するユーザの操作権限と、を記憶する記憶手段と、
基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、前記各レシピに対する前記ユーザの操作権限を設定する権限設定画面と、前記記憶手段に記憶されているレシピを編集するための編集画面と、を表示する表示手段と、を有する基板処理装置。 Storage means for storing various files including a plurality of recipes describing a procedure for processing a substrate, and a user's operation authority corresponding to the plurality of recipes;
An authority setting screen for setting the operation authority of the user for each recipe and an editing screen for editing a recipe stored in the storage means when the operating state of the substrate processing apparatus is online or offline, respectively. And a display means for displaying. 前記複数のレシピのうち製品基板を製造するためのレシピ（プロセスレシピ）については、オンライン時に編集できないように設定されている請求項１記載の基板処理装置。   The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein a recipe (process recipe) for manufacturing a product substrate among the plurality of recipes is set so as not to be edited when online. 基板処理装置における所定の機能を実行するためのコマンドと、当該コマンドに対応するユーザの操作権限と、を記憶する記憶手段と、
基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、前記コマンドに対する前記ユーザの操作権限を設定する権限設定画面と、当該権限設定画面を介して設定された操作権限に基づいて前記記憶手段に記憶されているコマンドを実行するための機能画面と、を表示する表示手段と、を有する基板処理装置。 Storage means for storing a command for executing a predetermined function in the substrate processing apparatus, and a user's operation authority corresponding to the command;
When the operation state of the substrate processing apparatus is online or offline, an authority setting screen for setting the operation authority of the user with respect to the command and the storage based on the operation authority set via the authority setting screen A substrate processing apparatus comprising: a function screen for executing a command stored in the means; and a display means for displaying the function screen. 前記コマンドは、オンライン時に実行できないように設定されている請求項３記載の基板処理装置。   The substrate processing apparatus according to claim 3, wherein the command is set not to be executed when online. 前記ユーザが所属するグループをユーザＩＤ及びパスワードに応じて予め設定したグループパラメータを有し、前記グループ毎に前記ユーザの権限を設定可能とする請求項１乃至４いずれか記載の基板処理装置。   5. The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the group to which the user belongs has a group parameter that is set in advance according to a user ID and a password, and the authority of the user can be set for each group. 前記各レシピは、オンライン時とオフライン時でそれぞれ異なる設定がなされる請求項１又は２記載の基板処理装置。   The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein each recipe is set differently between online and offline. 前記コマンドは、オンライン時とオフライン時でそれぞれ異なる設定がなされる請求項３又は４記載の基板処理装置。   5. The substrate processing apparatus according to claim 3, wherein the command is set differently between online and offline.
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